CN114517863A - 一种真空配管连接结构及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种真空配管连接结构及方法，涉及蚀刻设备制造技术领域，用于解决当前真空配管连接结构拧紧时费时费力，所述真空配管连接结构包括：第一法兰盘，第二法兰盘和管夹；所述第一法兰盘和所述第二法兰盘分别设置在需要连接的真空配管的连接端，且所述第一法兰盘和所述第二法兰盘尺寸相同；所述管夹一侧与所述第一法兰盘旋转锁定，另一侧与所述第二法兰盘旋转锁定；所述管夹中设置有密封圈，对接的真空配管分别位于所述密封圈两侧，安装到位后，密封圈实现对连接真空配管的密封对接。本发明实施例提供的技术方案能够提高配管的组装效率。

Description

一种真空配管连接结构及方法

技术领域

本发明涉及蚀刻设备制造技术领域，尤其涉及一种真空配管连接结构及方法。

背景技术

使用半导体真空配管的设备中，配管长度过长，在配管设置时，不易一体型安装。通常在连接两个真空配管时，利用定心环、密封圈、管夹依次箍住两个待连接管夹的连接处，在拧紧管夹上的螺丝。

然而，上述方法费时费力，降低了刻蚀前装置的组装效率。

发明内容

鉴于上述的分析，本发明旨在提供一种真空配管连接结构及方法，以解决现有技术手段中存在的上述全部或部分问题。

本发明的目的主要是通过以下技术方案实现的：

第一方面，本发明实施例提供了一种真空配管连接结构，包括：第一法兰盘，第二法兰盘和管夹；

所述第一法兰盘和所述第二法兰盘分别设置在需要连接的真空配管的连接端，且所述第一法兰盘和所述第二法兰盘尺寸相同；

所述管夹一侧与所述第一法兰盘旋转锁定，另一侧与所述第二法兰盘旋转锁定；

所述管夹中设置有密封圈，对接的真空配管分别位于所述密封圈两侧，安装到位后，密封圈实现对连接真空配管的密封对接。

进一步地，所述管夹包括：第一密封定心、第二密封定心和转盘；

所述第一密封定心和所述第二密封定心的一端与转盘转动连接，另一端与所述第一法兰盘和所述第二法兰盘旋转锁定。

进一步地，所述第一密封定心安装侧上设置有第一安装槽；

所述第二密封定心安装侧上设置有第二安装槽；

所述转盘的外周上设置有环形的第三安装槽，环形的第三安装槽的两侧环形槽壁分别插入所述第一安装槽和所述第二安装槽。

进一步地，所述第一法兰盘外壁设置有第一锁定槽和第一凸起；

所述第一密封定心内壁上设置有第二锁定槽和第二凸起；

所述第一凸起尺寸与所述第二锁定槽内径尺寸匹配，所述第一凸起与所述第二锁定槽配合形成锁定结构；

所述第二凸起尺寸与所述第一锁定槽内径尺寸匹配，所述第二凸起与所述第一锁定槽配合形成锁定结构。

进一步地，所述第一锁定槽和所述第二锁定槽为流线型；

所述第一凸起和所述第二凸起的外表面与所述流线型相匹配。

进一步地，所述第二凸起上设置有提示信息，所述提示信息用于指示所述第一法兰盘和所述第一密封定心锁定配合到位；

所述第一锁定槽开设有展示孔，所述展示孔用于展示所述提示信息。

进一步地，所述第一凸起形状与所述第二锁定槽末端形状相匹配，所述第一凸起进入所述第二锁定槽末端后，所述第二锁定槽卡住所述第一凸起；

所述第二凸起形状与所述第一锁定槽末端形状相匹配，所述第二凸起进入所述第一锁定槽末端后，所述第一锁定槽卡住所述第二凸起。

进一步地，所述第二法兰盘外壁设置有第三锁定槽和第三凸起；

所述第二密封定心内壁上设置有第四锁定槽和第四凸起；

所述第三凸起尺寸与所述第四锁定槽内径尺寸匹配，所述第三凸起与所述第四锁定槽配合形成锁定结构；

