CN114566575A - 一种micro-LED及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种micro‑LED及其制备方法,应用于红光micro‑LED,涉及二极管技术领域领域,该micro‑LED包括衬底;在所述衬底上依次设有红光外延准备层、N型InbGa1‑bN/GaN层、发光层、电子阻挡层、P型InfGa1‑fN层及接触层;在所述发光层与电子阻挡层之间设有一波导层,所述波导层为IneGa1‑eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01‑0.1。本发明能够解决现有技术中外延层中杂质扩散至发光层中,导致发光效率低下的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及二极管技术领域,具体涉及一种micro-LED及其制备方法。
背景技术
随着社会生产力及科学技术的不断发展,虚拟现实技术(VR)及增强现实 技术(AR)在不同领域的应用越来越广泛,因此,各行各业对于虚拟现实技术 (VR)及增强现实技术(AR)的需求也日益增长,由于micro-LED芯片尺寸小、 集成度高和自发光等特点,在虚拟现实技术(VR)及增强现实技术(AR)的显 示的亮度、分辨率、对比度、能耗、使用寿命、响应速度和热稳定性等方面具 有巨大的优势。micro-LED是以自发光的微米量级的LED为发光像素单元,将 其组装到驱动面板上形成高密度LED阵列的显示技术。因此随着未来对虚拟现 实技术(VR)及增强现实技术(AR)的需求也日益增长,micro-LED在虚拟现 实技术(VR)及增强现实技术(AR)中占据的地位越来越重要。
目前比较常见的micro-LED的主体材料为AlGaInN材料,AlGaInN体系 micro-LED热稳定性能较好,不会随着温度的变化而影响发光效率,但是,在 AlGaInN体系micro-LED为了提高P型氮化镓的有效掺杂,会采用低温生长, 低温生长的P型氮化镓的C杂质浓度较高,而P型氮化镓中的C和Mg等原子 会扩散至发光层中,降低发光层中量子阱的晶体质量,使得内量子效率降低, 从而影响发光层的电子-空穴的复合效率,降低micro-LED的发光效率。
因此,现有的AlGaInN体系micro-LED普遍存在外延层中杂质扩散至发光 层中,导致发光效率低下的技术问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种micro-LED及其制备方 法,旨在解决现有技术中外延层中杂质扩散至发光层中,导致发光效率低下的 技术问题。
本发明的一方面在于提供一种micro-LED,应用于红光micro-LED,所述 micro-LED包括:
衬底;
在所述衬底上依次设有红光外延准备层、N型InbGa1-bN/GaN层、发光层、 电子阻挡层、P型InfGa1-fN层及接触层;
在所述发光层与电子阻挡层之间设有一波导层,所述波导层为IneGa1-eN薄 膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
与现有技术相比,本发明的有益效果在于:通过本发明提供的micro-LED, 在发光层与电子阻挡层之间设有一波导层,该波导层为IneGa1-eN薄膜层,能阻 挡后续外延生长的外延层中的C、Mg、Al等原子扩散到发光层中,从而提高发 光层中电子-空穴的辐射复合效率,提高micro-LED的发光效率,同时,该波导 层可以阻挡N型InbGa1-bN/GaN层的电子溢流至P型InfGa1-fN层,减少载流子 的泄露,进一步提高电子-空穴的辐射复合效率,进一步提高了micro-LED的发 光效率,从而解决了普遍存在外延层中杂质扩散至发光层中,导致发光效率低 下的技术问题。除此之外,图形化复合衬底有助于外延层的生长,能够有效减 少穿透位错密度,提高外延层的晶体质量。
根据上述技术方案的一方面,所述波导层的厚度为5-10nm。
根据上述技术方案的一方面,所述N型InbGa1-bN/GaN层为若干个周期超晶 格结构,其中,InbGa1-bN薄膜层的厚度为1-5nm,In的组分b为0.01-0.1,GaN 薄膜层的厚度为10-50nm。
根据上述技术方案的一方面,所述P型InfGa1-fN层的厚度为100-200nm, 其中,In的组分f为0.01-0.1。
根据上述技术方案的一方面,所述发光层为多量子阱层结构,包括若干个 周期IncGa1-cN阱层与IndGa1-dN垒层,其中,IncGa1-cN阱层的厚度为1-5nm,In 的组分c为0.3-0.5,IndGa1-dN垒层的厚度为5-15nm,In的组分d为0.01-0.1。
