CN114561620B - 一种多弧离子镀弧源伸缩装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多弧离子镀弧源伸缩装置，包括法兰，所述法兰前端壁体上设有端盖，所述端盖前端中心位置的壁体上设有磁铁调节杆，所述端盖前端在位于磁铁调节杆上方与下方位置的壁体上均设有接头，所述第一固定座前端在位于端盖两侧位置的壁体上均设有循环水管，所述端盖后端壁体上设有靶材，所述法兰前端在位于端盖上方位置的壁体上设有第一固定座。本发明所述的一种多弧离子镀弧源伸缩装置，涉及多弧离子镀设备技术领域，通过在密封轴前端壁体上设置的安装板便于整个机构的安装与使用。通过在安装板内设置的连接架与第二限位杆、螺杆的设置，便于将安装板固定在套杆内或者将安装板以及安装板固定在驱动块上。
Description
技术领域
本发明涉及多弧离子镀设备技术领域，特别涉及一种多弧离子镀弧源伸缩装置。
背景技术
多弧离子镀膜机是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的工艺仪器，一般是用于金属、陶瓷、玻璃等材质表面镀制各种硬质金属膜、金属化合物膜及装饰膜。
并且在多弧离子镀膜机中一般会使用各种型号的弧源对产品进行多弧离子镀膜，但是，大部分的离子弧源的引弧针都是通过气缸进行驱动调节的，因此，当气缸因故障等原因无法正常运行时，且离子弧源的引弧针安装用密封轴是固定连接在气缸的伸缩轴上的，因此，当气缸无法正常运行时，对引弧针的调节无法进行，因而影响到对产品的镀膜以及整体设备的运行。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多弧离子镀弧源伸缩装置，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种多弧离子镀弧源伸缩装置，包括法兰，所述法兰前端壁体上设有端盖，所述端盖前端中心位置的壁体上设有磁铁调节杆，所述端盖前端在位于磁铁调节杆上方与下方位置的壁体上均设有接头，所述第一固定座前端在位于端盖两侧位置的壁体上均设有循环水管，所述端盖后端壁体上设有靶材，所述法兰前端在位于端盖上方位置的壁体上设有第一固定座，所述法兰前端还在位于第一固定座两侧位置的壁体上对称设有第二固定座，所述第二固定座前端壁体上设有导向杆，两个所述导向杆壁体之间对称设有两个连接板，其中所述连接板前端中心位置的壁体上设有气缸，所述第一固定座中心位置的壁体中贯穿设有密封轴，所述密封轴前端壁体上设有调节机构，所述调节机构包括安装板，所述安装板一侧壁体中设有连接架，所述调节机构还包括在其中所述导向杆壁体中设有的调节杆，所述密封轴后端壁体上设有引弧针。
优选的，所述密封轴前端壁体上设有第一限位杆，所述第一限位杆通过焊接的方式固定安装在密封轴前端壁体上，所述气缸的伸缩轴后端壁体上固定安装有套杆，所述套杆壁体中开设有伸缩槽，所述套杆通过伸缩槽穿插安装在第一限位杆上，所述套杆在靠近密封轴一侧的壁体中开设有第一限位槽。
优选的，其中所述导向杆壁体中开设有方形滑槽，所述导向杆前端壁体中开设有转槽，所述导向杆顶部壁体中开设有刻度槽，所述导向杆内还设有驱动块。
优选的，所述调节杆后端杆体穿插安装在方形滑槽内后端壁体的轴承中，所述调节杆后端外壁上设有螺纹，所述调节杆前端壁体上设有第一旋钮块，所述第一旋钮块后端壁体通过焊接的方式固定安装在调节杆前端壁体上，所述第一旋钮块后端在位于调节杆外侧位置的壁体上还固定安装有固定环，且所述固定环安装在导向杆前端的转槽中。
优选的，所述驱动块中心位置的壁体中开设有第一螺孔，所述驱动块一侧后端壁体中开设有第二限位槽，所述驱动块滑动安装在方形滑槽内，且所述第一螺孔安装在调节杆外壁的螺纹上。
优选的，所述安装板通过靠近密封轴一侧的壁体固定安装在密封轴上，所述安装板在远离密封轴的一侧壁体中开设有穿孔，所述安装板一侧壁体通过穿孔穿插安装在对应的导向杆上，所述安装板在位于穿孔上方与下方位置的壁体中均开设有安装孔，所述安装板在位于穿孔一侧位置的壁体中还开设有安装腔体，且所述安装腔体与两个安装孔之间腔体连通，所述安装腔体内设有螺杆。