所述第四凸起尺寸与所述第三锁定槽内径尺寸匹配，所述第四凸起与所述第三锁定槽内配合形成锁定结构。

进一步地，所述第三锁定槽和所述第四锁定槽为流线型；

所述第三凸起和所述第四凸起的外表面为与所述流线型相匹配的圆弧形。

进一步地，所述第四凸起上设置有提示信息，所述提示信息用于指示所述第二法兰盘和所述第二密封定心锁定配合到位；

所述第三锁定槽开设有展示孔，所述展示孔用于展示所述提示信息。

进一步地，所述第三凸起形状与所述第四锁定槽末端形状相匹配，所述第三凸起进入所述第四锁定槽末端后，所述第三锁定槽卡住所述第四凸起；

所述第四凸起形状与所述第三锁定槽末端形状相匹配，所述第四凸起进入所述第三锁定槽末端后，所述第三锁定槽卡住所述第四凸起。

第二方面，本发明实施例提供了一种真空配管连接方法，采用第一方面中任一所述的真空配管连接结构，包括：

将第一法兰盘套设于第一真空配管一端，通过所述第一法兰盘将所述第一真空配管固定于管夹一侧；

将第二法兰盘套设于第二真空配管一端，通过所述第二法兰盘将所述第二真空配管固定于所述管夹另一侧；

将第一法兰盘和第二法兰盘与管夹旋转锁定。

进一步地，所述管夹包括：第一密封定心和第二密封定心；所述旋转第一法兰盘和第二法兰盘，将第一法兰盘和第二法兰盘与管夹旋转锁定，包括：

设置在所述第一法兰盘外壁的第二凸起伸入设置在所述第一密封定心内侧的第一锁定槽中，设置在所述第一密封定心内侧的所述第一凸起伸入设置在所述第一法兰盘外壁的第二锁定槽；旋转所述第一密封定心；

将设置在所述第二法兰盘外壁的第四凸起伸入设置在所述第二密封定心内侧的第三锁定槽中，同时将设置在所述第二密封定心内侧的第三凸起伸入设置在所述第二法兰盘外壁的第四锁定槽；旋转所述第二密封定心。

本发明技术方案的有益效果：

1、利用法兰盘和管夹的配合以及旋转连接的方式，实现两个待连接的真空配管能分别连接在管夹两侧，如此在连接两个配管时，工作人员可以先将一个真空管连接在管夹的一侧，再将另一个真空管连接在管夹的另一侧。而现有技术中，需要工作人员一边托住两个真空管使得两个真空管形成连接部，一边还要在连接部处套上定心环、密封圈和管夹。显然在现有技术中，更多的时候需要2-3名工作人员才能快速地完成真空配管的连接；而本发明中只需要1名工作人员就能快速完成真空配管的连接，因而极大的提高了真空配的装配效率。

2、通过第一密封定心、第二密封定心和转盘的连接方式，使得第一密封定心和第二密封定心可以沿转盘旋转，从而为第一密封定心和第一法兰盘的旋转锁定以及第二密封定心和第二法兰盘的旋转锁定奠定旋转基础。

3、在法兰盘外壁设置有锁定槽和凸起，密封定心内壁上设置有锁定槽和凸起，通过将法兰盘的凸起滑动至密封定心的锁定槽内以及将密封定心的凸起滑动至法兰盘的锁定槽内，为第一密封定心和第一法兰盘的旋转锁定以及第二密封定心和第二法兰盘的旋转锁定奠定锁定基础。

4、法兰盘和密封定心内壁的锁定槽均为流线型，法兰盘和密封定心内壁的凸起均为与流线型相匹配的圆弧形，便于凸起划入到锁定槽中，从而增强了法兰盘和密封定心的连接强度。

5、法兰盘凸起上设置有提示信息，密封定心的锁定槽上设置有展示孔，通过两者的配合，在装配真空配管时，可以根据是否能在展示孔处看到提示信息，确定法兰盘和密封定心是否锁紧，从而提高装配效率。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分的从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本发明的限制，在整个附图中，相同的参考符号表示相同的部件。

