CN114428489A - 一种作业设备控制方法及其系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种作业设备的控制方法及其系统，应用于作业设备控制系统，作业设备控制系统包括服务器、作业设备以及工控机，作业设备包括多个机械控件，作业设备通过网线连接到工控机，控制方法包括：工控机建立与作业设备之间的数据交互通道；工控机从服务器接收第一格式的第一控制数据；工控机将第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据；工控机通过数据交互通道将第二控制数据发送到作业设备；作业设备根据接收到的第二控制数据对目标机械控件进行校验。通过该方法能够实现作业设备的自动化校验，提高生产效率。

Description

一种作业设备控制方法及其系统

技术领域

本申请涉及设备自动化技术领域，具体而言，涉及一种作业设备控制方法及其系统。

背景技术

目前半导体行业前道工艺的晶圆生产工厂，成型车间都会有设备自动化需求，当前车间内的作业设备进行设备校验及控制时，往往都是手动完成对点胶机设备的校验工作，无法实现与上层控制系统的对接工作，导致设备校验需要耗费大量的时间。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种作业设备的控制方法及其系统，通过该方法能够实现作业设备的自动化校验，提高生产效率。

为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提出一种作业设备的控制方法，应用于作业设备控制系统，作业设备控制系统包括服务器、作业设备以及工控机，作业设备包括多个机械控件，作业设备通过网线连接到工控机，控制方法包括：工控机建立与作业设备之间的数据交互通道；工控机从服务器接收第一格式的第一控制数据；工控机将第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据；工控机通过数据交互通道将第二控制数据发送到作业设备；作业设备根据接收到的第二控制数据对目标机械控件进行校验。

可选地，工控机建立与作业设备之间的数据交互通道的步骤包括：工控机显示用于建立数据交互通道的配置界面，配置界面包括工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项；工控机响应于对工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项的配置操作，建立工控机与作业设备之间的数据交互通道。

可选地，第一格式为SECS/GEM通信协议所支持的格式；第二格式为FINS-UDP通信协议所支持的格式。

可选地，作业设备根据接收到的第二控制数据对目标机械控件进行校验的步骤包括：作业设备对接收到的第二控制数据进行解析，获得控制指令和与控制指令对应的标准工艺参数，控制指令中携带有控件标识；作业设备控制控件标识所指示的目标机械控件执行控制指令指示的动作；作业设备获取目标机械控件执行动作所产生的实际工艺参数；作业设备将标准工艺参数与实际工艺参数进行比对，基于比对结果调整目标机械控件，以完成校验。

可选地，控制方法还包括：作业设备获取校验结果，并将校验结果封装为第二格式，并将封装后的校验结果发送到工控机；工控机接收并显示校验结果，校验结果用于指示针对目标机械控件校验成功或者校验失败。

可选地，控制方法还包括：作业设备实时获取多个机械控件在工作时的工作状态数据；针对每个机械控件，作业设备将该机械控件的工作状态数据封装为第二格式的第一实时状态数据，并将第一实时状态数据通过数据交互通道发送到工控机；工控机将第一实时状态数据封装为第一格式的第二实时状态数据，并将第二实时状态数据发送到服务器。

第二方面，本申请实施例还提出一种作业设备控制系统，作业设备控制系统包括服务器、作业设备以及工控机，作业设备包括多个机械控件，作业设备通过网线连接到工控机；工控机建立与作业设备之间的数据交互通道；工控机从服务器接收第一格式的第一控制数据；工控机将第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据；工控机通过数据交互通道将第二控制数据发送到作业设备；作业设备根据接收到的第二控制数据对目标机械控件进行校验。

可选地，工控机还用于：显示用于建立数据交互通道的配置界面，配置界面包括工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项；响应于对工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项的配置操作，建立工控机与作业设备之间的数据交互通道。

可选地，作业设备还用于：对接收到的第二控制数据进行解析，获得控制指令和与控制指令对应的标准工艺参数；控制目标机械控件执行控制指令指示的动作；获取目标机械控件执行动作所产生的实际工艺参数；将标准工艺参数与实际工艺参数进行比对，基于比对结果调整目标机械控件，以完成校验。

