CN114472080B - 适用于真空环境的冷却系统及其使用方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种适用于真空环境的冷却系统及其使用方法,适用于真空环境的冷却系统包括:真空腔室内设有一框架,框架上安装有点胶装置、压合装置及固化装置;点胶装置包括真空视觉模块,真空视觉模块与框架相连接;第一冷却机构与真空视觉模块相连接,第一转接机构与第一冷却机构相连接,第二冷却机构与固化装置相连接,第二转接机构与第二冷却机构相连接。本发明通过将点胶装置、压合装置及固化装置集成在一个真空腔室内,可以提高工件的点胶质量及工作效率;通过第一冷却机构和第二冷却机构可以有效的对真空视觉模块和固化装置进行降温、散热,第一转接机构和第二转接机构可以进一步保证真空腔室的密封,防止泄漏。

Description

适用于真空环境的冷却系统及其使用方法
技术领域
本发明涉及真空灌胶技术领域,尤其涉及一种适用于真空环境的冷却系统及其使用方法。
背景技术
目前,点胶、压合及固化三种工序是在独立的设备上进行的,工件点胶完后再移送到压合设备中进行压合,压合完后再进行固化处理。在工件转移的过程中,胶水可能会在空气中氧化、吸收空气中的水分等,导致胶水变质或者胶量增加。
但是,如果将点胶、压合和固化集成在一个真空腔室内,光源产生的热量无法散热出去,堆积在真空腔室内,影响真空腔室内的真空度。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
为此,本发明提供一种适用于真空环境的冷却系统及其使用方法,在点胶、压合及固化工艺集成在一个真空腔室时,可以对光源降温散热。
根据本发明实施例的适用于真空环境的冷却系统,包括:真空腔室,所述真空腔室内设有一框架,所述框架上安装有点胶装置、压合装置及固化装置;所述点胶装置包括真空视觉模块,所述真空视觉模块与所述框架相连接;第一冷却机构,所述第一冷却机构与所述真空视觉模块相连接,用于对所述真空视觉模块进行降温;第一转接机构,所述第一转接机构与所述第一冷却机构相连接,用于对所述第一冷却机构密封;第二冷却机构,所述第二冷却机构与所述固化装置相连接,用于对所述固化装置进行降温;第二转接机构,所述第二转接机构与所述第二冷却机构相连接,用于对所述第二冷却机构密封。
本发明的有益效果是,本发明通过将点胶装置、压合装置及固化装置集成在一个真空腔室内,可以提高工件的点胶质量及工作效率;通过第一冷却机构和第二冷却机构可以有效的对真空视觉模块和固化装置进行降温、散热,第一转接机构和第二转接机构可以进一步保证真空腔室的密封,防止泄漏。
根据本发明一个实施例,所述真空视觉模块包括:
真空相机,所述真空相机与所述框架相连接;
视觉光源,所述视觉光源与所述真空相机相连接,所述视觉光源与所述第一冷却机构相连接。
根据本发明一个实施例,所述固化装置包括:
盒体,所述盒体安装在所述压合装置上,所述盒体与所述第二冷却机构相连接;
紫外光源,所述紫外光源安装在所述盒体朝向所述压合装置的一面,所述盒体与所述紫外光源之间形成一空腔。
根据本发明一个实施例,所述第一转接机构包括:第一进路转接组件和第一回路转接组件,所述第一进路转接组件和第一回路转接组件均安装在所述真空腔室的上腔壁上,所述第一进路转接组件和第一回路转接组件均与所述第一冷却机构相连接。
根据本发明一个实施例,所述第一冷却机构包括:
空气泵,以及
第一冷却进路管道,所述第一冷却进路管道的一端与所述空气泵相连接,所述第一冷却进路管道的另一端穿过所述第一进路转接组件与所述视觉光源相连接;
第一冷却回路管道,所述第一冷却回路管道的一端与所述空气泵相连接,所述第一冷却回路管道的另一端穿过所述第一回路转接组件与所述视觉光源相连接。
根据本发明一个实施例,所述第二转接机构包括第二进路转接组件和第二回路转接组件,所述第二进路转接组件和第二回路转接组件均安装在所述真空腔室的上腔壁上,所述第二进路转接组件和第二回路转接组件均与所述第二冷却机构相连接。
根据本发明一个实施例,所述第二冷却机构包括:
水冷箱,以及
