CN114426201A - 一种基板搬运机器人及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基板搬运机器人及其控制方法，涉及搬运设备技术领域，能够提升基板搬运机器人搬运基板的效率。所述控制方法包括：控制器获取搬运基板指令；控制器控制执行器移动至目标容器层；检测当前容器层是否存在基板；若是，执行器搬运基板，控制器记录当前容器层编号；若否，控制器记录当前容器层编号；以当前容器层编号加一为新的目标容器层编号，并判断目标容器层编号是否大于最大容器层编号；若是，结束基板搬运；若否，控制器控制执行器移动至目标容器层。本发明的基板搬运机器人用于搬运基板。

Description

一种基板搬运机器人及其控制方法

技术领域

本发明涉及搬运设备技术领域，尤其涉及一种基板搬运机器人及其控制方法。

背景技术

基板搬运机器人是指用于将基板从一个位置搬运到另一个位置的自动化机械设备；基板是指具有平板状结构的物料，示例性的，基板可以是玻璃板、木板或显示面板等。在基板生产过程中，常用基板容器(也称：卡匣)放置、运输基板，示例性的，基板容器包括两个相对的侧壁，以及多个沿侧壁均匀分布的支撑板，两个侧壁上的支撑板数量相等且一一对应；两个对应的支撑板构成一个容器层，多个容器层沿竖直方向均匀分布。前一工序制造生成的基板先存放于基板容器内，然后随着基板容器运送至某一位置，之后基板搬运机器人将基板容器内的基板依次取出并运送至下一工位。

现有技术提供了一种基板搬运机器人，包括控制器和执行器，控制器控制执行器按照预设轨迹运动并搬运物料。现有基板搬运机器人的搬运方法为：控制器接收到外部输入的取板指令后，执行器由初始位置运动至基板容器的某一容器层；然后控制器检测当前容器层(执行器所在的容器层)是否存在基板；若存在基板，执行器按照预设轨迹将基板取出并运送至预设位置；若不存在基板，执行器在当前位置进入待机状态，或者返回初始位置进入停机状态；控制器再次获得取板指令后，执行器再次开始搬运基板。

现有技术中的基板搬运机器人，若基板以不规律的方式存放于基板容器内时，搬运机器人的待机或停机次数较多，人机交互的操作较多，机器人搬运基板的效率较低。示例性的，基板容器内具有十个容器层，且第三容器层没有放置基板；执行器由下至上依次搬运基板过程中，会在第三层容器层位置进入待机或者停机状态；然后需要人工在此向控制器输入取板指令，搬运机器人才会再次从第四层开始搬运基板；基板搬运效率较低。

发明内容

本发明的实施例提供了一种基板搬运机器人及其控制方法，能够减少基板搬运过程中基板搬运机器人的待机或停机次数，提升基板的搬运效率。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，本发明实施例提供了一种基板搬运机器人，包括执行器和控制器，执行器包括托板和多个吸附系统，多个吸附系统沿第一方向间隔设置，每个吸附系统均可以独立运行，且每个吸附系统均包括至少两个吸盘，吸盘位于托板的表面；控制器包括信息输入模块、信息存储模块、基板探测模块和轨迹生成模块，信息输入模块、信息存储模块、基板探测模块均与轨迹生成模块电连接；轨迹生成模块根据信息输入模块、信息存储模块和基板探测模块的信息计算和控制执行器的动作；其中，第一方向为托板的长度方向。

可选的，基板探测模块包括负压检测单元和/或载荷检测单元；负压检测单元用于检测吸附系统的负压；载荷检测单元用于检测托板上的负载。

可选的，控制器还包括示教器，示教器用于确认基板容器中容器层的坐标值。

本发明实施例提供的基板搬运机器人，执行器包括托板和多个吸附系统，托板用于承载基板的重量，吸附系统用于将基板吸附(固定)在托板上。多个吸附系统沿第一方向间隔设置，且能够独立运行；可以根据基板的大小(长度)开启不同数量的吸附系统，以适应不同尺寸的基板的搬运。

另一方面，本发明实施例还提供了一种上述基板搬运机器人的控制方法，包括：控制器获取搬运基板指令；控制器控制执行器移动至目标容器层；检测当前容器层是否存在基板；若是，执行器搬运基板，控制器记录当前容器层编号；若否，控制器记录当前容器层编号；以当前容器层编号加一为新的目标容器层编号，并判断目标容器层编号是否大于最大容器层编号；若是，结束基板搬运；若否，控制器控制执行器移动至目标容器层。

