CN114476587B - 一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及硅片技术领域，公开了一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，包括硅片传输机构和清洗机构，硅片传输机构包括水平传输组件和顶升组件，水平传输组件包括分选皮带，分选皮带可绕第一方向转动，顶升组件包括顶升皮带，顶升皮带可沿竖直方向顶升，顶升皮带还可绕第一方向转动；清洗机构包括第一擦拭臂和第二擦拭臂，第一擦拭臂的第一端固定连接第二擦拭臂的第一端，且第一擦拭臂的第一端和第二擦拭臂的第一端均转动连接顶升组件，第一擦拭臂的第二端和第二擦拭臂的第二端分别设有第一擦拭件和第二擦拭件。能够同时完成分选皮带和顶升皮带的清洗过程，不仅能够提升效率，还能节约能源，具有较好的经济性。

Description

一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置

技术领域

本发明涉及硅片技术领域，具体涉及一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置。

背景技术

在硅片的生产流程中，有一个硅片分选的过程，该过程主要是对硅片进行分选检测，检测硅片的外形尺寸以及性能等是否满足要求。而在整个硅片分选过程中，每一个检测项目的传输皮带在和硅片、皮带轮的摩擦过程中都会产生硅粉和皮带粉，皮带和从动轮、主动轮摩擦时会产生金属粉末，这些粉尘进入硅片表面就形成了粉尘污。粉尘污主要包括硅粉、皮带粉和金属粉。

目前，对粉尘污的清洁方法包括人工清洁方法。例如生产人员每班清洁一次以及月度保养时人工对皮带、皮带轮进行全部清洁。但这种方法在清洁时需要停机，影响生产效率，耗费大量人力物力。

此外，还可以对整个分选设备设计传统的伺服控制清洁组件。但分选设备是一套复杂的自动化设备，包括几十个独立传输机构，几十条传输皮带和上百个皮带轮，这使得伺服控制清洁组件的铺设成本巨大，能源损耗巨大，并且清洁时间过长易导致皮带磨损。

综上，现有的粉尘污的清洁方法还存在停机清洁影响生产效率、消耗大量人力和能源成本、易导致皮带磨损等问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，能够在不停机的情况下对硅片传输皮带进行清洗，并具有较好的经济性。

为解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，包括：硅片传输机构，包括水平传输组件和顶升组件，所述水平传输组件包括分选皮带，所述分选皮带可绕第一方向转动，以将硅片沿水平方向传输，所述顶升组件包括顶升皮带，所述顶升皮带可沿竖直方向顶升，以使所述顶升皮带接触硅片，所述顶升皮带还可绕第一方向转动，以将硅片输送至所述分选皮带；及清洗机构，包括第一擦拭臂和第二擦拭臂，所述第一擦拭臂的第一端固定连接所述第二擦拭臂的第一端，且所述第一擦拭臂的第一端和所述第二擦拭臂的第一端均转动连接所述顶升组件，所述第一擦拭臂的第二端和所述第二擦拭臂的第二端分别设有第一擦拭件和第二擦拭件；所述顶升皮带沿竖直方向顶升时，可带动所述第一擦拭臂和所述第二擦拭臂绕第一方向转动，以使所述第一擦拭件和所述第二擦拭件分别抵接并擦拭所述分选皮带和所述顶升皮带。

