CN114486204A - 准直物镜调节机构及物镜测试系统 - Google Patents

Abstract

一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，涉及物镜波像差测量技术领域。该准直物镜调节机构包括测量传感器、准直物镜、准直物镜座、弹性结构和调节螺丝；所述准直物镜通过所述准直物镜座安装在所述测量传感器上；所述调节螺丝用于调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置；所述弹性结构用于拉紧所述准直物镜与所述测量传感器。该物镜测试系统包括准直物镜调节机构。本发明的目的在于提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的在小空间内准直物镜姿态调整较难的技术问题。

Description

准直物镜调节机构及物镜测试系统

技术领域

本发明涉及物镜波像差测量技术领域，具体而言，涉及一种准直物镜调节机构及物镜测试系统。

背景技术

随着集成电路产业芯片特征尺寸的不断缩小，对曝光系统的性能要求不断提高，而投影物镜的像差控制直接关系着曝光图形线宽质量，因此，需要对投影物镜的主要性能参数进行离线或在线检测，确保满足设备工艺需求；主要检测参数有波像差、畸变、倍率、像散、IPD(集成产品开发，英文全称Integrated Product Development)和NA(光学系统的数值孔径，英文全称Numerical Aperture)一致性等。

测量传感器使用哈特曼传感器，在光线经过物镜折射聚光后，需经过准直物镜准直，然后经过哈特曼传感器的微透镜阵列并分别聚焦到CCD(电荷耦合器件，英文全称Charge-coupled Device)靶面上。为实现测量精度，需首先校正准直物镜与哈特曼传感器的相对位置，消除准直物镜倾斜带来的系统误差。由于该测量系统组件之间结构紧凑，在小空间内调节准直物镜的姿态存在较大困难。

发明内容

本发明的目的在于提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的在小空间内准直物镜姿态调整较难的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：

一种准直物镜调节机构，包括测量传感器、准直物镜、准直物镜座、弹性结构和调节螺丝；

所述准直物镜通过所述准直物镜座安装在所述测量传感器上；

所述调节螺丝用于调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置；

所述弹性结构用于拉紧所述准直物镜与所述测量传感器。

在上述任一技术方案中，可选地，所述准直物镜座包括镜座盖板和与所述镜座盖板固定连接的镜座调节座；

所述镜座盖板与所述准直物镜固定连接，所述镜座调节座与所述测量传感器固定连接；

所述调节螺丝与所述镜座盖板螺接，且所述调节螺丝的底部穿过所述镜座盖板并与所述镜座调节座抵接，以通过旋转所述调节螺丝来调节所述准直物镜与所述测量传感器之间的相对位置。

在上述任一技术方案中，可选地，所述弹性结构为弹性件；所述弹性件的一端与所述镜座盖板连接，另一端与所述镜座调节座连接；

或者，所述弹性结构为设置在所述镜座调节座上的沟槽组；所述沟槽组包括沿所述镜座调节座周向依次间隔设置的多个沟槽；所述沟槽组位于座板连接部与座感连接部之间；所述座板连接部为所述镜座调节座的与所述镜座盖板的连接部分，所述座感连接部为所述镜座调节座的与所述测量传感器的连接部分。

在上述任一技术方案中，可选地，所述镜座调节座包括依次固定连接的调节座上部和调节座下部；所述座板连接部和所述沟槽组均设置在所述调节座上部的侧壁，所述座感连接部设置在所述调节座下部；