根据上述技术方案的一方面,所述衬底上设有一掩膜层,利用纳米压印或 光刻将所述掩膜层刻蚀成特定图形,形成图形化复合衬底。
根据上述技术方案的一方面,所述红光外延准备层为InaGa1-aN薄膜层,其 中,所述红光外延准备层的厚度为100-2000nm,In的组分a为0-0.2。
根据上述技术方案的一方面,所述接触层为掺杂IngGa1-gN薄膜层,所述掺 杂IngGa1-gN薄膜层的厚度为5-30nm,In的组分g为0.01-0.1。
本发明的一方面在于提供一种micro-LED的制备方法,所述制备方法包括:
提供一衬底;
在所述衬底上生长掩膜层以形成图形化复合衬底;
在所述图形化复合衬底上依次生长红光外延准备层、N型InbGa1-bN/GaN层、 发光层、电子阻挡层、P型InfGa1-fN层及接触层;
通过在发光层及电子阻挡层之间外延生长一波导层,其中,所述波导层为IneGa1-eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
进一步说明,所述波导层的生长步骤包括:
将温度设置为800-100℃之间,在反应腔室内通入三乙基镓、三甲基铟及氨 气,其中,氮气与氢气作为载气,在发光层上外延生长形成厚度为5-10nm的 IneGa1-eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
附图说明
本发明的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将 变得明显与容易理解,其中:
图1为本发明第一实施例中micro-LED的结构示意图;
图2为本发明第一实施例中micro-LED的制备方法的流程图图;
附图元器件符号说明:
衬底100,掩膜层110,红光外延准备层200,N型InbGa1-bN/GaN层300, 发光层400,波导层500,电子阻挡层600,P型InfGa1-fN层700,接触层800。
具体实施方式
为使本发明的目的、特征与优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发 明的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本发明的若干实施例。但是, 本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地, 提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
需要说明的是,当元件被称为“固设于”另一个元件,它可以直接在另一个元 件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可 以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂 直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的, 而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造 与操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定与限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、 “固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或 一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通 过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人 员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。本文所使用 的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的与所有的组合。
实施例一
请参阅图1-2,所示为本发明第一实施例提供的一种micro-LED,应用于红 光micro-LED,该micro-LED包括衬底100,衬底100又称之为支撑衬底100, 主要是外延层生长的基石,用于支撑和固定后续外延层,衬底100的选择要与 外延层特性配合要求非常严格,否则会影响外延层的生长及micro-LED的品质。 同时衬底100的选择决定了后续外延层的生长技术、芯片加工技术及发光二极 管的封装技术。在本实施例中,衬底100材料可以为蓝宝石、碳化硅、硅、氧 化镓、氮化镓等。