相比现有技术，上述技术方案的有益效果在于：本硅片传输皮带装置设置有硅片传输机构和清洗机构，硅片进入分选流程时，由顶升组件将顶升皮带向上顶升，并由顶升皮带绕第一方向转动，从而将硅片传输至分选皮带，而分选皮带则可以绕第一方向转动，从而将硅片沿分选皮带的运动方向不断输送，并在输送的过程中完成分选。而顶升组件将顶升皮带向上顶升时，首先会带动第一擦拭臂和第二擦拭臂一起向上运动，直到第一擦拭件抵接分选皮带，之后，顶升皮带继续向上运动，此时，第一擦拭件受到分选皮带的抵压，将无法继续上移，因此，第一擦拭臂和第二擦拭臂将会绕第一方向转动。此时，第一擦拭件抵接分选皮带，在分选皮带不断地绕第一方向转动的过程中，第一擦拭件不断地擦拭清洗分选皮带。而第二擦拭件抵接顶升皮带，在顶升皮带不断地绕第一方向转动的过程中，第二擦拭件不断地擦拭清洗顶升皮带。因此，本硅片传输机构在进行硅片传输的过程中，还能由顶升组件带动清洗机构对分选皮带和顶升皮带进行清洗，不仅仅不需要停机操作，还能巧妙地利用顶升组件原有的驱动源，同时带动第一擦拭臂和第二擦拭臂的转动，进而完成清洗过程，不仅能够提升效率，还能节约能源，具有较好的经济性。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述硅片传输机构还包括下料组件，所述下料组件包括下料传输皮带，所述顶升皮带、所述分选皮带和所述下料传输皮带沿硅片输送方向依次设置，所述下料传输皮带可绕第二方向转动，以接收并输送来自所述分选皮带的硅片，所述清洗机构还包括第三擦拭件，所述第三擦拭件连接所述顶升组件，且所述第三擦拭件位于所述下料传输皮带的下方，所述顶升皮带沿竖直方向顶升时，可带动所述第三擦拭件向上移动，以使所述第三擦拭件抵接并擦拭所述下料传输皮带。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述第一擦拭臂的第二端还设有第四擦拭件，所述第四擦拭件比所述第一擦拭件更靠近于所述第一擦拭臂的第二端，所述第一擦拭件为干性擦拭件，所述第四擦拭件为湿性擦拭件；所述第二擦拭臂的第二端还设有第五擦拭件，所述第五擦拭件比所述第二擦拭件更靠近于所述第二擦拭臂的第二端，所述第二擦拭件为干性擦拭件，所述第五擦拭件为湿性擦拭件；所述清洗机构还包括第六擦拭件，所述第六擦拭件连接所述顶升组件，所述第六擦拭件位于所述下料传输皮带的下方，且所述第六擦拭件比所述第三擦拭件更靠近于所述下料传输皮带，所述第三擦拭件为干性擦拭件，所述第六擦拭件为湿性擦拭件。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述清洗机构还包括复位件；所述顶升皮带沿竖直方向顶升时，可带动所述第一擦拭臂和所述第二擦拭臂一起向上移动，并使所述第一擦拭件抵接所述分选皮带；所述顶升皮带继续沿竖直方向顶升时，所述第一擦拭件受压，所述第一擦拭臂和所述第二擦拭臂一起相对所述顶升组件绕第一方向转动，以使所述第二擦拭件抵接所述顶升皮带，并使所述复位件受压，且第一擦拭件与所述分选皮带保持抵接；所述顶升皮带沿竖直方向下移时，所述复位件可带动所述第一擦拭臂和所述第二擦拭臂返回初始位置。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述顶升组件还包括第一连接臂；所述第一连接臂的第一端固定连接所述第一擦拭臂的第一端和所述第二擦拭臂的第一端，所述第一连接臂的第二端转动连接所述顶升皮带；或者，所述第一连接臂的第一端转动连接所述第一擦拭臂的第一端和所述第二擦拭臂的第一端，所述第一连接臂的第二端固定连接所述顶升皮带。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述清洗机构还包括转轴，所述转轴转动连接所述第一连接臂，所述第一擦拭臂的第一端和所述第二擦拭臂的第一端均固定连接所述转轴。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述分选皮带平行地设置有两组，所述顶升皮带平行地设置有三组，所述第一擦拭臂和所述第二擦拭臂均设有两组，两组所述第一擦拭臂分别位于两组所述分选皮带的下方，两组所述第二擦拭臂分别位于外侧的两组所述顶升皮带的侧部。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述转轴固定连接有第二连接臂，所述第二连接臂的轴线与所述转轴的轴线垂直设置，所述复位件的第一端连接所述第二连接臂，所述复位件的第二端连接有第七擦拭件，所述第七擦拭件用于擦拭位于中间的一组所述顶升皮带。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述顶升皮带位于初始状态时，所述第一擦拭臂平行于所述分选皮带，且所述第一擦拭件与所述分选皮带之间具有间隙，所述第二擦拭臂平行于所述顶升皮带，且所述第二擦拭件与所述分选皮带之间具有间隙，所述第一擦拭臂和所述第二擦拭臂相互垂直设置。