所述镜座调节座设置有贯穿所述调节座上部和所述调节座下部的调节座通孔；所述调节座通孔、所述调节座上部和所述调节座下部同光轴设置；

所述调节座通孔为阶梯孔，所述调节座上部的底板的内底面具有与所述调节螺丝的底部抵接的调节座内底支撑面；

所述调节座上部的底板的外径大于所述调节座下部的外径，所述调节座上部的底板的外底面具有与所述测量传感器的传感器定位端面抵接的调节座外底配合面。

在上述任一技术方案中，可选地，所述调节座上部的座板连接部内壁上设置有与所述镜座盖板螺接的调节座内螺纹；

或者，所述调节座下部的外壁上设置有与所述测量传感器的传感器内螺纹螺接的调节座外螺纹；

或者，所述调节座上部的侧壁的顶面为与所述镜座盖板配合的调节座上部配合面；

或者，所述镜座盖板设置有盖板通孔；所述准直物镜穿过所述盖板通孔，且所述准直物镜的至少一部分延伸至所述调节座通孔内；

或者，所述沟槽组的数量为多个，多个所述沟槽组沿所述镜座调节座的轴向依次间隔设置。

在上述任一技术方案中，可选地，所述镜座盖板包括依次固定连接的盖板上部和盖板下部；

所述盖板上部的外径大于所述盖板下部的外径，所述所述盖板上部的底面具有与所述镜座调节座配合的盖板上部配合面；

所述盖板下部的底面具有与所述准直物镜的准直物镜定位端面配合的盖板下部配合面；

所述盖板下部的外周面具有与所述镜座调节座螺接的盖板外螺纹；

所述镜座盖板设置有与所述准直物镜螺接的盖板通孔；所述盖板通孔贯穿所述盖板上部和所述盖板下部。

在上述任一技术方案中，可选地，所述镜座盖板设置有多个与所述调节螺丝相对应的顶丝孔，多个所述顶丝孔沿所述镜座盖板的周向依次间隔设置；所述调节螺丝通过所述顶丝孔与所述镜座盖板螺接。

在上述任一技术方案中，可选地，多个所述顶丝孔沿所述镜座盖板的周向均匀设置；

或者，所述调节螺丝和所述顶丝孔的数量均为4个；

或者，所述调节螺丝为球头顶丝；

或者，所述测量传感器为哈特曼传感器。

在上述任一技术方案中，可选地，所述准直物镜包括与所述镜座盖板配合的准直物镜外螺纹；

所述准直物镜的准直物镜定位端面位于所述准直物镜外螺纹的下方。

一种物镜测试系统，包括物镜和准直物镜调节机构；

所述物镜与所述准直物镜调节机构同光轴设置。

本发明的有益效果主要在于：

本发明提供的准直物镜调节机构及物镜测试系统，通过调节螺丝调节准直物镜与测量传感器之间的相对位置，可较容易的实现在较小空间内准直物镜的姿态调节，在一定程度上提升了准直物镜调节机构所在的物镜测试系统的测量精度；通过弹性结构拉紧准直物镜与测量传感器，以保证准直物镜与测量传感器之间的连接刚度，进而保证调节螺丝的预紧力，在一定程度上保证了调节螺丝的调节精度，进而提升了物镜测试系统的测量精度。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的准直物镜调节机构的结构原理图；

图2为本发明实施例提供的准直物镜调节机构的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的测量传感器的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的准直物镜的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的镜座盖板的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的镜座调节座的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的镜座调节座的另一视角结构示意图。

图标：1-物镜；101-物镜焦平面；2-测量传感器；201-传感器定位端面；202-传感器内螺纹；3-准直物镜；301-准直物镜定位端面；302-准直物镜外螺纹；4-准直物镜座；5-弹性结构；6-调节螺丝；7-坐标系；

8-镜座盖板；801-盖板上部配合面；802-盖板外螺纹；803-顶丝孔；804-盖板内螺纹；805-盖板下部配合面；810-盖板通孔；820-盖板上部；830-盖板下部；

9-镜座调节座；901-调节座外底配合面；902-调节座外螺纹；903-调节座内螺纹；904-沟槽组；905-调节座上部配合面；906-调节座内底支撑面；910-调节座上部；920-调节座下部；930-调节座通孔。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以采用各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图，对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

实施例

本实施例提供一种准直物镜调节机构及物镜测试系统；请参照图1-图7，图1为本实施例提供的准直物镜调节机构的结构原理图，图2为本实施例提供的准直物镜调节机构的结构示意图，图中采用剖面图显示；图3为本实施例提供的测量传感器的结构示意图，图4为本实施例提供的准直物镜的结构示意图，图5为本实施例提供的镜座盖板的结构示意图，图6和图7为本实施例提供的镜座调节座的两个视角结构示意图。

本实施例提供的准直物镜调节机构，用于高精度光学元件的位姿调整方向，例如用于校正准直物镜与测量传感器的相对位置，尤其用于校准较小空间内准直物镜的姿态。例如，所述准直物镜调节机构，应用于投影曝光光学系统波像差检测的哈特曼检测装置。

