CN114455446B - 一种吊装腔体盖的吊机 - Google Patents
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Abstract
本发明吊装腔体盖的吊机包括：吊装台上安装两个吊装对应腔体盖的吊机组件，每一吊机组件的底座上安装控制线接线排、电机正反转模块和蜗轮蜗杆电机，控制线接线排与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机、电机正反转模块连接，电机正反转模块与控制手柄和蜗轮蜗杆电机连接；蜗轮蜗杆电机与减速箱传动连接，减速箱上穿设固定传动轴，传动轴一端与第一吊索轮固定、另一端与第二吊索轮固定，底座上位于第一吊索轮两侧固定第一和第二吊索导向轮、位于第二吊索轮两侧固定第三和第四吊索导向轮，第一吊索轮上固定第一和第二吊索，第二吊索轮上固定第三和第四吊索，四个吊索穿绕对应吊索导向轮后与腔体盖固定以使得四个吊索同方向上升或下降。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种吊装腔体盖的吊机。
背景技术
国内半导体技术近两年发展较快，半导体装备制造、翻新、改造的业务也随之发展。在半导体设备中，对于密封真空的腔体盖是必不可少的，这些密封盖因为要有密封的功能，所以在强度上必须要有所保证，这使得这些密封盖的尺寸有些较大，相对来说重量也较重。对于溅射金属薄膜的设备来说目前应用最广的是应用材料公司的ENDURA 5500，以此设备为例，前后各有两个大腔体都需要真空密封，其上的两个密封盖的重量较重，尤其在机器上安装了其他腔体后，密封盖的打开变得相当困难，需要一种简易吊车来起吊。虽然应用材料之前有类似的结构设计，但是结构相对呆板，针对此，重新设计了吊车的机械结构部分、控制部分来满足对于金属密封盖的吊装。
发明内容
本发明针对现有技术存在的问题和不足，提供一种吊装腔体盖的吊机。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
本发明提供一种吊装腔体盖的吊机，其特点在于，其包括固定在腔体四周的多个吊车支架，该些吊车支架的顶部固定有吊装台，所述吊装台上安装有两个分别用于吊装对应腔体盖的吊机组件，每一所述吊机组件包括底座，所述底座上安装有控制线接线排、电机正反转模块和蜗轮蜗杆电机，所述控制线接线排与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机、电机正反转模块导线连接，所述电机正反转模块分别与控制手柄和蜗轮蜗杆电机电连接，所述底座的一端固定有安装有第一轴承的第一轴承座、另一端固定有安装有第二轴承的第二轴承座。
所述蜗轮蜗杆电机与减速箱传动连接，所述减速箱上穿设固定有传动轴，所述传动轴的一端穿设第一轴承并与第一吊索轮相固定、另一端穿设第二轴承并与第二吊索轮相固定，所述底座上且位于第一吊索轮的两侧分别固定有第一吊索导向轮和第二吊索导向轮，所述底座上且位于第二吊索轮的两侧分别固定有第三吊索导向轮和第四吊索导向轮，所述第一吊索轮上固定有第一吊索和第二吊索的一端，所述第一吊索的另一端穿绕第一吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索的另一端穿绕第二吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索轮上固定有第三吊索和第四吊索的一端，所述第三吊索的另一端穿绕第三吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第四吊索的另一端穿绕第四吊索导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第一吊索、第二吊索、第三吊索和第四吊索同方向上升或下降。
在机台的安全互锁断开时，直流电源通过机台的控制系统输入至任一吊机组件的控制线接线排为其供电。
当任一吊机组件需向上运动时，按动控制手柄的上升按钮，吊机组件的电机正反转模块控制蜗轮蜗杆电机被驱动正向旋转，带动减速箱旋转，随即驱动传动轴运动，传动轴带动第一吊索轮和第二吊索轮旋转，从而第一吊索轮带动第一吊索和第二吊索同时向上运动，第二吊索轮带动第三吊索和第四吊索同时向上运动，以此带动对应的整个腔体盖向上运动。