优选的，所述安装板一侧壁体上固定安装有第二限位杆，所述连接架另一侧壁体上固定安装有固定块，所述固定块中心位置的壁体中开设有第二螺孔，所述连接架穿插安装在安装板内的安装孔中，且所述固定块通过连接架放置在安装腔体内。
优选的，所述螺杆一侧杆体贯穿安装板一侧壁体以及固定块壁体中的第二螺孔并穿插安装在安装腔体内一侧壁体的轴承中，所述螺杆另一侧壁体上固定安装有第二旋钮块。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
本发明所述的一种多弧离子镀弧源伸缩装置：
1、通过在密封轴前端壁体上设置的安装板便于整个机构的安装与使用。
2、通过在安装板内设置的连接架与第二限位杆、螺杆的设置，便于将安装板固定在套杆内或者将安装板以及安装板固定在驱动块上。
3、通过调节杆能够使得驱动块配合第二限位杆带动安装板与密封轴进行调节，进而便于对引弧针的位置进行调节。
附图说明
图1为本发明的主体结构示意图；
图2为本发明的主体结构后视图；
图3为本发明的调节机构结构拆分图；
图4为图3中A处的放大图；
图5为本发明的套杆结构示意图；
图6为本发明的驱动块结构示意图；
图7为本发明的连接架结构示意图。
图中：1、法兰；2、端盖；3、接头；4、磁铁调节杆；5、循环水管；6、靶材；7、第一固定座；8、第二固定座；9、导向杆；10、连接板；11、气缸；12、密封轴；13、调节机构；14、安装板；15、连接架；16、调节杆；17、引弧针；18、第一限位杆；19、套杆；20、伸缩槽；21、第一限位槽；22、方形滑槽；23、转槽；24、螺纹；25、第一旋钮块；26、固定环；27、驱动块；28、第一螺孔；29、第二限位槽；30、穿孔；31、安装孔；32、安装腔体；33、第二限位杆；34、固定块；35、第二螺孔；36、螺杆；37、第二旋钮块；38、刻度槽。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1-图7所示，本发明提供的一种多弧离子镀弧源伸缩装置，包括法兰1，法兰1前端壁体上设有端盖2，端盖2前端中心位置的壁体上设有磁铁调节杆4，端盖2前端在位于磁铁调节杆4上方与下方位置的壁体上均设有接头3，第一固定座7前端在位于端盖2两侧位置的壁体上均设有循环水管5，端盖2后端壁体上设有靶材6，法兰1前端在位于端盖2上方位置的壁体上设有第一固定座7，法兰1前端还在位于第一固定座7两侧位置的壁体上对称设有第二固定座8，第二固定座8前端壁体上设有导向杆9，两个导向杆9壁体之间对称设有两个连接板10，其中连接板10前端中心位置的壁体上设有气缸11，第一固定座7中心位置的壁体中贯穿设有密封轴12，密封轴12前端壁体上设有调节机构13，调节机构13包括安装板14，安装板14一侧壁体中设有连接架15，调节机构13还包括在其中导向杆9壁体中设有的调节杆16，密封轴12后端壁体上设有引弧针17。
在本实施例中，密封轴12前端壁体上设有第一限位杆18，第一限位杆18通过焊接的方式固定安装在密封轴12前端壁体上，气缸11的伸缩轴后端壁体上固定安装有套杆19，套杆19壁体中开设有伸缩槽20，套杆19通过伸缩槽20穿插安装在第一限位杆18上，套杆19在靠近密封轴12一侧的壁体中开设有第一限位槽21。
在本实施例中，其中导向杆9壁体中开设有方形滑槽22，导向杆9前端壁体中开设有转槽23，导向杆9顶部壁体中开设有刻度槽38，导向杆9内还设有驱动块27。
在本实施例中，调节杆16后端杆体穿插安装在方形滑槽22内后端壁体的轴承中，调节杆16后端外壁上设有螺纹24，调节杆16前端壁体上设有第一旋钮块25，第一旋钮块25后端壁体通过焊接的方式固定安装在调节杆16前端壁体上，第一旋钮块25后端在位于调节杆16外侧位置的壁体上还固定安装有固定环26，且固定环26安装在导向杆9前端的转槽23中。