参见图1-图7所示，本实施例所述准直物镜调节机构，包括测量传感器2、准直物镜3、准直物镜座4、弹性结构5和调节螺丝6。

准直物镜3通过准直物镜座4安装在测量传感器2上。可选地，测量传感器2为哈特曼传感器，或者其他传感器。

调节螺丝6用于调节准直物镜3与测量传感器2之间的相对位置，可较容易的实现在较小空间内准直物镜3的姿态调节。

弹性结构5用于拉紧准直物镜3与测量传感器2，以保证准直物镜3与测量传感器2之间的连接刚度，进而保证调节螺丝6的预紧力。

本实施例中所述准直物镜调节机构，通过调节螺丝6调节准直物镜3与测量传感器2之间的相对位置，可较容易的实现在较小空间内准直物镜3的姿态调节，在一定程度上提升了准直物镜调节机构所在的物镜测试系统的测量精度；通过弹性结构5拉紧准直物镜3与测量传感器2，以保证准直物镜3与测量传感器2之间的连接刚度，进而保证调节螺丝6的预紧力，在一定程度上保证了调节螺丝6的调节精度，进而提升了物镜测试系统的测量精度。

参见图1所示，所述准直物镜调节机构设置了坐标系7，以光轴方向为Z轴，且以右手系定X和Y方向。图示为RX方向的调节，所述准直物镜调节机构原理为，通过调节左右调节螺丝6来调节两侧高度，使准直物镜3产生RX旋转，通过弹性结构5将准直物镜3与测量传感器2拉紧以保证准直物镜3与测量传感器2之间的连接刚度，进而保证调节螺丝6的预紧力。所述准直物镜调节机构可实现准直物镜3的RX、RY及Z向位姿调节。其中，RX是指圆周方向的X向，RY是指圆周方向的Y向。

本实施例提供的准直物镜调节机构，可应用于投影曝光光学系统波像差检测的哈特曼波像差测量仪。哈特曼波像差测量仪工作时，从投影光刻物镜出射的光被准直物镜收集后入射到微透镜阵列上。该准直物镜调节机构为准直物镜提供RX、RY、Z向精密调节，保证初期标定时经过准直物镜的光线垂直于微透镜阵列，并保证准直物镜焦点与投影物镜像面重合。

本实施例中，准直物镜座4可拆分为两部分，以便于生产加工。具体而言，参见图2-图7所示，本实施例的可选方案中，准直物镜座4包括镜座盖板8和与镜座盖板8固定连接的镜座调节座9。可选地，镜座盖板8与镜座调节座9的固定连接方式为螺接、卡接、粘接等方式。

镜座盖板8与准直物镜3固定连接；可选地，镜座盖板8与准直物镜3的固定连接方式为螺接、卡接、粘接等方式。

镜座调节座9与测量传感器2固定连接；可选地，镜座调节座9与测量传感器2的固定连接方式为螺接、卡接、粘接等方式。

调节螺丝6与镜座盖板8螺接，且调节螺丝6的底部穿过镜座盖板8并与镜座调节座9抵接，以通过旋转调节螺丝6来调节准直物镜3与测量传感器2之间的相对位置。

本实施例中，顶部相对于底部而言，并非物理上的绝对顶部与底部。

参见图1所示，本实施例的可选方案中，弹性结构5为弹性件；弹性件的一端与测量传感器2连接，另一端与准直物镜座4连接；例如弹性结构5为弹簧或者其他弹性结构。

可选地，弹性件的一端与镜座盖板8连接，另一端与镜座调节座9连接。

参见图2、图6和图7所示，本实施例的可选方案中，弹性结构5为设置在镜座调节座9上的沟槽组904；沟槽组904包括沿镜座调节座9周向依次间隔设置的多个沟槽；沟槽组904位于座板连接部与座感连接部之间；座板连接部为镜座调节座9的与镜座盖板8的连接部分，座感连接部为镜座调节座9的与测量传感器2的连接部分。通过沟槽组904，以拉紧与镜座盖板8固定连接的准直物镜3和与镜座调节座9固定连接的测量传感器2，以保证准直物镜3与测量传感器2之间的连接刚度，进而保证调节螺丝6的预紧力。