上述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，所述第一擦拭臂的第二端设有第一卡槽，所述第一擦拭件卡接于所述第一卡槽内，所述第一卡槽的口径由槽口至槽底的方向逐渐减小，且所述第一卡槽的槽底的口径小于所述第一擦拭件的外径，所述第二擦拭臂的第二端设有第二卡槽，所述第二擦拭件卡接于所述第二卡槽内，所述第二卡槽的口径由槽口至槽底的方向逐渐减小，且所述第二卡槽的槽底的口径小于所述第二擦拭件的外径。

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

附图说明

图1为本发明实施例一的硅片传输皮带装置的状态简图之一；

图2为本发明实施例一的硅片传输皮带装置的状态简图之二；

图3为本发明实施例一的硅片传输皮带装置的状态简图之三；

图4为本发明实施例二的硅片传输皮带装置的状态简图；

图5为本发明实施例三的硅片传输皮带装置的状态简图；

图6为本发明实施例四的硅片传输皮带装置的部分结构示意图；

图7为图6所示的硅片传输皮带装置中清洗机构的部分结构示意图之一；

图8为图6所示的硅片传输皮带装置中清洗机构的部分结构示意图之二；

图9为本发明实施例五的硅片传输皮带装置中清洗机构的状态简图之一；

图10为本发明实施例五的硅片传输皮带装置中清洗机构的状态简图之二；

图11为本发明实施例六的硅片传输皮带装置中清洗机构的部分结构示意图。

附图标号说明：100水平传输组件、110分选皮带、111第二安装板、112第二主动带轮、113第二从动带轮、114第二皮带、200顶升组件、210顶升皮带、211第一安装板、212第一主动带轮、213第一从动带轮、214第一皮带、220第一连接臂、300清洗机构、310第一擦拭臂、311第一擦拭件、312第四擦拭件、313第一卡槽、320第二擦拭臂、321第二擦拭件、322第五擦拭件、323第二卡槽、330第三擦拭件、340第六擦拭件、350复位件、360转轴、361第二连接臂、370第四安装板、380复位弹簧、390第七擦拭件、400下料传输皮带、500硅片。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，

实施例一：

参照图1，本发明的实施例一提供了一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，包括硅片500传输机构和清洗机构300，硅片500传输机构包括水平传输组件100和顶升组件200，水平传输组件100包括分选皮带110，分选皮带110可绕第一方向转动，以将硅片500沿水平方向传输，顶升组件200包括顶升皮带210，顶升皮带210可沿竖直方向顶升，以使顶升皮带210接触硅片500，顶升皮带210还可绕第一方向转动，以将硅片500输送至分选皮带110；清洗机构300包括第一擦拭臂310和第二擦拭臂320，第一擦拭臂310的第一端固定连接第二擦拭臂320的第一端，且第一擦拭臂310的第一端和第二擦拭臂320的第一端均转动连接顶升组件200，第一擦拭臂310的第二端和第二擦拭臂320的第二端分别设有第一擦拭件311和第二擦拭件321；顶升皮带210沿竖直方向顶升时，可带动第一擦拭臂310和第二擦拭臂320绕第一方向转动，以使第一擦拭件311和第二擦拭件321分别抵接并擦拭分选皮带110和顶升皮带210。

本硅片传输皮带装置设置有硅片500传输机构和清洗机构300，硅片500进入分选流程时，由顶升组件200将顶升皮带210向上顶升，并由顶升皮带210绕第一方向转动，从而将硅片500传输至分选皮带110，而分选皮带110则可以绕第一方向转动，从而将硅片500沿分选皮带110的运动方向不断输送，并在输送的过程中完成分选。