在本实施例中，驱动块27中心位置的壁体中开设有第一螺孔28，驱动块27一侧后端壁体中开设有第二限位槽29，驱动块27滑动安装在方形滑槽22内，且第一螺孔28安装在调节杆16外壁的螺纹24上。
在本实施例中，安装板14通过靠近密封轴12一侧的壁体固定安装在密封轴12上，安装板14在远离密封轴12的一侧壁体中开设有穿孔30，安装板14一侧壁体通过穿孔30穿插安装在对应的导向杆9上，安装板14在位于穿孔30上方与下方位置的壁体中均开设有安装孔31，安装板14在位于穿孔30一侧位置的壁体中还开设有安装腔体32，且安装腔体32与两个安装孔31之间腔体连通，安装腔体32内设有螺杆36。
在本实施例中，安装板14一侧壁体上固定安装有第二限位杆33，连接架15另一侧壁体上固定安装有固定块34，固定块34中心位置的壁体中开设有第二螺孔35，连接架15穿插安装在安装板14内的安装孔31中，且固定块34通过连接架15放置在安装腔体32内，通过连接架15与第二限位杆33的设置，便于配合螺杆36将安装板14限位在套杆19或者驱动块27上。
在本实施例中，螺杆36一侧杆体贯穿安装板14一侧壁体以及固定块34壁体中的第二螺孔35并穿插安装在安装腔体32内一侧壁体的轴承中，螺杆36另一侧壁体上固定安装有第二旋钮块37，通过螺杆36的设置，能够对连接架15以及第二限位杆33的位置进行调节与固定。
需要说明的是，本发明为一种多弧离子镀弧源伸缩装置，当通过气缸11对密封轴12进行驱动调节时，只需连接架15在安装板14内保持原位，即连接架15壁体上的第二限位杆33一侧杆体卡装在套杆19一侧的第一限位槽21中，进而使得气缸11的伸缩轴驱动套杆19移动时，套杆19因受到第二限位杆33的限位，进而通过第二限位杆33带动安装板14移动，进而使得安装板14带动密封轴12移动，进而使得密封轴12能够对其后端壁体上的引弧针17进行位置调节。
另外，当气缸11因故障等原因无法正常运转时，只需将安装板14一侧的第二旋钮块37进行转动，进而使得第二旋钮块37带动螺杆36转动，进而使得螺杆36一端杆体在安装腔体32内一侧壁体的轴承中转动，同时螺杆36还在固定块34壁体内的第二螺孔35中旋动，同时，由于连接架15穿插安装在两个安装孔31内限位，进而螺杆36在第二螺孔35中转动时，固定块34带动连接架15在安装孔31内做水平移动，进而使得连接架15带动另一侧壁体的第二限位杆33移动，进而使得第二限位杆33一端杆体从套杆19一侧的第一限位槽21中脱离，同时，在连接架15的移动下，第二限位杆33的另一侧杆体穿过导向杆9一侧的滑口以及安装板14一侧壁体的滑口卡装在驱动块27一侧的第二限位槽29中，随后，将第一旋钮块25转动，进而使得第一旋钮块25带动调节杆16转动，进而使得调节杆16后端杆体在方形滑槽22内后端壁体的轴承中转动，同时，通过第一旋钮块25后端壁体的固定环26在转槽23中转动，保障调节杆16的稳定转动，当调节杆16在方形滑槽22内转动时，其调节杆16后端杆体通过螺纹24在驱动块27壁体内的第一螺孔28中转动，进而使得驱动块27受到方形滑槽22限位而水平移动，进而使得驱动块27在方形滑槽22内移动并通过第二限位槽29带动第二限位杆33移动，进而使得第二限位杆33带动连接架15以及安装板14移动，进而可通过安装板14带动密封轴12移动，进而对引弧针17的位置进行手动调节。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种多弧离子镀弧源伸缩装置，包括法兰(1)，所述法兰(1)前端壁体上设有端盖(2)，所述端盖(2)前端中心位置的壁体上设有磁铁调节杆(4)，所述端盖(2)前端在位于磁铁调节杆(4)上方与下方位置的壁体上均设有接头(3)，所述法兰(1)前端在位于端盖(2)两侧位置的壁体上均设有循环水管(5)，所述端盖(2)后端壁体上设有靶材(6)，所述法兰(1)前端在位于端盖(2)上方位置的壁体上设有第一固定座(7)，所述法兰(1)前端还在位于第一固定座(7)两侧位置的壁体上对称设有第二固定座(8)，所述第二固定座(8)前端壁体上设有导向杆(9)，两个所述导向杆(9)壁体之间对称设有两个连接板(10)，其中所述连接板(10)前端中心位置的壁体上设有气缸(11)，其特征在于：所述第一固定座(7)中心位置的壁体中贯穿设有密封轴(12)，所述密封轴(12)前端壁体上设有调节机构(13)；