可选的，在执行器搬运基板之前，控制方法还包括：判断待搬运基板的长度，并根据基板的长度开启对应的吸附系统。

可选的，基板容器包括单列容器层，执行器的运动轨迹包括：第一轨迹：执行器处于伸出状态，并沿竖直方向由下向上移动单位距离；其中，单位距离等于相邻两个容器层的高度差；若当前容器层没有基板，且目标容器层编号小于或等于最大容器层编号，控制器生成第一轨迹，并控制执行器沿第一轨迹移动。

可选的，基板容器包括多列容器层，执行器的运动轨迹包括：第一轨迹：执行器处于伸出状态，并沿竖直方向由下向上移动单位距离；其中，单位距离等于相邻两个容器层的高度差；第二轨迹：执行器由伸出状态收回，并移动至相邻列容器层中的最下层容器层，然后伸出执行器；若当前容器层没有基板，且目标容器层编号小于最大容器层编号，判断当前容器层编号是否为当前列最大容器层编号；若是，控制器生成第二轨迹，并控制执行器沿第二轨迹移动；若否，控制器生成第一轨迹，并控制执行器沿第一轨迹移动。

可选的，控制器包括示教器，控制方法还包括：

确认基板容器的每列容器层中最下层容器层的位置坐标；确认基板容器的每列容器层中最上层容器层的位置坐标；根据基板容器的每列容器层的容器层层数，确认该列容器层的每层容器层的位置坐标；并将基板容器的容器层的位置坐标存储到控制器中。

可选的，控制方法还包括：获取托板的长度，并判断托板的长度是否大于第一阈值；若是，确认每层容器层的多个位置点的坐标，且多个位置点沿第一方向间隔分布；若否，确认每层容器层单个位置点的坐标值。

可选的，将每列容器层的容器层由下至上编号，执行器由下向上逐层搬运基板。

本发明实施例提供的基板搬运机器人的控制方法，相较于现有技术，若当前容器层没有基板，且当前容器层不是最后一层容器层时，执行器可以自动运动至下一容器层继续搬运基板，进而可以减少机器人待机或者停机的次数，同时减少人机交互的频率，达到提升基板搬运机器人的工作效率的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例的基板容器的结构示意图；

图2是本发明实施例的基板搬运机器人的执行器的结构示意图；

图3是本发明实施例的示教器示教位置的示意图；

图4为本发明实施例的机器人的控制方法流程图。

附图标记

10-执行器；1-托板；11-子板；2-吸附系统；2a-第一吸附系统；2b-第二吸附系统；21-吸盘。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

机器人是按照固定程序执行某些操作的自动化设备，包括执行器(运动系统)和控制器(控制系统)，执行器至少包括动力组件(如伺服电机或步进电机等)，传动组件(如机械臂)，和机械手(如吸盘、抓手等)；控制器至少包括信息输入单元(如编码器和示教盒等)，信息存储单元(如内存卡)，检测单元(如各种传感器)，和信息处理单元(如控制芯片)。

本发明实施例提供了一种基板搬运机器人，参照图1和图2，包括执行器10和控制器，执行器10包括托板1和多个吸附系统2，多个吸附系统2沿第一方向间隔设置，每个吸附系统2均可以独立运行，且每个吸附系统2均包括至少两个吸盘21，吸盘21位于托板1的表面；控制器包括信息输入模块、信息存储模块、基板探测模块和轨迹生成模块，信息输入模块、信息存储模块、基板探测模块均与轨迹生成模块(处理器)电连接；轨迹生成模块根据信息输入模块、信息存储模块和基板探测模块的信息计算和控制执行器10的动作；其中，第一方向为托板1的长度方向，即图2中的水平方向，托板1能够沿其长度方向伸入基板容器20内。

本发明实施例提供的基板搬运机器人，执行器包括托板1和多个吸附系统2，托板1用于承载基板的重量，吸附系统2用于将基板吸附(固定)在托板1上。由于采用单个吸盘21时，吸附系统2的吸附固定作用较差，因此，每个吸附系统设置至少两个吸盘21。多个吸附系统2沿第一方向间隔设置，且每个吸附系统2均能够独立运行；可以根据待搬运基板的大小(长度)开启不同数量的吸附系统，以适应不同尺寸的基板的搬运。相较于现有技术中，执行器只包括一套吸附系统，搬运不同规格的基板时，需要使用不同的托板，本发明实施例提供的基板搬运机器人适用性更广。