图1为本发明实施例提供的一种真空配管连接结构的示意图。

附图标记：

1-第一密封定心；11-第一锁定槽；12-第一凸起；2-第一法兰盘；21-第二锁定槽；22-第二凸起；3-第二密封定心；31-第三锁定槽；32-第三凸起；33-第二安装槽；4-第二法兰盘；41-第四锁定槽；42-第四凸起；5-转盘；51-第三安装槽；6-密封圈。

具体实施方式

下面结合附图来具体描述本发明的优选实施例，应理解，当提及元件或层在另一元件或层“之上”、“连接到”或“连结到”另一元件或层时，其可直接在另一元件或层之上、直接连接或连结到另一元件或层，或者其间可存在中间元件或层。相反，当提及元件“直接在另一元件或层之上”、“直接连接到”或“直接连结到”另一元件或层时，其间不存在中间元件或层。相同的数字始终指代相同的元件。如本文使用的，术语“和/或”包括列出的一个或多个相关项目的任何和所有组合。

应理解，尽管这里术语第一、第二、第三等可用来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但这些元件、组件、区域、层和/或部分不应限于这些术语。这些术语仅用来区分一个元件、组件、区域、层或部分与另一个区域、层或部分。因此，在不脱离本发明教导的情况下，下面讨论的第一元件、组件、区域、层或部分可称为第二元件、组件、区域、层或部分。

为了便于描述，这里诸如“在...之下”、“在...下方”、“下面”、“在...之上”、“上方”等的空间相对术语可用来描述附图中所示的一个元件或特征与另一个元件或特征的关系。应理解，除了附图中描绘的取向之外，空间相对术语旨在包含装置在使用或操作中的不同取向。例如，当附图中的装置翻转时，描述为在其他元件或特征“下方”或“之下”的元件将取向为在其他元件或特征“之上”。因此，示例性术语“在...下方”可包括之上和之下两种取向。装置可以其他方式取向(旋转90度或在其他方向)，于是相应地解释在此所使用的空间相对描述符。

这里使用的术语仅用于描述特定实施例的目的，而不旨在限制本发明。如本文所使用的，单数形式“一”和“该”也旨在包括复数形式，除非上下文另有明确说明。应进一步理解，术语“包括”和/或“包含”在用于本说明书中时表明所陈述的特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或其群组。

这里参照示意示出本发明理想实施例(和中间结构)的截面图来描述本发明的实施例。如此，由于例如制造技术和/或公差的原因，预计会出现图示形状的变化。因此，本发明的实施例不应解释为限于本文示出的区域的特定形状，而是包括由例如制造所引起的形状偏差。例如，示出为矩形的注入区域通常在其边缘具有圆形或弯曲的特征和/或注入浓度梯度，而不是从注入区域到非注入区域的二元变化。同样地，通过注入形成的掩埋区域可导致掩埋区域与表面发生注入之间的区域中的一些注入。因此，附图中示出的区域本质上是示意性的，它们的形状不旨在示出装置区域的实际形状，且不旨在限制本发明的范围。

如图1所示，本发明实施例提供了一种真空配管连接结构，包括：第一法兰盘2，第二法兰盘4和管夹。A和B表示两根待连接的且直径相同的真空配管。

管夹包括；第一密封定心1、第二密封定心3、转盘5和密封圈6。其中，第一密封定心1、第二密封定心3均为环形，且分别位于转盘5的两侧，转盘5中间开设有通孔，密封圈6安装在通孔中。需要说明的是，本发明实施例中，管夹是预先配置好的，安装时不需要对管夹进行组装。