其中,在衬底100上设有一掩膜层110,利用纳米压印或光刻将所述掩膜层 110刻蚀成特定图形,形成图形化复合衬底100,有助于后续外延层的生长,能 够有效地减少穿透位错密度,提高后续外延层的晶体质量。该掩膜层110是通 过PECVD方法在衬底100上生长SiO2或者SiNx薄膜层,等离子体增强化学气 相沉积(PECVD)是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局 部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积 出所期望的薄膜。具体为,将硅烷(SiH4)、氧气(O2)或者氨气(NH3)气体通入到PECVD的反应腔室中,在衬底100上沉积一层厚度为1000-3000nm的 SiO2或者SiNx薄膜层,将沉积完成的SiO2或者SiNx薄膜层上旋涂一层厚度为 1000-3000nm的光刻胶,采用纳米压印技术或者光刻技术将SiO2或者SiNx薄膜 层制成特定图形,其中,纳米压印技术是通过压印的方式将硅母版上的图形转 移到软模板中,然后继续通过压印的方法将软模板上的图形转移到光刻胶上, 光刻技术是通过紫外光照射将光刻板上的图形转移到到光刻胶上。
另外,将旋涂光刻胶完成的SiO2或者SiNx薄膜层通过ICP(电感耦合等离 子体)刻蚀,其中,电感耦合等离子体(ICP)刻蚀是在电场作用下,刻蚀气体 辉光放电产生高密度等离子体,对所需刻蚀的物质进行物理轰击及化学反应, 以选择性的去除所需去除的区域。具体为,将刻蚀气体三氯化硼(BCl3)通入反应 腔室,通过ICP刻蚀,将SiO2或者SiNx薄膜层刻蚀出特定图形,以使SiO2或 者SiNx薄膜层分别若干周期性排布的外延生长区域,其中,未刻蚀的SiO2或者 SiNx薄膜层的宽度为100-3000nm,刻蚀完成的周期性排布的SiO2或者SiNx薄 膜层的宽度为10-100nm,厚度为100-3000nm。
其中,在图形化复合衬底100上依次设有红光外延准备层200、N型 InbGa1-bN/GaN层300、发光层400、电子阻挡层600、P型InfGa1-fN层700及接 触层800。红光外延准备层200为InaGa1-aN薄膜层,由于micro-LED与GaN基 外延层之间的晶格失配比较大,在外延生长N型InbGa1-bN/GaN层300上预先生 长红光外延准备层200,可以缩小N型InbGa1-bN/GaN层300与衬底100的晶格 失配,以利于后续在晶格不匹配的情况下生长N型InbGa1-bN/GaN层300,避免 N型InbGa1-bN/GaN层300直接沉积在衬底100上存在较大的晶格失配,导致N 型InbGa1-bN/GaN层300与衬底100界面处出现大量的晶格缺陷及位错,导致N 型InbGa1-bN/GaN层300的晶体质量降低,甚至影响micro-LED的性能。
具体为,将图形化复合衬底100转移至MOCVD(金属有机物化学气相沉 积)反应腔室中,其中,金属有机物化学气相沉积(MOCVD)以Ⅲ族、Ⅱ族元 素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反 应方式在衬底100上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以 及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。将温度加热至800-1200℃之间,压力调 节至100-500Torr之间,通入三甲基镓((CH3)3Ga)、三甲基铟(In(CH3)3)及氨 气(NH3),采用氮气(N2)及氢气(H2)作为载气,外延生长形成厚度为100-2000nm的InaGa1-aN薄膜层,作为红光外延准备层200,其中,In的组分a为0-0.2。
其中,在红光外延准备层200上设有N型InbGa1-bN/GaN层300,N型 InbGa1-bN/GaN层300用于提供电子,其拥有多余的电子,N型InbGa1-bN/GaN层 300的电子迁移至发光层400,以达到电子-空穴在发光层400实现辐射复合,从 而实现micro-LED的发光效应。该N型InbGa1-bN/GaN层300为若干个周期超晶 格结构,若干个InbGa1-bN薄膜层/GaN薄膜层形成的周期性的结构,其周期数为 10-30,具体为,通入三甲基镓((CH3)3Ga)、硅烷(SiH4)及氨气(NH3),采用 氮气(N2)及氢气(H2)作为载气,在温度为1000-1200℃之间,压力为100-300Torr 之间,外延生长形成N型InbGa1-bN/GaN层300,其中,InbGa1-bN薄膜层的厚度 为1-5nm,In的组分b为0.01-0.1,GaN薄膜层的厚度为10-50nm。
