CN114527893B - 具有顶部屏蔽和/或底部屏蔽的触摸传感器面板 - Google Patents

具有顶部屏蔽和/或底部屏蔽的触摸传感器面板 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种触摸传感器面板。该触摸传感器面板可包括：第一衬底层；第一电极层，该第一电极层包括触摸电极和迹线中的一者或多者，该迹线被配置为将触摸电极耦接至感测电路，第一电极层位于第一衬底层的第一侧；第二电极层，该第二电极层位于第一衬底层的第一侧；钝化层，所述钝化层设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间；和第三电极层，该第三电极层位于第一衬底层的第二侧，该第二侧不同于第一衬底层的第一侧。第一电极层可由第一导电材料构成，第二电极层可由第二导电材料构成，并且第三电极层可由第三导电材料构成。触摸传感器面板可不包括在第一衬底层和第二电极层之间的第二衬底层。

Description

具有顶部屏蔽和/或底部屏蔽的触摸传感器面板
相关申请的交叉引用
本申请是国际申请日为2017年9月22日、国际申请号PCT/US2017/053075、于2019年2月27日进入中国国家阶段、中国国家申请号201780053094.0、发明名称为“具有顶部屏蔽和/或底部屏蔽的触摸传感器面板”的发明专利申请的分案申请。
本专利申请根据35USC 119(e)规定要求2016年9月23日提交的美国专利申请No.62/399,182的权益，其内容全文以引用方式并入本文以用于所有目的。
技术领域
本文整体涉及触摸传感器面板，并且更具体地涉及屏蔽外部噪声的触摸传感器面板。
背景技术
当前很多类型的输入设备可用于在计算系统中执行操作，诸如按钮或按键、鼠标、轨迹球、操纵杆、触摸传感器面板、触摸屏等等。具体地，触摸屏因其在操作方面的简便性和灵活性以及其不断下降的价格而变得日益受欢迎。触摸屏可包括触摸传感器面板和显示设备诸如液晶显示器(LCD)，该触摸传感器面板可以是具有触敏表面的透明面板，该显示设备可部分地或完全地被定位在面板的后面，使得触敏表面可覆盖显示设备的可视区域的至少一部分。触摸屏可允许用户通过使用手指、触笔或其他对象在由显示设备所显示的用户界面(UI)通常指示的位置处触摸触摸传感器面板来执行各种功能。一般来讲，触摸屏可识别触摸和触摸在触摸传感器面板上的位置，并且计算系统然后可根据触摸发生时出现的显示内容来解释触摸，并且然后可基于触摸来执行一个或多个动作。就一些触摸感测系统而言，检测触摸不需要显示器上的物理触摸。例如，在一些电容式触摸感测系统中，用于检测触摸的边缘电场可能会延伸超过显示器的表面，并且接近表面的对象可能被检测出在表面附近而无需实际接触表面。
一些电容式触摸传感器面板可由板(例如触摸电极)的矩阵形成，该板由导电材料形成(例如氧化铟锡(ITO))并耦接至由导电材料(例如铜)形成的路由迹线。在一些示例中，板和路由迹线可由相同的导电材料形成。在一些示例中，路由迹线可包括由第一导电材料(例如ITO)形成的第一部分和由第二导电材料(例如铜)形成的第二部分，其在一些示例中可覆盖在第一导电材料上。例如，覆盖显示器的可视区的路由迹线的第一部分可由透明导电材料(例如ITO)形成，使得能够透过第一部分看见可视区，而延伸到可视区的外部的路由迹线的第二部分可由不透明导电材料(例如铜)形成。
一些触摸屏可通过将触摸感测电路部分地集成到显示器像素层叠结构(即，形成显示器像素的堆叠材料层)中来形成。然而，触摸电极和路由迹线可易受来自触摸传感器面板上方和/或下方的噪声的影响。例如，环境噪声，包括触摸传感器面板上方的物体诸如人指与路由迹线之间的电容耦合，可干扰触摸传感器面板的正确操作。相似地，在一些示例中可被定位在触摸传感器面板下方的触摸屏中的显示电路可出现噪声，该噪声干扰触摸传感器面板检测电容变化的能力。希望使触摸电极和路由迹线屏蔽来自触摸传感器面板上方和/或下方的噪声。一些触摸传感器面板使用包括两个衬底材料(例如环烯烃聚合物)层的层压体来完成该功能，其中导电材料被施加至两个衬底层中的每一个上。使用此类双衬底结构制造触摸传感器面板可为高成本且复杂的。此外，每个衬底都有助于增加触摸传感器面板的厚度。希望通过消除衬底层的使用或通过用独立式衬底层替代集成到显示器中的衬底层来降低制造触摸传感器面板的成本和复杂度并且减小触摸传感器面板的厚度。
发明内容
本公开的一些示例涉及通过消除衬底层并同时保留触摸传感器面板屏蔽噪声源的能力来减少触摸传感器面板的成本和厚度。本公开的一些示例涉及通过使用诸如可集成到显示器中的偏振器而非独立式衬底层并且同时保留触摸传感器面板屏蔽噪声源的能力来减少触摸传感器面板的成本和厚度。应当理解，尽管本公开以举例的方式提及触摸屏，但是本公开并不限于触摸屏，而是同样适用于可与或可不与显示器集成的触摸传感器面板。
附图说明
图1A-1E示出了各自包括根据本公开的示例的示例性触摸屏的示例性移动电话、示例性媒体播放器、示例性个人计算机、示例性平板电脑和示例性可穿戴设备。
图2是示例性计算系统的框图，其示出了根据本公开的示例的示例性自电容触摸屏的一个具体实施。
图3A示出了根据本公开的示例的与自电容触摸节点电极和感测电路对应的示例性触摸传感器电路。
图3B示出了根据本公开的示例的与互电容驱动和感测线以及感测电路对应的示例性触摸传感器电路。
图4A示出了根据本公开的示例的具有以行和列布置的触摸电极的示例性触摸传感器面板。
图4B示出了根据本公开的示例的具有以像素化触摸节点电极构型布置的触摸节点电极的示例性触摸传感器面板。
图5A示出了根据本公开的示例的示例性触摸传感器面板的顶视图。
图5B示出了根据本公开的示例的示例性触摸传感器面板的顶视图的细节。
图6示出了根据本公开的示例的示例性触摸传感器面板的示例性层，该示例性触摸传感器面板具有两个衬底层、设置在两个衬底层之间的触摸电极层、顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层。
图7A-图7C，图7D-1，图7D-2和图7D-3示出了根据本公开的示例的示例性结构和用于形成触摸传感器面板的示例性工艺，该示例性触摸传感器面板具有单个衬底层、设置在衬底层上方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层。
图8A-图8C，图8D-1，图8D-2，图8D-3，图8E和图8F示出了根据本公开的示例的示例性结构和用于形成触摸传感器面板的示例性工艺，该示例性触摸传感器面板具有单个衬底层、设置在衬底层下方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层。
图9A-图9D，图9E-1，图9E-2和图9E-3示出了根据本公开的示例的示例性结构和用于形成触摸传感器面板的示例性工艺，该示例性触摸传感器面板具有单个独立式衬底层、设置在衬底层下方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层、底部屏蔽电极层和偏振器。
具体实施方式
在以下对示例的描述中将参考形成以下描述的一部分的附图并且在附图中以举例的方式示出了可被实施的具体示例。应当理解，在不脱离所公开的示例的范围的情况下，可使用其他示例并且可进行结构性变更。
一些电容式触摸传感器面板可由板(例如触摸电极)的矩阵形成，该板由导电材料形成(例如氧化铟锡(ITO))并耦接至由导电材料(例如铜)形成的路由迹线。在一些示例中，板和路由迹线可由相同的导电材料形成。在一些示例中，路由迹线可包括由第一导电材料(例如ITO)形成的第一部分和由第二导电材料(例如铜)形成的第二部分，其在一些示例中可覆盖在第一导电材料上。例如，覆盖可视区的路由迹线的第一部分可由透明导电材料(例如ITO)形成，使得能够透过第一部分看见可视区，而延伸到可视区的外部的路由迹线的第二部分可由不透明导电材料(例如铜)形成。
一些触摸屏可通过将触摸感测电路部分地集成到显示器像素层叠结构(即，形成显示器像素的堆叠材料层)中来形成。然而，触摸电极和路由迹线可易受来自触摸传感器面板上方和/或下方的噪声的影响。例如，环境噪声，包括触摸传感器面板上方的物体诸如人指与路由迹线之间的电容耦合，可干扰触摸传感器面板的正确操作。相似地，在一些示例中可被定位在触摸传感器面板下方的触摸屏中的显示电路可出现噪声，该噪声干扰触摸传感器面板检测电容变化的能力。希望使触摸电极和路由迹线屏蔽来自触摸传感器面板上方和/或下方的噪声。一些触摸传感器面板通过采用层叠结构来完成该功能，该层叠结构包括三个电极层：例如，此类层叠结构可包括位于第一电极层和第二电极层之间的第一衬底层(例如环烯烃聚合物层)以及位于第二电极层和第三电极层之间的第二衬底层。使用此类双衬底结构制造触摸传感器面板可为高成本且复杂的。此外，每个衬底层都有助于增加触摸传感器面板的厚度。希望通过消除衬底层的使用或通过用独立式衬底层替代集成到显示器中的衬底层来降低制造触摸传感器面板诸如三电极层触摸传感器面板的成本和复杂度并且减小此类面板的厚度。
如本文所述，本公开的示例涉及以三电极层层叠结构为特征的触摸传感器面板，例如其中每个电极层包括触摸面板的显示区域中的一个或多个电极。本公开的一些示例涉及通过从传统面板消除衬底层并同时保留触摸传感器面板屏蔽噪声源的能力来减少此类触摸传感器面板的成本和厚度。例如，如下文更详细所述，本公开的一些示例涉及通过使用诸如可集成到显示器中的偏振器替代传统的独立式衬底层(例如位于第一电极层和第二电极层之间)并且同时保留触摸传感器面板屏蔽噪声的能力来降低触摸传感器面板的成本和厚度。应当理解，尽管本公开以举例的方式提及触摸屏，但是本公开并不限于触摸屏，而是同样适用于可与或可不与显示器集成的触摸传感器面板。
在本文所述的示例中，触摸传感器面板的部件可由各种材料制成。例如，本公开的一些示例使用纳米线材料。纳米线材料可由悬浮在合适载体或溶液中的无规分布的金属纳米线(例如银或铜)的网络构成。与一些导电材料诸如ITO相比，纳米线材料可表现出更佳的机械灵活性和更低的薄层电阻。在一些示例中，用于形成纳米线材料的制造工艺与其他材料相比可为性价比相对较高的。应当理解，尽管本公开提及纳米线材料，但是本公开不限于包括任何特定金属(例如银或铜)或金属的组合的纳米线材料。
相似地，本公开的一些示例使用金属网材料。金属网材料可由具有周期性或非周期性金属线(例如，Cu，Ni，Al，Au等)的微网格或纳米网格构成。金属网可表现出较佳的机械灵活性和较低的薄层电阻。具体地，由于这些金属线的厚度可远大于一些金属膜(例如ITO金属膜)的厚度，因此金属网材料的电导率可接近其块状材料同等物的电导率，该电导率可显著高于金属膜(例如ITO膜)的电导率。