第二冷却进路管道,所述第二冷却进路管道的一端与所述水冷箱相连接,所述第二冷却进路管道的另一端穿过所述第二进路转接组件与所述盒体相连接;
第二冷却回路管道,所述第二冷却回路管道的一端与所述水冷箱相连接,所述第二冷却回路管道的另一端穿过所述第二回路转接组件与所述盒体相连接。
根据本发明一个实施例,所述第一进路转接组件包括两个第一进路转接头,一个所述第一进路转接头与所述真空腔室上腔壁的外表面相连接,另一个所述第一进路转接头与所述真空腔室上腔壁的内表面相连接,两个所述第一进路转接头相互连通;
所述第一回路转接组件包括两个第一回路转接头,一个所述第一回路转接头与所述真空腔室上腔壁的外表面相连接,另一个所述第一回路转接头与所述真空腔室上腔壁的内表面相连接,两个所述第一回路转接头相互连通。
根据本发明一个实施例,所述第二进路转接组件包括两个第二进路转接头,一个所述第二进路转接头与所述真空腔室上腔壁的外表面相连接,另一个所述第二进路转接头与所述真空腔室上腔壁的内表面相连接,两个所述第二进路转接头相互连通;
所述第二回路转接组件包括两个第二回路转接头,一个所述第二回路转接头与所述真空腔室上腔壁的外表面相连接,另一个所述第二回路转接头与所述真空腔室上腔壁的内表面相连接,两个所述第二回路转接头相互连通。
根据本发明一个实施例,所述第一进路转接头包括:
第一适配器,所述第一适配器与所述真空腔室的上腔壁相连接,所述第一适配器与所述真空腔室的上腔壁之间设有第一铜垫;
第一紧固件,所述第一紧固件与所述第一适配器相连接,用于将所述第一冷却进路管道与所述第一适配器紧固;
第一定心环,所述第一定心环安装在所述第一适配器上,所述第一定心环上套设有第一密封圈。
根据本发明实施例的适用于真空环境的冷却系统的使用方法,采用上述的适用于真空环境的冷却系统;所述适用于真空环境的冷却系统的使用方法包括以下步骤:
S1、启动第一冷却机构和第二冷却机构;
S2、第一冷却机构将空气送入点胶装置内,对点胶装置进行循环散热;
S3、第二冷却机构将冷却液送入固化装置内,对固化装置进行循环散热。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的适用于真空环境的冷却系统的结构示意图。
图2是本发明的适用于真空环境的冷却系统的俯视图。
图3是本发明的适用于真空环境的冷却系统的剖视图。
图4是本发明的第一转接机构和第二转接机构的结构示意图。
图5是本发明的真空视觉模块的结构示意图。
图6是本发明的固化装置的剖视图。
图7是本发明的固化装置的立体图。
图8是本发明的第一进路转接头的结构示意图。
图9是本发明的第一进路转接头的剖视图。
图10是本发明的适用于真空环境的冷却系统的使用方法的流程图。
图中:
101、真空腔室;102、框架;104、点胶装置;105、压合装置;106、固化装置;1042、真空视觉模块;1061、盒体;1062、紫外光源;1063、第三接口;1064、第四接口;
400、适用于真空环境的冷却系统;401、第一冷却机构;402、第一转接机构;403、第二冷却机构;404、第二转接机构;415、真空相机;405、视觉光源;4051、第一接口;4052、第二接口;406、空腔;407、第一进路转接组件;408、第一回路转接组件;4011、空气泵;4012、第一冷却进路管道;4013、第一冷却回路管道;409、第二进路转接组件;410、第二回路转接组件;4031、水冷箱;4032、第二冷却进路管道;4033、第二冷却回路管道;411、第一进路转接头;412、第一回路转接头;413、第二进路转接头;414、第二回路转接头;4111、第一适配器;4112、第一铜垫;4113、第一紧固件;4114、第一定心环;4115、第一密封圈。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1至图9所示,根据本发明实施例的适用于真空环境的冷却系统,包括:真空腔室101、第一冷却机构401、第一转接机构402、第二冷却机构403及第二转接机构404,真空腔室101内设有一框架102,框架102上安装有点胶装置104、压合装置105及固化装置106。点胶装置104包括真空视觉模块1042,真空视觉模块1042与框架102相连接;第一冷却机构401与真空视觉模块1042相连接,用于对真空视觉模块1042进行降温;第一转接机构402与第一冷却机构401相连接,用于对第一冷却机构401密封;第二冷却机构403与固化装置106相连接,用于对固化装置106进行降温;第二转接机构404与第二冷却机构403相连接,用于对第二冷却机构403密封。
