CN114435815A - 一种自动化储存设备及其使用方法 - Google Patents

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齐风
陈健华
张淳
吕杰
李伦
许春雷
肖帅
张威
武卫
刘园
孙晨光
王彦君
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Tianjin Zhonghuan Advanced Material Technology Co Ltd
Zhonghuan Advanced Semiconductor Materials Co Ltd
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Zhonghuan Advanced Semiconductor Materials Co Ltd
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0485—Check-in, check-out devices

Abstract

本发明提供一种自动化储存设备及其使用方法，包括控制系统，其特征在于：所述控制系统设置在储存设备上，用于控制所述储存设备进料、存料和出料。本发明的有益效果是有效的解决人工操作现场找料时间长，人工干预过程易发生错误混料或丢失的问题。

Description

一种自动化储存设备及其使用方法
技术领域
本发明属于半导体制造运输领域，尤其是涉及一种自动化储存设备及其使用方法。
背景技术
在半导体硅制造运输领域中,各工序之间工艺机台加工效率存在差异且产线机台存在异常宕机等特殊状态，故各工序之间存在在制品缓存等问题。现场中制品缓存在管理上有较高的难度，容易在不同批次、不同客户之间产生混料风险。现有的管理中，人工将片盒放置于货架上进行暂存，全部批次ID、片盒ID及出入库信息均由人工记录，此操作模式造成现场找料时间较长，人工干预过程易发生错误混料或丢失等风险。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种自动化储存设备及其使用方法，有效的解决人工操作现场找料时间长，人工干预过程易发生错误混料或丢失的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种半导体自动化储存设备，包括控制系统，其特征在于：所述控制系统设置在储存设备上，用于控制所述储存设备进料、存料和出料。
优选地，所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制舵机搬运半导体片盒；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒ID信息。
优选地，所述控制系统还包括用于匹配最优储料位的仓库管理系统(WMS)，设置在所述储存设备上。
优选地，所述控制系统还包括检测人员进出以及半导体片盒进出的安全控制系统(SCS)，设置在所述储存设备上。
一种使用如权利要求1所述的一种自动化储存设备的方法，其特征在于：所述控制系统控制所述储存设备自动储存和取出所述半导体片盒。
优选地，所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制舵机搬运半导体片盒；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒的ID信息；进料时，将所述半导体片盒放置于所述储存设备的所述进料口处，所述射频识别系统开始识别记录所述半导体片盒的ID信息，记录完成后，所述舵机控制系统控制所述舵机取走在所述进料口处的所述半导体片盒，将所述半导体片盒搬运至所述储料位上；出料时，所述舵机控制系统控制所述舵机将所述半导体片盒从所述储料位中取出，运送至所述出料口处，所述出料口处的所述射频识别系统识别记录所述半导体片盒ID信息，记录完成后，取走所述半导体片盒。
优选地，所述控制系统还包括用于匹配最优储料位的仓库管理系统(WMS)，设置在所述储存设备上；所述仓库管理系统分析出所述半导体片盒最优的所述储料位，然后将数据传输至所述舵机控制系统，所述舵机控制系统控制舵机将所述半导体片盒运送至最优的所述储料位处。
优选地，所述控制系统还包括检测人员进出以及半导体片盒进出的安全控制系统(SCS)，设置在所述储存设备上；在进料时，所述安全控制系统检测所述进料口处的所述半导体片盒以及人员的状态；在所述舵机工作时，所述安全控制系统检测所述储存设备的工作状态；在出料时，所述安全控制系统监控加测所述出料口处的所述半导体片盒以及人员的状态。
由于储存设备自动化的设计，减少了现场人工找料时间，降低了人工干预过程易发生错误混料或丢失等风险；由于射频识别系统(RFID)的设计，记录片盒的ID信息可以保证片盒不会丢失；由于仓库管理系统(WMS)的设计保证片盒有序的进行储存，且在最优位置；安全控制系统(SCS)随时监测片盒、设备还有工作人员的状态，保证安全。