如图1所示，图1为本实施例一中的硅片传输皮带装置的状态简图之一，此时，硅片500传输机构和清洗机构300均位于初始位置。如图2所示，图2为本实施例一中的硅片传输皮带装置的状态简图之二，此时，硅片500即将进入分选流程，顶升组件200将顶升皮带210向上顶升时，将会带动第一擦拭臂310和第二擦拭臂320一起向上运动，直到第一擦拭臂310上的第一擦拭件311抵接分选皮带110的下侧。此时，顶升皮带210还未到达最高处，也即，当第一擦拭件311刚刚抵接分选皮带110的下侧时，顶升皮带210的高度低于分选皮带110的高度。

如图3所示，图3为本实施例一中的硅片传输皮带装置的状态简图之三，当顶升皮带210继续向上移动时，第一擦拭件311受到分选皮带110的抵压，导致第一擦拭臂310无法再继续上移，第一擦拭臂310将会相对顶升组件200绕第一方向转动，又由于第一擦拭臂310和第二擦拭臂320是固定连接的，因此，第一擦拭臂310和第二擦拭臂320将会一起绕第一方向转动，并使得第二擦拭件321抵接顶升皮带210。直到顶升皮带210上移至最高处时，顶升皮带210的高度与分选皮带110的高度相等，当顶升皮带210和分选皮带110绕第一方向转动以输送硅片500时，第一擦拭件311不断地擦拭分选皮带110，第二擦拭件321不断地擦拭顶升皮带210。因此，本硅片500传输机构在进行硅片500传输的过程中，还能由顶升组件200带动清洗机构300对分选皮带110和顶升皮带210进行清洗，不仅仅不需要停机操作，还能巧妙地利用顶升组件200原有的驱动源，同时带动第一擦拭臂310和第二擦拭臂320的转动，进而同时完成分选皮带110和顶升皮带210的清洗过程，不仅能够提升效率，还能节约能源，具有较好的经济性。在图1至图3中，第一方向为图中基准的逆时针方向。

具体地，顶升组件200还包括机架和顶升驱动源，顶升驱动源安装于机架上，且顶升驱动源的输出端连接顶升皮带210，顶升驱动源可以是顶升气缸等，只要能带动顶升皮带210上升并下降即可。具体地，顶升皮带210包括第一安装板211、第一主动带轮212、第一从动带轮213和第一皮带214，第一主动带轮212和第一从动带轮213均安装于第一安装板211上，第一皮带214的两端分别连接第一主动带轮212和第二从动带轮113，而顶升驱动源的输出端则连接第一安装板211。具体地，分选皮带110包括第二安装板111、第二主动带轮112、第二从动带轮113和第二皮带114，第二主动带轮112和第二从动带轮113均安装于第二安装板111上，第二皮带114的两端分别连接第二主动带轮112和第二从动带轮113，第二安装板111则安装于机架上。

具体地，第一擦拭件311和第二擦拭件321均为海绵等柔性擦拭件，在本实施例一种，采用海绵作为第一擦拭件311和第二擦拭件321，海绵的材质柔软，不会对皮带产生划痕，并能根据需求裁剪成任意形状。海绵的孔径选取1mm～2mm之间，这是因为普通的海绵的孔径一般在50μm～100μm之间，而本发明实施例一中的海绵孔径要稍大一些，这样，在相同大小的海绵中，本发明实施例一中的海绵孔的数量要远远少于普通海绵，在擦拭时，灰尘将不会在海绵的表面积累，而是在重力的作用下，掉入到海绵的底部，这样可以进一步地提高清洁的效果。此外，在第一擦拭件311和第二擦拭件321擦拭的过程中，部分粉尘也会在重力的作用下，掉落至地面上，而不会粘附到分选皮带110或顶升皮带210上，以免污染硅片500。