可选地，沟槽组904的数量为多个，多个沟槽组904沿镜座调节座9的轴向依次间隔设置。

参见图6和图7所示，本实施例的可选方案中，镜座调节座9包括依次固定连接的调节座上部910和调节座下部920；调节座上部910的外底面连接调节座下部920的顶面；座板连接部和沟槽组904均设置在调节座上部910的侧壁，也即调节座上部910与镜座盖板8固定连接；座感连接部设置在调节座下部920，也即调节座下部920与测量传感器2固定连接。

可选地，镜座调节座9设置有贯穿调节座上部910和调节座下部920的调节座通孔930；调节座通孔930、调节座上部910和调节座下部920同光轴设置。

可选地，调节座通孔930为阶梯孔，调节座上部910的底板的内底面具有与调节螺丝6的底部抵接的调节座内底支撑面906；通过调节座内底支撑面906与调节螺丝6的底部共同作用，以调节准直物镜3与测量传感器2之间的相对位置，以较容易的实现在较小空间内准直物镜3的姿态调节。在转动调节螺丝6时，沟槽组904提供反向的作用力，以拉紧准直物镜3与测量传感器2。

可选地，调节座上部910的底板的外径大于调节座下部920的外径，调节座上部910的底板的外底面具有与测量传感器2的传感器定位端面201抵接的调节座外底配合面901。通过调节座外底配合面901与传感器定位端面201配合，以提高调节座上部910与测量传感器2配合的精度。

参见图6和图7所示，本实施例的可选方案中，调节座上部910的座板连接部内壁上设置有与镜座盖板8螺接的调节座内螺纹903；通过调节座上部910与镜座盖板8螺接，以能够快速的、安全的拆装镜座调节座9与镜座盖板8。

可选地，调节座下部920的外壁上设置有与测量传感器2的传感器内螺纹202螺接的调节座外螺纹902；通过传感器内螺纹202与调节座外螺纹902连接锁紧，以将测量传感器2与镜座调节座9可拆装固定连接。

可选地，调节座上部910的侧壁的顶面为与镜座盖板8配合的调节座上部配合面905；通过调节座上部配合面905，以便于调节座上部910与镜座盖板8连接的精准定位，进而便于镜座调节座9与镜座盖板8连接的精准定位。

参见图2和图5所示，可选地，镜座盖板8设置有盖板通孔810；准直物镜3穿过盖板通孔810，且准直物镜3的至少一部分延伸至调节座通孔930内。

参见图5所示，本实施例的可选方案中，镜座盖板8包括依次固定连接的盖板上部820和盖板下部830。可选地，盖板上部820和盖板下部830一体成型。

可选地，盖板上部820的外径大于盖板下部830的外径，盖板上部820的底面具有与镜座调节座9配合的盖板上部配合面801，也即盖板上部配合面801与调节座上部配合面905配合；通过盖板上部配合面801与调节座上部配合面905配合，以提高盖板上部820与镜座调节座9的配合精度，进而提高镜座盖板8与镜座调节座9的配合精度。

可选地，盖板下部830的底面具有与准直物镜3的准直物镜定位端面301配合的盖板下部配合面805；通过盖板下部配合面805与准直物镜定位端面301配合，以提高盖板下部830与准直物镜3的配合精度，进而提高镜座盖板8与准直物镜3的配合精度。

可选地，盖板下部830的外周面具有与镜座调节座9螺接的盖板外螺纹802；也即盖板外螺纹802与调节座内螺纹903配合，以使盖板下部830与调节座上部910螺接，进而使镜座盖板8与镜座调节座9螺接。

可选地，镜座盖板8设置有与准直物镜3螺接的盖板通孔810；盖板通孔810贯穿盖板上部820和盖板下部830。也即镜座盖板8在盖板通孔810的至少一部分设置有与准直物镜3螺接的盖板内螺纹804；通过盖板内螺纹804，以能够快速的、安全的连接镜座盖板8与准直物镜3。

参见图5所示，本实施例的可选方案中，镜座盖板8设置有多个与调节螺丝6相对应的顶丝孔803，多个顶丝孔803沿镜座盖板8的周向依次间隔设置；调节螺丝6通过顶丝孔803与镜座盖板8螺接。通过顶丝孔803，以便于转动调节螺丝6。