第一锁定槽11设置在第一密封定心1内侧，第二锁定槽21设置在第一法兰盘2外壁，第三锁定槽31设置在第二密封定心3内侧，第四锁定槽41设置在第二法兰盘4外壁。第一凸起12设置在第一密封定心1内侧，第二凸起22设置在第一法兰盘2外壁，第三凸起32设置在第二密封定心3内侧，第四凸起42设置在第二法兰盘4外壁。第一密封定心1安装侧上设置有第一安装槽13，第二密封定心3安装侧上设置有第二安装槽33，转盘5的圆周上设置有第三安装槽51。转盘5中心设置有密封圈6。

安装时，设置在第一法兰盘2外壁的第二凸起22伸入设置在第一密封定心1内侧的第一锁定槽11中，设置在第一密封定心1内侧的第一凸起12伸入设置在第一法兰盘2外壁的第二锁定槽21，然后旋转第一密封定心1，如此，第一凸起12旋进第二锁定槽21中，第二凸起22旋进第一锁定槽11中，从而使得第一法兰盘2不会与第一密封定心1发生相对移动，进而使得真空配管B与管夹不能发生相对移动。同时，靠近真空配管B的密封圈6的部分也会进入真空配管B中。

同理，对于真空配管A，在安装时设置在第二法兰盘4外壁的第四凸起42伸入设置在第二密封定心3内侧的第三锁定槽31中，设置在第二密封定心3内侧的第三凸起32伸入设置在第二法兰盘4外壁的第四锁定槽41，然后旋转第二密封定心3。如此，第三凸起32旋进第四锁定槽41中，第四凸起42旋进第三锁定槽31中，从而使得第二法兰盘4不会与第二密封定心3发生相对移动，进而使得真空配管A与管夹不能发生相对移动。同时，靠近真空配管A的密封圈6的部分也会进入真空配管A中。

由此可见，通过本申请实施例提供的技术方案能够实现将真空配管A和真空配管B连接到一起。

为了使真空配管A和真空配管B可以分别安装，在本发明实施例中，第一密封定心1和第二密封定心3可以独立旋转。即第一密封定心1旋转时，第二密封定心3可以不用旋转；第二密封定心3旋转时，第一密封定心1可以不用旋转。具体地，第一密封定心1安装侧上设置有第一安装槽13，第二密封定心3安装侧上设置有第二安装槽33，转盘5的圆周上设置有第三安装槽51，第三安装槽51为环形槽。第三安装槽51的一个侧面插入第一安装槽13，第三安装槽51的另一个侧面插入第二安装槽33。如此，第一密封定心1和第三密封定心3就可以稳定的安装在转盘5上。由于第三安装槽51为环形槽，因此第一密封定心1和第二密封定心3可以在转盘5上旋转。需要说明的是，第一安装槽13和第二安装槽33可以为环形槽，也可以为在转盘5上周向均匀分布的多个槽。

如此，安装时，工作人员可以先将第二法兰盘4套设于安装真空配管A连接端，再同时将第四凸起42伸入第三锁定槽31中，第三凸起32伸入第四锁定槽41，然后旋转第二密封定心3，从而完成真空配管A的安装。之后，在以同样的方法安装真空配管B。由此可知，整个过程可以由一名工作人员完成，且旋转第一密封定心1和第二密封定心3要比现有技术中旋转管夹上的螺丝省力气，且更容易旋转，甚至可以不借用任何工具。

使真空配管A和真空配管B牢固连接的关键在于4个凸起12、22、32、42能够牢固的锁定在4个锁定槽21、11、41和31中。在本发明实施例中，第一锁定槽11、第二锁定21、第三锁定槽31和第四锁定槽41为流线型，第一凸起12、第二凸起22、第三凸起32和第四凸起42的外表面为与流线型相匹配的圆弧形。如此以保证第一凸起12、第二凸起22、第三凸起32和第四凸起42可以顺利地在第一锁定槽11、第二锁定21、第三锁定槽31和第四锁定槽41中滑动，从而为凸起与锁定槽形成锁定结构提供必要的前提条件。同时，设计锁定槽末端的形状与凸起的形状相匹配，如此凸起可以进入锁定槽末端。凸起进入锁定槽末端后，会被卡在锁定槽末端中。例如，凸起为弹性材料，凸起可以挤入锁定槽末端，并与锁定槽末端过盈配合。或者锁定槽末端为L型，使得凸起不容易从锁定槽末端滑出。

