CN114487478A - 一种基于正交载波调制的moems加速度传感器系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，解决了模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题，提高信号检测精度，同时适用范围广泛。包括：电压驱动信号单元用于输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号；LD驱动电流控制单元用于将相应的两路直流偏置正弦电压信号转化为相位差为90°的直流偏置正弦电流信号并输出；激光输出单元用于输出两路直流偏置正弦电流信号对应的两路激光信号至MEMS芯片；光信号处理回路用于将经MEMS芯片后携带有加速度信息的两路激光信号转化为两路电信号，对两路电信号进行解调获得两路解调信号后进行算法处理并输出加速度信号。

Description

一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统

技术领域

本发明涉及微机电系统(MEMS)传感器技术领域，具体为一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统。

背景技术

集成式MOEMS加速度传感器，将MEMS敏感芯片、激光芯片及光电二极管等元件集成在微型壳体内，解决了光纤MEMS加速度传感器性能、体积、成本及实用性问题，应用前景广泛，由于半导体激光器具有体积小、重量轻、波长范围宽、可靠性高以及可直接调制等优点，被普遍用作集成式MOEMS加速度传感器的光源，但是半导体激光器相对于He-Ne激光器而言，也有着温度特性差、输出光发散和噪声较大等缺点。特别是半导体激光器引入的相对光强噪声在传感器系统所有的噪声源中所占比重较大，降低了传感器系统的工作性能。所以为了降低集成式MOEMS加速度传感器系统的噪声水平，提高其分辨率，必须采用相关手段有效的抑制半导体激光器引入的相对光强噪声。

现有技术中，为了抑制半导体激光器引入的相对光强噪声，通常采用以下几种方法：一是简单的强度调制的方法，这种方法利用相对光强噪声的1/f噪声特性和半导体激光器可直接调制的特点，首先将半导体激光器输出的激光信号调制到高频带，激光信号从MEMS芯片输出并转换成电信号后，再利用锁相放大器解调的方法来降低相对光强噪声，提高信号检测精度。这种方法的系统结构简单，但是不能完全消除低频噪声对MOEMS加速度传感器系统的干扰。二是采用闭环控制的方法，在强度调制的基础上采用光源强度闭环控制的方法，抑制了光源波动对输出精度和系统噪声的影响，该装置中一束激光经过MOEMS加速度计芯片后产生多个衍射光斑，其中0级和1级衍射光斑分别由两路光信号检测回路进行处理，最终在FPGA模块中求解出光源强度噪声信息并在输出信号中加以去除，而且根据光源强度噪声信息实时调控光源，从而实现了抑制了光源波动对传感器系统输出精度和系统噪声影响的目的，该方案是一种闭环反馈控制方案，控制系统结构复杂，实际应用时调节难度较大，而且该方案应用的光力耦合加速度计是光栅式加速度计，利用激光经过加速度计芯片后的0级和±1级光斑的特性很容易通过算法得到光源强度噪声分量，而在不增加光学元件的前提下，对于其他类型的光学传感器来说，实现这一过程比较困难，通常一束激光经过MEMS芯片后只会产生一个光斑，也就是说无法完全适用于大部分的MOEMS传感器系统。同时以上方案都没有考虑模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，解决了模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题，提高信号检测精度，同时适用范围广泛。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，包括依次连接的电压驱动信号单元、LD驱动电流控制单元、激光输出单元、MEMS芯片和光信号处理回路，所述光信号处理回路包括激光信号检测单元、电流-电压转化单元、带通滤波单元、参考信号输出单元、锁相解调单元、模数转换单元和微控制单元；

其中，所述电压驱动信号单元用于输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号至LD驱动电流控制单元；所述LD驱动电流控制单元用于将相应的两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号转化为相位差为90°的直流偏置正弦电流信号并输出至所述激光输出单元；所述激光输出单元用于输出两路直流偏置正弦电流信号对应的两路激光信号至所述MEMS芯片；所述光信号处理回路用于将经所述MEMS芯片后携带有加速度信息的两路激光信号转化为两路电信号，对两路电信号进行解调获得两路解调信号，对两路解调信号进行算法处理后输出加速度信号。