实施例二：

参照图4，本发明的实施例二提供了第二种硅片传输皮带装置，其在实施例一的基础上，硅片500传输机构还包括下料组件，下料组件包括下料传输皮带400，顶升皮带210、分选皮带110和下料传输皮带400沿硅片500输送方向依次设置，下料传输皮带400可绕第二方向转动，以接收并输送来自分选皮带110的硅片500，清洗机构300还包括第三擦拭件330，第三擦拭件330连接顶升组件200，且第三擦拭件330位于下料传输皮带400的下方，顶升皮带210沿竖直方向顶升时，可带动第三擦拭件330向上移动，以使第三擦拭件330抵接并擦拭下料传输皮带400。第二方向垂直于第一方向。当顶升组件200将顶升皮带210向上顶升时，不仅仅会带动第一擦拭臂310和第二擦拭臂320向上顶升，也会带动第三擦拭件330向上移动，进而由第三擦拭件330对下料传输皮带400进行擦拭。也即，本实施例二中的硅片传输皮带装置，可以采用一个顶升驱动源，完成三种传输皮带的清洗，大大地提高了清洁的效率，并具有较高的经济性。

具体地，下料组件还包括第三安装板、第三主动带轮、第三从动带轮和第三皮带，第三主动带轮和第三从动带轮安装于第三安装板上，第三皮带的两端分别连接第三主动带轮和第三从动带轮，第三安装板安装于机架上。而第三擦拭件330则安装于顶升驱动源的输出端，具体地，可以在顶升驱动源的输出端安装一块顶升板，而第一安装板211和第三擦拭件330都安装于顶升板上。

实施例三：

参照图5，本发明的实施例三提供了第三种硅片传输皮带装置，其在实施例二的基础上，在第一擦拭臂310的第二端还设有第四擦拭件312，第四擦拭件312比第一擦拭件311更靠近于第一擦拭臂310的第二端，第一擦拭件311为干性擦拭件，第四擦拭件312为湿性擦拭件；第二擦拭臂320的第二端还设有第五擦拭件322，第五擦拭件322比第二擦拭件321更靠近于第二擦拭臂320的第二端，第二擦拭件321为干性擦拭件，第五擦拭件322为湿性擦拭件；清洗机构300还包括第六擦拭件340，第六擦拭件340连接顶升组件200，第六擦拭件340位于下料传输皮带400的下方，且第六擦拭件340比第三擦拭件330更靠近于下料传输皮带400，第三擦拭件330为干性擦拭件，第六擦拭件340为湿性擦拭件。这样，在进行擦拭时，先由第四擦拭件312、第五擦拭件322和第六擦拭件340分别对分选皮带110、顶升皮带210和下料传输皮带400进行擦拭，在擦拭时，湿性的第四擦拭件312、第五擦拭件322和第六擦拭件340可以吸附更多的粉尘，之后，由第一擦拭件311、第二擦拭件321和第三擦拭件330分别对分选皮带110、顶升皮带210和下料传输皮带400进行擦拭，第一擦拭件311、第二擦拭件321和第三擦拭件330一方面可以对分选皮带110、顶升皮带210和下料传输皮带400进行二次擦拭，另一方面，还能将第四擦拭件312、第五擦拭件322和第六擦拭件340残留的水分进行擦拭，进一步地保证了分选皮带110、顶升皮带210和下料传输皮带400的清洁度。

具体地，第四擦拭件312、第五擦拭件322和第六擦拭件340可以采用干性擦拭件浸泡在清洗液中获得。具体地，第四擦拭件312的厚度大于第一擦拭件311的厚度，这样，当第一擦拭臂310绕第一方向转动时，也能够保证第四擦拭件312抵接分选皮带110。第五擦拭件322的厚度小于第二擦拭件321的厚度，以免第五擦拭件322抵接顶升皮带210时受到的压力过大，而挤出太多的清洗液。第六擦拭件340的厚度小于第三擦拭件330的厚度，这样，当第六擦拭件340和第三擦拭件330一起抵接下料传输皮带400时，第三擦拭件330抵接的压力更大一些，能够保证第三擦拭件330将第六擦拭件340残留的水分擦拭干净。