图1A-1E示出了其中根据本公开的示例的触摸屏可被实施的示例性系统。图1A示出了包括触摸屏124的示例性移动电话136。图1B示出了包括触摸屏126的示例性数字媒体播放器140。图1C示出了包括触摸屏128的示例性个人计算机144。图1D示出了包括触摸屏130的示例性平板电脑148。图1E示出了包括触摸屏132的示例性可穿戴设备152。应当理解，上述触摸屏也可在其他设备包括在可穿戴设备中实现。
在一些示例中，触摸屏124,126,128,130和132可基于自电容。基于自电容的触摸系统可包括较小的各个导电材料板的矩阵，该导电材料板可称为触摸节点电极(如下文参考图2中的触摸屏220所述)。例如，触摸屏可包括多个个体触摸节点电极，每个触摸节点电极识别或代表触摸屏上的要感测触摸或接近(即，触摸事件或接近事件)的唯一位置，并且每个触摸节点电极与触摸屏/面板中的其他触摸节点电极电隔离。此类触摸屏可被称为像素化自电容触摸屏，尽管应当理解，在一些示例中，触摸屏上的触摸节点电极可用于在触摸屏上执行除自电容扫描外的扫描(例如互电容扫描)。在操作期间，可利用AC波形来激励触摸节点电极，并且可测量触摸节点电极的对地自电容。在对象接近触摸节点电极时，触摸节点电极的对地自电容可变化。可由触摸感测系统检测并测量触摸节点电极的自电容的该变化，以在多个对象触摸或接近触摸屏时确定多个对象的位置。在一些示例中，可由导电材料的行和列形成基于自电容的触摸系统的触摸节点电极，并且类似于上文所述，可检测行和列的对地自电容的变化。在一些示例中，触摸屏可以是多点触摸、单点触摸、投影扫描、全成像多点触摸、电容式触摸等。
在一些示例中，触摸屏124,126,128,130和132可基于互电容。基于互电容的触摸系统可包括驱动和感测线，该驱动和感测线可在不同层上彼此交叉，或可在相同层上彼此相邻。该交叉或相邻的位置可指触摸电极。在操作期间，可利用AC波形来激励驱动线，并且可测量触摸节点的互电容。在对象接近触摸节点时，触摸节点的互电容可变化。可由触摸感测系统检测并测量触摸节点的互电容的该变化，以在多个对象触摸或接近触摸屏时确定多个对象的位置。
图2是示例性计算系统200的框图，其示出了根据本公开的示例的示例性自电容触摸屏220的一个具体实施。应当理解，尽管本公开的示例将假设提供自电容触摸屏来进行描述，计算系统200可相反包括互电容触摸屏，如上所述。计算系统200可例如被包括在移动电话136、数字媒体播放器140、个人计算机144、平板电脑148、或包括触摸屏的任何移动计算设备或非移动计算设备包括可穿戴设备中。计算系统200可包括触摸感测系统，该触摸感测系统包括一个或多个触摸处理器202、外围设备204、触摸控制器206和触摸感测电路(以下更加详细地描述)。外围设备204可包括但不限于随机存取存储器(RAM)或其他类型的存储器或存储设备、监视定时器等等。触摸控制器206可包括但不限于一个或多个感测信道208和信道扫描逻辑部件210。信道扫描逻辑部件210可访问RAM 212，从感测信道208自主地读取数据，并为感测信道提供控制。此外，信道扫描逻辑部件210可控制感测信道208，以在各种频率和相位下生成激励信号，这些激励信号可被选择性地施加到触摸屏220的触摸节点，如下文更详细所述。在一些示例中，触摸控制器206、触摸处理器202和外围设备204可被集成到单个专用集成电路(ASIC)中，并且在一些示例中可与触摸屏220自身集成。
触摸屏220可包括触摸感测电路，该触摸感测电路可包括具有多个电隔离的触摸节点电极222的电容式感测介质(例如，像素化的自电容触摸屏)。触摸节点电极222可被耦接至触摸控制器206中的感测信道208，可被来自感测信道的激励信号通过驱动/感测接口225驱动，并且也可由感测信道通过驱动/感测接口感测，如上所述。在触摸屏220被视为捕获触摸的“图像”(例如“触摸图像”)时，将用于检测触摸的导电板(即，触摸节点电极222)标记为“触摸节点”电极可为尤其有用的。换句话讲，在触摸控制器206已经确定在触摸屏220中的每个触摸节点电极222处检测到的触摸量之后，触摸屏中发生触摸的触摸节点电极的图案可被视为触摸图像(例如，触摸触摸屏的手指的图案)。
计算系统200还可包括用于从触摸处理器202接收输出并基于输出来执行动作的主机处理器228。例如，主机处理器228可连接到程序存储装置232和显示器、控制器诸如LCD驱动器234。LCD驱动器234可在选择(例如栅极)线上向每个像素晶体管提供电压，并可沿数据线向这些相同的晶体管提供数据信号，以控制像素显示图像，如下文更详细所述。主机处理器228可使用LCD驱动器234来在触摸屏220上产生显示图像诸如用户界面(UI)的显示图像，并可使用触摸处理器202和触摸控制器206来检测触摸屏220上或附近的触摸。触摸输入可由被存储在程序存储装置232中的计算机程序用于执行动作，该动作可包括但不限于移动对象诸如光标或指针、滚动或平移、调节控制设置、打开文件或文档、查看菜单、作出选择、执行指令、操作连接到主机设备的外围设备、应答电话呼叫、拨打电话呼叫、终止电话呼叫、改变音量或音频设置、存储与电话通信相关的信息(诸如地址、频繁拨打的号码、已接来电、未接来电)、登录到计算机或计算机网络上、允许经授权的个体访问计算机或计算机网络的受限区域、加载与用户优选的计算机桌面的布置相关联的用户配置文件、允许访问网页内容、启动特定程序、对消息加密或解密等等。主机处理器228还可执行可能与触摸处理不相关的附加功能。
需注意，本文描述的功能中的一个或多个(包括开关的配置)可由固件执行，该部件存储在存储器(例如，图2中的外围设备204中的一个)中并由触摸处理器202执行或者存储在程序存储器232中并由主机处理器228执行。该固件也可以存储和/或输送于任何非暂态计算机可读存储介质内，以供指令执行系统、装置或设备诸如基于计算机的系统、包括处理器的系统或可以从指令执行系统、装置或设备获取指令并执行指令的其他系统使用或与其结合。在本文档的上下文中，“非暂态计算机可读存储介质”可以是可包含或存储程序以供指令执行系统、装置或设备使用或与其结合的任何介质(不包括信号)。计算机可读存储介质可包括但不限于电子、磁性、光学、电磁、红外或半导体系统、装置或设备，便携式计算机磁盘(磁性)、随机存取存储器(RAM)(磁性)、只读存储器(ROM)(磁性)、可擦除可编程只读存储器(EPROM)(磁性)、便携式光盘诸如CD、CD-R、CD-RW、DVD、DVD-R或DVD-RW，或闪存存储器诸如紧凑型闪存卡、安全数字卡、USB存储设备、记忆棒等。
该固件也可传播于任何传输介质内以供指令执行系统、装置或设备诸如基于计算机的系统、包括处理器的系统或可从指令执行系统、装置或设备获取指令并执行指令的其他系统使用或与其结合。在本文的上下文中，“传输介质”可以是可传送、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备使用或与其结合的任何介质。传输介质可包括但不限于电子、磁性、光学、电磁或红外有线或无线传播介质。
图3A示出了根据本公开的示例的与自电容触摸节点电极302和感测电路314对应的示例性触摸传感器电路300。触摸节点电极302可对应于触摸节点电极222。触摸节点电极302可具有与其相关联的固有的对地自电容，并且还具有在物体诸如手指305接近或触摸电极时形成的附加的对地自电容。触摸节点电极302的总的对地自电容可被示为电容304。触摸节点电极302可耦接至感测电路314。尽管可采用其他配置，但是感测电路314可包括运算放大器308、反馈电阻器312和反馈电容器310。例如，反馈电阻器312可由开关式电容器电阻器来代替，以使可由可变反馈电阻器所导致的寄生电容效应最小化。触摸节点电极302可耦接至运算放大器308的反相输入(-)。AC电压源306(Vac)可耦接至运算放大器308的同相输入(+)。触摸传感器电路300可被配置为感测由手指或对象触摸或接近触摸传感器面板所引起的触摸节点电极302的总自电容304的变化。处理器可使用输出320来确定接近事件或触摸事件的存在，或者输出可被输入到离散逻辑网络中，以确定接近事件或触摸事件的存在。
图3B示出了根据本公开的示例的与互电容驱动322和感测326线以及感测电路314对应的示例性触摸传感器电路350。驱动线322可由激励信号306(例如AC电压信号)激励。激励信号306可通过驱动线322和感测线之间的互电容324电容耦合至感测线326。当手指或物体305接近由驱动线322和感测线326的相交形成的触摸节点时，可改变互电容324。互电容324的该变化可被检测以指示触摸节点处的触摸事件或接近事件，如前文和下文所述。耦合至感测线326上的感测信号可由感测电路314接收。感测电路314可包括运算放大器308以及反馈电阻器312和反馈电容器310中的至少一者。图3B示出了使用电阻式反馈元件和电容式反馈元件两者的一般情况。感测信号(称为Vin)可被输入到运算放大器308的反相输入中，并且运算放大器的非反相输入可耦合至参考电压Vref.运算放大器308可驱动其输出至电压Vo，以使Vin基本上等于Vref，并且可因此保持Vin恒定或实际上接地。本领域的技术人员将理解，在该上下文中，等于可包括最多至15％的偏差。因此，感测电路314的增益通常可为互电容324和反馈阻抗的比率的函数，其由电阻器312和/或电容器310构成。可通过将感测电路314的输出Vo馈送到倍增器328中来对其进行滤波以及产生外差效果或产生零差效果，其中Vo可乘以本地振荡器330以产生Vdetect。Vdetect可被输入到滤波器332中。本领域的技术人员将认识到滤波器332的放置可被改变；因此，滤波器可被放置在倍增器328之后，如图所示，或者可使用两个滤波器：一个放置在倍增器之前，另一个放置在倍增器之后。在一些示例中，可根本不具有滤波器。Vdetect的直流(DC)部分可用于确定是否已发生触摸事件或接近事件。
重新参照图2，在一些示例中，触摸屏220可为集成触摸屏，其中触摸感测系统的触摸感测电路元件可集成到显示器的显示器像素层叠结构中。触摸屏220中的电路元件可包括例如存在于LCD或其他显示器中的元件，诸如一个或多个像素晶体管(例如，薄膜晶体管(TFT))、栅极线、数据线、像素电极和公共电极。在给定的显示器像素中，像素电极和公共电极之间的电压可控制显示器像素的亮度。像素电极上的电压可由数据线通过像素晶体管提供，其可由栅极线控制。需要指出的是，电路元件不限于整个电路部件，诸如整个电容器、整个晶体管等，而是可包括电路的部分，例如平行板电容器的两个板中的仅一个板。