另外,在N型InbGa1-bN/GaN层300上设有发光层400,发光层400为多量 子阱结构,包括若干个周期IncGa1-cN阱层与IndGa1-dN垒层,该周期数为1-10, 具体为,在反应腔室中通入三乙基镓(Ga(C2H5)3)、三甲基铟(In(CH3)3)及氨 气(NH3),氮气(N2)作为载气,将温度调节至700-800℃之间,压力调节至 100-300Torr之间,外延生长形成厚度为1-5nm的IncGa1- cN阱层,In的组分c为 0.3-0.5,另外,在反应腔室中通入三乙基镓(Ga(C2H5)3)、三甲基铟(In(CH3)3) 及氨气(NH3),氮气(N2)与氢气(H2)作为载气,将温度设置至700-900℃ 之间,压力设置至100-300Torr之间,外延生长形成厚度为5-15nm的IndGa1-dN 垒层,In的组分d为0.01-0.1。N型InbGa1-bN/GaN层300拥有多余的电子,N 型InbGa1-bN/GaN层300的电子迁移至发光层400,P型InfGa1-fN层700拥有多 余的空穴,P型InfGa1-fN层700的空穴迁移至发光层400,以在发光层400的多 量子阱结构中实现电子-空穴辐射复合,从而实现micro-LED的发光效应。
在本实施例中,在发光层400上设有一波导层500,该波导层500为IneGa1-eN 薄膜层,由于后续生长的外延层中的C、Mg、Al等原子扩散会到发光层400的 多量子阱层中,导致多量子阱层中的内量子效率降低,即在多量子阱层中电子- 空穴的辐射复合效率下降,波导层500的设置将阻挡后续生长的外延层的C、 Mg、Al等原子将会扩散到发光层400的多量子阱层中,提高多量子阱层中电子 -空穴的辐射复合效率,从而提高micro-LED的发光效率。同时,由于电子迁移 速率比空穴迁移速率快,N型InbGa1-bN/GaN层300中电子容易向P型InfGa1-fN 层700溢流,在P型InfGa1-fN层700发生电子空穴复合,导致多量子阱层中电 子空穴发生辐射复合的效率降低,从而降低micro-LED的发光效率,该波导层 500可以阻止N型InbGa1-bN/GaN层300的电子溢流至P型InfGa1-fN层700,减 少载流子的泄露,进一步提高电子-空穴的辐射复合效率,进一步提高了 micro-LED的发光效率。
具体为,将温度调节至800-1000℃之间,在反应腔室内通入三乙基镓 (Ga(C2H5)3)、三甲基铟(In(CH3)3)及氨气(NH3),其中,氮气(N2)与氢气 (H2)作为载气,在发光层400上外延生长形成厚度为5-10nm的IneGa1-eN薄 膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
其中,在波导层500上设有电子阻挡层600,该电子阻挡层600为AlGaN 薄膜层,其用于阻挡N型InbGa1-bN/GaN层300的电子向P型InfGa1-fN层700 溢流,具体为,将温度设置为700-800℃之间,压力调整至100-300Torr之间, 在反应腔室中通入三甲基铝(C3H9Al)、三乙基镓(Ga(C2H5)3)及氨气(NH3),在波 导层500上外延生长形成厚度为10-30nm的AlGaN薄膜层。同样的,电子迁移 速率比空穴迁移速率快,N型InbGa1-bN/GaN层300中电子容易向P型InfGa1-fN 层700溢流,在P型InfGa1-fN层700发生电子空穴非辐射复合,该电子阻挡层 600进一步阻止N型InbGa1-bN/GaN层300的电子溢流至P型InfGa1-fN层700, 减少N型InbGa1-bN/GaN层300中电子的泄露,进一步提高在多量子阱中电子- 空穴的辐射复合效率,从而提高了micro-LED的发光效率。
另外,在电子阻挡层600上设有P型InfGa1-fN层700,P型InfGa1-fN层700 用于提供空穴,其拥有多余的空穴,P型InfGa1-fN层700的空穴迁移至发光层 400,电子-空穴在发光层400的多量子阱中实现辐射复合,从而实现micro-LED 的发光效应。该P型InfGa1-fN层700分为两段式生长,首先低温低压生长,其 次式高温高压生长,两段式生长P型InfGa1-fN层700减少晶体内部缺陷,提高 晶体质量,从而提高micro-LED的性能。具体为,首先,在反应腔室通入二茂 镁(Mg(C5H5)2)、三乙基镓(Ga(C2H5)3)及氨气(NH3),载气为氮气(N2)与 氢气(H2),将温度加热至700-900℃之间,压力调整至100-300Torr之间,外延生 长P型InfGa1-fN层700,其次,将温度加热至900-1100℃之间,压力调节至 200-500Torr之间,两段式外延生长形成厚度为100-200nm的P型InfGa1-fN层 700,其中,In的组分f为0.01-0.1。