实施例四：

参照图6至图8，本发明的实施例四提供了硅片传输皮带装置的部分具体的结构。如图6所示，分选皮带110平行地设置有两组，顶升皮带210平行地设置有三组，第一擦拭臂310和第二擦拭臂320均设有两组，两组第一擦拭臂310分别位于两组分选皮带110的下方，两组第二擦拭臂320分别位于外侧的两组顶升皮带210的侧部。如此设计可以保证传输硅片500时的平稳性，避免硅片500掉落。

顶升皮带210包括第一安装板211、第一主动带轮212、第一从动带轮213和第一皮带214，第一主动带轮212和第一从动带轮213均安装于第一安装板211上，第一皮带214的两端分别连接第一主动带轮212和第二从动带轮113，而顶升驱动源的输出端则连接第一安装板211。分选皮带110包括第二安装板111、第二主动带轮112、第二从动带轮113和第二皮带114，第二主动带轮112和第二从动带轮113均安装于第二安装板111上，第二皮带114的两端分别连接第二主动带轮112和第二从动带轮113，第二安装板111则安装于机架上。

如图7和图8所示，清洗机构300还包括复位件350；顶升皮带210沿竖直方向顶升时，可带动第一擦拭臂310和第二擦拭臂320一起向上移动，并使第一擦拭件311抵接分选皮带110；顶升皮带210继续沿竖直方向顶升时，第一擦拭件311受压，第一擦拭臂310和第二擦拭臂320一起相对顶升组件200绕第一方向转动，以使第二擦拭件321抵接顶升皮带210，并使复位件350受压，且第一擦拭件311与分选皮带110保持抵接；顶升皮带210沿竖直方向下移时，复位件350可带动第一擦拭臂310和第二擦拭臂320返回初始位置。复位件350不仅可以使第一擦拭臂310和第二擦拭臂320能够返回初始位置，还能在第二擦拭件321抵接顶升皮带210时带来缓冲效果，避免第二擦拭件321与顶升皮带210刚性接触，以免发生脱轮或皮带弹跳现象。

具体地，顶升组件200还包括第一连接臂220；第一连接臂220的第一端固定连接第一擦拭臂310的第一端和第二擦拭臂320的第一端，第一连接臂220的第二端转动连接顶升皮带210；或者，第一连接臂220的第一端转动连接第一擦拭臂310的第一端和第二擦拭臂320的第一端，第一连接臂220的第二端固定连接顶升皮带210。具体地，清洗机构300还包括转轴360，转轴360转动连接第一连接臂220，第一擦拭臂310的第一端和第二擦拭臂320的第一端均固定连接转轴360。

具体地，转轴360固定连接有第二连接臂361，第二连接臂361的轴线与转轴360的轴线垂直设置，复位件350的第一端连接第二连接臂361，复位件350的第二端连接有第七擦拭件390，第七擦拭件390用于擦拭位于中间的一组顶升皮带210。当第一擦拭臂310和第二擦拭臂320绕第一方向转动时，复位件350靠近中间的一组顶升皮带210，底气擦拭件抵接改组顶升皮带210，进而对改组顶升皮带210进行擦拭。

具体地，顶升皮带210位于初始状态时，第一擦拭臂310平行于分选皮带110，且第一擦拭件311与分选皮带110之间具有间隙，间隙大小为3mm，第二擦拭臂320平行于顶升皮带210，且第二擦拭件321与分选皮带110之间具有间隙，间隙大小为3mm，第一擦拭臂310和第二擦拭臂320相互垂直设置。如图8所示，第一擦拭臂310的第二端设有第一卡槽313，第一擦拭件311卡接于第一卡槽313内，第一卡槽313的口径由槽口至槽底的方向逐渐减小，且第一卡槽313的槽底的口径小于第一擦拭件311的外径，第二擦拭臂320的第二端设有第二卡槽323，第二擦拭件321卡接于第二卡槽323内，第二卡槽323的口径由槽口至槽底的方向逐渐减小，且第二卡槽323的槽底的口径小于第二擦拭件321的外径。能够便于安装第一擦拭件311和第二擦拭件321，并能避免第一擦拭件311和第二擦拭件321掉落。进一步地，第一卡槽313和第二卡槽323的内壁均设有防滑纹路，进一步地保证第一擦拭件311和第二擦拭件321的安装效果。