可选地，作业设备实时获取多个机械控件在工作时的工作状态数据；针对每个机械控件，作业设备将该机械控件的工作状态数据封装为第二格式的第一实时状态数据，并将第一实时状态数据通过数据交互通道发送到工控机；工控机将第一实时状态数据封装为第一格式的第二实时状态数据，并将第二实时状态数据发送到服务器。

本申请公开了一种作业设备的控制方法及其系统，作业设备控制系统包括服务器、作业设备以及工控机，作业设备包括多个机械控件，作业设备通过网线连接到工控机，控制方法包括：工控机建立与作业设备之间的数据交互通道；工控机从服务器接收第一格式的第一控制数据；工控机将第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据；工控机通过数据交互通道将第二控制数据发送到作业设备；作业设备根据接收到的第二控制数据对目标机械控件进行校验。通过该方法能够实现作业设备的自动化校验，提高生产效率。

本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请实施例所提供的作业设备控制系统的结构示意图；

图2示出了本申请实施例所提供的作业设备的控制方法的步骤的流程图；

图3示出了作业设备对械控件进行校验的步骤的流程图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本公开的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本申请提出一种作业设备的控制方法，应用于作业设备控制系统，参见图1，图1示出了本申请实施例所提供的作业设备控制系统的结构示意图，具体的，如图1所示，作业设备控制系统包括服务器10、作业设备20以及工控机30，作业设备20包括多个机械控件，作业设备20通过网线连接到工控机30。

在一优选实施例中，作业设备20为点胶机，用于实现各种点胶粘结工作，作业设备20包括PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)、可前后移动的定粘平台、点胶管和用于控制点胶管上下移动的机械轴，机械轴内设置有电机，其中机械控件为定粘平台和机械轴，其中定粘平台和机械轴均连接到PLC，以接收PLC发送的控制指令。

参见图2，图2示出了本申请实施例所提供的作业设备的控制方法的步骤的流程图，如图1和图2所示，控制方法包括：

S100、工控机建立与作业设备之间的数据交互通道。

在一优选实施例中，工控机30可以通过以下方式建立与作业设备20之间的数据交互通道：

工控机30显示用于建立数据交互通道的配置界面，配置界面包括工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项。

具体的，工控机30上设置有显示装置，用于提供建立数据交互通道的配置界面。

工控机响应于对工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项的配置操作，建立工控机与作业设备之间的数据交互通道。

这里，作业设备20包括PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)，PLC的IP地址和端口号即为作业设备20的IP地址和端口号，将PLC的IP地址和端口号分别配置到作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项，同时每个工控机30也有其对应的工控机IP地址和工控机端口号，将工控机IP地址和工控机端口分别配置到工控机IP地址配置项和工控机端口配置项，配置完成后，即可建立数据交互通道。

这里，作业设备20和工控机30上分别设置有第一网口，作业设备20上的第一网口和工控机30上的第一网口通过网线相连接，按照上述方法建立数据交互通道后，即可进行数据交互，具体的，工控机30可以部署在作业设备20的控制柜内，也可以部署在车间机房内。

S200、工控机从服务器接收第一格式的第一控制数据。

具体的，这个工控机30上还设置有第二网口，第二网口通过网线连接到内网，服务器上运行有自动控制系统，工控机30通过第二网口实现与服务器10上的EAP(EquipmentAutomation Programming，自动控制)系统进行通讯，EAP系统通过调用工控机30提供的虚拟网络接口，连接到工控机30，第一格式为SECS/GEM通信协议所支持的格式。

S300、工控机将第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据。

这里，第二格式为FINS-UDP通信协议所支持的格式，具体的，工控机30与作业设备之间使用FINS-UDP通信协议进行通讯，工控机30通过网络接口接收到第一控制数据后，会将第一控制数据封装为FINS-UDP通信协议所支持的第二格式的第二控制数据，以便于工控机30将从服务器接收到的第一控制数据发送到作业设备20。