图4A示出了根据本公开的示例的具有以行和列布置的触摸电极404和406的触摸传感器面板400。具体地，触摸传感器面板400可包括设置为行的多个触摸电极404以及设置为列的多个触摸电极406。触摸电极404和/或触摸电极406可由导电材料(例如ITO)构成。触摸电极404和触摸电极406可位于触摸传感器面板400上的相同或不同的材料层上，并且可彼此相交，如图4A所示。在一些示例中，触摸传感器面板400可感测触摸电极404和406的自电容，以检测触摸传感器面板400上的触摸和/或接近活动，并且在一些示例中，触摸传感器面板400可感测触摸电极404和406之间的互电容，以检测触摸传感器面板400上的触摸和/或接近活动。
图4B示出了根据本公开的示例的具有以像素化触摸节点电极构型布置的触摸节点电极408的触摸传感器面板402。具体地，触摸传感器面板402可包括多个个体触摸节点电极408，每个触摸节点电极识别或代表触摸传感器面板上的要感测触摸或接近(即，触摸事件或接近事件)的唯一位置，并且每个触摸节点电极与触摸传感器面板中的其他触摸节点电极电隔离，如前文所述。触摸电极404和/或触摸电极406可由导电材料(例如ITO)构成。触摸节点电极408可位于摸传感器面板402上的相同或不同的材料层上。在一些示例中，触摸传感器面板402可感测触摸节点电极408的自电容，以检测触摸传感器面板402上的触摸和/或接近活动，并且在一些示例中，触摸传感器面板402可感测触摸节点电极408之间的互电容，以检测触摸传感器面板402上的触摸和/或接近活动。
触摸电极诸如图4A中的触摸电极404和406和图4B中的触摸节点电极408可易于受外部噪声的影响，该外部噪声可削弱触摸传感器面板检测触摸和/或接近活动的能力。此外，触摸电极可耦接至易于受外部噪声影响的路由迹线。此类外部噪声可源自触摸传感器面板下方(例如，源自触摸屏中的显示器)和/或源自触摸传感器面板上方(例如，源自路由迹线与触摸传感器外部环境之间的电容耦合)。具体地，路由迹线易于受由用户的手指和路由迹线之间的接触引起的电容耦合的影响，该电容耦合可表现为在与路由迹线中的一个或多个对应的一个或多个触摸电极处检测到的误触读数(例如噪声)。希望提供对来自触摸传感器面板上方(“顶部屏蔽”)和/或触摸传感器面板下方的此类噪声源的屏蔽(底部屏蔽)。
图5A和5B示出了根据本公开的示例的像素化触摸传感器面板500。图5A示出了触摸传感器面板500的顶视图。参考图5A，像素化触摸传感器面板500可包括触摸节点电极501,503,505和507(例如，如参考图4B所述)和路由迹线502,504,506和508。在一些示例中，每个路由迹线可耦接至一个触摸节点电极。即，触摸节点电极501可经由迹线502耦接至感测电路(例如图2中的感测信道208)；触摸节点电极503可经由迹线504耦接至感测电路；触摸节点电极505可经由迹线506耦接至感测电路；并且触摸节点电极507可经由迹线508耦接至感测电路。(为了简化解释，触摸传感器面板500的其他触摸节点电极并未示出为耦接至图中的路由迹线，尽管应当理解其可能如此。)在图5A中，横截面A-A’对应于与触摸节点电极501和迹线502和504相交的触摸传感器面板500的示例性横截面。图7A至7C，7D-1至7D-3，8A至8C，8D-1至8D-3，9A至9D以及9E-1至9E-3示出了将结合图5A中的横截面A-A’所述的示例性传感器面板层叠结构。在触摸传感器面板500为触摸屏的一部分的示例中，显示器(未示出)可附接至触摸传感器面板500的底部表面。应理解，本公开的示例包括触摸传感器面板为触摸屏的一部分的示例，以及触摸传感器面板不为触摸屏的一部分且不与显示器相关联的示例。
本公开的一些示例可包括耦接至触摸传感器面板500中的电极层的导电线520。导电线520在与触摸传感器面板500对应的材料层叠结构中的放置将在下文更详细地描述。导电线520可具有比与其耦接的电极层低的电阻，并且包括导电线520可因此降低该电极层的有效薄片电阻。例如，导电线520可耦接至触摸传感器面板500中的屏蔽电极层，以降低屏蔽电极层的有效薄片电阻。降低该有效薄片电阻可允许触摸传感器面板500获得更好的感测性能，并且潜在地允许触摸传感器面板500与不具有导电线520的情况相比更容易地扩大至较大的面板尺寸。
导电线520可包括横跨触摸传感器面板500的周边的一个或多个部分的一个或多个迹线或线(例如，位于既非触摸节点电极上方也非触摸节点电极下方的迹线区域中)。在图5A所示的示例中，导电线520被视为横跨触摸传感器面板500的整个周边的一个连续区域。在其他示例中，导电线520可包括多个区域，诸如由间隙分开的两个“C”形区域。在一些示例中，导电线520可不横跨摸传感器面板500的整个周边，而相反可仅横跨周边的一部分。另外，在一些示例中，电极层可包括两个或多个独立可寻址的电极(例如，在触摸传感器面板中，使得各自与一个或多个独立可寻址的电极对应的两个或多个区域执行不同的操作)。在一些示例中，每个独立可寻址的电极可对应于独立的导电线，使得独立可寻址的电极不被电耦接。
在一些示例中，导电线520可由铜制成，尽管可使用其他材料。本公开的示例不限于使用导电线520的任何特定的材料。另外，尽管本公开的一些示例将导电线520示出为嵌入到层叠结构层中，但是本公开的示例不限于具有相对于周围层叠结构层的任何特定尺寸、形状(例如直线段)、维度或几何布置的导电线。本公开的示例也不限于用于形成导电线的任何特定方法。
与用于将触摸节点电极连接至感测电路的路由迹线(例如下文所述的路由迹线502,504,506和508)相比，导电线520不提供触摸节点电极与触摸传感器面板500外部的任何电路之间的连接路径。因此，在一些示例中，导电线520可整个设置在触摸传感器面板500的电极层(例如屏蔽电极层)内，使得导电线520的一部分或全部覆盖触摸传感器面板500。此类构型可例如通过限制导电线520与外部电路(例如经由接口电路诸如接合垫)交接的需求来简化摸传感器面板的制造。相似地，触摸传感器面板500的物理稳健性无需包含容纳此类接口电路或以其他方式使导电线520与外部电路交接的需求，该接口电路可充当潜在的机械故障点(例如，通过暴露于环境危害)。
图5B示出了根据本公开的示例的示例性触摸传感器面板500的细节。在图5B所示的示例中，触摸节点电极501,503,505和507是属于触摸传感器面板500的单个列的触摸节点电极，并且可经由迹线502,504,506和508相应地耦接至感测电路，其中每个迹线耦接至一个触摸节点电极，如上文所述。(图5A所示的导电线520未在图5B中示出。)图5B中的触摸节点电极和迹线易于受来自触摸传感器面板上方的噪声的影响，该噪声可干扰触摸传感器面板检测触摸输入的能力。希望为此类迹线提供顶部屏蔽。然而，可不希望顶部屏蔽针对触摸节点电极，因为顶部屏蔽可减弱物体(诸如用户的手指)干扰触摸节点电极的能力，从而降低触摸传感器面板的触摸敏感性。在图5B所示示例中，屏蔽区域510和512一起被设置在迹线502,504,506和508上方，但不在触摸节点电极501,503,505和507上方。这可使迹线对噪声进行顶部屏蔽(例如屏蔽与手指的耦接)，而使得触摸节点电极的顶部表面不被屏蔽，以避免降低触摸传感器面板的触摸敏感性。(尽管未在图5B中示出，附加的屏蔽区域可类似地在整个触摸传感器面板500的迹线上方被提供以使得那些迹线进行顶部屏蔽。)在一些示例中，未在图5B中示出，选择性屏蔽区域(例如“待测定”的电极)可设置在触摸节点电极501,503,505和507上方。在一些此类示例中，选择性屏蔽区域可被配置为使触摸节点电极501,503,505和507基于触摸感测模式进行选择性地顶部屏蔽。例如，使此类电极进行顶部屏蔽可在自电容触摸感测模式中操作时为有益的，但在互电容触摸感测模式中操作时为不必要的或不期望的。
图6示出了根据本公开的示例的从与示例性触摸传感器面板600对应的示例性材料层叠结构690中选择的层。(应当指出的是，示例性层叠结构的其他部件诸如接合垫和/或钝化层未在图6中示出以简化下文的解释。然而，应当理解，可存在此类部件。)在一些触摸传感器面板中，诸如示例性触摸传感器面板600，使用包含三个电极层的材料层叠结构来提供顶部屏蔽和底部屏蔽。图6所示的示例包括第一衬底层630。如本文所用，衬底层为触摸传感器面板层，该层包括可供形成导电材料或其他材料的一个或多个表面，并作为独立式结构(例如该结构可基本上保持其形状而无需来自触摸传感器面板或其他材料的结构支撑)具有足够的结构完整性来完全支撑其自身。因此，与导电材料或其他材料相比，衬底层可相对较厚且较刚性；并且，在触摸传感器面板(例如触摸传感器面板600)示例中，衬底层为缺乏结构完整性来完全支撑自身的面板层(例如钝化层、电极层)提供结构支撑。在一些示例中，尽管其他材料也是可能的，但衬底层630可包括柔性塑性材料，诸如环烯烃聚合物(COP)。导电材料可使用已知的图案化技术诸如光刻或蚀刻来形成于衬底层上。
在图6所示的示例中，电极层610和620形成于衬底层630的相对侧上。即，第一衬底层630设置在两个电极层之间：电极层610和电极层620。在图6所示的示例中，电极层610包括触摸节点电极601和与触摸节点电极601耦接的一个或多个路由迹线602。电极层610可形成于第一衬底层630的表面(例如底部表面)上，并可包括导电材料诸如ITO。在图6所示的示例中，第二电极层620形成于衬底层630的相对表面(例如顶部表面)上。类似于电极层610，电极层620可包括导电材料。在图6所示的其中电极层620设置在电极层610上方的示例中，电极层620可提供针对电极层610中的路由迹线602的顶部屏蔽。然而，触摸节点电极601的全部或大部分的顶部屏蔽可为不期望的，因为其可降低触摸传感器面板的触摸敏感性，如下文更详细所述。在图6所示的示例中，电极层620不包括设置在整个触摸节点电极601上方的材料(诸如导电材料)，并因此不提供针对整个触摸节点电极601的顶部屏蔽。(在一些示例(未在图6中示出)中，电极层620可不覆盖触摸节点电极601的一部分。)包括电极层610和620和第一衬底层630的层可被视为双层结构(如图6中的660所示)，其中610和620设置在630的相对侧上。