优选地，所述电压驱动信号单元包括信号发生器、第一DC电压源、第二DC电压源和移相器；

其中，所述信号发生器用于输出两路同相正弦电压信号；所述第一DC电压源或第二DC电压源与信号发生器的连接电路之间设有移相器，所述移相器用于将其中一路的正弦电压信号移相90°；所述第一DC电压源和第二DC电压源用于给两路正交正弦电压信号提供直流偏置。

优选地，所述LD驱动电流控制单元包括第一LD电流控制器和第二LD电流控制器，所述激光输出单元包括第一激光二极管和第二激光二极管；

其中，所述第一LD电流控制器和第二LD电流控制器用于分别接收相位差为90°的两路直流偏置正弦电压信号转化为正弦电流信号并分别驱动所述第一激光二极管和第二激光二极管，所述第一激光二极管和第二激光二极管用于输出两路激光信号至所述MEMS芯片，所述MEMS芯片用于检测激光信号的光强变化得到携带有加速度信息的两路激光信号。

优选地，所述激光信号检测单元包括第一光电二极管和第二光电二极管，所述电流-电压转化单元包括第一跨阻放大器和第二跨阻放大器；

其中，所述第一光电二极管和第二光电二极管用于检测携带有加速度信息的两路激光信号并转换为两路电流信号；所述第一跨阻放大器和第二跨阻放大器用于将两路电流信号转换为两路电压信号。

优选地，所述带通滤波单元包括第一带通滤波器和第二带通滤波器，所述第一带通滤波器和第二带通滤波器用于接收两路电压信号并分别对两路电压信号进行滤波。

优选地，所述第一带通滤波器和第二带通滤波器的中心频率和所述信号发生器输出的正弦电压信号的频率相等。

优选地，所述锁相解调单元包括第一乘法器、第二乘法器、第一低通滤波器和第二低通滤波器；

其中，所述第一乘法器和第二乘法器的输入端还连接有参考信号输出单元，所述第一乘法器和第二乘法器用于接收滤波后的两路电压信号并结合所述参考信号输出单元输出的参考信号进行解调，第一低通滤波器和第二低通滤波器用于分别对解调后的两路信号进行滤波。

优选地，所述模数转换单元包括第一模数转换器和第二模数转换器；所述第一模数转换器和第二模数转换器用于将解调滤波后的两路信号转换为数字信号并输送至所述微控制单元。

优选地，所述微控制单元包括第一平方算法模块、第二平方算法模块、求和算法模块和开平方算法模块；

其中，所述第一平方算法模块和第二平方算法模块用于分别对两路数字信号作平方运算，所述求和算法模块用于对两路平方运算后的数字信号求和，所述开平方算法模块用于对求和后的数字信号作开方运算，获得加速度信号并输出。

优选地，所述MEMS芯片采用法布里珀罗MOEMS加速度敏感芯片。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，通过采用电压驱动信号单元输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号至LD驱动电流控制单元，LD驱动电流控制单元输出相应的两路相位差为90度的直流偏置正弦电流信号至激光输出单元，使得激光输出单元输出的两路激光信号随时间呈直流偏置正弦变化，且相位差为90°，两路激光信号作为正交载波进入MEMS芯片中实现光强调制，并在后续的锁相电路中被解调，从而能够降低解调相位波动对传感器输出信号的影响，同时锁相放大器对信号进行解调能够降低相对光强噪声，抑制光源波动对传感器系统输出精度和系统噪声的影响，提高信号检测精度，适用于绝大部分应用半导体激光器的MOEMS加速度传感器系统，适用范围广泛。