附图说明
图1是本发明实施例一种自动化储存设备结构示意图
图2是本发明实施例一种自动化储存设备控制系统结构示意图
图中：
1、储料位 2、舵机
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明：
在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“上侧”、“下侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本发明的一个实施例中，如图1一种自动化储存设备控制系统结构示意图和图2一种自动化储存设备控制系统结构示意图所示，一种半导体自动化储存设备，包括控制系统、储料位1和舵机2，其特征在于：所述控制系统设置在储存设备上，用于控制所述储存设备进料、存料和出料。
具体的，所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制所述舵机2搬运半导体片盒，代替了以往人工储存半导体片盒，减少了人工的使用，节省人工费，且系统化控制舵机2放置片盒可以更好的保存片盒，减少了人工不可控因素；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒ID信息，代替了以往人工记录半导体片盒的进出口记录，随时记录半导体片盒的信息，全程跟踪，减少了因人工记录丢失或混乱的风险。
所述控制系统还包括用于匹配最优储料位的仓库管理系统(WMS)，设置在所述储存设备上，替代人工选位，能够选择出更加优选的位置，例如这个片盒内的半导体需要及时出料，仓库管理系统则在进料时选择将其放置在里出料口较近的位置，便于出料，仓库管理系统与舵机控制系统互通，仓库管理系统将最优位置信息传输至舵机控制系统，舵机控制系统控制舵机2将半导体片盒运输至最优储料位1。
所述控制系统还包括检测人员进出以及半导体片盒进出的安全控制系统(SCS)，设置在所述储存设备上，所述安全控制系统可以随时检测半导体片盒的状态，是受损、无损或是携带其他物件一起进入；同时检查工作人员的状态，保证人员安全。
在使用时，进料状态中，工作人员或机械手将半导体片盒放置于储存设备的进料口处，射频识别系统开始识别记录半导体片盒的ID信息，记录完成后，仓库管理系统计算出一个最优储料位1，仓库管理系统将此最优位置信息传输至舵机控制系统，舵机控制系统控制舵机取走在进料口处的半导体片盒，将半导体片盒搬运至最优储料位1上；出料时，舵机控制系统控制舵机2将半导体片盒从储料位1中取出，运送至出料口处，出料口处的射频识别系统识别记录半导体片盒ID信息，记录完成后，取走半导体片盒；进料至存料还有出料的全过程安全控制系统全程监控检测半导体片盒和工作人员的安全状态，保证全程安全，出现突发事故可以及时通知工作人员或直接报警。
本发明的另一实施例中，所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制所述舵机2搬运半导体片盒，代替了以往人工储存半导体片盒，减少了人工的使用，节省人工费，且系统化控制舵机2放置片盒可以更好的保存片盒，减少了人工不可控因素；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒ID信息，代替了以往人工记录半导体片盒的进出口记录，随时记录半导体片盒的信息，全程跟踪，减少了因人工记录丢失或混乱的风险。
在使用时，进料时，将所述半导体片盒放置于所述储存设备的所述进料口处，所述射频识别系统开始识别记录所述半导体片盒的ID信息，记录完成后，所述舵机控制系统控制所述舵机取走在所述进料口处的所述半导体片盒，将所述半导体片盒搬运至所述储料位上；出料时，所述舵机控制系统控制所述舵机将所述半导体片盒从所述储料位中取出，运送至所述出料口处，所述出料口处的所述射频识别系统识别记录所述半导体片盒ID信息，记录完成后，取走所述半导体片盒。
本发明的另一实施例中，所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制所述舵机2搬运半导体片盒，代替了以往人工储存半导体片盒，减少了人工的使用，节省人工费，且系统化控制舵机2放置片盒可以更好的保存片盒，减少了人工不可控因素；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒ID信息，代替了以往人工记录半导体片盒的进出口记录，随时记录半导体片盒的信息，全程跟踪，减少了因人工记录丢失或混乱的风险。
所述控制系统还包括用于匹配最优储料位的仓库管理系统(WMS)，设置在所述储存设备上，替代人工选位，能够选择出更加优选的位置，例如这个片盒内的半导体需要及时出料，仓库管理系统则在进料时选择将其放置在里出料口较近的位置，便于出料，仓库管理系统与舵机控制系统互通，仓库管理系统将最优位置信息传输至舵机控制系统，舵机控制系统控制舵机2将半导体片盒运输至最优储料位1。