在图6所示的示例中，示例性层叠结构690包括第二衬底层640。类似于衬底层630，衬底层640为可供形成导电材料的基底层。并且可包括柔性塑性材料诸如COP。在图6所示的示例中，电极层650形成于衬底层640的单侧(例如底侧)上。类似于电极层610和620，电极层650可包括导电材料(例如ITO)。如果电极层650设置在电极层610下方，则650可针对电极层610中的触摸节点电极601和路由迹线602提供底部屏蔽。在图6所示的示例中，衬底层640仅在一侧上具有电极层(图中的650)。包括电极层650和第二衬底层640的层可被视为单层结构(如图6中的670所示)，其中650设置在640的单侧上并且没有电极层形成于640的另一侧上。
在图6所示的示例中，双层结构660可经由层压工艺680附接至单层结构670。在图6所示的示例中，层压工艺680的结果可为材料层叠结构690，其包括两个衬底层(630和640)和三个电极层(610,620和650)。在图6所示的示例中，电极层610设置在电极层620下方(其可针对电极层610中的路由迹线602提供顶部屏蔽)，并且设置在电极层650上方(其可针对电极层610中的触摸节点电极601和路由迹线602提供底部屏蔽)。在触摸传感器面板600为触摸屏的一部分的示例中，触摸传感器面板可附接至显示器(未示出)的表面。触摸节点电极601和路由迹线602可通过电极层650对由显示器生成的噪声进行底部屏蔽。
如图6所示，示例性层叠结构690包括两个衬底层630和640。每个衬底层都有助于增加触摸传感器面板的总体厚度。可希望减少触摸传感器面板的厚度，尤其当触摸传感器面板为触摸屏的一部分时。例如，减少触摸传感器面板厚度可通过减少面板表面和经由触摸输入与用户交互的显示器之间的距离来改善触摸设备的可用性。减少触摸传感器面板厚度还可使得触敏设备诸如图1所示的那些设备具有更薄和/或更期望的形状因数。此外，在示例性层叠结构690中使用两个衬底层可要求层压工艺加入衬底层；这在图6中通过层压工艺680示出，其将双层结构660附接至单层结构670。该层压工艺可能成本较高，可需要使用粘合剂和其它材料，并且可增加制造触摸传感器面板600的工艺的时间和复杂性。此类层压工艺可在仅使用单个衬底层的触摸传感器面板中为不必需的。因此可希望通过在示例性层叠结构690中消除两个衬底层中的一个来简化该工艺。同时，可希望保留示例性层叠结构690的顶部屏蔽和底部屏蔽。此外，在一些示例中，可希望使用现有的设计和制造工艺，诸如使用双层结构的那些制造工艺，诸如图6中的660所示。这可当诸如由触摸传感器面板制造商或第三方已对那些设计和制造工艺进行大量投资时尤其如此。本公开的一些示例涉及使用单个衬底层的触摸传感器面板，因此不需要将双层结构层压为单层结构，同时受益于顶部屏蔽和/或底部屏蔽。本公开的一些示例涉及使用偏振器替代独立式衬底层的触摸传感器面板，同时受益于顶部屏蔽和/或底部屏蔽。
图7A示出了根据本公开的示例的沿图5A中的横截面A-A’示出的触摸传感器面板的示例性材料层叠结构700，该触摸传感器面板具有单个衬底层、设置在衬底层上方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层。图7A示出了在双层构型中的电极层710、电极层720和衬底层730，诸如上文结合图6中的双层结构660所述。在图7A所示的示例中，电极层710设置在衬底层730上方，并且电极层720设置在衬底层730下方(例如电极层710和/或电极层720可在衬底层730的相对表面上与衬底层730接触)。电极层710包括触摸节点电极501和迹线502和504，如图5A-5B所示。电极层710还可包括用于将电极层710连接至电路的接合垫区域509。在图7A所示的示例中，触摸节点电极501、迹线502和504以及接合垫区域509可由导电材料(例如ITO)构成并且可通过将该材料的单个层图案化来形成(例如光刻技术和蚀刻技术)。应当理解，在整个公开中，导电材料可为ITO或另一导电材料，诸如纳米线材料或金属网材料。另外，应当理解，导电材料可为透明的。本公开的示例不限于任何特定的导电材料。
由导电材料构成的接合垫可用于将电极层连接至电路(例如感测电路)。在图7A所示的示例中，迹线502可包括与设置在衬底730和迹线502上方的第一接合垫702电耦接的接合垫区域(例如接合垫702可与迹线502接触)，以将迹线502连接至第一感测电路，诸如图2，3A和/或3B中所示。(迹线504可经由未在图7A中示出的接合垫电耦接至与第一感测电路不同的第二感测电路。)应当理解，在整个公开中，接合垫可由铜或另一导电材料构成。本公开的示例不限于任何特定的接合垫材料。
在图7A所示的示例中，电极层720可用作底部屏蔽件，该底部屏蔽件针对触摸节点电极501和迹线502和504提供对位于电极层720下方的噪声源的噪声屏蔽。该屏蔽可为有益的，例如以防止由电路诸如位于触摸传感器面板下方的显示屏生成的噪声的干扰。在所示的示例中，电极层720可由导电材料(例如ITO)构成，并且可通过将该材料的单个层图案化来形成(例如光刻技术和蚀刻技术)。电极层720可包括电耦接至第二接合垫704的接合垫区域，其可设置在衬底层730和电极层720下方(例如，接合垫704可与电极层720接触)，以将电极层720连接至第一驱动电路。第一驱动电路可将防护信号施加至电极层720，该防护信号可为AC或DC电压信号。尽管图7A示出了衬底层730的相对侧上的接合垫702和接合垫704，但是本公开并不限于此类示例。例如，接合垫702和704可被电耦接(例如通过一个或多个导电通孔)至衬底730的单侧上的公共表面。另外，尽管图7A示出了电极层710和电极层720相应地耦接至接合垫702和接合垫704，但是本公开不限于电极层和接合垫之间的任何特定关系。例如，单个电极层(例如电极层710或电极层720)可包括两个或更多个电极，每个此类电极连接至不同的接合垫。
在图7A所示的示例中，衬底层730、电极层710(其可形成于衬底层730的一侧)以及电极层720(其可形成于衬底层730的相对侧)可被视为双层结构735，类似于图6中的双层结构660。在一些示例中，钝化层可被添加至双层结构735上方和下方，例如以保护双层结构735免受环境危害(例如刮痕、湿气)。在图7A所示的示例中，第一钝化层740可被设置在双层结构735上方。即，钝化层740可被设置在衬底层730、触摸节点电极501以及迹线502和504上方，使得触摸节点电极501以及迹线502和504可被设置在衬底层730和钝化层740之间(例如钝化层740可与衬底层730、触摸节点电极501和/或迹线502和504接触)。相似地，第二钝化层750可被设置在双层结构735下方。即，钝化层750可被设置在电极层720下方(例如，钝化层750可与电极层720接触，并且电极层720可被设置在衬底层730和钝化层750之间)。
在图7A所示的示例中，示例性层叠结构700包括第三电极层，其在图中被示为电极层760。然而，不同于图6中所示的电极层620和650，示例性层叠结构700中的电极层760无需形成于衬底层的表面上。相反，电极层760可形成于钝化层740上方以及之上，其在示例性层叠结构700中被设置在电极层710和衬底层730上方(例如，电极层760可与钝化层740接触，并且电极层760和710均设置在衬底层730上方)。在图7A所示的示例中，电极层760包括屏蔽区域762和764。电极层760可用作顶部屏蔽件，其为迹线502和504提供噪声屏蔽，该迹线分别直接设置在屏蔽区域764和762下方，屏蔽可位于电极层760上方的噪声源(诸如手指耦合)。屏蔽区域762和764可通过对单个导电材料层进行图案化来形成(例如使用光刻技术和蚀刻技术)。尽管可使用其他导电材料，但是电极层760可由纳米线材料诸如银纳米线构成。在所示的示例中，电极层760不包括直接设置在触摸节点电极501上方的材料，并因此可不提供触摸节点电极501的顶部屏蔽。这是由于触摸节点电极501的顶部屏蔽可削弱触摸传感器面板检测电容变化的能力，如通过限制延伸到触摸节点电极501上方的边缘电场的程度和/或通量，物体诸如用户的手指可与该触摸节点电极进行电容式交互。
在本公开的示例中，顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层(例如图7A中的电极层760和720)可被完全或部分地定位在触摸电极层(例如触摸电极层710)中的一个或多个触摸节点电极(例如触摸节点电极501)与一个或多个噪声源诸如显示器之间。该构型(触摸电极和噪声源之间的屏蔽层的位置)可通过接收电容耦合的噪声以及使电荷从触摸电极分流来提供屏蔽效应。本公开的示例包括各种构型，其中此类顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层可使触摸节点电极屏蔽噪声。在一些示例中，顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层中的一者或两者可由“防护”信号驱动，该房户型好参考触摸电极的激励信号。在其中屏蔽层和触摸电极使用彼此参考的信号来驱动(例如以相同频率、相位和/或振幅)的此类构型中，屏蔽层和触摸电极之间的寄生电容耦合可被最小化，从而进一步使触摸电极屏蔽电容耦合的噪声。相似地，尽管“待测定”的触摸电极正被感测以确定触摸的发生，但是可使用与一个或多个防护层相同的防护信号来驱动其他“非待测定”的触摸电极。在该构型中，待测定电极可由同样充当屏蔽件的其他触摸电极围绕。由于每个电极轮流被测定，因此防护信号可被选择性地施加至其他非待测定电极。在其他示例中，顶部屏蔽电极和底部屏蔽电极可保持接地。在一些示例中，取决于触摸感测模式(例如自电容感测、互电容感测)，防护信号可具有有限的有益效果，并因此可不被施加至一个或多个电极层。应当理解，在其中描述了屏蔽行为的本公开的整个示例中，该示例不限于任何特定的机制(例如无源屏蔽、使用防护信号的有源屏蔽)，电极层通过该机制表现出此类屏蔽行为。
在图7A所示的示例中，示例性层叠结构700包括相应地设置在屏蔽区域762和764上方的钝化区域772和774(例如钝化区域772可与屏蔽区域762接触，和/或钝化区域774可与屏蔽区域764接触；屏蔽区域762可被设置在钝化层740和钝化区域772之间；并且屏蔽区域764可被设置在钝化层740和钝化区域774之间)。钝化区域772和774为屏蔽区域764和762和下层电路提供环境保护。在其中电极层760包括纳米线材料诸如银纳米线的示例中，仅需要较薄的钝化区域772和774。在一些示例中，电极层760可包括将纳米线材料与钝化材料结合的材料，从而简化用于在电极层760上方形成钝化区域772和774的工艺。在一些示例中，钝化区域772和774可从层叠结构700中省略。