附图说明

图1为本发明实施例中基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统的原理结构框图。

图中，1、电压驱动信号单元；2、信号发生器；3、移相器；4、第一DC电压源；5、第二DC电压源；6、LD驱动电流控制单元；7、第一LD电流控制器；8、第二LD电流控制器；9、激光输出单元；10、第一激光二极管；11、第二激光二极管；12、MEMS芯片；13、激光信号检测单元；14、第一光电二极管；15、第二光电二极管；16、电流-电压转化单元；17、第一跨阻放大器；18、第二跨阻放大器；19、第一带通滤波器；20、第二带通滤波器；21、带通滤波单元；22、参考信号输出单元；23、第一乘法器；24、第二乘法器；25、锁相解调单元；26、第一低通滤波器；27、第二低通滤波器；28、第一模数转换器；29、第二模数转换器；30、模数转换单元；31、微控制单元；32、第一平方算法模块；33、第二平方算法模块；34、求和算法模块；35、开平方算法模块。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

下面结合附图对本发明做进一步详细描述：

如图1所示，本发明一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，包括依次连接的电压驱动信号单元1、LD驱动电流控制单元6、激光输出单元9、MEMS芯片12和光信号处理回路，所述光信号处理回路包括激光信号检测单元13、电流-电压转化单元16、带通滤波单元21、参考信号输出单元22、锁相解调单元25、模数转换单元30和微控制单元31；

其中，所述电压驱动信号单元1用于输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号至所述LD驱动电流控制单元6，所述LD驱动电流控制单元用于将相应的两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号转化为相位差为90°的直流偏置正弦电流信号并输出至所述激光输出单元9；所述激光输出单元9用于输出两路直流偏置正弦电流信号对应的两路激光信号至所述MEMS芯片12；所述光信号处理回路用于将经所述MEMS芯片12后携带有加速度信息的两路激光信号转化为两路电信号，对两路电信号进行解调获得两路解调信号，对两路解调信号进行算法处理后输出加速度信号。

本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，通过采用电压驱动信号单元1输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号至LD驱动电流控制单元6，LD驱动电流控制单元输出相应的两路相位差为90度的直流偏置正弦电流信号至激光输出单元9，使得激光输出单元9输出的两路激光信号随时间呈直流偏置正弦变化，且相位差为90°，两路激光信号作为正交载波进入MEMS芯片12中实现光强调制，并在后续的锁相电路中被解调，从而能够降低解调相位波动对传感器输出信号的影响，同时锁相放大器对信号进行解调能够降低相对光强噪声，抑制光源波动对传感器系统输出精度和系统噪声的影响，提高信号检测精度，适用于绝大部分应用半导体激光器的MOEMS加速度传感器系统，适用范围广泛。

具体地，所述电压驱动信号单元1输出两路相位差为90度的直流偏置正弦电压信号到所述LD驱动电流控制单元6；所述LD驱动电流控制单元6输出两路相位差为90度的直流偏置正弦电流信号驱动所述激光输出单元9；所述激光输出单元9输出两束激光射入所述MEMS芯片12，其光强为偏置正弦信号，且相位相差90度；所述激光信号检测单元13将检测经过光学加速度传感器后携带加速度信息的激光，并转换为电流信号；所述电流-电压转化单元16将来自所述激光信号检测单元13的电流信号转换成电压信号；所述带通滤波单元21对两路电压信号进行滤波；所述参考信号输出单元22输出参考正弦信号；所述锁相解调单元25基于锁相原理，分别对所述带通滤波单元21输出的两路电压信号进行解调；所述模数转换单元30将解调后的两路信号转换成数字信号输入到所述微控制单元31中；所述微控制单元31对两路数字信号实现平方和后开方运算，最后输出加速度信号。