本发明通过将点胶装置104、压合装置105及固化装置106集成在一个真空腔室101内,可以提高工件的点胶质量及工作效率。由于点胶需要在真空环境下进行,而真空腔室101为一个密闭的腔体,真空视觉模块1042和固化装置106工作时,会产生热量,依靠其自身无法进行散热,并且,热量堆积在真空腔室101内也会影响真空腔室101内的真空度,导致点胶效果不理想,本发明通过第一冷却机构401和第二冷却机构403可以有效的对真空视觉模块1042和固化装置106进行降温、散热,第一转接机构402和第二转接机构404可以进一步保证真空腔室101的密封,防止泄漏。
根据本发明的一实施例,真空视觉模块1042包括:真空相机415和视觉光源405,真空相机415与框架102相连接,视觉光源405与真空相机415相连接,视觉光源405与第一冷却机构401相连接。具体的,视觉光源405设有第一接口4051和第二接口4052,第一接口4051和第二接口4052可以和第一冷却机构401相连接。第一转接机构402包括第一进路转接组件407和第一回路转接组件408,第一进路转接组件407和第一回路转接组件408均安装在真空腔室101的上腔壁上,第一进路转接组件407和第一回路转接组件408均与第一冷却机构401相连接。第一冷却机构401包括空气泵4011、第一冷却进路管道4012及第一冷却回路管道4013,第一冷却进路管道4012的一端与空气泵4011相连接,第一冷却进路管道4012的另一端穿过第一进路转接组件407与视觉光源405相连接,第一冷却回路管道4013的一端与空气泵4011相连接,第一冷却回路管道4013的另一端穿过第一回路转接组件408与视觉光源405相连接。第一冷却进路管道4012与第一接口4051连接,第一冷却回路管道4013与第二接口4052连接。换言之,第一冷却进路管道4012可以将新的空气通过第一接口4051送入视觉光源405内,视觉光源405内的空气从第二接口4052出挤压进入第一冷却回路管道4013内,以此实现视觉光源405的循环冷却。
根据本发明的一实施例,固化装置106包括:盒体1061和紫外光源1062,盒体1061安装在压合装置105上,盒体1061与第二冷却机构403相连接;紫外光源1062安装在盒体1061朝向压合装置105的一面,盒体1061与紫外光源1062之间形成一空腔406。第二转接机构404包括第二进路转接组件409和第二回路转接组件410,第二进路转接组件409和第二回路转接组件410均安装在真空腔室101的上腔壁上,第二进路转接组件409和第二回路转接组件410均与第二冷却机构403相连接。第二冷却机构403包括:水冷箱4031、第二冷却进路管道4032及第二冷却回路管道4033,第二冷却进路管道4032的一端与水冷箱4031相连接,第二冷却进路管道4032的另一端穿过第二进路转接组件409与盒体1061相连接;第二冷却回路管道4033的一端与水冷箱4031相连接,第二冷却回路管道4033的另一端穿过第二回路转接组件410与盒体1061相连接。具体的,水冷箱4031中储存有冷却液,盒体1061的一侧设有第三接口1063和第四接口1064,第三接口1063与第二冷却进路管道4032连接,第四接口1064与第二冷却回路管道4033连接,冷却液可以从第二冷却进路管道4032和第三接口1063进入空腔406内,空腔406内原有的冷却液会被从第四接口1064挤压进入第二冷却回路管道4033内,以此实现紫外光源1062的循环冷却。紫外光源1062是由多颗LED灯珠组成,LED灯珠产生的热量可以被冷却液带走。由于紫外光源1062产生的热量比视觉光源405要大很多,空气冷却已无法满足紫外光源1062的散热需求,因此,本发明采用冷却液冷却的方式,可以带走更多的热量,使得紫外光源1062可以快速降温。