在图7A所示的示例中，电极层710包括接合垫区域509，该接合垫区域可电耦接至第三接合垫706，其可设置在衬底层730和电极层710上方(例如接合垫706可经由接合垫区域509与电极层710接触)。屏蔽区域762和764可电耦接至与第二驱动电路连接的接合垫706。第二驱动电路可将防护信号施加至屏蔽区域762和764，该防护信号可为AC或DC电压信号。(第二驱动电路可以但可并非必须与第一驱动电路相同。)在图7A所示的示例中，接合垫706可由与接合垫702相同的层形成并且在制造工艺的相同步骤中形成。尽管图7A示出接合垫702和接合垫706定位在触摸节点电极501的相对侧(例如位于触摸传感器面板的相对侧)，在一些示例中，接合垫702和接合垫706可定位在共同侧上(例如，图5所示的触摸传感器面板500的最左边缘)。
图7B和7C示出了包括导电线755的层叠结构700的另外的示例，以降低电极层720的有效薄片电阻，诸如上文结合图5A中的导电线520所述。在包括导电线755的层叠结构700的一些示例中，诸如图7B所示，导电线755可设置在衬底层730下方(例如导电线755可与衬底层730接触)。电极层720可形成于衬底层730和导电线755的底部表面上(例如电极层720可与衬底层730和/或导电线755接触，并且导电线755可嵌入到电极层720中)。在一些示例中，诸如图7C所示，导电线755可设置在电极层720下方(例如导电线755可与电极层720接触，并且无需与衬底层730直接接触)。钝化层750可形成于电极层720和导电线755的底部表面上(例如钝化层750可与电极层720和/或导电线755接触，并且导电线755可嵌入到钝化层750中)。在图7B和7C的示例中，包括导电线755以及导电线与电极层720的电耦接可降低电极层720的总体薄片电阻，从而允许当电极层720充当噪声屏蔽件时提供更佳的屏蔽性能，并且潜在地允许层叠结构700与不包括导电线的层叠结构相比更容易地扩展至更大的面板尺寸。
示例性层叠结构700可提供图6所示的示例性层叠结构690的若干优势。在示例性层叠结构690中，电极层610(其包括迹线602)可通过电极层620对噪声进行顶部屏蔽，其中电极层610和电极层620位于双层结构中的衬底层(衬底层630)的相对侧上。然而，在层叠结构700中，电极层710(其包括迹线502和504)的顶部屏蔽可相反由电极层760提供。不同于在示例性层叠结构690中，电极层710和电极层760未由双层结构中的衬底层分开。相反，电极层710和电极层760均设置在衬底层730的相同侧上，其中电极层760形成于钝化层740上而非形成于第二衬底层上。即，示例性层叠结构700不包括位于衬底层730和电极层760之间的第二衬底层。与示例性层叠结构690相比，示例性层叠结构700的构型消除了一个衬底层(例如图6中的衬底层630)，从而潜在地消除了与该衬底层相关联的触摸传感器面板厚度。此外，无需层压工艺来将双层结构(诸如图6中的660)层压至单层结构(诸如图6中的670)；去除该层压工艺可潜在地减少制造的成本和复杂性，以及与用于层压的材料(诸如粘合剂材料)相关联的成本和层叠结构厚度。此外，在示例性层叠结构700中，一个或多个接合垫(例如接合垫702和706)可在衬底层730的相同侧上由单个导电材料层形成。与示例诸如图6中所示的其中接合垫可在衬底层的相对侧上由多个导电材料层形成的示例相比，这可简化制造的成本和复杂性。(例如，在图6中所示的示例中，电极层610,620和650可连接至由三个独立的层形成的接合垫，每个层通过衬底层630和/或640与其它层分开。)同时，触摸节点电极501和迹线502和504的屏蔽无需通过消除衬底层而被削弱，因为电极层710类似于图6中的电极层610(例如触摸节点电极501和迹线502和504)可在示例中从顶部和底部屏蔽。
在一些示例中，诸如图7A-7C所示，电极层760可由纳米线材料构成，诸如银纳米线。可通过纳米线材料传达的优势为该纳米材料可表现出优于一些其他导电材料(例如ITO)的改善的机械灵活性，从而潜在地允许示例700比层叠结构诸如图6中的示例690在结构上更为稳健。另外，纳米线材料可表现出比一些其他导电材料低的薄片电阻。相似地，在包括与电极层耦接的导电线的示例中，诸如上文结合图7B和7C所述，导电线可有助于提供较低的薄片电阻。较低的薄片电阻可允许更有效的屏蔽和更佳的触摸传感器性能，并且可允许示例700与示例690相比更容易地扩展至更大的面板尺寸。
图7D-1至7D-3示出了用于形成示例性材料层叠结构700的示例性工艺，如图7B所示。电极层710,720和760、衬底层730、钝化层740和750、接合垫702,704和706、电极层760(例如，屏蔽区域762和764)、钝化区域772和774和导电线755如图7B所示。图7D-1示出了标准退火工艺之后的层叠结构700，其结果可包括如图7B所示的双层结构735-电极层710和720形成于衬底层730的相对侧上-其中钝化层740和750相应地位于双层结构735的顶侧和底侧。在图7D-1中，屏蔽区域762和764和钝化区域772和774(图7B中所示)还未形成。
图7D-2示出了经由层压工艺形成于层叠结构700的钝化层740上方的电极层760(例如钝化层740可与电极层760接触)，以及形成于电极层760上方的钝化层770(例如钝化层770可与电极层760接触)。在其中电极层760包括纳米线材料诸如银纳米线的示例中，仅需要较薄的钝化层770。在一些示例中，电极层760可包括将纳米线材料与钝化材料结合的材料，从而简化用于在电极层760上方形成钝化层770的工艺。示例性层叠结构700随后可经历曝光和显影工艺，其可移除电极层760和钝化层770的设置在触摸节点电极501和接合垫702上方的部分，同时留下电极层760和钝化层770的设置在迹线502和504上方的部分。如上所述，这可提供期望的迹线502和504的顶部屏蔽，同时避免不期望的触摸节点电极501的顶部屏蔽。此外，这可防止电极层760电耦接至接合垫702(其可耦接至迹线502)。该曝光和显影工艺可产生屏蔽区域762和764以及钝化区域772和774。该曝光和显影工艺的结果为如图7B所示的示例性层叠结构700(为清楚起见在图7D-3中重现)。其他工艺可除此之外或另选地用于形成示例性层叠结构700。
图8A示出了根据本公开的示例的沿图5A中的横截面A-A’示出的触摸传感器面板的示例性材料层叠结构800，该触摸传感器面板具有单个衬底层、设置在衬底层下方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层和底部屏蔽电极层。图8A示出了在双层构型中的电极层810、电极层820和衬底层830，诸如上文结合图6中的双层结构660所述。在图8A所示的示例中，电极层810设置在衬底层830下方，并且电极层820设置在衬底层830上方(例如电极层810和/或电极层820可在衬底层830的相对表面上与衬底层830接触)。电极层810包括触摸节点电极501和迹线502和504，如图5A-5B所示。电极层810还可包括用于连接至电路的接合垫区域509。在图8A所示的示例中，触摸节点电极501、迹线502和504以及接合垫区域509可由导电材料构成并且可通过将该材料的单个层图案化来形成(例如光刻技术和蚀刻技术)。迹线502可包括与设置在衬底830和迹线502下方的第一接合垫842电耦接的接合垫区域(例如接合垫842可与迹线502接触)，以将迹线502连接至第一感测电路，诸如图2，3A和/或3B中所示。(迹线504可经由未在图8A中示出的接合垫电耦接至与第一感测电路不同的第二感测电路。)
在图8A所示的示例中，电极层820可用作顶部屏蔽件，该顶部屏蔽件针对迹线502和504提供对位于电极层820上方的噪声源的噪声屏蔽。该屏蔽可为有益的，例如以使迹线免受从触摸传感器面板上方诸如从接触环境生成的噪声的干扰。在所示的示例中，电极层820包括屏蔽区域822和824，其可由导电材料(例如ITO)构成，并且可通过将该材料的单个层图案化来形成(例如光刻技术和蚀刻技术)。在图8A中，屏蔽区域822和824可相应地直接设置在迹线504和502上方，并且为那些相应的迹线提供顶部屏蔽。屏蔽区域822和824可对应于图5B中的屏蔽区域510和512，其可类似地为迹线504和502提供顶部屏蔽。在所示的示例中，电极层820不包括直接设置在触摸节点电极501上方的材料，并因此可不提供触摸节点电极501的顶部屏蔽。这是由于触摸节点电极501的顶部屏蔽可削弱触摸传感器面板检测电容变化的能力，如通过限制延伸到触摸节点电极501上方的边缘电场的程度和/或通量，物体诸如用户的手指可与该触摸节点电极进行电容式交互。
在一些示例中，屏蔽区域824可包括电耦接至第二接合垫844的接合垫区域，其可设置在衬底层830和屏蔽区域824上方(例如，接合垫844可与屏蔽区域824接触)，以将电极层820(例如屏蔽区域822和/或824)连接至第一驱动电路。第一驱动电路可将防护信号施加至屏蔽区域824(并且经由未在图8A中示出的导电材料施加至屏蔽区域822)，该防护信号可为AC或DC电压信号。
在图8A所示的示例中，衬底层830、电极层810(其可形成于衬底层830的一侧)以及电极层820(其可形成于衬底层830的相对侧)可被视为双层结构835，类似于图6中的双层结构660。在一些示例中，钝化层可被添加至双层结构835上方和下方，例如以保护双层结构835免受环境危害(例如刮痕、湿气)。在图8A所示的示例中，第一钝化层847可被设置在双层结构835上方。即，钝化层847可设置在衬底层830和电极层820上方(例如钝化层847可与衬底层830和/或屏蔽区域822和824接触)。相似地，第二钝化层848可被设置在双层结构835下方。即，钝化层848可被设置在衬底层830、触摸节点电极501以及迹线502和504下方，使得触摸节点电极501以及迹线502和504可被设置在衬底层830和钝化层848之间(例如钝化层848可与衬底层830、触摸节点电极501和/或迹线502和504接触)。
在图8A所示的示例中，示例性层叠结构800包括第三电极层，其在图中被示为电极层850。然而，不同于图6中所示的电极层620和650，示例性层叠结构800中的电极层850无需形成于衬底层的表面上。相反，电极层850可形成于钝化层848下方以及之上，其在示例性层叠结构800中被设置在电极层810和衬底层830下方(例如，电极层850可与钝化层848接触，并且电极层850和810均设置在衬底层830下方)。在图8A所示的示例中，电极层850可用作底部屏蔽件，该底部屏蔽件针对可设置在电极层850正上方的触摸节点电极501和迹线502和504提供对位于电极层850下方的噪声源(诸如显示器)的噪声屏蔽。电极层850可通过对单个导电材料层进行图案化来形成。尽管可使用其他导电材料，但是电极层850可由纳米线材料诸如银纳米线构成。
