CN114594681A - 一种五自由度伺服控制系统及校准仪 - Google Patents

一种五自由度伺服控制系统及校准仪 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种五自由度伺服控制系统及校准仪，包括三维坐标系中的X轴自由度伺服控制组件、Y轴自由度伺服控制组件、Z轴自由度伺服控制组件；还包括绕Z轴360°旋转的第四自由度摆角轴伺服控制组件和绕摆角轴360°旋转的第五自由度自转轴伺服控制组件；还包括上位机，上位机连接每个所述控制组件，用于输出控制信号至相应控制组件，每个所述控制组件之间相互独立设置。优点：本发明控制系统中的每个自由度伺服控制组件都相互独立，运行互不干扰，通过上位机的控制使得每个轴的伺服控制机构能互相通用，可单独、可组合运动，测试仪器可换装，并且能用于其它任意轴，提高维修便利性。

Description

一种五自由度伺服控制系统及校准仪
技术领域
本发明涉及一种五自由度伺服控制系统及校准仪，属于校准仪技术领域。
背景技术
校准仪是借助扫描技术来测量工件的尺寸、形状、平面度等工作的一种仪器。在天线外形测量、调试、测试等天线系统校准过程中，需要借助测试天线、位置测量仪等测试仪器来完成。且校准过程中测试仪器的位置要精确可控，确保天线校准结果的精度和可信度。研制一台能够将测试仪器以可控轨迹、可控角度高精度的运行到指定空间点位的校准仪就显得尤为必要。
传统校准仪多数只能进行单自由度或三自由度进行激光测距扫描。传统三坐标激光测试仪是由三个互相垂直的运动轴X、Y、Z建立起一个直角坐标系，激光探头的运动轨迹由被测工件的位置和形状决定，通过三轴坐标解算得到。X、Y、Z轴沿直线运动，运动姿态被严格限制，从而限制了复杂曲面的测量和扫描。传统多自由度伺服控制系统每个自由度伺服控制不完全独立，一个轴故障可能导致多个轴都无法运动，每个轴控制系统不统一，降低了维修通用性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种五自由度伺服控制系统及校准仪。
为解决上述技术问题，本发明提供一种五自由度伺服控制系统，包括三维坐标系中的X轴自由度伺服控制组件、Y轴自由度伺服控制组件、Z轴自由度伺服控制组件；
还包括绕Z轴360°旋转的第四自由度摆角轴伺服控制组件和绕摆角轴360°旋转的第五自由度自转轴伺服控制组件；
还包括上位机，上位机连接每个所述控制组件，用于输出控制信号至相应控制组件，每个所述控制组件之间相互独立设置。
进一步的，所述X轴自由度伺服控制组件包括X轴伺服控制器、X轴伺服驱动器、X轴伺服电机、X轴光栅尺，所述X轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，X轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至X轴伺服驱动器，X轴伺服驱动器驱动伺服电机运动，X轴光栅尺记录X轴伺服电机的位置信息，并传输至X轴伺服控制器，X轴伺服控制器读取所述X轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给X轴伺服驱动器，控制X轴伺服电机进行闭环运动；
所述Y轴自由度伺服控制组件包括Y轴伺服控制器、Y轴伺服驱动器、Y轴伺服电机、Y轴光栅尺，所述Y轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，Y轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至Y轴伺服驱动器，Y轴伺服驱动器驱动伺服电机运动，Y轴光栅尺记录Y轴伺服电机的位置信息，并传输至X轴伺服控制器，Y轴伺服控制器读取所述X轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给Y轴伺服驱动器，控制Y轴伺服电机进行闭环运动；
所述Z轴自由度伺服控制组件包括Z轴伺服控制器、Z轴伺服驱动器、Z轴伺服电机、Z轴光栅尺，所述Z轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，Z轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至Z轴伺服驱动器，Z轴伺服驱动器驱动伺服电机运动，Z轴光栅尺记录Z轴伺服电机的位置信息，并传输至Z轴伺服控制器，Z轴伺服控制器读取所述Z轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给Z轴伺服驱动器，控制Z轴伺服电机进行闭环运动。
进一步的，所述第四自由度摆角轴伺服控制组件包括摆角轴伺服控制器、摆角轴伺服驱动器、摆角轴伺服电机、摆角轴光电编码器；