本发明所述的MOEMS加速度传感器系统，同传统的简单强度调制噪声抑制MOEMS传感器系统和闭环调控光源波动降噪MOEMS传感器系统相比，相同的是，都利用了相对光强噪声的1/f噪声特性和半导体激光器可直接调制的特点，首先将半导体激光器输出的激光信号调制到高频带，激光信号从MEMS芯片12输出并转换成电信号后，再利用锁相放大器解调的方法来降低相对光强噪声，提高信号检测精度。不同的是，本发明从激光信号的产生开始就有两路特性相同且互不干扰的激光载波信号，其光强为直流偏置正弦变化且相位差相差90度，该两路激光信号作为正交载波进入MEMS芯片12后转换成电信号，再借助于锁相放大器进行解调得到解调信号，两路解调信号经过为控制单元算法处理后可以实现降低相对光强噪声的效果并且完全解决了激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题。

本实施例中，所述电压驱动信号单元1包括信号发生器2、第一DC电压源4、第二DC电压源5和移相器3；

其中，所述信号发生器2用于输出两路同相正弦电压信号；所述第一DC电压源4或第二DC电压源5与信号发生器2的连接电路之间设有移相器3，所述移相器3用于将其中一路的正弦电压信号移相90°；所述第一DC电压源4和第二DC电压源5用于给两路正交正弦电压信号提供直流偏置。

本实施例中，所述LD驱动电流控制单元6包括第一LD电流控制器7和第二LD电流控制器8，所述激光输出单元9包括第一激光二极管10和第二激光二极管11；

其中，所述第一LD电流控制器7和第二LD电流控制器8用于分别接收相位差为90°的两路直流偏置正弦电压信号转化为正弦电流信号并分别驱动所述第一激光二极管10和第二激光二极管11，所述第一激光二极管10和第二激光二极管11用于输出两路激光信号至所述MEMS芯片12，所述MEMS芯片12用于检测激光信号的光强变化得到携带有加速度信息的两路激光信号。

具体地，激光输出单元9在LD驱动电流控制单元6的驱动下输出的两路正交激光载波信号表达式分别为

A₁＝A₀+Asin(ωt)+n₁(t)；

A₂＝A₀+Acos(ωt)+n₂(t)。

其中，A₁和A₂分别表示LD驱动电流控制单元6的驱动下输出的两路正交激光载波信号的光强，A₀表示两路激光载波信号的偏置光强，A表示两路激光载波信号的幅值变动，ω表示半导体激光器的调制频率，n₁(t)和n₂(t)分别表示两路激光载波信号中的相对光强噪声。

本实施例中，所述激光信号检测单元13包括第一光电二极管14和第二光电二极管15，所述电流-电压转化单元16包括第一跨阻放大器17和第二跨阻放大器18；

其中，所述第一光电二极管14和第二光电二极管15用于检测携带有加速度信息的两路激光信号并转换为两路电流信号；所述第一跨阻放大器17和第二跨阻放大器18用于将两路电流信号转换为两路电压信号。

具体地，经过激光信号检测单元13的光电转换和电流-电压转化单元16的流压转换作用后，两路信号的表达式分别为：

其中，λ表示激光载波信号的真空波长，L在此表示法布里珀罗腔的长度，n表示折射率，R在此表示法布里珀罗腔的反射率，T表示经过法布里珀罗MEMS芯片12后的光强到电压的转换因数。

本实施例中，所述带通滤波单元21包括第一带通滤波器19和第二带通滤波器20，所述第一带通滤波器19和第二带通滤波器20用于接收两路电压信号并分别对两路电压信号进行滤波。

具体地，经过带通滤波单元21后，两路信号的表达式分别为：

进一步地，所述第一带通滤波器19和第二带通滤波器20的中心频率和所述信号发生器2输出的正弦电压信号的频率相等。

本实施例中，所述锁相解调单元25包括第一乘法器23、第二乘法器24、第一低通滤波器26和第二低通滤波器27；

其中，所述第一乘法器23和第二乘法器24的输入端还连接有参考信号输出单元22，所述第一乘法器23和第二乘法器24用于接收滤波后的两路电压信号并结合所述参考信号输出单元22输出的参考信号进行解调，第一低通滤波器26和第二低通滤波器27用于分别对解调后的两路信号进行滤波。