在图8A所示的示例中，示例性层叠结构800包括设置在电极层850下方的钝化层860(例如钝化层860可与电极层850接触)。钝化层860可为电极层850和下层电路提供环境保护。在图8A所示的示例中，电极层810包括接合垫区域509，该接合垫区域可电耦接至第三接合垫846，其可设置在衬底层830和电极层810下方(例如接合垫846可与电极层810的区域509接触)。电极层850可电耦接至与第二驱动电路连接的接合垫846。第二驱动电路可将防护信号施加至电极层850，该防护信号可为AC或DC电压信号。(第二驱动电路可以但可并非必须与第一驱动电路相同。)在图8A所示的示例中，接合垫846可由与接合垫842相同的层形成并且在制造工艺的相同步骤中形成。
图8B和8C示出了包括导电线855的层叠结构800的另外的示例，以降低电极层850的有效薄片电阻，诸如上文结合图5A(以及下文结合图8E和8F)所述。在包括导电线855的层叠结构800的一些示例中，诸如图8B所示，导电线855可设置在衬底层830和电极层810下方(例如导电线855可与衬底层830和/或电极层810接触)。导电线855可由与接合垫相同的材料形成于与接合垫(例如接合垫842)相同的层中，并且可耦接至电极层810中的区域853。区域853可不电耦接至电极层810的其他区域(例如触摸节点电极501、迹线502和504以及接合垫区域509)。电极层850可形成于钝化层848和导电线855的底部表面上(例如电极层850可与钝化层848和/或导电线855接触)。在一些示例中，诸如图8C所示，导电线855可设置在电极层850下方(例如导电线855可与电极层850接触)。钝化层860可形成于电极层850和导电线855的底部表面上(例如钝化层860可与电极层850和/或导电线855接触，并且导电线855可嵌入到钝化层850中)。在图8B和8C的示例中，包括导电线855以及导电线与电极层850的电耦接可降低电极层850的总体薄片电阻，从而允许更佳的触摸传感器性能并且潜在地允许示例800与不包括导电线的示例相比更容易地扩展至更大的面板尺寸。
示例性层叠结构800可提供图6所示的示例性层叠结构690的若干优势。在示例性层叠结构690中，电极层610(其包括触摸节点电极601和迹线602)可通过电极层650对噪声进行底部屏蔽，其中电极层610和电极层650位于双层结构中的衬底层(衬底层640)的相对侧上。然而，在层叠结构800中，电极层810(其包括触摸节点电极501和迹线502和504)的底部屏蔽可相反由电极层850提供。不同于在示例性层叠结构690中，电极层810和电极层850未由双层结构中的衬底层分开。相反，电极层810和电极层850均设置在衬底层830的相同侧上，其中电极层850形成于钝化层848上而非形成于第二衬底层上。即，示例性层叠结构800不包括位于衬底层830和电极层850之间的第二衬底层。与示例性层叠结构690相比，示例性层叠结构800的构型消除了一个衬底层(例如图6中的衬底层640)，从而潜在地消除了与该衬底层相关联的触摸传感器面板厚度。此外，无需层压工艺来将双层结构(诸如图6中的660)层压至单层结构(诸如图6中的670)；去除该层压工艺可潜在地减少制造的成本和复杂性，以及与所需材料(诸如粘合剂材料)相关联的成本和层叠结构厚度。此外，在示例性层叠结构800中，一个或多个接合垫(例如接合垫842和846)可在衬底层830的相同侧上由单个导电材料层形成。与示例诸如图6中所示的其中接合垫可在衬底层的相对侧上由多个导电材料层形成的示例相比，这可简化制造的成本和复杂性。(例如，在图6中所示的示例中，电极层610,620和650可连接至由三个独立的层形成的接合垫，每个层通过衬底层630和/或640与其它层分开。)同时，触摸节点电极501和迹线502和504的屏蔽无需通过消除衬底层而被削弱，因为电极层810类似于图6中的电极层610(其包括触摸节点电极501和迹线502和504)在示例中从顶部和底部屏蔽。
在一些示例中，诸如图8A-8C所示，电极层850可由纳米线材料构成，诸如银纳米线。可通过纳米线材料传达的优势为该纳米材料可表现出优于一些其他导电材料(例如ITO)的改善的机械灵活性，从而潜在地允许示例800比图6中的示例690在结构上更为稳健。另外，纳米线材料可表现出比一些其他导电材料低的薄片电阻。相似地，在包括与电极层耦接的导电线的示例中，诸如上文所述并在图8B和8C中所示，导电线可有助于提供电极层的较低的薄片电阻。较低的薄片电阻可允许更有效的屏蔽和更佳的触摸传感器性能，并且可允许示例800与示例690相比更容易地扩展至更大的面板尺寸。
图8D-1至8D-3示出了用于形成示例性材料层叠结构800的示例性工艺，如图8C所示。电极层810,820(例如屏蔽区域822和824)和850、衬底层830、钝化层847,848和860、接合垫842,844和846和导电线855被示出于图8C中。图8D-1示出了标准退火工艺之后的层叠结构800，其结果可包括如图8C所示的双层结构835-电极层810和820形成于衬底层830的相对侧上-其中钝化层847和848相应地位于双层结构835的顶侧和底侧。在图8D-1中，电极层850和钝化层860(示出于图8C中)还未形成。
图8D-2示出了经由层压工艺形成于层叠结构800的钝化层848下方的电极层850(例如钝化层848可与电极层850接触)，以及形成于电极层850下方的钝化层860(例如钝化层860可与电极层850接触)。在包括导电线855的一些示例中，诸如图8C所示，导电线855可设置在电极层850下方并嵌入到钝化层860中。在其中电极层850包括纳米线材料诸如银纳米线的示例中，仅需要较薄的钝化层860。在一些示例中，电极层850可包括将纳米线材料与钝化材料结合的材料，从而简化用于在电极层850下方形成钝化层860的工艺。示例性层叠结构800随后可经历曝光和显影工艺，其可移除电极层850和钝化层860的不需要和不必要的部分。例如，这可防止电极层850电耦接至接合垫842(其可耦接至迹线502)。电极层850的剩余部分，如图8D-3所示，可为电极层810提供底部屏蔽。该曝光和显影工艺的结果为如图8C所示的示例性层叠结构800(为清楚起见在图8D-3中重现)。其他工艺可除此之外或另选地用于形成示例性层叠结构800。
图8E和8F示出了根据本公开的示例的如图8B所示的示例性层叠结构800的扩展视图。图8E示出了图8F中所示的触摸传感器面板的水平横截面A-A’，该横截面从触摸传感器面板的左边缘延伸至触摸传感器面板的右边缘并与一行触摸节点电极501A至501D相交。图8F示出了触摸传感器面板的局部顶视图。在图8E和8F所示的示例中，如在图8B中所示，电极层810形成于衬底层830的底部表面上。电极层810可包括触摸节点电极501A至501D、路由迹线502A至502D、接合垫区域509A和509B以及电极层区域853。在图8E和8F所示的示例中，触摸节点电极501A至501D可经由迹线502A至502D和接合垫849A-849D耦接至外部感测电路898。在图8E和8F所示的示例中，如在图8B中所示，电极层850设置在电极层810下方并且可为电极层810提供底部屏蔽。如图8F中可见，电极层850可不延伸至触摸传感器面板的边缘；触摸传感器面板区域851可延伸超过电极层850并允许与电极层810的连接(即，在接合垫849A-849D处从感测电路898至迹线502A-502的线的连接)。在图8E和8F所示的示例中，电极层850可在接合垫846A和846B处经由迹线897连接至外部屏蔽电路899，该接合垫在电极层810中可相应地耦接至接合垫区域509A和509B。
在图8E和8F中所示的示例中，电极层850可耦接至导电线855，该导电线855可具有比电极层850低的电阻并且可对应于图5A中所示的导电线520。导电线855可耦接至一个或多个电极层区域853，该一个或多个电极层区域在一些示例中可不电连接至层810中的触摸节点电极501A至501D、迹线502A至502d或接合区域509A和509B。导电线855和一个或多个接合垫846A和846B可由相同的导电材料(例如铜)制成，并且可在电极层810和电极层850之间被沉积为单个层840(例如，导电线855和/或接合垫846A和846B可与电极层810和/或电极层850接触)。然而，导电线855可不连接至接合垫846A和846B。衬底层830和电极层850之间的间隙848A,848B和848C可用钝化材料填充，以用于提供电隔离和结构支撑。导电线855的目的在于通过将电极层850耦接至较低电阻的导电材料来降低电极层850的有效薄片电阻，从而潜在地改善电极层850的屏蔽性能和触摸传感器面板的可扩展性。
图9A示出了根据本公开的示例的沿图5A中的横截面A-A’示出的触摸传感器面板的示例性材料层叠结构900，该触摸传感器面板具有单个独立式衬底层、设置在衬底层下方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层、底部屏蔽电极层和偏振器。图9A示出了在双层构型中的电极层910、电极层920和衬底层930，如上文结合图6和双层结构660所述。在图9A所示的示例中，电极层910设置在衬底层930下方，并且电极层920设置在衬底层930上方(例如电极层910和/或电极层920可在衬底层930的相对表面上与衬底层930接触)。电极层910包括触摸节点电极501和迹线502和504，如图5A-5B所示。在图9A所示的示例中，触摸节点电极501和迹线502和504可由导电材料构成并且可通过将该材料的单个层图案化来形成(例如光刻技术和蚀刻技术)。迹线502可包括与设置在衬底930和迹线502下方的第一接合垫942电耦接的接合垫区域(例如接合垫942可与迹线层502接触)，以将迹线502连接至第一感测电路，诸如图2，3A和/或3B中所示。(迹线504可经由未在图9A中示出的接合垫电耦接至与第一感测电路不同的第二感测电路。)