自然而然,在P型InfGa1-fN层700上设有接触层800,该接触层800为掺 杂IngGa1-gN薄膜层,用于与芯片电极接合时形成欧姆接触,有效地降低电压及 提高亮度。具体为,将温度设置为800-1000℃之间,压力调整至100-400Torr之 间,在反应腔室中通入二茂镁(Mg(C5H5)2)、三乙基镓(Ga(C2H5)3)及氨气(NH3), 载气为氮气(N2)与氢气(H2),外延生长形成厚度为5-30nm的掺杂IngGa1-gN薄 膜层,In的组分g为0.01-0.1,其中,其掺杂剂二茂镁(Mg(C5H5)2)的通入量 为P型InfGa1-fN层700的掺杂剂二茂镁(Mg(C5H5)2)的通入量的5-20倍。
需要说明的是,当在micro-LED两端外加电场,N型InbGa1-bN/GaN层300 作为负极,P型InfGa1-fN层700作为正极,N型InbGa1-bN/GaN层300的电子向 正极P型InfGa1-fN层700方向迁移,P型InfGa1-fN层700的空穴向负极N型 InbGa1-bN/GaN层300方向迁移,两侧迁移的电子与空穴在发光层400会合,在发 光层400的多量子阱层内电子-空穴发生辐射复合,从而形成micro-LED发光效 应。但是,P型InfGa1-fN层700中的C、Mg、Al等原子扩散将会到发光层400 的多量子阱层中,导致多量子阱层中的内量子效率降低,即在多量子阱层中电 子-空穴的辐射复合效率下降,在发光层400与电子阻挡层600之间设有波导层 500,将阻挡P型InfGa1-fN层700的C、Mg、Al等原子扩散会到发光层400的 多量子阱层中,提高多量子阱层中电子-空穴的辐射复合效率,从而提高 micro-LED的发光效率。同时,由于电子迁移速率比空穴迁移速率快,N型 InbGa1-bN/GaN层300中电子容易向P型InfGa1-fN层700溢流,在P型InfGa1-fN 层700发生电子空穴非辐射复合,导致多量子阱层中电子空穴发生辐射复合的效率降低,从而降低micro-LED的发光效率,该波导层500可以阻止N型 InbGa1-bN/GaN层300的电子溢流至P型InfGa1-fN层700,减少载流子的泄露, 进一步提高电子-空穴的辐射复合效率,进一步提高了micro-LED的发光效率。 在本实施例中的Micro-LED外延结构,其外量子效率在8A/cm2的电流密度下, 相比于传统外延结构提升约10%。
相比于现有技术,本实施例提供的micro-LED,有益效果在于:通过本发明 提供的micro-LED,在发光层与电子阻挡层之间设有一波导层,该波导层为 IneGa1-eN薄膜层,能阻挡后续外延生长的外延层中的C、Mg、Al等原子扩散到 发光层中,从而提高发光层中电子-空穴的辐射复合效率,提高micro-LED的发 光效率,同时,该波导层可以阻挡N型InbGa1-bN/GaN的电子溢流至P型InfGa1-fN 层,减少载流子的泄露,进一步提高电子-空穴的辐射复合效率,进一步提高了 micro-LED的发光效率,从而解决了普遍存在外延层中杂质扩散至发光层中,导 致发光效率低下的技术问题。除此之外,图形化复合衬底有助于外延层的生长,能够有效减少穿透位错密度,提高外延层的晶体质量。
实施例二
请参阅图2,所示为本发明第二实施例提供的一种micro-LED的制备方法, 所述制备方法包括步骤S10-S13:
步骤S10,提供一衬底;
衬底是外延层生长的基板,用于支撑和固定后续外延层,衬底的选择要与 外延层特性配合要求非常严格,否则会影响外延层的生长及micro-LED的品质。 衬底的选择决定了后续外延层的生长技术、芯片加工技术及发光二极管的封装 技术。在本实施例中,衬底材料可以为蓝宝石、碳化硅、硅、氧化镓、氮化镓 等。
步骤S11,在所述衬底上生长掩膜层以形成图形化复合衬底;
其中,在衬底上形成图形化复合衬底,有助于后续外延层的生长,能够有 效地减少穿透位错密度,提高后续外延层的晶体质量。
具体为,将硅烷(SiH4)、氧气(O2)或者氨气(NH3)气体通入到PECVD 的反应腔室中,在衬底上沉积一层厚度为1000-3000nm的SiO2或者SiNx薄膜层, 作为掩膜层。其中,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是借助微波或射频 等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活 性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