根据本发明的一实施例,第一进路转接组件407包括两个第一进路转接头411,一个第一进路转接头411与真空腔室101上腔壁的外表面相连接,另一个第一进路转接头411与真空腔室101上腔壁的内表面相连接,两个第一进路转接头411相互连通。第一回路转接组件408包括两个第一回路转接头412,一个第一回路转接头412与真空腔室101上腔壁的外表面相连接,另一个第一回路转接头412与真空腔室101上腔壁的内表面相连接,两个第一回路转接头412相互连通。换言之,真空腔室101的上腔壁上开设有第一通孔,在第一通孔处的内外表面均设有第一进路转接头411,两个第一进路转接头411分别用于保证第一通孔处内外表面的密封性,防止气体泄漏而影响真空腔室101内的真空度。真空腔室101的上腔壁上开设有第二通孔,在第二通孔处的内外表面均设有第一回路转接头412,两个第一回路转接头412分别用于保证第二通孔处内外表面的密封性,防止气体泄漏而影响真空腔室101内的真空度。
根据本发明的一实施例,第二进路转接组件409包括两个第二进路转接头413,一个第二进路转接头413与真空腔室101上腔壁的外表面相连接,另一个第二进路转接头413与真空腔室101上腔壁的内表面相连接,两个第二进路转接头413相互连通。第二回路转接组件410包括两个第二回路转接头414,一个第二回路转接头414与真空腔室101上腔壁的外表面相连接,另一个第二回路转接头414与真空腔室101上腔壁的内表面相连接,两个第二回路转接头414相互连通。换言之,真空腔室101的上腔壁上开设有第三通孔,在第三通孔处的内外表面均设有第二进路转接头413,两个第二进路转接头413分别用于保证第三通孔处内外表面的密封性,防止气体泄漏而影响真空腔室101内的真空度。真空腔室101的上腔壁上开设有第四通孔,在第四通孔处的内外表面均设有第二回路转接头414,两个第二回路转接头414分别用于保证第四通孔处内外表面的密封性,防止气体泄漏而影响真空腔室101内的真空度。
具体的,第一进路转接头411、第一回路转接头412、第二进路转接头413及第二回路转接头414的结构均相同。例如,第一进路转接头411包括:第一适配器4111、第一紧固件4113及第一定心环4114,第一适配器4111与真空腔室101的上腔壁相连接(一个第一适配器4111与上腔壁外表面连接,另一个第一适配器4111与上腔壁内表面连接),第一适配器4111与真空腔室101的上腔壁之间设有第一铜垫4112;第一紧固件4113与第一适配器4111相连接,用于将第一冷却进路管道4012与第一适配器4111紧固;第一定心环4114安装在第一适配器4111上,第一定心环4114上套设有第一密封圈4115。第一适配器4111可以起到支撑作用,第一适配器4111与真空腔室101上腔壁之间可以通过螺钉固定,第一铜垫4112可以将第一适配器4111与真空腔室101上腔壁之间密封,铜垫的尺寸较薄,材质较软,延展性很好,被外力挤压后可以将将第一适配器4111与真空腔室101上腔壁之间缝隙填充。此处如果采用密封圈密封,则还需要在真空腔室101上腔壁上开槽来容纳密封圈,导致结构变复杂,生产成本增加。第一冷却进路管道4012的一端可以套设在第一定心环4114外周,第一定心环4114可以保证第一冷却进路管道4012的内径,第一密封圈4115再套设在第一冷却进路管道4012外周,将第一冷却进路管道4012与第一定心环4114紧密贴合。最后,第一紧固件4113套设在第一密封圈4115外部,可以通过外力进一步将第一冷却进路管道4012与第一定心环4114紧密贴合,保证不会漏气。