参见图5所示，本实施例的可选方案中，多个顶丝孔803沿镜座盖板8的周向均匀设置。

可选地，调节螺丝6和顶丝孔803的数量均为4个、5个、6个或者8个，或者其他数量。

可选地，调节螺丝6和顶丝孔803的数量均为4个。通过设置4个调节螺丝6和4个顶丝孔803，以便能调节准直物镜3的RX、RY、Z向三个自由度。

可选地，调节螺丝6为球头顶丝；通过采用球头顶丝，可保证在调节过程中所有调节螺丝6会随镜座盖板8角度变化而变化，可使所有调节螺丝6始终垂直于镜座盖板8并与镜座调节座9抵接；可在调节过程中消除额外摩擦力。

本实施例中，镜座调节座9、镜座盖板8，准直物镜3均设计有定位端面，保证了安装精度，减小了后期调节量及调节难度。

参见图4所示，本实施例的可选方案中，准直物镜3包括与镜座盖板8配合的准直物镜外螺纹302；也即准直物镜外螺纹302与盖板内螺纹804配合，以使准直物镜3与镜座盖板8螺接。通过准直物镜外螺纹302与盖板内螺纹804配合，可保证准直物镜3与镜座盖板8之间的安装精度，减小了后期调节量及调节难度。

可选地，准直物镜3的准直物镜定位端面301位于准直物镜外螺纹302的下方。

为了更加清楚的了解本实施例所述的准直物镜调节机构，以下举例说明准直物镜调节机构的分辨率调节过程：

设计调节螺丝6的螺距P为0.2mm，调节螺丝6的底部支点离光轴中心R为12mm，调节螺丝6的分布直径D为24mm，则所述准直物镜调节机构调节分辨率计算如下：

调节螺丝6每度(也即转动1度调节螺丝6)可实现的直线分辨率r1为：

r1＝P/(360°)＝0.56μm/°。

每次调节5°调节螺丝6，则实现的设计分辨率r2为：

r2＝r1·5°≈2.8μm。

所述准直物镜调节机构能够实现的旋转分辨率r3为：

r3＝arctan(r2/D)≈r2/D≈117μrad。

参见图1所示，本实施例还提供一种物镜测试系统，包括物镜1和上述任一实施例所述的准直物镜调节机构。

物镜1与准直物镜调节机构同光轴设置。也即物镜1与测量传感器2、准直物镜3通光轴设置。物镜1的物镜焦平面101位于物镜1与准直物镜调节机构之间；可选地，物镜1的物镜焦平面101位于物镜1与准直物镜3之间。

本实施例所述物镜测试系统，通过准直物镜调节机构的调节螺丝6调节准直物镜3与测量传感器2之间的相对位置，可较容易的实现在较小空间内准直物镜3的姿态调节，在一定程度上提升了准直物镜调节机构所在的物镜测试系统的测量精度；通过弹性结构5拉紧准直物镜3与测量传感器2，以保证准直物镜3与测量传感器2之间的连接刚度，进而保证调节螺丝6的预紧力，在一定程度上保证了调节螺丝6的调节精度，进而提升了物镜测试系统的测量精度。

本实施例提供的物镜测试系统，包括上述的准直物镜调节机构，上述所公开的准直物镜调节机构的技术特征也适用于该物镜测试系统，上述已公开的准直物镜调节机构的技术特征不再重复描述。本实施例中所述物镜测试系统具有上述准直物镜调节机构的优点，上述所公开的所述准直物镜调节机构的优点在此不再重复描述。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种准直物镜调节机构，其特征在于，包括测量传感器(2)、准直物镜(3)、准直物镜座(4)、弹性结构(5)和调节螺丝(6)；

所述准直物镜(3)通过所述准直物镜座(4)安装在所述测量传感器(2)上；

所述调节螺丝(6)用于调节所述准直物镜(3)与所述测量传感器(2)之间的相对位置；

所述弹性结构(5)用于拉紧所述准直物镜(3)与所述测量传感器(2)。

2.根据权利要求1所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述准直物镜座(4)包括镜座盖板(8)和与所述镜座盖板(8)固定连接的镜座调节座(9)；

所述镜座盖板(8)与所述准直物镜(3)固定连接，所述镜座调节座(9)与所述测量传感器(2)固定连接；

所述调节螺丝(6)与所述镜座盖板(8)螺接，且所述调节螺丝(6)的底部穿过所述镜座盖板(8)并与所述镜座调节座(9)抵接，以通过旋转所述调节螺丝(6)来调节所述准直物镜(3)与所述测量传感器(2)之间的相对位置。