在图9A所示的示例中，电极层920可用作顶部屏蔽件，该顶部屏蔽件针对迹线502和504提供对位于电极层920上方的噪声源的噪声屏蔽。该屏蔽可为有益的，例如以使迹线免受从触摸传感器面板上方诸如从接触环境生成的噪声的干扰。在所示的示例中，电极层920包括屏蔽区域922和924，其可由导电材料(例如ITO)构成，并且可通过将该材料的单个层图案化来形成(例如光刻技术和蚀刻技术)。然而，可使用其他导电材料。在图9A中，屏蔽区域922和924可相应地直接设置在迹线504和502上方，并且为那些相应的迹线提供顶部屏蔽。屏蔽区域922和924可对应于图5B中的屏蔽区域512和510，其可类似地为迹线504和502提供顶部屏蔽。在所示的示例中，电极层920不包括直接设置在触摸节点电极501上方的材料，并因此可不提供触摸节点电极501的顶部屏蔽。这是由于触摸节点电极501的顶部屏蔽可削弱触摸传感器面板检测电容变化的能力，如通过限制延伸到触摸节点电极501上方的边缘电场的程度和/或通量，物体诸如用户的手指可与该触摸节点电极进行电容式交互。
在一些示例中，屏蔽区域924可包括电耦接至第二接合垫944的接合垫区域，其可设置在衬底层930和屏蔽区域924上方(例如，接合垫944可与屏蔽区域924接触)，以将电极层920连接至第一驱动电路。第一驱动电路可将防护信号施加至屏蔽区域924(并且经由未在图9A中示出的导电材料施加至屏蔽区域922)，该防护信号可为AC或DC电压信号。
在图9A所示的示例中，衬底层930、电极层910(其可形成于衬底层930的一侧)以及电极层920(其可形成于衬底层930的相对侧)可被视为双层结构935，类似于图6中的双层结构660。在一些示例中，钝化层可被添加至双层结构935上方和下方，例如以保护双层结构935免受环境危害(例如刮痕、湿气)。在图9A所示的示例中，第一钝化层946可被设置在双层结构935上方。即，钝化层946可设置在衬底层930和电极层920上方(例如钝化层946可与衬底层930和/或屏蔽区域922和924接触)。相似地，第二钝化层948可被设置在双层结构935下方。即，钝化层948可被设置在衬底层930、触摸节点电极501以及迹线502和504下方，使得触摸节点电极501以及迹线502和504可被设置在衬底层930和钝化层948之间(例如钝化层948可与衬底层930、触摸节点电极501和/或迹线502和504接触)。
在图9A所示的示例中，示例性层叠结构900包括第三电极层，其在图中被示为电极层950。然而，不同于图6中所示的示例，示例性层叠结构900中的电极层950无需形成于独立式衬底层的表面上。相反，电极层950可形成于偏振器960的表面上，该偏振器为显示器的表面(或一部分)上的圆形偏振器(例如电极层950可与偏振器960接触)。在图9A所示的示例中，双层结构935与钝化层946和948一起可被层压至偏振器960，其中粘合剂层970设置在双层结构935和偏振器960之间。即，粘合剂层970可设置在钝化层948下方和偏振器960上方(例如粘合剂层970可与钝化层948和偏振器960接触)。在图9A所示的示例中，电极层950可用作底部屏蔽件，该底部屏蔽件针对可设置在电极层950正上方的触摸节点电极501和迹线502和504提供对位于电极层950下方的噪声源(诸如显示器)的噪声屏蔽。电极层950可通过使偏振器960涂覆有单个导电材料层来形成。尽管可使用其他导电材料，但是电极层950可例如由纳米线材料或ITO构成。
电极层950可电耦接至一个或多个接合垫，以连接至第二驱动电路。在一些示例中，诸如图9A所示，一个或多个接合垫可包括接合垫962，其可设置在偏振器层960下方(流接合垫962可与偏振器层960接触)。第二驱动电路可将防护信号施加至电极层950，该防护信号可为AC或DC电压信号。(第二驱动电路可以但可并非必须与第一驱动电路相同。)
图9B示出了根据本公开的示例的沿图5A中的横截面A-A’示出的触摸传感器面板的示例性材料层叠结构900，该触摸传感器面板具有单个独立式衬底层、设置在衬底层下方的触摸电极层、顶部屏蔽电极层、底部屏蔽电极层和偏振器。不同于图9A所示的其中电极层950设置在偏振器960下方的示例性层叠结构，图9B所示的示例性层叠结构示出了电极层950设置在偏振器960上方。在诸如图9B所示的示例中，电极层950可形成于偏振器960的顶部表面上(例如电极层950可与偏振器960接触)，在一些示例中，该偏振器可集成到显示器(未示出)中。电极层950可经由设置在偏振器960上方的接合垫诸如接合垫962耦接至驱动电路(流接合垫962可与偏振器960接触)。在图9B所示的示例中，示例性层叠结构900包括导电线955，以降低电极层950的有效薄片电阻，诸如上文结合图5A所述。在所示的示例中，导电线955被示为设置在偏振器960和电极层950之间(例如导电线955可与偏振器960和/或电极层950接触，并且导电线955可嵌入到电极层950中)。其他示例可不包括导电线955。
图9C和9D示出了包括导电线955的层叠结构900的另外的示例，以降低电极层950的有效薄片电阻，诸如上文结合图5A和图9B所述。在包括导电线955的层叠结构900的一些示例中，诸如图9C所示，导电线955可设置在偏振器960下方(例如导电线955可与偏振器960接触)。电极层950可形成于偏振器960和导电线955的底部表面上(例如电极层950可与偏振器960和/或导电线955接触，并且导电线955可嵌入到电极层950中)。在一些示例中，诸如图9D所示，导电线955可设置在电极层950下方(例如导电线955可与电极层950接触)。钝化层980可形成于电极层950和导电线955的底部表面上(例如钝化层980可与电极层950和/或导电线955接触，并且导电线955可嵌入到钝化层980中)。在图9C和9D的示例中，包括导电线955以及导电线与电极层950的电耦接可降低电极层950的总体薄片电阻，从而允许更佳的触摸传感器性能并且潜在地允许示例900与不包括导电线的示例相比更容易地扩展至更大的面板尺寸。
示例性层叠结构900可提供图6所示的示例性层叠结构690的若干优势。在示例性层叠结构690中，电极层610(其包括触摸节点电极601和迹线602)可通过电极层650对噪声进行底部屏蔽，其中电极层610和电极层650位于双层结构中的独立式衬底层(衬底层640)的相对侧上。然而，在层叠结构900中，电极层910(其包括触摸节点电极501和迹线502和504)的底部屏蔽可相反由电极层950提供。不同于在示例性层叠结构690中，电极层910和电极层950未由双层结构中的独立式衬底层分开。相反，电极层910和电极层950均设置在衬底层930的相同侧上，其中电极层950形成于偏振器960(其可结合到显示器中)上而非形成于独立式衬底层上。与示例性层叠结构690相比，示例性层叠结构900的构型消除了一个独立式衬底层(例如图6中的衬底层640)，从而潜在地消除了与该衬底层相关联的触摸传感器面板厚度。此外，在触摸传感器面板为触摸屏的一部分的一些示例中，示例性层叠结构900可将触摸传感器面板集成到显示器中，从而可减少所得触摸屏层叠结构的厚度。此外，在触摸传感器面板集成到显示器中的一些示例中，显示器的偏振器部件(例如图9A中的偏振器960)可用作可供形成电极层(例如电极层950)的衬底。通过对部件的共享使用可获得经济效益并且可简化一些触摸屏示例的制造。同时，触摸节点电极501和迹线502和504的屏蔽无需通过消除独立式衬底层而被削弱，因为电极层910类似于图6中的电极层610(其包括触摸节点电极501和迹线502和504)在示例中从顶部和底部屏蔽。
在一些示例中，诸如图9A-9D所示，电极层950可由纳米线材料构成，诸如银纳米线。可通过纳米线材料传达的优势为该纳米材料可表现出优于一些其他导电材料(例如ITO)的改善的机械灵活性，从而潜在地允许示例900比图6中的示例690在结构上更为稳健。另外，纳米线材料可表现出比一些其他导电材料低的薄片电阻。相似地，在包括与电极层耦接的导电线的示例中，诸如上文所述并在图9B，9C和9D中所示，导电线可有助于提供较低的薄片电阻。较低的薄片电阻可允许更有效的屏蔽和更佳的触摸传感器性能，并且可允许示例900与示例690相比更容易地扩展至更大的面板尺寸。
图9E-1至9E-3示出了用于形成示例性材料层叠结构900的示例性工艺，如图9C所示。电极层910,920(例如屏蔽区域922和924)和950、衬底层930、钝化层946和948、接合垫942,944和962、偏振器960和导电线955被示出于图9C中。图9E-1示出了标准退火工艺之后的层叠结构900，其结果可包括如图9C所示的双层结构935-电极层910和920形成于衬底层930的相对侧上-其中钝化层946和948相应地位于双层结构935的顶侧和底侧。在图9E-1中，未示出电极层950和偏振器960(示出于图9C中)。
图9E-2示出了例如经由层压工艺形成于示例性层叠结构900的偏振器960下方的电极层950(例如电极层950可与偏振器960接触)，其中电极层950耦接至设置在偏振器960下方的接合垫962(例如接合垫962可与偏振器960接触)。(在一些示例中，诸如图9B所示，电极层950和接合垫962可形成于偏振器960上方。)在触摸传感器面板为触摸屏的一部分的一些示例中，偏振器960和电极层950可集成到显示器(未示出)中。添加了钝化层946和948的双层结构935可(经由层压工艺975)被层压到偏振器960。层压工艺975可将粘合剂层970添加到位于双层层叠结构935下方的偏振器960和钝化层948之间。(在电极层950可设置在偏振器960上方的一些示例中，诸如图9B所示，粘合剂层970可设置在电极层950和钝化层948之间。)该层压工艺的结果为如图9A所示的示例性层叠结构900(为清楚起见在图9E-3中重现)。其他工艺可除此之外或另选地用于形成示例性层叠结构900。