具体地，经过锁相解调单元25后，两路信号的表达式分别为

其中，B表示参考信号输出单元22输出的参考信号的幅值，

表示待解调激光载波信号与参考信号的相位差。

本实施例中，所述模数转换单元30包括第一模数转换器28和第二模数转换器29；所述第一模数转换器28和第二模数转换器29用于将解调滤波后的两路信号转换为数字信号并输送至所述微控制单元31。

本实施例中，所述微控制单元31包括第一平方算法模块32、第二平方算法模块33、求和算法模块34和开平方算法模块35；

其中，所述第一平方算法模块32和第二平方算法模块33用于分别对两路数字信号作平方运算，所述求和算法模块34用于对两路平方运算后的数字信号求和，所述开平方算法模块35用于对求和后的数字信号作开方运算，获得加速度信号并输出。

具体地，两路信号经过锁相解调单元25后，由模数转换单元30进行模数转换后进入微控制单元31中。由微控制单元31实现的具体算法过程为：

进一步地，所述MEMS芯片12采用法布里珀罗MOEMS加速度敏感芯片，包含由两面具有特定反射率的平面镜组成的法布里珀罗干涉腔，其中，一面镜子通常和惯性质量块组合形成可动镜面，而另一面和基体组合形成固定镜面。

本发明提供的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其具体实施步骤如下：

(1)电压驱动信号单元11中的信号发生器22输出两路同相正弦电压信号，移相器33把其中一路正弦电压信号移相90度，第一DC电压源44和第二DC电压源55给两路正交正弦电压信号提供直流偏置，最后电压驱动信号单元11输出两路相位差为90度的偏置正弦电压信号。

(2)LD驱动电流控制单元6中的第一LD电流控制器7和第二LD电流控制器8接收来自电压驱动信号单元11的电压信号，输出两路正交正弦电流信号分别驱动激光输出单元9中的第一激光二极管10和第二激光二极管1111，此时激光输出单元9中的第一激光二极管10和第二激光二极管1111会输出光强为偏置正弦变化的两路激光信号，且相位差为90度。

(3)MEMS芯片12将加速度信号转化为位移信号，继而改变了经过芯片后的激光光强。

(4)激光信号检测单元13中第一光电二极管14、第二光电二极管15检测经过光学加速度传感器后的两束激光，并转换为电流信号；电流-电压转化单元16中的第一跨阻放大器17、第二跨阻放大器1818将来自激光信号检测单元13的两路电流信号转换为电压信号。

(5)带通滤波单元21中的第一带通滤波器19、第二带通滤波器20分别对两路电压信号进行滤波，滤波后的两路电压信号进入锁相解调单元25中基于锁相的原理进行解调。

(6)模数转换单元30中的第一模数转换器28、第二模数转换器29将滤波后的两路解调信号转换成数字信号发送给微控制单元31。

(7)微控制单元31内部算法对两路信号实现平方和运算后再对数据进行开方处理，最后输出消除了相位差波动影响的加速度信号。

最后应当说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者等同替换，而未脱离本发明精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本发明的权利要求保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，包括依次连接的电压驱动信号单元(1)、LD驱动电流控制单元(6)、激光输出单元(9)、MEMS芯片(12)和光信号处理回路，所述光信号处理回路包括激光信号检测单元(13)、电流-电压转化单元(16)、带通滤波单元(21)、参考信号输出单元(22)、锁相解调单元(25)、模数转换单元(30)和微控制单元(31)；