虽然设置有锁定结构，然而锁定槽末端毕竟处于各部件的内部，因而不容易观察到凸起和锁定槽是否紧密结合。为了解决上述问题，在本发明实施例中，第二凸起22上设置有提示信息，提示信息用于指示第一法兰盘2和第一密封定心1紧密结合。第四凸起42上也设置有提示信息，该提示信息用于表征第二法兰盘4和第二密封定心3紧密结合。第一锁定槽11和第三锁定槽31开设有展示孔，展示孔用于展示提示信息。将展示孔设置在第一锁定槽11和第三锁定槽31，是因为第一密封定心1和第二密封定心3分别包裹住第一法兰盘2和第二法兰盘4的外侧，因而想通过展示孔看到部件内部的情况只能在设置在第一密封定心1的第一锁定槽11和设置在第二密封定心3上的第三锁定槽31。提示信息可以是颜色、图形、文字或字符中的一种或多种的结合。例如，提示信息可以是红色，或表达锁的文字和图案。展示孔设置的位置与定位槽末端相对应。

为了说明本发明提供的技术方案的可行性，本发明给出一个具体组装实施例真空配管A和真空配管B操作步骤。

步骤1、安装真空配管A。其具体过程如下：

将第二法兰盘4套设在真空配管A的一端；

将设置在第二法兰盘4外壁的第四凸起42伸入设置在第二密封定心3内侧的第三锁定槽31中，同时将设置在第二密封定心3内侧的第三凸起32伸入设置在第二法兰盘4外壁的第四锁定槽41。

旋转第二密封定心3，直至从展示孔中看到第四凸起42上预先设置的颜色。

步骤2、安装真空配管B。其具体过程如下：

将第一法兰盘2套设在真空配管B的一端；

设置在第一法兰盘2外壁的第二凸起22伸入设置在第一密封定心1内侧的第一锁定槽11中，设置在第一密封定心1内侧的第一凸起12伸入设置在第一法兰盘2外壁的第二锁定槽21。

旋转第一密封定心1，直至从展示孔中看到第二凸起22上预先设置的颜色。

基于上述实施例，本发明提供了一种真空配管连接方法，具体请参考图1，包括以下步骤：

步骤1、将第一法兰盘套设于第一真空配管一端，通过第一法兰盘将第一真空配管固定于管夹一侧。

步骤2、将第二法兰盘套设于第二真空配管一端，通过第二法兰盘将第二真空配管固定于管夹另一侧。

在本发明实施例中，管夹包括：第一密封定心和第二密封定心。

设置在第一法兰盘外壁的第二凸起伸入设置在第一密封定心内侧的第一锁定槽中，设置在第一密封定心内侧的第一凸起伸入设置在第一法兰盘外壁的第二锁定槽；旋转第一密封定心；

将设置在第二法兰盘外壁的第四凸起伸入设置在第二密封定心内侧的第三锁定槽中，同时将设置在第二密封定心内侧的第三凸起伸入设置在第二法兰盘外壁的第四锁定槽；旋转第二密封定心。

步骤3、将第一法兰盘和第二法兰盘与管夹旋转锁定。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种真空配管连接结构，其特征在于，包括：第一法兰盘，第二法兰盘和管夹；

所述第一法兰盘和所述第二法兰盘分别设置在需要连接的真空配管的连接端，且所述第一法兰盘和所述第二法兰盘尺寸相同；

所述管夹一侧与所述第一法兰盘旋转锁定，另一侧与所述第二法兰盘旋转锁定；

所述管夹中设置有密封圈，对接的真空配管分别位于所述密封圈两侧，安装到位后，密封圈实现对连接真空配管的密封对接。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，