其次,将在衬底上沉积完成的SiO2或者SiNx薄膜层上旋涂一层光刻胶,光 刻胶的厚度为1000-3000nm,采用纳米压印技术或者光刻技术将SiO2或者SiNx薄膜层制成特定图形,其中,纳米压印技术是通过压印的方式将硅母版上的图 形转移到软模板中,然后继续通过压印的方法将软模板上的图形转移到光刻胶 上,光刻技术是通过紫外光照射将光刻板上的图形转移到到光刻胶上。
最后,将刻蚀气体三氯化硼(BCl3)通入反应腔室,通过ICP(电感耦合等离 子体)刻蚀,将外延宽度为100-3000nm的SiO2或者SiNx薄膜层刻蚀出特定图 形,以使SiO2或者SiNx薄膜层分别若干周期性排布的外延生长区域,周期性排 布的SiO2或者SiNx薄膜层的宽度为10-100nm,厚度为100-3000nm。其中,电 感耦合等离子体(ICP)刻蚀是在电场作用下,刻蚀气体辉光放电产生高密度等 离子体,对所需刻蚀的物质进行物理轰击及化学反应,以选择性的去除所需去 除的区域。
步骤S12,在所述图形化复合衬底上依次生长红光外延准备层、N型 InbGa1-bN/GaN层、发光层、电子阻挡层、P型InfGa1-fN层及接触层;
其中,在图形化复合衬底上外延生长红光外延准备层,在外延生长N型 InbGa1-bN/GaN层上预先生长红光外延准备层,可以缩小N型InbGa1-bN/GaN层 与衬底的晶格失配,减少N型InbGa1-bN/GaN层外延生长时因晶格失配较大造成 的晶体缺陷及位错,提高N型InbGa1- bN/GaN层外延生长的晶体质量,从而提高 micro-LED的性能。
具体为,将温度设置为800-1200℃之间,压力设置为100-500Torr之间,通 入三甲基镓((CH3)3Ga)、三甲基铟(In(CH3)3)及氨气(NH3),采用氮气(N2) 及氢气(H2)作为载气,在图形化复合衬底上外延生长形成厚度为100-2000nm 的InaGa1-aN薄膜层,作为红光外延准备层,其中,In的组分a为0-0.2。
另外,在InaGa1-aN红光外延准备层上外延生长N型InbGa1-bN/GaN层,N 型InbGa1-bN/GaN层用于提供电子,其拥有多余的电子,N型InbGa1-bN/GaN层 的电子迁移至发光层,以达到电子-空穴在发光层实现辐射复合,从而实现micro-LED的发光效应。该N型InbGa1-bN/GaN层为若干个周期超晶格结构,包 括10-30个InbGa1-bN薄膜层/GaN薄膜层形成的周期性的结构。
具体为,在反应腔室中通入三甲基镓((CH3)3Ga)、硅烷(SiH4)及氨气(NH3), 采用氮气(N2)及氢气(H2)作为载气,生长温度在1000-1200℃之间,压力在 100-300Torr之间,在InaGa1-aN红光外延准备层上外延生长形成N型 InbGa1-bN/GaN层,其中,InbGa1-bN薄膜层的厚度为1-5nm,In的组分b为0.01-0.1, GaN薄膜层的厚度为10-50nm。
其中,在N型InbGa1-bN/GaN层上外延生长发光层,发光层为多量子阱结 构,包括若干个周期IncGa1-cN阱层与IndGa1-dN垒层,该周期数为1-10。N型 InbGa1-bN/GaN层的电子迁移至发光层,P型InfGa1-fN层的空穴迁移至发光层, 以在发光层的多量子阱结构中实现电子-空穴辐射复合,从而实现micro-LED的 发光效应。
具体为,在反应腔室中通入三乙基镓(Ga(C2H5)3)、三甲基铟(In(CH3)3) 及氨气(NH3),氮气(N2)作为载气,将温度调节至700-800℃之间,压力调节 至100-300Torr之间,外延生长形成厚度为1-5nm的IncGa1-cN阱层,In的组分c 为0.3-0.5;另外,在反应腔室中通入三乙基镓(Ga(C2H5)3)、三甲基铟(In(CH3)3) 及氨气(NH3),氮气(N2)与氢气(H2)作为载气,将温度设置至700-900℃ 之间,压力设置至100-300Torr之间,外延生长形成厚度为5-15nm的IndGa1-dN 垒层,In的组分d为0.01-0.1。
另外,电子阻挡层为AlGaN薄膜层,其用于阻挡N型InbGa1-bN/GaN层的 电子向P型InfGa1-fN层溢流。需要说明的是,电子迁移速率比空穴迁移速率快, N型InbGa1-bN/GaN层中电子容易向P型InfGa1-fN层溢流,在P型InfGa1-fN层 中发生电子空穴非辐射复合,AlGaN电子阻挡层将会阻挡N型InbGa1-bN/GaN 层的电子溢流至P型InfGa1-fN层,减少N型InbGa1-bN/GaN层中电子的泄露发 生非辐射复合,提高多量子阱中电子-空穴的辐射复合效率,从而提高了 micro-LED的发光效率。
具体为,将温度加热至700-800℃之间,压力调节至100-300Torr之间,在 反应腔室中通入三甲基铝(C3H9Al)、三乙基镓(Ga(C2H5)3)及氨气(NH3),外延生 长形成厚度为10-30nm的AlGaN薄膜层。