换言之,真空腔室101的上腔壁上共安装有八个转接头,内外表面均设有第一进路转接头411、第一回路转接头412、第二进路转接头413及第二回路转接头414。第一进路转接头411、第一回路转接头412、第二进路转接头413及第二回路转接头414可以保证真空腔室101内外表面的密封性,保持真空腔室101内的高真空度。第一进路转接头411、第一回路转接头412、第二进路转接头413及第二回路转接头414分别通过两道密封,第一道为铜垫,保证真空腔室101上腔壁与适配器之间的密封,第二道为密封圈和紧固件,保证适配器与管道之间的密封,通过层层的密封,能够实现光源散热的同时,保证真空腔室101内的真空度不会受到影响。
如图10所示,根据本发明实施例的适用于真空环境的冷却系统的使用方法,采用适用于真空环境的冷却系统400。适用于真空环境的冷却系统的使用方法包括以下步骤:
S1、启动第一冷却机构401和第二冷却机构403。
S2、第一冷却机构401将空气送入点胶装置104内,对点胶装置104进行循环散热。
S3、第二冷却机构403将冷却液送入固化装置106内,对固化装置106进行循环散热。
具体的,第一冷却机构401和第二冷却机构403在点胶作业时间已经开始工作,冷却液可以通过第二冷却进路管道4032进入固化装置106内,并从第二冷却回路管道4033再回到水冷箱4031内,实现对紫外光源1062的循环冷却。空气可以通过第一冷却进路管道4012进入视觉光源405内,空气又可以通过第一冷却回路管道4013再回到空气泵4011中,实现对视觉光源405的循环冷却。
综上所述,本发明的适用于真空环境的冷却系统及其使用方法,通过第一冷却机构401和第二冷却机构403可以有效的对真空视觉模块1042和固化装置106进行降温、散热,第一转接机构402和第二转接机构404可以进一步保证真空腔室101的密封,防止泄漏。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要如权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

1.一种适用于真空环境的冷却系统,其特征在于,包括:真空腔室(101)、第一冷却机构(401)、第一转接机构(402)、第二冷却机构(403)及第二转接机构(404),所述真空腔室(101)内设有一框架(102),所述框架(102)上安装有点胶装置(104)、压合装置(105)及固化装置(106);所述点胶装置(104)包括真空视觉模块(1042),所述真空视觉模块(1042)与所述框架(102)相连接;
所述第一冷却机构(401)与所述真空视觉模块(1042)相连接,用于对所述真空视觉模块(1042)进行降温;所述第一转接机构(402)与所述第一冷却机构(401)相连接,用于对所述第一冷却机构(401)密封;所述第二冷却机构(403)与所述固化装置(106)相连接,用于对所述固化装置(106)进行降温;所述第二转接机构(404)与所述第二冷却机构(403)相连接,用于对所述第二冷却机构(403)密封;
所述固化装置(106)包括:盒体(1061)和紫外光源(1062),所述盒体(1061)安装在所述压合装置(105)上,所述盒体(1061)与所述第二冷却机构(403)相连接;所述紫外光源(1062)安装在所述盒体(1061)朝向所述压合装置(105)的一面,所述盒体(1061)与所述紫外光源(1062)之间形成一空腔(406);
所述第一转接机构(402)包括:第一进路转接组件(407)和第一回路转接组件(408),所述第一进路转接组件(407)和第一回路转接组件(408)均安装在所述真空腔室(101)的上腔壁上,所述第一进路转接组件(407)和第一回路转接组件(408)均与所述第一冷却机构(401)相连接;
所述第一进路转接组件(407)包括两个第一进路转接头(411),一个所述第一进路转接头(411)与所述真空腔室(101)上腔壁的外表面相连接,另一个所述第一进路转接头(411)与所述真空腔室(101)上腔壁的内表面相连接,两个所述第一进路转接头(411)相互连通;
所述第一回路转接组件(408)包括两个第一回路转接头(412),一个所述第一回路转接头(412)与所述真空腔室(101)上腔壁的外表面相连接,另一个所述第一回路转接头(412)与所述真空腔室(101)上腔壁的内表面相连接,两个所述第一回路转接头(412)相互连通;