在使用时，进料状态中，工作人员或机械手将半导体片盒放置于储存设备的进料口处，射频识别系统开始识别记录半导体片盒的ID信息，记录完成后，仓库管理系统计算出一个最优储料位1，仓库管理系统将此最优位置信息传输至舵机控制系统，舵机控制系统控制舵机取走在进料口处的半导体片盒，将半导体片盒搬运至最优储料位1上；出料时，舵机控制系统控制舵机2将半导体片盒从储料位1中取出，运送至出料口处，出料口处的射频识别系统识别记录半导体片盒ID信息，记录完成后，取走半导体片盒。
本发明的另一实施例中，所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制所述舵机2搬运半导体片盒，代替了以往人工储存半导体片盒，减少了人工的使用，节省人工费，且系统化控制舵机2放置片盒可以更好的保存片盒，减少了人工不可控因素；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒ID信息，代替了以往人工记录半导体片盒的进出口记录，随时记录半导体片盒的信息，全程跟踪，减少了因人工记录丢失或混乱的风险。
所述控制系统还包括检测人员进出以及半导体片盒进出的安全控制系统(SCS)，设置在所述储存设备上，所述安全控制系统可以随时检测半导体片盒的状态，是受损、无损或是携带其他物件一起进入；同时检查工作人员的状态，保证人员安全。
在使用时，进料状态中，工作人员或机械手将半导体片盒放置于储存设备的进料口处，射频识别系统开始识别记录半导体片盒的ID信息，记录完成后，舵机控制系统控制舵机取走在进料口处的半导体片盒，将半导体片盒搬运至储料位1上；出料时，舵机控制系统控制舵机2将半导体片盒从储料位1中取出，运送至出料口处，出料口处的射频识别系统识别记录半导体片盒ID信息，记录完成后，取走半导体片盒；进料至存料还有出料的全过程安全控制系统全程监控检测半导体片盒和工作人员的安全状态，保证全程安全，出现突发事故可以及时通知工作人员或直接报警。
以上对本发明的多个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体自动化储存设备，包括控制系统，其特征在于：所述控制系统设置在储存设备上，用于控制所述储存设备进料、存料和出料。
2.根据权利要求1所述的一种自动化储存设备，其特征在于：所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制舵机搬运半导体片盒；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒ID信息。
3.根据权利要求2所述的一种自动化储存设备，其特征在于：所述控制系统还包括用于匹配最优储料位的仓库管理系统(WMS)，设置在所述储存设备上。
4.根据权利要求2或3所述的一种自动化储存设备，其特征在于：所述控制系统还包括检测人员进出以及半导体片盒进出的安全控制系统(SCS)，设置在所述储存设备上。
5.一种使用如权利要求1所述的一种自动化储存设备的方法，其特征在于：所述控制系统控制所述储存设备自动储存和取出所述半导体片盒。
6.根据权利要求5所述的一种自动化储存设备的使用方法，其特征在于：所述控制系统包括舵机控制系统(WCS)和射频识别系统(RFID)；所述舵机控制系统设置在所述储存设备上，用于控制舵机搬运半导体片盒；所述射频识别系统设置在所述储存设备的进料口和出料口处，用于识别记录所述半导体片盒的ID信息；进料时，将所述半导体片盒放置于所述储存设备的所述进料口处，所述射频识别系统开始识别记录所述半导体片盒的ID信息，记录完成后，所述舵机控制系统控制所述舵机取走在所述进料口处的所述半导体片盒，将所述半导体片盒搬运至所述储料位上；出料时，所述舵机控制系统控制所述舵机将所述半导体片盒从所述储料位中取出，运送至所述出料口处，所述出料口处的所述射频识别系统识别记录所述半导体片盒ID信息，记录完成后，取走所述半导体片盒。
7.根据权利要求6所述的一种自动化储存设备的使用方法，其特征在于：所述控制系统还包括用于匹配最优储料位的仓库管理系统(WMS)，设置在所述储存设备上；所述仓库管理系统分析出所述半导体片盒最优的所述储料位，然后将数据传输至所述舵机控制系统，所述舵机控制系统控制舵机将所述半导体片盒运送至最优的所述储料位处。
8.根据权利要求6或7所述的一种自动化储存设备的使用方法，其特征在于：所述控制系统还包括检测人员进出以及半导体片盒进出的安全控制系统(SCS)，设置在所述储存设备上；在进料时，所述安全控制系统检测所述进料口处的所述半导体片盒以及人员的状态；在所述舵机工作时，所述安全控制系统检测所述储存设备的工作状态；在出料时，所述安全控制系统监控加测所述出料口处的所述半导体片盒以及人员的状态。
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