其中，所述摆角轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，摆角轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至摆角轴伺服驱动器，摆角轴伺服驱动器驱动摆角轴伺服电机运动，摆角轴光电编码器记录摆角轴伺服电机的位置信息，并传输至摆角轴伺服控制器，摆角轴伺服控制器读取所述摆角轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给摆角轴伺服驱动器，控制摆角轴伺服电机进行闭环运动。
进一步的，所述第五自由度自转轴伺服控制组件包括自转轴伺服控制器、自转轴伺服驱动器、自转轴伺服电机、自转轴光电编码器；
其中，所述自转轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，自转轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至自转轴伺服驱动器，自转轴伺服驱动器驱动自转轴伺服电机运动，自转轴光电编码器记录自转轴伺服电机的位置信息，并传输至自转轴伺服控制器，自转轴伺服控制器读取所述自转轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给自转轴伺服驱动器，控制自转轴伺服电机进行闭环运动。
进一步的，相应的伺服控制器将从上位机接收到的位置信息与采集的实际的位置信息比较，计算得到需要控制输出的脉冲信号，相应的伺服驱动器根据从相应的伺服控制器接收到的脉冲信号输出相应的三相驱动信号控制相应的伺服电机运行，相应的光栅尺或光电编码器实时记录反馈位置信号给相应的伺服控制器，形成闭环控制。
一种校准仪，采用所述的五自由度伺服控制系统对工件进行校准测量。
本发明所达到的有益效果：
本发明控制系统中的每个自由度伺服控制组件都相互独立，运行互不干扰，通过上位机的控制使得每个轴的伺服控制机构能互相通用，可单独、可组合运动，测试仪器可换装，并且能用于其它任意轴，提高维修便利性。
附图说明
图1是本发明的控制系统的系统示意图；
图2是校准仪的结构示意图。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示，一种五自由度伺服控制系统，包括X、Y、Z轴三自由度伺服控制器、伺服驱动器、伺服电机、光栅尺，及绕Z轴360°旋转的第四自由度摆角轴伺服控制器、伺服驱动器、伺服电机、光电编码器和绕摆角轴360°旋转的第五自由度自转轴伺服控制器、伺服驱动器、伺服电机、光电编码器和激光探头。每个自由度有自己独立的一套伺服控制系统，相互之间互不干扰。将五个自由度伺服控制器通过CAN或者RS485串口通信连接起来，构成完整的一套高精度的五自由度伺服控制系统。
X、Y、Z轴沿直角坐标系作直线运动，摆角轴绕Z轴作360°旋转运动，自转轴绕摆角轴作360°旋转运动。校准探头安装在自转轴。上位机根据被测工件计算出各自由度的运动曲线，通过CAN通信下发控制指令，并且接收各轴的状态和位置信息。各轴伺服控制器接收控制信号，并且实时读取光栅尺和光电编码器位置信号。伺服控制器根据指令位置和实际位置经过PID计算，得到位置运动脉冲信号，伺服驱动器接收脉冲信号完成伺服达位。
上位机只负责接收和发送位置、速度、状态等控制指令，各轴的伺服闭环控制则由其对应各自的伺服控制器完成。每个轴为一个控制节点，将五个独立的控制节点通过CAN或RS485串口通信串并联起来，通过上位机软件控制构成五自由度伺服控制系统。由于五自由度伺服控制机构完全独立，相互之间互不干扰，并且每个伺服控制机构完全相同，任意两个能调换使用，降低了系统复杂性，提高了维修便利性。理论上五轴以上的多轴系统同样适用。
上位机软件根据被测工件的数学模型解算出X、Y、Z、摆角和自转轴的运动轨迹，然后通过串口通信将数据下发给各自由度的伺服控制器，同时伺服控制器从光栅尺或光电编码器读取位置信息，计算出位置控制信号发送给伺服驱动器，控制伺服电机进行闭环运动。
五自由度校准仪伺服控制的每个自由度伺服控制系统都相互独立，运行互不干扰，并且每个轴的伺服控制机构能互相通用，可单独、可组合运动，测试仪器可换装，并且能用于其它任意轴，提高维修便利性。
如图2所示，一种校准仪，具体为一种激光扫描仪，五自由度包括X、Y、Z轴直线运动和摆角、自转转动。其中X、Y、Z轴为第一、第二、第三自由度，摆角是能绕Z轴转动360°的第四自由度，自转是能绕摆角转动360°的第五自由度。激光测距仪安装在自转轴，实现五自由度伺服控制。伺服控制系统包括五个各自独立的伺服控制机构，每个独立的伺服控制机构控制每个自由度。其中X、Y、Z轴伺服控制机构包括伺服电机、光栅尺、伺服控制器和伺服驱动器。摆角、自转轴伺服控制机构包括伺服电机、光电编码器、伺服控制器和伺服驱动器。将五个独立的伺服控制机构通过CAN或RS485串口通信串联起来，通过上位机软件控制构成五自由度伺服控制系统。激光扫描仪设计外形尺寸为4000×1200×3400（长×宽×高），各轴定位精度为0.1mm，重复定位精度为0.05mm，运动速度为2000mm/min。