当吊机组件需向下运动时，按动控制手柄的下降按钮，吊机组件的电机正反转模块控制蜗轮蜗杆电机被驱动反向旋转，带动减速箱旋转，随即驱动传动轴运动，传动轴带动第一吊索轮和第二吊索轮旋转，从而第一吊索轮带动第一吊索和第二吊索同时向下运动，第二吊索轮带动第三吊索和第四吊索同时向下运动，以此带动对应的整个腔体盖向下运动。
当机台腔体抽真空后，安全互锁恢复，直流电源被切断，此时吊车组件的控制便无法操作，从而防止误操作而导致机台发生异常。
较佳地，所述第一吊索导向轮、第二吊索导向轮、第三吊索导向轮和第四吊索导向轮均包括U型架，所述U型架的上部轴接有导向轮和导向销；
所述第一吊索的另一端穿绕第一吊索导向轮的导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索的另一端依次穿绕第二吊索导向轮的导向销和导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第一吊索和第二吊索同方向上升或下降；
所述第三吊索的另一端穿绕第三吊索导向轮的导向轮后与对应腔体盖固定，所述第四吊索的另一端依次穿绕第四吊索导向轮的导向销和导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第三吊索和第四吊索同方向上升或下降。
较佳地，所述传动轴上套设固定有小传动齿轮，所述底座上固定有U型座，所述U型座的上部轴接有大传动齿轮，所述小传动齿轮和大传动齿轮相啮合，所述U型座的一侧固定有第一限位磁吹开关，所述大传动齿轮的同侧固定有与第一限位磁吹开关相对应的第一限位杆，所述U型座的另一侧固定有第二限位磁吹开关，所述大传动齿轮的同侧固定有与第二限位磁吹开关相对应的第二限位杆，所述第一限位磁吹开关和第二限位磁吹开关均与控制线接线排导线连接。
在吊机组件向上运动且传动轴旋转过程中，传动轴通过小传动齿轮和大传动齿轮齿轮传动的方式驱动大传动齿轮旋转，大传动齿轮上装有的第一限位杆和第二限位杆随其运动，当第一限位杆运动到一定角度时，第一限位杆触碰上第一限位磁吹开关，吊机组件向上运动停止。
在吊机组件向下运动且传动轴旋转的过程中，传动轴通过小传动齿轮和大传动齿轮齿轮传动的方式驱动大传动齿轮旋转，大传动齿轮上装有的第一限位杆和第二限位杆随其运动，当第二限位杆运动到一定角度时，第二限位杆触碰上第二限位磁吹开关，吊机组件向下运动停止。
较佳地，所述底座的两端分别固定有把手。
在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本发明各较佳实例。
本发明的积极进步效果在于：
本发明通过机台内部的互锁来保证吊机的正确工作状态，机械机构采用蜗轮蜗杆机构以实现自锁和大扭矩传输，吊机采用24伏直流供电以保证人员安全，通过电机正反转模块来控制吊机的上下运动，通过限位磁吹开关来限制蜗轮蜗杆电机的上下升降范围。此吊机的应用使得腔体的重物吊装变得易于实现，节省了人力成本，也充分考虑了使用中的安全问题，提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明较佳实施例的吊装腔体盖的吊机的结构示意图。
图2为本发明较佳实施例的吊机组件的结构示意图。
图3为本发明较佳实施例的吊索导向轮的结构示意图。
图4为本发明较佳实施例的吊机限位的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-4所示，本实施例提供一种吊装腔体盖的吊机，其包括固定在腔体1四周的多个吊车支架2，该些吊车支架2的顶部固定有吊装台3，所述吊装台3上安装有两个分别用于吊装对应腔体盖23的吊机组件4。
每一所述吊机组件4包括底座5，所述底座5上安装有控制线接线排6、电机正反转模块7和蜗轮蜗杆电机8，所述控制线接线排6与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机8、电机正反转模块7导线连接，所述电机正反转模块7分别与控制手柄9和蜗轮蜗杆电机8电连接，所述底座5的一端固定有安装有第一轴承的第一轴承座10、另一端固定有安装有第二轴承的第二轴承座11。
所述蜗轮蜗杆电机8与减速箱12传动连接，所述减速箱12上穿设固定有传动轴13，所述传动轴13的一端穿设第一轴承并与第一吊索轮14相固定、另一端穿设第二轴承并与第二吊索轮15相固定，所述底座5上且位于第一吊索轮14的两侧分别固定有第一吊索导向轮16和第二吊索导向轮17，所述底座5上且位于第二吊索轮15的两侧分别固定有第三吊索导向轮18和第四吊索导向轮19。