S400、工控机通过数据交互通道将第二控制数据发送到作业设备。

这里，数据交互通道建立完成后，工控机30即可通过数据交互通道实现EAP系统与作业设备20的直接通讯。

S500、作业设备根据接收到的第二控制数据对目标机械控件进行校验。

在一优选实施例中，请参阅图3，图3示出了作业设备对械控件进行校验的步骤的流程图。

如图3所示，作业设备根据接收到的第二控制数据对机械控件进行校验的步骤包括：

S510、作业设备对接收到的第二控制数据进行解析，获得控制指令和与控制指令对应的标准工艺参数。

在一优选实施例中，第二控制数据包括控制指令和与控制指令对应的标准工艺参数，不同的控制指令携带有不同的标准工艺参数，且不同的控制指令可以控制作业设备操控不同的机械控件完成不同的工作。例如，控制指令可以为点胶高度校验，标准工艺参数包括但不限于标准点胶高度和标准胶水温度。

S520、作业设备控制目标机械控件执行控制指令指示的动作。

在一优选实施例中，若控制指令为校验点胶高度，且标准工艺参数为与该控制指令对应的标准点胶高度，作业设备20在接收到校验点胶高度的控制指令后，会按照该控制指令调用存储在PLC上的与该控制指令对应的点胶高度校验的程序控制脚本，获取到该控制脚本后，按照该控制脚本的内容，控制目标机械控件完成控制脚本所指示的动作。

S530、作业设备获取目标机械控件执行动作所产生的实际工艺参数。

具体的，作业设备20上设置有用于获取实际工艺参数的传感器，根据工艺参数的种类的不同，对应不同的传感器，例如，若工艺参数为点胶高度和胶水温度，那么通常通过红外测距传感器和温度传感器来获取目标机械控件执行动作所产生的实际工艺参数，这些传感器均连接到PLC控制器，作业设备20内的PLC会获取由对应传感器发送的实际工艺参数。

S540、作业设备将标准工艺参数与实际工艺参数进行比对，基于比对结果调整目标机械控件，以完成校验。

作业设备20内的PLC在获取到实际工艺参数后，会将实际工艺参数与对应的标准工艺参数进行比对，并基于比对结果，对目标机械控件进行微调，以完成最后的校验。

控制方法还包括：

作业设备20获取校验结果，并将校验结果封装为第二格式，并将封装后的校验结果发送到工控机，工控机接收并显示校验结果。

在一优选实施例中，校验结果用于指示针对目标机械控件校验成功或者校验失败，例如，若控制指令为点胶高度校验，那么点胶高度校验的控制脚本所指示的机械控件则为电机，由电机按照对应的控制脚本控制机械轴带着点胶管达到指定的点胶高度，点胶高度使点胶管的滴嘴距离定粘平台的高度。

作业设备20实时获取多个机械控件在工作时的工作状态数据。

在一优选实施例中，作业设备20在控制多个机械控件工作时，会实时通过用于检测各种工艺参数的传感器获取工作状态数据，工作状态数据包括但不限于点胶管滴嘴的实时温度、点胶管滴嘴距离定粘平台的高度和点胶管的内部压强。

针对每个机械控件，作业设备将该机械控件的工作状态数据封装为第二格式的第一实时状态数据，并将第一实时状态数据通过数据交互通道发送到工控机。

在一优选实施例中，PLC控制机械控件动作时，会产生与该机械控件对应的实时工作状态数据，例如，若机械控件为定粘平台，定粘平台可以前后移动，那么PLC在控制定粘平台前后移动时，会定时获取定粘平台的相对初始位置的偏移距离，具体的，PLC再获取到对应机械控件的实时状态数据后，会将该实时状态数据封装为FINS-UDP通信协议所支持的格式，即第一实时状态数据，并将第一实时状态数据通过数据交互通道发送到工控机30。

工控机30将第一实时状态数据封装为第一格式的第二实时状态数据，并将第二实时状态数据发送到服务器10。

这里，工控机30会将第一实时状态数据封装为SECS/GEM通信协议所支持的格式，即第二实时状态数据，并通过网络发送到服务器10。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其它变体意在涵盖非排它性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