所述管夹包括：第一密封定心、第二密封定心和转盘；

所述第一密封定心和所述第二密封定心的一端与转盘转动连接，另一端与所述第一法兰盘和所述第二法兰盘旋转锁定。

3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述第一密封定心安装侧上设置有第一安装槽；

所述第二密封定心安装侧上设置有第二安装槽；

所述转盘的外周上设置有环形的第三安装槽，环形的第三安装槽的两侧环形槽壁分别插入所述第一安装槽和所述第二安装槽。

4.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，

所述第一法兰盘外壁设置有第一锁定槽和第一凸起；

所述第一密封定心内壁上设置有第二锁定槽和第二凸起；

所述第一凸起尺寸与所述第二锁定槽内径尺寸匹配，所述第一凸起与所述第二锁定槽配合形成锁定结构；

所述第二凸起尺寸与所述第一锁定槽内径尺寸匹配，所述第二凸起与所述第一锁定槽配合形成锁定结构。

5.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，

所述第一锁定槽和所述第二锁定槽为流线型；

所述第一凸起和所述第二凸起的外表面与所述流线型相匹配。

6.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，

所述第二凸起上设置有提示信息，所述提示信息用于指示所述第一法兰盘和所述第一密封定心锁定配合到位；

所述第一锁定槽开设有展示孔，所述展示孔用于展示所述提示信息。

7.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，

所述第一凸起形状与所述第二锁定槽末端形状相匹配，所述第一凸起进入所述第二锁定槽末端后，所述第二锁定槽卡住所述第一凸起；

所述第二凸起形状与所述第一锁定槽末端形状相匹配，所述第二凸起进入所述第一锁定槽末端后，所述第一锁定槽卡住所述第二凸起。

8.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，

所述第二法兰盘外壁设置有第三锁定槽和第三凸起；

所述第二密封定心内壁上设置有第四锁定槽和第四凸起；

所述第三凸起尺寸与所述第四锁定槽内径尺寸匹配，所述第三凸起与所述第四锁定槽配合形成锁定结构；

所述第四凸起尺寸与所述第三锁定槽内径尺寸匹配，所述第四凸起与所述第三锁定槽内配合形成锁定结构。

9.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，

所述第三锁定槽和所述第四锁定槽为流线型；

所述第三凸起和所述第四凸起的外表面为与所述流线型相匹配的圆弧形。

10.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，

所述第四凸起上设置有提示信息，所述提示信息用于指示所述第二法兰盘和所述第二密封定心锁定配合到位；

所述第三锁定槽开设有展示孔，所述展示孔用于展示所述提示信息。

11.根据权利要求8所述的结构，其特征在于，

所述第三凸起形状与所述第四锁定槽末端形状相匹配，所述第三凸起进入所述第四锁定槽末端后，所述第三锁定槽卡住所述第四凸起；

所述第四凸起形状与所述第三锁定槽末端形状相匹配，所述第四凸起进入所述第三锁定槽末端后，所述第三锁定槽卡住所述第四凸起。

12.一种真空配管连接方法，采用权利要求1-11所述的真空配管连接结构，其特征在于，包括：

将第一法兰盘套设于第一真空配管一端，通过所述第一法兰盘将所述第一真空配管固定于管夹一侧；

将第二法兰盘套设于第二真空配管一端，通过所述第二法兰盘将所述第二真空配管固定于所述管夹另一侧；

将所述第一法兰盘和所述第二法兰盘与管夹旋转锁定。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述管夹包括：第一密封定心和第二密封定心；所述旋转第一法兰盘和第二法兰盘，将第一法兰盘和第二法兰盘与管夹旋转锁定，包括：

设置在所述第一法兰盘外壁的第二凸起伸入设置在所述第一密封定心内侧的第一锁定槽中，设置在所述第一密封定心内侧的所述第一凸起伸入设置在所述第一法兰盘外壁的第二锁定槽；旋转所述第一密封定心；

将设置在所述第二法兰盘外壁的第四凸起伸入设置在所述第二密封定心内侧的第三锁定槽中，同时将设置在所述第二密封定心内侧的第三凸起伸入设置在所述第二法兰盘外壁的第四锁定槽；旋转所述第二密封定心。

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