3.根据权利要求2所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述弹性结构(5)为弹性件；所述弹性件的一端与所述镜座盖板(8)连接，另一端与所述镜座调节座(9)连接；

或者，所述弹性结构(5)为设置在所述镜座调节座(9)上的沟槽组(904)；所述沟槽组(904)包括沿所述镜座调节座(9)周向依次间隔设置的多个沟槽；所述沟槽组(904)位于座板连接部与座感连接部之间；所述座板连接部为所述镜座调节座(9)的与所述镜座盖板(8)的连接部分，所述座感连接部为所述镜座调节座(9)的与所述测量传感器(2)的连接部分。

4.根据权利要求3所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述镜座调节座(9)包括依次固定连接的调节座上部(910)和调节座下部(920)；所述座板连接部和所述沟槽组(904)均设置在所述调节座上部(910)的侧壁，所述座感连接部设置在所述调节座下部(920)；

所述镜座调节座(9)设置有贯穿所述调节座上部(910)和所述调节座下部(920)的调节座通孔(930)；所述调节座通孔(930)、所述调节座上部(910)和所述调节座下部(920)同光轴设置；

所述调节座通孔(930)为阶梯孔，所述调节座上部(910)的底板的内底面具有与所述调节螺丝(6)的底部抵接的调节座内底支撑面(906)；

所述调节座上部(910)的底板的外径大于所述调节座下部(920)的外径，所述调节座上部(910)的底板的外底面具有与所述测量传感器(2)的传感器定位端面(201)抵接的调节座外底配合面(901)。

5.根据权利要求4所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述调节座上部(910)的座板连接部内壁上设置有与所述镜座盖板(8)螺接的调节座内螺纹(903)；

或者，所述调节座下部(920)的外壁上设置有与所述测量传感器(2)的传感器内螺纹(202)螺接的调节座外螺纹(902)；

或者，所述调节座上部(910)的侧壁的顶面为与所述镜座盖板(8)配合的调节座上部配合面(905)；

或者，所述镜座盖板(8)设置有盖板通孔(810)；所述准直物镜(3)穿过所述盖板通孔(810)，且所述准直物镜(3)的至少一部分延伸至所述调节座通孔(930)内；

或者，所述沟槽组(904)的数量为多个，多个所述沟槽组(904)沿所述镜座调节座(9)的轴向依次间隔设置。

6.根据权利要求2所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述镜座盖板(8)包括依次固定连接的盖板上部(820)和盖板下部(830)；

所述盖板上部(820)的外径大于所述盖板下部(830)的外径，所述盖板上部(820)的底面具有与所述镜座调节座(9)配合的盖板上部配合面(801)；

所述盖板下部(830)的底面具有与所述准直物镜(3)的准直物镜定位端面(301)配合的盖板下部配合面(805)；

所述盖板下部(830)的外周面具有与所述镜座调节座(9)螺接的盖板外螺纹(802)；

所述镜座盖板(8)设置有与所述准直物镜(3)螺接的盖板通孔(810)；所述盖板通孔(810)贯穿所述盖板上部(820)和所述盖板下部(830)。

7.根据权利要求6所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述镜座盖板(8)设置有多个与所述调节螺丝(6)相对应的顶丝孔(803)，多个所述顶丝孔(803)沿所述镜座盖板(8)的周向依次间隔设置；所述调节螺丝(6)通过所述顶丝孔(803)与所述镜座盖板(8)螺接。

8.根据权利要求7所述的准直物镜调节机构，其特征在于，多个所述顶丝孔(803)沿所述镜座盖板(8)的周向均匀设置；

或者，所述调节螺丝(6)和所述顶丝孔(803)的数量均为4个；

或者，所述调节螺丝(6)为球头顶丝；

或者，所述测量传感器(2)为哈特曼传感器。

9.根据权利要求2所述的准直物镜调节机构，其特征在于，所述准直物镜(3)包括与所述镜座盖板(8)配合的准直物镜外螺纹(302)；

所述准直物镜(3)的准直物镜定位端面(301)位于所述准直物镜外螺纹(302)的下方。

10.一种物镜测试系统，其特征在于，包括物镜(1)和如权利要求1-9任一项所述的准直物镜调节机构；

所述物镜(1)与所述准直物镜调节机构同光轴设置。

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