所述第一吊索导向轮16、第二吊索导向轮17、第三吊索导向轮18和第四吊索导向轮19均包括U型架20，所述U型架20的上部轴接有导向轮21和导向销22。
所述第一吊索轮14上固定有第一吊索24和第二吊索25的一端，所述第一吊索24的另一端穿绕第一吊索导向轮16的导向轮后与对应腔体盖23固定，所述第二吊索25的另一端依次穿绕第二吊索导向轮17的导向销和导向轮后与对应腔体盖23固定，以使得第一吊索24和第二吊索25同方向上升或下降。
所述第二吊索轮15上固定有第三吊索26和第四吊索27的一端，所述第三吊索26的另一端穿绕第三吊索导向轮18的导向轮后与对应腔体盖23固定，所述第四吊索27的另一端依次穿绕第四吊索导向轮19的导向销和导向轮后与对应腔体盖23固定，以使得第三吊索26和第四吊索27同方向上升或下降。
所述传动轴13上套设固定有小传动齿轮28，所述底座5上固定有U型座29，所述U型座29的上部轴接有大传动齿轮30，所述小传动齿轮28和大传动齿轮30相啮合，所述U型座29的一侧固定有第一限位磁吹开关31，所述大传动齿轮30的同侧固定有与第一限位磁吹开关31相对应的第一限位杆32，所述U型座29的另一侧固定有第二限位磁吹开关33，所述大传动齿轮30的同侧固定有与第二限位磁吹开关33相对应的第二限位杆34，所述第一限位磁吹开关31和第二限位磁吹开关33均与控制线接线排6导线连接。
此外，所述底座5的两端分别固定有把手35。
使用时，在机台的安全互锁断开的情况下，直流24V电源会通过机台的控制系统输入至任一吊机组件4的控制线接线排6，使得任一吊机组件4的底座5上的蜗轮蜗杆电机8、电机正反转模块7、第一限位磁吹开关31和第二限位磁吹开关33上电。
当吊机组件4需要向上运动时，按动控制手柄9的上升按钮，吊机组件4的电机正反转模块7控制蜗轮蜗杆电机8被驱动正向旋转，同时带动减速箱12旋转，随即驱动传动轴13运动，传动轴13带动第一吊索轮14和第二吊索轮15旋转，从而第一吊索轮14带动第一吊索24和第二吊索25同时向上运动，第二吊索轮15带动第三吊索26和第四吊索27同时向上运动，这样带动对应的整个腔体盖23向上运动。
在传动轴13旋转的过程中，传动轴13会通过小传动齿轮28和大传动齿轮30齿轮传动的方式驱动大传动齿轮30旋转，大传动齿轮30上装有的第一限位杆32和第二限位杆34会随其运动，当第一限位杆32运动到一定角度时，第一限位杆32会触碰上第一限位磁吹开关31，吊机组件4向上运动停止。
当吊机组件4需要向下运动时，按动控制手柄9的下降按钮，吊机组件4的电机正反转模块7控制蜗轮蜗杆电机8被驱动反向旋转，同时带动减速箱12旋转，随即驱动传动轴13运动，传动轴13带动第一吊索轮14和第二吊索轮15旋转，从而第一吊索轮14带动第一吊索24和第二吊索25同时向下运动，第二吊索轮15带动第三吊索26和第四吊索27同时向下运动，这样带动对应的整个腔体盖23向下运动。
在传动轴13旋转的过程中，传动轴13会通过小传动齿轮28和大传动齿轮30齿轮传动的方式驱动大传动齿轮30旋转，大传动齿轮30上装有的第一限位杆32和第二限位杆34会随其运动，当第二限位杆34运动到一定角度时，第二限位杆34会触碰上第二限位磁吹开关33，吊机组件4向下运动停止。
当机台腔体抽真空后，安全互锁恢复，机台的24V直流电被切断，此时吊车组件的控制便无法操作，从而防止误操作而导致机台发生异常。
本发明中，通过机台内部的互锁来保证吊机的正确工作状态，机械机构采用蜗轮蜗杆机构以实现自锁和大扭矩传输，吊机采用24伏直流供电以保证人员安全，通过电机正反转模块来控制吊机的上下运动，通过限位磁吹开关来限制蜗轮蜗杆电机的上下升降范围。此吊机的应用使得腔体的重物吊装变得易于实现，节省了人力成本，也充分考虑了使用中的安全问题，提高了生产效率。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种吊装腔体盖的吊机，其特征在于，其包括固定在腔体四周的多个吊车支架，该些吊车支架的顶部固定有吊装台，所述吊装台上安装有两个分别用于吊装对应腔体盖的吊机组件，每一所述吊机组件包括底座，所述底座上安装有控制线接线排、电机正反转模块和蜗轮蜗杆电机，所述控制线接线排与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机、电机正反转模块导线连接，所述电机正反转模块分别与控制手柄和蜗轮蜗杆电机电连接，所述底座的一端固定有安装有第一轴承的第一轴承座、另一端固定有安装有第二轴承的第二轴承座；