其中，所述电压驱动信号单元(1)用于输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号至LD驱动电流控制单元(6)；所述LD驱动电流控制单元用于将相应的两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号转化为相位差为90°的直流偏置正弦电流信号并输出至所述激光输出单元(9)；所述激光输出单元(9)用于输出两路直流偏置正弦电流信号对应的两路激光信号至所述MEMS芯片(12)；所述光信号处理回路用于将经所述MEMS芯片(12)后携带有加速度信息的两路激光信号转化为两路电信号，对两路电信号进行解调获得两路解调信号，对两路解调信号进行算法处理后输出加速度信号。

2.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述电压驱动信号单元(1)包括信号发生器(2)、第一DC电压源(4)、第二DC电压源(5)和移相器(3)；

其中，所述信号发生器(2)用于输出两路同相正弦电压信号；所述第一DC电压源(4)或第二DC电压源(5)与信号发生器(2)的连接电路之间设有移相器(3)，所述移相器(3)用于将其中一路的正弦电压信号移相90°；所述第一DC电压源(4)和第二DC电压源(5)用于给两路正交正弦电压信号提供直流偏置。

3.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述LD驱动电流控制单元(6)包括第一LD电流控制器(7)和第二LD电流控制器(8)，所述激光输出单元(9)包括第一激光二极管(10)和第二激光二极管(11)；

其中，所述第一LD电流控制器(7)和第二LD电流控制器(8)用于分别接收相位差为90°的两路直流偏置正弦电压信号转化为正弦电流信号并分别驱动所述第一激光二极管(10)和第二激光二极管(11)，所述第一激光二极管(10)和第二激光二极管(11)用于输出两路激光信号至所述MEMS芯片(12)，所述MEMS芯片(12)用于检测激光信号的光强变化得到携带有加速度信息的两路激光信号。

4.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述激光信号检测单元(13)包括第一光电二极管(14)和第二光电二极管(15)，所述电流-电压转化单元(16)包括第一跨阻放大器(17)和第二跨阻放大器(18)；

其中，所述第一光电二极管(14)和第二光电二极管(15)用于检测携带有加速度信息的两路激光信号并转换为两路电流信号；所述第一跨阻放大器(17)和第二跨阻放大器(18)用于将两路电流信号转换为两路电压信号。

5.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述带通滤波单元(21)包括第一带通滤波器(19)和第二带通滤波器(20)，所述第一带通滤波器(19)和第二带通滤波器(20)用于接收两路电压信号并分别对两路电压信号进行滤波。

6.根据权利要求5所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述第一带通滤波器(19)和第二带通滤波器(20)的中心频率和所述信号发生器(2)输出的正弦电压信号的频率相等。

7.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述锁相解调单元(25)包括第一乘法器(23)、第二乘法器(24)、第一低通滤波器(26)和第二低通滤波器(27)；

其中，所述第一乘法器(23)和第二乘法器(24)的输入端还连接有参考信号输出单元(22)，所述第一乘法器(23)和第二乘法器(24)用于接收滤波后的两路电压信号并结合所述参考信号输出单元(22)输出的参考信号进行解调，第一低通滤波器(26)和第二低通滤波器(27)用于分别对解调后的两路信号进行滤波。

8.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述模数转换单元(30)包括第一模数转换器(28)和第二模数转换器(29)；所述第一模数转换器(28)和第二模数转换器(29)用于将解调滤波后的两路信号转换为数字信号并输送至所述微控制单元(31)。

9.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述微控制单元(31)包括第一平方算法模块(32)、第二平方算法模块(33)、求和算法模块(34)和开平方算法模块(35)；

其中，所述第一平方算法模块(32)和第二平方算法模块(33)用于分别对两路数字信号作平方运算，所述求和算法模块(34)用于对两路平方运算后的数字信号求和，所述开平方算法模块(35)用于对求和后的数字信号作开方运算，获得加速度信号并输出。

10.根据权利要求1所述的一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，其特征在于，所述MEMS芯片(12)采用法布里珀罗MOEMS加速度敏感芯片。

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