五自由度激光扫描仪的工作过程如下：
五自由度激光扫描仪的激光头安装在第五自由度的自转轴上，在校准定位过程中，首先通过上位机软件计算出需要的空间运动轨迹，将空间运动轨迹解耦分解成具体每一个自由度的运动轨迹，根据通信协议将每个自由度对应的具体位置和速度信号发送给对应的控制器，例如X轴运动10mm，速度5mm/s，Y轴运动20mm，速度10mm/s，X轴运动30mm，速度20mm/s，摆角轴运动10°，速度5°/s，自转轴运动20°，速度10°/s。控制器接收到各自的位置和速度信号后根据协议解算得到具体的速度和位置指令，同时控制器实时读取编码器或者光栅尺信号获得当前位置状态反馈，比较计算出需要运动的位置脉冲信号，将位置脉冲信号发送给对应的驱动器，驱动器接收到脉冲信号后完成动作指令。每个轴可以根据上位机指令进行不同的运动控制。
以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种五自由度伺服控制系统，其特征在于，包括三维坐标系中的X轴自由度伺服控制组件、Y轴自由度伺服控制组件、Z轴自由度伺服控制组件；
还包括绕Z轴360°旋转的第四自由度摆角轴伺服控制组件和绕摆角轴360°旋转的第五自由度自转轴伺服控制组件；
还包括上位机，上位机连接每个所述控制组件，用于输出控制信号至相应控制组件，每个所述控制组件之间相互独立设置。
2.根据权利要求1所述的五自由度伺服控制系统，其特征在于，
所述X轴自由度伺服控制组件包括X轴伺服控制器、X轴伺服驱动器、X轴伺服电机、X轴光栅尺，所述X轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，X轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至X轴伺服驱动器，X轴伺服驱动器驱动伺服电机运动，X轴光栅尺记录X轴伺服电机的位置信息，并传输至X轴伺服控制器，X轴伺服控制器读取所述X轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给X轴伺服驱动器，控制X轴伺服电机进行闭环运动；
所述Y轴自由度伺服控制组件包括Y轴伺服控制器、Y轴伺服驱动器、Y轴伺服电机、Y轴光栅尺，所述Y轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，Y轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至Y轴伺服驱动器，Y轴伺服驱动器驱动伺服电机运动，Y轴光栅尺记录Y轴伺服电机的位置信息，并传输至X轴伺服控制器，Y轴伺服控制器读取所述X轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给Y轴伺服驱动器，控制Y轴伺服电机进行闭环运动；
所述Z轴自由度伺服控制组件包括Z轴伺服控制器、Z轴伺服驱动器、Z轴伺服电机、Z轴光栅尺，所述Z轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，Z轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至Z轴伺服驱动器，Z轴伺服驱动器驱动伺服电机运动，Z轴光栅尺记录Z轴伺服电机的位置信息，并传输至Z轴伺服控制器，Z轴伺服控制器读取所述Z轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给Z轴伺服驱动器，控制Z轴伺服电机进行闭环运动。
3.根据权利要求2所述的五自由度伺服控制系统，其特征在于，所述第四自由度摆角轴伺服控制组件包括摆角轴伺服控制器、摆角轴伺服驱动器、摆角轴伺服电机、摆角轴光电编码器；
其中，所述摆角轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，摆角轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至摆角轴伺服驱动器，摆角轴伺服驱动器驱动摆角轴伺服电机运动，摆角轴光电编码器记录摆角轴伺服电机的位置信息，并传输至摆角轴伺服控制器，摆角轴伺服控制器读取所述摆角轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给摆角轴伺服驱动器，控制摆角轴伺服电机进行闭环运动。