所述蜗轮蜗杆电机与减速箱传动连接，所述减速箱上穿设固定有传动轴，所述传动轴的一端穿设第一轴承并与第一吊索轮相固定、另一端穿设第二轴承并与第二吊索轮相固定，所述底座上且位于第一吊索轮的两侧分别固定有第一吊索导向轮和第二吊索导向轮，所述底座上且位于第二吊索轮的两侧分别固定有第三吊索导向轮和第四吊索导向轮，所述第一吊索轮上固定有第一吊索和第二吊索的一端，所述第一吊索的另一端穿绕第一吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索的另一端穿绕第二吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索轮上固定有第三吊索和第四吊索的一端，所述第三吊索的另一端穿绕第三吊索导向轮后与对应腔体盖固定，所述第四吊索的另一端穿绕第四吊索导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第一吊索、第二吊索、第三吊索和第四吊索同方向上升或下降；
在机台的安全互锁断开时，直流电源通过机台的控制系统输入至任一吊机组件的控制线接线排为其供电；
当任一吊机组件需向上运动时，按动控制手柄的上升按钮，吊机组件的电机正反转模块控制蜗轮蜗杆电机被驱动正向旋转，带动减速箱旋转，随即驱动传动轴运动，传动轴带动第一吊索轮和第二吊索轮旋转，从而第一吊索轮带动第一吊索和第二吊索同时向上运动，第二吊索轮带动第三吊索和第四吊索同时向上运动，以此带动对应的整个腔体盖向上运动；
当吊机组件需向下运动时，按动控制手柄的下降按钮，吊机组件的电机正反转模块控制蜗轮蜗杆电机被驱动反向旋转，带动减速箱旋转，随即驱动传动轴运动，传动轴带动第一吊索轮和第二吊索轮旋转，从而第一吊索轮带动第一吊索和第二吊索同时向下运动，第二吊索轮带动第三吊索和第四吊索同时向下运动，以此带动对应的整个腔体盖向下运动；
当机台腔体抽真空后，安全互锁恢复，直流电源被切断，此时吊机组件的控制便无法操作，从而防止误操作而导致机台发生异常。
2.如权利要求1所述的吊装腔体盖的吊机，其特征在于，所述第一吊索导向轮、第二吊索导向轮、第三吊索导向轮和第四吊索导向轮均包括U型架，所述U型架的上部轴接有导向轮和导向销；
所述第一吊索的另一端穿绕第一吊索导向轮的导向轮后与对应腔体盖固定，所述第二吊索的另一端依次穿绕第二吊索导向轮的导向销和导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第一吊索和第二吊索同方向上升或下降；
所述第三吊索的另一端穿绕第三吊索导向轮的导向轮后与对应腔体盖固定，所述第四吊索的另一端依次穿绕第四吊索导向轮的导向销和导向轮后与对应腔体盖固定，以使得第三吊索和第四吊索同方向上升或下降。
3.如权利要求1所述的吊装腔体盖的吊机，其特征在于，所述传动轴上套设固定有小传动齿轮，所述底座上固定有U型座，所述U型座的上部轴接有大传动齿轮，所述小传动齿轮和大传动齿轮相啮合，所述U型座的一侧固定有第一限位磁吹开关，所述大传动齿轮的同侧固定有与第一限位磁吹开关相对应的第一限位杆，所述U型座的另一侧固定有第二限位磁吹开关，所述大传动齿轮的同侧固定有与第二限位磁吹开关相对应的第二限位杆，所述第一限位磁吹开关和第二限位磁吹开关均与控制线接线排导线连接；
在吊机组件向上运动且传动轴旋转过程中，传动轴通过小传动齿轮和大传动齿轮齿轮传动的方式驱动大传动齿轮旋转，大传动齿轮上装有的第一限位杆和第二限位杆随其运动，当第一限位杆运动到一定角度时，第一限位杆触碰上第一限位磁吹开关，吊机组件向上运动停止；
在吊机组件向下运动且传动轴旋转的过程中，传动轴通过小传动齿轮和大传动齿轮齿轮传动的方式驱动大传动齿轮旋转，大传动齿轮上装有的第一限位杆和第二限位杆随其运动，当第二限位杆运动到一定角度时，第二限位杆触碰上第二限位磁吹开关，吊机组件向下运动停止。
4.如权利要求1所述的吊装腔体盖的吊机，其特征在于，所述底座的两端分别固定有把手。
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