根据上文，本公开的一些示例涉及触摸传感器面板层叠结构，该层叠结构包括：第一衬底层；第一电极层，该第一电极层包括触摸电极和迹线中的一者或多者，该迹线被配置为将触摸电极耦接至感测电路，第一电极层位于第一衬底层的第一侧；第二电极层，该第二电极层位于第一衬底层的第一侧；钝化层，该钝化层设置在第一电极层和第二电极层之间；和第三电极层，该第三电极层位于第一衬底层的第二侧，该第二侧不同于第一衬底层的第一侧，其中：第一电极层由第一导电材料构成，第二电极层由第二导电材料构成，第三电极层由第三导电材料构成，并且触摸传感器面板层叠结构不包括位于第一衬底层和第二电极层之间的第二衬底层。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第二电极层被配置为使第一电极层屏蔽第一噪声，并且第三电极层被配置为使第一电极层屏蔽第二噪声。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一电极层与钝化层接触，并且第二电极层与钝化层接触。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一电极层与位于第一衬底层的第一侧的第一衬底层的表面接触。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第三电极层与位于第一衬底层的第二侧的第一衬底层的表面接触。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一电极层包括触摸电极和迹线，第二电极层被配置为屏蔽迹线，第二电极层被配置为不屏蔽触摸电极的区域，并且第三电极层被配置为屏蔽迹线和触摸电极。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，触摸传感器面板层叠结构还包括导电线，该导电线电耦接至第三电极层并被配置为降低第三电极层的有效薄片电阻。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线设置在第三电极层的表面上。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线嵌入到第三电极层中。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线与第一衬底层接触。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一电极层包括触摸电极和迹线，第二电极层被配置为屏蔽迹线和触摸电极，第三电极层被配置为屏蔽迹线，并且第三电极层被配置为不屏蔽触摸电极的区域。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，触摸传感器面板层叠结构还包括导电线，该导电线电耦接至第二电极层并被配置为降低第二电极层的有效薄片电阻。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线设置在第二电极层的表面上。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线耦接至第一电极层的区域。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，触摸传感器面板层叠结构还包括一个或多个接合垫，其中导电线和一个或多个接合垫包括层。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第二电极层与显示器的部件接触。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，部件为偏振器。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，触摸传感器面板层叠结构还包括导电线，该导电线电耦接至第二电极层并被配置为降低第二电极层的有效薄片电阻。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线设置在偏振器的表面上。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，导电线设置在第二电极层的表面上。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第二电极层被配置为耦接至第一驱动电路，并且第三电极层被配置为耦接至第二驱动电路。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一驱动电路为第二驱动电路。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一电极层被耦接至设置在第一衬底层的第一侧的一个或多个接合垫，并且第二电极层被耦接至设置在第一衬底层的第一侧的一个或多个接合垫。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，耦接至第一电极层的一个或多个接合垫和耦接至第二电极层的一个或多个接合垫包括相同的层。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一导电材料、第二导电材料和第三导电材料中的一者或多者包括银纳米线。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一导电材料、第二导电材料和第三导电材料中的一者或多者包括氧化铟锡。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第一导电材料、第二导电材料和第三导电材料中的一者或多者包括金属网。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，触摸电极被配置为接收激励信号，第二电极层和第三电极层中的一者或两者被配置为接收防护信号，并且该防护信号参考激励信号。
本公开的一些示例涉及用于制造触摸传感器面板的方法，该方法包括：形成第一衬底层；形成第一电极层，所述第一电极层位于所述第一衬底层的第一侧，其中所述第一电极层包括触摸电极和迹线中的一者或多者，所述迹线被配置为将所述触摸电极耦接至感测电路；形成第二电极层，所述第二电极层位于所述第一衬底层的所述第一侧；形成钝化层，所述钝化层设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间；以及形成第三电极层，该第三电极层位于第一衬底层的第二侧，该第二侧不同于第一衬底层的第一侧，其中：第一电极层由第一导电材料构成，第二电极层由第二导电材料构成，第三电极层由第三导电材料构成，并且触摸传感器面板不包括位于第一衬底层和第二衬底层之间的第二衬底层。除上文所述的一个或多个示例之外或另选地，在一些示例中，第二电极层被配置为使第一电极层屏蔽第一噪声，并且第三电极层被配置为使第一电极层屏蔽第二噪声。
虽然参照附图对本公开的示例进行了全面的描述，但应注意，各种变化和修改对于本领域内的技术人员而言将变得显而易见。应当理解，此类变化和修改被认为被包括在由所附权利要求所限定的本公开的示例的范围内。

Claims (20)

1.一种触摸传感器面板层叠结构，包括：
衬底；
第一电极层，所述第一电极层从第一导电材料形成，并且所述第一电极层包括一个或多个触摸电极以及被配置为将所述一个或多个触摸电极耦接至感测电路的一个或多个迹线，所述第一电极层位于所述衬底的第一侧；
第二电极层，所述第二电极层从第二导电材料形成，并且所述第二电极层位于所述衬底的不同于所述第一侧的第二侧；
偏振器，所述偏振器被形成在所述衬底的所述第一侧上；以及
第三电极层，所述第三电极层从第三导电材料形成，并且所述所述第三电极层位于所述衬底的所述第一侧；
其中所述第二电极层被配置为使所述第一电极层屏蔽第一噪声，并且所述第三电极层被配置为使所述第一电极层屏蔽第二噪声。
2.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述第三电极层被形成在所述偏振器上。
3.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述第二电极层的位置被限制为保持所述一个或多个触摸电极基本上不屏蔽接近所述衬底的所述第二侧的一个或多个对象。
4.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述第二电极层被配置为接收防护信号。
5.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，还包括钝化层，所述钝化层被设置在所述第一电极层与所述偏振器之间。
6.根据权利要求5所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述衬底、所述第一电极层、所述第二电极层和所述钝化层被层压到所述偏振器和所述第三电极层。
7.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，还包括钝化层，所述钝化层被设置在所述第二电极层上方。
8.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述第三电极层包括纳米线材料。
9.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述第三电极层被配置为接收防护信号。
10.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述偏振器被设置在所述第一电极层与所述第三电极层之间。
11.根据权利要求1所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述第三电极层被设置在所述第一电极层与所述偏振器之间。
12.根据权利要求11所述的触摸传感器面板层叠结构，还包括至少一个导电线，所述至少一个导电线电耦接至所述第三电极层并被配置为降低所述第三电极层的有效薄层电阻。
13.根据权利要求12所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述至少一个导电线被设置在所述第三电极层的表面上。
14.根据权利要求12所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述至少一个导电线被嵌入在所述第三电极层中。
15.根据权利要求11所述的触摸传感器面板层叠结构，其中所述偏振器被结合到显示器中。
16.一种用于减少触摸传感器面板层叠结构上的噪声的影响的方法，所述方法包括：
支持衬底的正面上的第一屏蔽，所述第一屏蔽用于使形成在所述衬底的背面上的一个或多个迹线屏蔽第一噪声，所述一个或多个迹线被配置为将所述一个或多个触摸电极耦接至感测电路；以及
支持偏振器上的第二屏蔽，所述第二屏蔽用于使所述一个或多个迹线屏蔽第二噪声，所述偏振器位于所述衬底的所述背面。
17.根据权利要求16所述的方法，还包括定位所述第一屏蔽以保持所述一个或多个触摸电极基本上不屏蔽接近所述衬底的所述正面的一个或多个对象。
18.根据权利要求16所述的方法，还包括利用防护信号驱动所述第一屏蔽。
19.根据权利要求16所述的方法，还包括将所述偏振器设置在所述一个或多个触摸电极与所述第二屏蔽之间。
20.根据权利要求16所述的方法，还包括将所述第二屏蔽设置在所述一个或多个触摸电极与所述偏振器之间。
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