所述第一冷却机构(401)包括第一冷却进路管道(4012),所述第一冷却进路管道(4012)穿过所述第一进路转接组件(407)与所述真空视觉模块(1042)相连接,所述第一进路转接头(411)包括:
第一适配器(4111),所述第一适配器(4111)与所述真空腔室(101)的上腔壁相连接,所述第一适配器(4111)与所述真空腔室(101)的上腔壁之间设有第一铜垫(4112);
第一紧固件(4113),所述第一紧固件(4113)与所述第一适配器(4111)相连接,用于将所述第一冷却进路管道(4012)与所述第一适配器(4111)紧固;
第一定心环(4114),所述第一定心环(4114)安装在所述第一适配器(4111)上,所述第一定心环(4114)上套设有第一密封圈(4115)。
2.如权利要求1所述的适用于真空环境的冷却系统,其特征在于,所述真空视觉模块(1042)包括:
真空相机(415),所述真空相机(415)与所述框架(102)相连接;
视觉光源(405),所述视觉光源(405)与所述真空相机(415)相连接,所述视觉光源(405)与所述第一冷却机构(401)相连接。
3.如权利要求2所述的适用于真空环境的冷却系统,其特征在于,所述第一冷却机构(401)还包括:
空气泵(4011)和第一冷却回路管道(4013),所述第一冷却进路管道(4012)的一端与所述空气泵(4011)相连接,所述第一冷却进路管道(4012)的另一端穿过所述第一进路转接组件(407)与所述视觉光源(405)相连接;所述第一冷却回路管道(4013)的一端与所述空气泵(4011)相连接,所述第一冷却回路管道(4013)的另一端穿过所述第一回路转接组件(408)与所述视觉光源(405)相连接。
4.如权利要求1所述的适用于真空环境的冷却系统,其特征在于,所述第二转接机构(404)包括第二进路转接组件(409)和第二回路转接组件(410),所述第二进路转接组件(409)和第二回路转接组件(410)均安装在所述真空腔室(101)的上腔壁上,所述第二进路转接组件(409)和第二回路转接组件(410)均与所述第二冷却机构(403)相连接。
5.如权利要求4所述的适用于真空环境的冷却系统,其特征在于,所述第二冷却机构(403)包括:
水冷箱(4031),以及
第二冷却进路管道(4032),所述第二冷却进路管道(4032)的一端与所述水冷箱(4031)相连接,所述第二冷却进路管道(4032)的另一端穿过所述第二进路转接组件(409)与所述盒体(1061)相连接;
第二冷却回路管道(4033),所述第二冷却回路管道(4033)的一端与所述水冷箱(4031)相连接,所述第二冷却回路管道(4033)的另一端穿过所述第二回路转接组件(410)与所述盒体(1061)相连接。
6.如权利要求4所述的适用于真空环境的冷却系统,其特征在于,所述第二进路转接组件(409)包括两个第二进路转接头(413),一个所述第二进路转接头(413)与所述真空腔室(101)上腔壁的外表面相连接,另一个所述第二进路转接头(413)与所述真空腔室(101)上腔壁的内表面相连接,两个所述第二进路转接头(413)相互连通;
所述第二回路转接组件(410)包括两个第二回路转接头(414),一个所述第二回路转接头(414)与所述真空腔室(101)上腔壁的外表面相连接,另一个所述第二回路转接头(414)与所述真空腔室(101)上腔壁的内表面相连接,两个所述第二回路转接头(414)相互连通。
7.一种适用于真空环境的冷却系统的使用方法,其特征在于,采用如权利要求1-6任一项所述的适用于真空环境的冷却系统;所述适用于真空环境的冷却系统的使用方法包括以下步骤:
S1、启动第一冷却机构(401)和第二冷却机构(403);
S2、第一冷却机构(401)将空气送入点胶装置(104)内,对点胶装置(104)进行循环散热;
S3、第二冷却机构(403)将冷却液送入固化装置(106)内,对固化装置(106)进行循环散热。
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