所述调节机构(13)包括安装板(14)，所述安装板(14)一侧壁体中设有连接架(15)，所述调节机构(13)还包括在其中所述导向杆(9)壁体中设有的调节杆(16)，所述密封轴(12)后端壁体上设有引弧针(17)，所述安装板(14)通过靠近密封轴(12)一侧的壁体固定安装在密封轴(12)上，所述安装板(14)在远离密封轴(12)的一侧壁体中开设有穿孔(30)，所述安装板(14)一侧壁体通过穿孔(30)穿插安装在对应的导向杆(9)上，所述安装板(14)在位于穿孔(30)上方与下方位置的壁体中均开设有安装孔(31)，所述安装板(14)在位于穿孔(30)一侧位置的壁体中还开设有安装腔体(32)，且所述安装腔体(32)与两个安装孔(31)之间腔体连通，所述安装腔体(32)内设有螺杆(36)，所述安装板(14)一侧壁体上固定安装有第二限位杆(33)，所述连接架(15)另一侧壁体上固定安装有固定块(34)，所述固定块(34)中心位置的壁体中开设有第二螺孔(35)，所述连接架(15)穿插安装在安装板(14)内的安装孔(31)中，且所述固定块(34)通过连接架(15)放置在安装腔体(32)内，所述螺杆(36)一侧杆体贯穿安装板(14)一侧壁体以及固定块(34)壁体中的第二螺孔(35)并穿插安装在安装腔体(32)内一侧壁体的轴承中，所述螺杆(36)另一侧壁体上固定安装有第二旋钮块(37)。
2.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀弧源伸缩装置，其特征在于：所述密封轴(12)前端壁体上设有第一限位杆(18)，所述第一限位杆(18)通过焊接的方式固定安装在密封轴(12)前端壁体上，所述气缸(11)的伸缩轴后端壁体上固定安装有套杆(19)，所述套杆(19)壁体中开设有伸缩槽(20)，所述套杆(19)通过伸缩槽(20)穿插安装在第一限位杆(18)上，所述套杆(19)在靠近密封轴(12)一侧的壁体中开设有第一限位槽(21)。
3.根据权利要求2所述的一种多弧离子镀弧源伸缩装置，其特征在于：其中所述导向杆(9)壁体中开设有方形滑槽(22)，所述导向杆(9)前端壁体中开设有转槽(23)，所述导向杆(9)顶部壁体中开设有刻度槽(38)，所述导向杆(9)内还设有驱动块(27)。
4.根据权利要求3所述的一种多弧离子镀弧源伸缩装置，其特征在于：所述调节杆(16)后端杆体穿插安装在方形滑槽(22)内后端壁体的轴承中，所述调节杆(16)后端外壁上设有螺纹(24)，所述调节杆(16)前端壁体上设有第一旋钮块(25)，所述第一旋钮块(25)后端壁体通过焊接的方式固定安装在调节杆(16)前端壁体上，所述第一旋钮块(25)后端在位于调节杆(16)外侧位置的壁体上还固定安装有固定环(26)，且所述固定环(26)安装在导向杆(9)前端的转槽(23)中。
5.根据权利要求4所述的一种多弧离子镀弧源伸缩装置，其特征在于：所述驱动块(27)中心位置的壁体中开设有第一螺孔(28)，所述驱动块(27)一侧后端壁体中开设有第二限位槽(29)，所述驱动块(27)滑动安装在方形滑槽(22)内，且所述第一螺孔(28)安装在调节杆(16)外壁的螺纹(24)上。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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