实施例五：

参照图9至图11，本发明的实施例五提供了实施例二中的下料传输皮带400和第三擦拭件330的关系图，第三擦拭件330连接于第四安装板370上，且第三擦拭件330和第四安装板370之间安装有缓冲弹簧，第四安装板370连接于顶升驱动源的输出端，当顶升组件200驱动顶升皮带210向上顶升时，将会同时带动第三擦拭件330向上顶升，第三擦拭件330将会抵接下料传输皮带400，从而对下料传输皮带400进行清洗。

需要注意的是，在本发明的描述中，如有涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系的，均为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造或操作，不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个及两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一或第二等的，只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员在本发明的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本发明所要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，包括：

硅片(500)传输机构，包括水平传输组件(100)和顶升组件(200)，所述水平传输组件(100)包括分选皮带(110)，所述分选皮带(110)可绕第一方向转动，以将硅片(500)沿水平方向传输，所述顶升组件(200)包括顶升皮带(210)，所述顶升皮带(210)可沿竖直方向顶升，以使所述顶升皮带(210)接触硅片(500)，所述顶升皮带(210)还可绕第一方向转动，以将硅片(500)输送至所述分选皮带(110)；及

清洗机构(300)，包括第一擦拭臂(310)和第二擦拭臂(320)，所述第一擦拭臂(310)的第一端固定连接所述第二擦拭臂(320)的第一端，且所述第一擦拭臂(310)的第一端和所述第二擦拭臂(320)的第一端均转动连接所述顶升组件(200)，所述第一擦拭臂(310)的第二端和所述第二擦拭臂(320)的第二端分别设有第一擦拭件(311)和第二擦拭件(321)；

所述顶升皮带(210)沿竖直方向顶升时，可带动所述第一擦拭臂(310)和所述第二擦拭臂(320)绕第一方向转动，以使所述第一擦拭件(311)和所述第二擦拭件(321)分别抵接并擦拭所述分选皮带(110)和所述顶升皮带(210)。

2.根据权利要求1所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述硅片(500)传输机构还包括下料组件，所述下料组件包括下料传输皮带(400)，所述顶升皮带(210)、所述分选皮带(110)和所述下料传输皮带(400)沿硅片(500)输送方向依次设置，所述下料传输皮带(400)可绕第二方向转动，以接收并输送来自所述分选皮带(110)的硅片(500)，所述清洗机构(300)还包括第三擦拭件(330)，所述第三擦拭件(330)连接所述顶升组件(200)，且所述第三擦拭件(330)位于所述下料传输皮带(400)的下方，所述顶升皮带(210)沿竖直方向顶升时，可带动所述第三擦拭件(330)向上移动，以使所述第三擦拭件(330)抵接并擦拭所述下料传输皮带(400)。

3.根据权利要求2所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述第一擦拭臂(310)的第二端还设有第四擦拭件(312)，所述第四擦拭件(312)比所述第一擦拭件(311)更靠近于所述第一擦拭臂(310)的第二端，所述第一擦拭件(311)为干性擦拭件，所述第四擦拭件(312)为湿性擦拭件；

所述第二擦拭臂(320)的第二端还设有第五擦拭件(322)，所述第五擦拭件(322)比所述第二擦拭件(321)更靠近于所述第二擦拭臂(320)的第二端，所述第二擦拭件(321)为干性擦拭件，所述第五擦拭件(322)为湿性擦拭件；