自然而然,在AlGaN电子阻挡层上外延生长P型InfGa1-fN层,P型InfGa1-fN 层用于提供空穴,其拥有多余的空穴,P型InfGa1-fN层的空穴迁移至发光层, 电子-空穴在发光层的多量子阱中实现辐射复合,从而实现micro-LED的发光效 应。P型InfGa1-fN层分为低温低压及高温高压的两段式生长,两段式生长利于 减少晶体内部缺陷,提高晶体质量,从而提高micro-LED的性能。
具体为,在反应腔室通入二茂镁(Mg(C5H5)2)、三乙基镓(Ga(C2H5)3)及 氨气(NH3),载气为氮气(N2)与氢气(H2),首先,将温度加热至700-900℃之 间,压力调整至100-300Torr之间,其次,将温度加热至900-1100℃之间,压力 调节至200-500Torr之间,在AlGaN电子阻挡层外延生长形成厚度为100-200nm 的P型InfGa1-fN层,其中,In的组分f为0.01-0.1。
其中,在P型InfGa1-fN层上外延生长接触层,该接触层为掺杂IngGa1-gN薄 膜层,用于与芯片电极接合时形成欧姆接触,有效地降低电压及提高亮度。
具体为,将温度设置为800-1000℃之间,压力调整至100-400Torr之间,在 反应腔室中通入二茂镁(Mg(C5H5)2)、三乙基镓(Ga(C2H5)3)及氨气(NH3), 载气为氮气(N2)与氢气(H2),在P型InfGa1-fN层上外延生长形成厚度为5-30nm 的掺杂IngGa1-gN薄膜层,In的组分g为0.01-0.1,其中,其掺杂剂二茂镁 (Mg(C5H5)2)的通入量为P型InfGa1-fN层的掺杂剂二茂镁(Mg(C5H5)2)的通 入量的5-20倍。
需要说明的是,在micro-LED两端外加电场,N型InbGa1-bN/GaN层作为负 极,P型InfGa1-fN层作为正极,N型InbGa1-bN/GaN层的电子向正极P型InfGa1-fN 层方向迁移,P型InfGa1-fN层的空穴向负极N型InbGa1-bN/GaN层方向迁移,两 侧迁移的电子与空穴在发光层会合,在发光层的多量子阱层内电子-空穴发生辐 射复合,从而形成micro-LED发光效应。
步骤S13,通过在发光层及电子阻挡层之间外延生长一波导层,其中,所述 波导层为IneGa1-eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
其中,在发光层及电子阻挡层之间外延生长波导层,该波导层为IneGa1-eN 薄膜层,由于后续生长的外延层中的C、Mg、Al等原子将会扩散到发光层的多 量子阱层中,外延层中的C、Mg、Al等原子与电子空穴复合,导致在多量子阱 层中电子-空穴的辐射复合效率下降,波导层的设置将阻挡后续生长的外延层的 C、Mg、Al等原子扩散会到发光层的多量子阱层中,提高多量子阱层中电子- 空穴的辐射复合效率,从而提高micro-LED的发光效率。同时,由于电子迁移 速率比空穴迁移速率快,N型InbGa1-bN/GaN层中电子容易向P型InfGa1- fN层溢 流,在P型InfGa1-fN层中发生电子空穴非辐射复合,导致多量子阱层中电子空 穴发生辐射复合的效率降低,该波导层可以阻止N型InbGa1-bN/GaN层的电子溢 流至P型InfGa1-fN层,减少载流子的泄露,进一步提高电子-空穴的辐射复合效 率,进一步提高了micro-LED的发光效率。在本实施例中,该Micro-LED外延 结构的外量子效率在8A/cm2的电流密度下,相比于传统外延结构提升约10%。
具体为,将温度调节至800-1000℃之间,在反应腔室内通入三乙基镓 (Ga(C2H5)3)、三甲基铟(In(CH3)3)及氨气(NH3),其中,氮气(N2)与氢气 (H2)作为载气,在发光层上外延生长形成厚度为5-10nm的IneGa1-eN薄膜层, 其中,In的组分e为0.01-0.1。
相比于现有技术,本实施例提供的micro-LED的制备方法,有益效果在于: 通过本发明提供的micro-LED的制备方法,在发光层与电子阻挡层之间设有一 外延生长波导层,该波导层为IneGa1-eN薄膜层,能阻挡后续外延生长的外延层 中的C、Mg、Al等原子扩散到发光层中,阻止外延层中的C、Mg、Al等原子 与电子空穴复合,从而提高发光层中电子-空穴的辐射复合效率,提高micro-LED 的发光效率,同时,该波导层可以阻挡N型InbGa1-bN/GaN层的电子溢流至P 型InfGa1-fN层,减少载流子的泄露,进一步提高电子-空穴的辐射复合效率,进 一步提高了micro-LED的发光效率,从而解决了普遍存在外延层中杂质扩散至 发光层中,导致发光效率低下的技术问题。