4.根据权利要求3所述的五自由度伺服控制系统，其特征在于，所述第五自由度自转轴伺服控制组件包括自转轴伺服控制器、自转轴伺服驱动器、自转轴伺服电机、自转轴光电编码器；
其中，所述自转轴伺服控制器通过CAN或RS485串口接收所述上位机的输入信号，自转轴伺服控制器根据所述输入信号输出控制信号至自转轴伺服驱动器，自转轴伺服驱动器驱动自转轴伺服电机运动，自转轴光电编码器记录自转轴伺服电机的位置信息，并传输至自转轴伺服控制器，自转轴伺服控制器读取所述自转轴伺服电机的位置信息，计算出位置控制信号发送给自转轴伺服驱动器，控制自转轴伺服电机进行闭环运动。
5.根据权利要求4所述的五自由度伺服控制系统，其特征在于，相应的伺服控制器将从上位机接收到的位置信息与采集的实际的位置信息比较，计算得到需要控制输出的脉冲信号，相应的伺服驱动器根据从相应的伺服控制器接收到的脉冲信号输出相应的三相驱动信号控制相应的伺服电机运行，相应的光栅尺或光电编码器实时记录反馈位置信号给相应的伺服控制器，形成闭环控制。
6.一种校准仪，其特征在于，采用权利要求1-5任意一项所述的五自由度伺服控制系统对工件进行校准测量。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115127477A (zh) * 2022-07-09 2022-09-30 浙江大学 一种球形构件表面面形轮廓随形包络测量系统及方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101589980A (zh) * 2009-06-30 2009-12-02 哈尔滨工业大学 五自由度机械臂
CN102012690A (zh) * 2010-11-22 2011-04-13 同济大学 基于正解的五自由度纯并联机床断电后寻址及回零的控制方法
CN102426007A (zh) * 2011-08-29 2012-04-25 哈尔滨工业大学 三轴气浮台高精度姿态角测量方法及其装置
CN103252683A (zh) * 2013-05-07 2013-08-21 天津大学 一种五自由度混联数控机床
CN104985596A (zh) * 2015-07-09 2015-10-21 天津大学 一种含多轴转动支架的五自由度混联机器人
US20170176972A1 (en) * 2015-12-17 2017-06-22 Feng-Tien Chen Computer Numerical Control Servo Drive System
CN107790603A (zh) * 2017-12-05 2018-03-13 威海英诺威机电设备安装工程有限公司 一种三轴可编程自动旋铆机
CN209118620U (zh) * 2018-08-20 2019-07-16 西安翔辉机电科技有限责任公司 三自由度运动平台

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101589980A (zh) * 2009-06-30 2009-12-02 哈尔滨工业大学 五自由度机械臂
CN102012690A (zh) * 2010-11-22 2011-04-13 同济大学 基于正解的五自由度纯并联机床断电后寻址及回零的控制方法
CN102426007A (zh) * 2011-08-29 2012-04-25 哈尔滨工业大学 三轴气浮台高精度姿态角测量方法及其装置
CN103252683A (zh) * 2013-05-07 2013-08-21 天津大学 一种五自由度混联数控机床
CN104985596A (zh) * 2015-07-09 2015-10-21 天津大学 一种含多轴转动支架的五自由度混联机器人
US20170176972A1 (en) * 2015-12-17 2017-06-22 Feng-Tien Chen Computer Numerical Control Servo Drive System
CN107790603A (zh) * 2017-12-05 2018-03-13 威海英诺威机电设备安装工程有限公司 一种三轴可编程自动旋铆机
CN209118620U (zh) * 2018-08-20 2019-07-16 西安翔辉机电科技有限责任公司 三自由度运动平台

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115127477A (zh) * 2022-07-09 2022-09-30 浙江大学 一种球形构件表面面形轮廓随形包络测量系统及方法

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