所述清洗机构(300)还包括第六擦拭件(340)，所述第六擦拭件(340)连接所述顶升组件(200)，所述第六擦拭件(340)位于所述下料传输皮带(400)的下方，且所述第六擦拭件(340)比所述第三擦拭件(330)更靠近于所述下料传输皮带(400)，所述第三擦拭件(330)为干性擦拭件，所述第六擦拭件(340)为湿性擦拭件。

4.根据权利要求1所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述清洗机构(300)还包括复位件(350)；

所述顶升皮带(210)沿竖直方向顶升时，可带动所述第一擦拭臂(310)和所述第二擦拭臂(320)一起向上移动，并使所述第一擦拭件(311)抵接所述分选皮带(110)；

所述顶升皮带(210)继续沿竖直方向顶升时，所述第一擦拭件(311)受压，所述第一擦拭臂(310)和所述第二擦拭臂(320)一起相对所述顶升组件(200)绕第一方向转动，以使所述第二擦拭件(321)抵接所述顶升皮带(210)，并使所述复位件(350)受压，且第一擦拭件(311)与所述分选皮带(110)保持抵接；

所述顶升皮带(210)沿竖直方向下移时，所述复位件(350)可带动所述第一擦拭臂(310)和所述第二擦拭臂(320)返回初始位置。

5.根据权利要求4所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述顶升组件(200)还包括第一连接臂(220)；

所述第一连接臂(220)的第一端固定连接所述第一擦拭臂(310)的第一端和所述第二擦拭臂(320)的第一端，所述第一连接臂(220)的第二端转动连接所述顶升皮带(210)；

或者，

所述第一连接臂(220)的第一端转动连接所述第一擦拭臂(310)的第一端和所述第二擦拭臂(320)的第一端，所述第一连接臂(220)的第二端固定连接所述顶升皮带(210)。

6.根据权利要求5所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述清洗机构(300)还包括转轴(360)，所述转轴(360)转动连接所述第一连接臂(220)，所述第一擦拭臂(310)的第一端和所述第二擦拭臂(320)的第一端均固定连接所述转轴(360)。

7.根据权利要求6所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述分选皮带(110)平行地设置有两组，所述顶升皮带(210)平行地设置有三组，所述第一擦拭臂(310)和所述第二擦拭臂(320)均设有两组，两组所述第一擦拭臂(310)分别位于两组所述分选皮带(110)的下方，两组所述第二擦拭臂(320)分别位于外侧的两组所述顶升皮带(210)的侧部。

8.根据权利要求7所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述转轴(360)固定连接有第二连接臂(361)，所述第二连接臂(361)的轴线与所述转轴(360)的轴线垂直设置，所述复位件(350)的第一端连接所述第二连接臂(361)，所述复位件(350)的第二端连接有第七擦拭件(390)，所述第七擦拭件(390)用于擦拭位于中间的一组所述顶升皮带(210)。

9.根据权利要求1所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述顶升皮带(210)位于初始状态时，所述第一擦拭臂(310)平行于所述分选皮带(110)，且所述第一擦拭件(311)与所述分选皮带(110)之间具有间隙，所述第二擦拭臂(320)平行于所述顶升皮带(210)，且所述第二擦拭件(321)与所述分选皮带(110)之间具有间隙，所述第一擦拭臂(310)和所述第二擦拭臂(320)相互垂直设置。

10.根据权利要求1所述的具有清洗皮带功能的硅片传输皮带装置，其特征在于，所述第一擦拭臂(310)的第二端设有第一卡槽(313)，所述第一擦拭件(311)卡接于所述第一卡槽(313)内，所述第一卡槽(313)的口径由槽口至槽底的方向逐渐减小，且所述第一卡槽(313)的槽底的口径小于所述第一擦拭件(311)的外径，所述第二擦拭臂(320)的第二端设有第二卡槽(323)，所述第二擦拭件(321)卡接于所述第二卡槽(323)内，所述第二卡槽(323)的口径由槽口至槽底的方向逐渐减小，且所述第二卡槽(323)的槽底的口径小于所述第二擦拭件(321)的外径。

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