CN114481072A - 一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置 - Google Patents

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    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target

Abstract

本发明提供了一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，其中包括支架装置、支架下电机、靶装置、靶腔下置的推出装置及中间加热板装置。架装置和支架下电机来进行固定传导旋转及电阻丝预热，靶装置内中间加热板的电阻丝进行预热，靶材更换时通过推出装置的滑道把靶材推出进行更换。

Description

一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置
技术领域
本发明涉及磁控溅射镀膜领域，具体涉及一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置的设计方案。
背景技术
磁控溅射是属于物理气相沉积方法的一种，它可以应用于金属、绝缘体、陶瓷、玻璃等多种材料，磁控溅射是通过靶阴极在表面引入磁场，通过引入的磁场作用对带电粒子进行约束提高溅射，它的方法比较简单且磁控溅射的设备容易操作，因此在工程应用、零件制造等各个领域都有广泛的应用。随着科技水平的不断发展，磁控溅射技术在速度、温度控制、降低损伤等方面也有了一系列的发展。
磁控溅射就是入射粒子和靶的碰撞过程，所以磁控溅射靶尤为重要，与蒸发镀膜相比，溅射镀膜时靶材无相变，化合物成分稳定，合金不易分馏，因此适合制备的膜材非常广泛。由于溅射沉积到基体上的粒子能量比蒸发时酌能量高50倍，它们对基体有清洗和升温作用，所以形成的薄膜附着力大，在近十几年来，磁控溅射镀膜技术迅速发展，平面磁控溅射靶在生产应用中历史悠久，但也因为其利用率低、成本高等缺点，将矩形平面磁控靶材的结构原理应用于圆柱形磁控溅射靶材，从而将磁控溅射靶设计为圆柱形平面磁控溅射靶。它综合了平面矩形靶材和同轴圆柱靶材的优点，陆续研发出了柱状磁控溅射靶等靶型，与平面靶相比，柱状磁控溅射靶的靶材利用率更高，表面不易积存绝缘膜，不容易产生“靶中毒”，但是也有靶材容易开裂、靶材更换不便等问题，因此需要一种新型的磁控溅射靶装置。
发明内容
为解决上述的柱状磁控溅射靶的靶材容易开裂、靶材更换不便等一些技术缺陷，本发明提供了一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，其中包括支架装置、支架下电机、靶装置、靶腔下置的推出装置及中间加热板装置。
本发明的技术方案如下实现：
一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，包括：
左侧支架装置及电机进行固定和传导；
右侧靶装置内中间采用电阻丝进行预热；
右侧靶装置下基座的推出装置进行靶材的推出；
一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，包括支架装置和支架下电机来进行固定传导旋转及电阻丝预热，靶装置内中间加热板的电阻丝进行预热，靶材更换时通过推出装置的滑道把靶材推出进行更换。
所述靶内中间加热板装置是本发明的核心，内部采用电阻丝加热，通过电机通入电流，使其通过电阻产生热量，对于靶材进行适当的预热。
所述支架，起支撑与连接作用，电机通过支架使靶体进行旋转。
所述推出装置，设置在靶体下侧，通过滑道对需要更换的靶材进行推出，方便更换。
本发明提供的一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，与现有技术相比，具有以下优点和有益效果:
第一，本发明采用中间电阻丝进行加热，相较于普通靶，对靶材进行提前预热，可以防止因温度迅速升高而导致靶材开裂。
第二，本发明采用双靶材同时预热，而且采用电机使靶的旋转与电阻丝加热同时进行，可以有效提高磁控溅射的效率。
第三，本发明采用中间加热板加热，加热板下侧连接推出装置滑道，可以方便快捷的靶材更换。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或者技术方案，下面将对技术例所需要的附图作简单的介绍。
图1是旋转式中间预热磁控溅射靶装置零件总装图。
图2是推出装置的推出示意图。
图3是中间加热板的示意图。
附图中1.电机；2.支架装置；3.靶装置；附图2中4.靶体；5.滑道；附图3中6.加热板；7.加热电阻丝。
具体实施方式
本发明装置如图1所示，包括电机1、支架装置2、靶装置3。推出装置如图2所示，包括加靶体4、滑道5。中间加热板如图3所示，包括加热板6、加热电阻丝7。
旋转式中间预热磁控溅射靶装置的工作原理，把靶材添加到靶腔内后，通电后通过电机1经支架装置2进行旋转的同时，通过中间加热板6的加热电阻丝7进行适当的预热，靶面产生辉光放电，靶管表面连续经过辉光圈，膜层原子连续被溅射，不断地向工件方向镀膜，靶材更换时通过滑道5推出靶材，进行更换。
旋转式中间预热磁控溅射靶装置的中间加热板装置是本发明的核心装置，通电之后通过加热板6上的加热电阻丝7对于靶材进行均匀的预热，防止靶材在使用时开裂。

Claims (4)

1.本发明提供了一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，其中包括支架装置、支架下电机、靶装置、靶腔下置的推出装置及中间加热板装置，支架装置和支架下电机来进行固定传导旋转及电阻丝预热，靶装置内中间加热板的电阻丝进行预热，靶材更换时通过推出装置的滑道把靶材推出进行更换。
2.根据权利要求1所述的中间加热板装置是本发明的核心，内部采用电阻丝加热，通过电机通入电流，使其通过电阻产生热量，对于靶材进行适当的预热。
3.根据权利要求1所述的支架，起支撑与连接作用，电机通过支架使靶体进行旋转。
4.根据权利要求1所述的推出装置，设置在靶体下侧，通过滑道对需要更换的靶材进行推出，方便更换。
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