除此之外,图形化复合衬底有助于 外延层的生长,能够有效减少穿透位错密度,提高外延层的晶体质量。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、 “具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特 征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明 书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描 述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中 以合适的方式结合。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体与详细, 但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域 的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形与 改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附 权利要求为准。
Claims (10)
1.一种micro-LED,应用于红光micro-LED,其特征在于,所述micro-LED包括:
衬底;
在所述衬底上依次设有红光外延准备层、N型InbGa1-bN/GaN层、发光层、电子阻挡层、P型InfGa1-fN层及接触层;
在所述发光层与电子阻挡层之间设有一波导层,所述波导层为IneGa1-eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
2.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述波导层的厚度为5-10nm。
3.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述N型InbGa1-bN/GaN层为若干个周期超晶格结构,其中,InbGa1-bN薄膜层的厚度为1-5nm,In的组分b为0.01-0.1,GaN薄膜层的厚度为10-50nm。
4.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述P型InfGa1-fN层的厚度为100-200nm,其中,In的组分f为0.01-0.1。
5.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述发光层为多量子阱层结构,包括若干个周期IncGa1-cN阱层与IndGa1-dN垒层,其中,IncGa1-cN阱层的厚度为1-5nm,In的组分c为0.3-0.5,IndGa1-dN垒层的厚度为5-15nm,In的组分d为0.01-0.1。
6.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述衬底上设有一掩膜层,利用纳米压印或光刻将所述掩膜层刻蚀成特定图形,形成图形化复合衬底。
7.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述红光外延准备层为InaGa1-aN薄膜层,其中,所述红光外延准备层的厚度为100-2000nm,In的组分a为0-0.2。
8.根据权利要求1所述的micro-LED,其特征在于,所述接触层为掺杂IngGa1-gN薄膜层,In的组分g为0.01-0.1。
9.一种micro-LED的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
提供一衬底;
在所述衬底上生长掩膜层以形成图形化复合衬底;
在所述图形化复合衬底上依次生长红光外延准备层、N型InbGa1-bN/GaN层、发光层、电子阻挡层、P型InfGa1-fN层及接触层;
通过在发光层及电子阻挡层之间外延生长一波导层,其中,所述波导层为IneGa1-eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
10.根据权利要求9所述的发光二极管的制备方法,其特征在于,所述波导层的生长步骤包括:
将温度设置为800-100℃之间,在反应腔室内通入三乙基镓、三甲基铟及氨气,其中,氮气与氢气作为载气,在发光层上外延生长形成厚度为5-10nm的IneGa1-eN薄膜层,其中,In的组分e为0.01-0.1。
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