最后应说明的是：以上实施例，仅为本申请的具体实施方式，用以说明本申请的技术方案，而非对其限制，本申请的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种作业设备的控制方法，应用于作业设备控制系统，其特征在于，所述作业设备控制系统包括服务器、作业设备以及工控机，作业设备包括多个机械控件，作业设备通过网线连接到工控机，所述控制方法包括：

所述工控机建立与所述作业设备之间的数据交互通道；

所述工控机从所述服务器接收第一格式的第一控制数据；

所述工控机将所述第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据；

所述工控机通过数据交互通道将所述第二控制数据发送到所述作业设备；

所述作业设备根据接收到的所述第二控制数据对目标机械控件进行校验。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述工控机建立与所述作业设备之间的数据交互通道的步骤包括：

所述工控机显示用于建立数据交互通道的配置界面，所述配置界面包括工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项；

所述工控机响应于对所述工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项的配置操作，建立所述工控机与所述作业设备之间的数据交互通道。

3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述第一格式为SECS/GEM通信协议所支持的格式；

所述第二格式为FINS-UDP通信协议所支持的格式。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述作业设备根据接收到的所述第二控制数据对目标机械控件进行校验的步骤包括：

所述作业设备对接收到的所述第二控制数据进行解析，获得控制指令和与所述控制指令对应的标准工艺参数；

所述作业设备控制所述目标机械控件执行所述控制指令指示的动作；

所述作业设备获取所述目标机械控件执行所述动作所产生的实际工艺参数；

所述作业设备将所述标准工艺参数与所述实际工艺参数进行比对，基于比对结果调整所述目标机械控件，以完成校验。

5.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

所述作业设备获取校验结果，并将所述校验结果封装为第二格式，并将封装后的校验结果发送到所述工控机；

所述工控机接收并显示所述校验结果，所述校验结果用于指示针对目标机械控件校验成功或者校验失败。

6.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

所述作业设备实时获取所述多个机械控件在工作时的工作状态数据；

针对每个机械控件，所述作业设备将该机械控件的工作状态数据封装为第二格式的第一实时状态数据，并将所述第一实时状态数据通过所述数据交互通道发送到所述工控机；

所述工控机将所述第一实时状态数据封装为第一格式的第二实时状态数据，并将所述第二实时状态数据发送到所述服务器。

7.一种作业设备控制系统，其特征在于，所述作业设备控制系统包括服务器、作业设备以及工控机，作业设备包括多个机械控件，作业设备通过网线连接到工控机；

所述工控机建立与所述作业设备之间的数据交互通道；

所述工控机从所述服务器接收第一格式的第一控制数据；

所述工控机将所述第一控制数据封装为第二格式的第二控制数据；

所述工控机通过数据交互通道将所述第二控制数据发送到所述作业设备；

所述作业设备根据接收到的所述第二控制数据对目标机械控件进行校验。

8.根据权利要求7所述的控制系统，其特征在于，所述工控机还用于：

显示用于建立数据交互通道的配置界面，所述配置界面包括工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项；

响应于对所述工控机IP地址配置项、工控机端口配置项、作业设备IP地址配置项和作业设备端口配置项的配置操作，建立所述工控机与所述作业设备之间的数据交互通道。

9.根据权利要求7所述的控制系统，其特征在于，所述作业设备还用于：

对接收到的所述第二控制数据进行解析，获得控制指令和与所述控制指令对应的标准工艺参数；

控制所述目标机械控件执行所述控制指令指示的动作；

获取所述目标机械控件执行所述动作所产生的实际工艺参数；

将所述标准工艺参数与所述实际工艺参数进行比对，基于比对结果调整所述目标机械控件，以完成校验。

10.根据权利要求7所述的控制系统，其特征在于，所述作业设备实时获取所述多个机械控件在工作时的工作状态数据；

针对每个机械控件，所述作业设备将该机械控件的工作状态数据封装为第二格式的第一实时状态数据，并将所述第一实时状态数据通过所述数据交互通道发送到所述工控机；

所述工控机将所述第一实时状态数据封装为第一格式的第二实时状态数据，并将所述第二实时状态数据发送到所述服务器。

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