可以通过信息输入模块(也称人机交互模块)对轨迹生成模块或信息存储模块输入指令，信息存储模块能够存储机器人的预设控制程序，基板探测模块用于检测容器层上是否存在基板，轨迹生成模块根据信息输入模块的指令(如开始搬运基板、或者停机等)、信息存储模块的信息以及基板探测模块的探测信息控制执行器直接执行相应的操作；或者按照信息存储模块内存储的预设程序执行相应的操作。

示例性的，参照图2，托板1左侧与机械臂或者其他传动结构相连，右侧为自由端；参照图1，托板1搬运基板时，右端深入到基板容器20内。参照图2，吸附系统2的数量为两个，左侧的为第一吸附系统21，右侧为第二吸附系统22，当基板长度小于L时，开启第一吸附系统；当基板长度大于L时，同时开启第一吸附系统2a和第二吸附系统2b。吸附系统2的吸盘21均位于托板1的同一侧表面，搬运基板时，托板1位于基板的下侧承重基板的重量，相较于将基板悬挂与托板1下侧，将基板承托在托板1上方的安全性更高，且对吸附系统2的负压要求较低。托板1由多块间隔设置的子板11组成，相较于采用一整块平板，采用多块子板11可以降低托板1的整体重量，进而降低基板搬运机器人的能耗。

在一些实施例中，基板探测模块包括负压检测单元和/或载荷检测单元；负压检测单元用于检测吸附系统2的负压；载荷检测单元用于检测托板上的负载。其中，负压检测单元可以只检测靠近机械手(图2中左侧)的一个吸附系统2的负压，只要一个吸附系统2负压达到第二阈值，即可认为当前容器层具有基板。

示例性的，基板探测模块包括负压检测单元和载荷检测单元，当托板1移动至目标容器层时，对应的吸附系统2开启，负压检测单元检测吸附系统2管道内的气压，若气压小于第二阈值时，证明吸盘21被挡住，当前容器层具有基板；反之，则当前容器层不存在基板。

开启载荷检测单元，若载荷检测单元检测托板1上的负载有明显变化(负载增加)，则证明当前容器层具有基板，反之，则当前容器层不存在基板。

负压检测单元和载荷检测单元互为冗余设置，当其中一个出现故障时，不影响基板探测模块的正常使用。需要说明的是，在另一些实施例中，基板探测模块可以使用负压检测单元和载荷检测单元中的任一种，或者还可以选择其他传感器，在此不再一一赘述。

在一些实施例中，控制器还包括示教器(也称示教盒)，示教器用于确认基板容器中每层容器层的坐标值。示例性的，参照图1和图3，本发明提供了一种多列多层的基板容器，通过示教器可以确定基板容器中每层容器层的相对位置坐标(可以是相对于机器人基座的坐标位置)，进而精准控制执行器10的运动轨迹。需要理解的是，容器基板也可以是单列多层的。

在一些实施例中，每列容器层由下至上依次升序编号，执行器10由下向上逐层搬运基板。当基板容器具有多列基板时，从其中一侧至另一侧依次编号，示例性的，从左至右或从右至左依次多多列容器层升序编号。

另一方面，参照图4，本发明的实施例还提供了一种上述基板搬运机器人的控制方法，包括：

步骤S110，控制器获取搬运基板指令；示例性的，可以人工通过信息输入模块向轨迹生成模块输入搬运基板指令，或者通过预设程序向轨迹生成模块输入搬运基板指令(如定时启动、或者关联其他设备，当触发某一条件时自动开启搬运基板)。

步骤S120，控制器控制执行器10移动至目标容器层Cm；示例性的，可以是轨迹生成模块控制执行器10沿预设轨迹运动至目标容器层。目标容器层可以为基板容器中任意一个容器层，例如某列容器层中最下面的一个容器层，或者中间某个容器层。

步骤S130，检测当前容器层是否存在基板；示例性的，通过控制器的基板检测模块检测当前容器层是否存在基板。

步骤S141，若是，执行器10搬运基板，控制器记录当前容器层编号；示例性的，如果当前容器层具有基板，控制器控制执行器按照预设轨迹将基板搬运至预设位置，同时控制器(轨迹生成模块)记录当前容器层的编号。

步骤S142，若否，控制器记录当前容器层编号；当前容器层上没有基板时，控制器记录当前容器层的编号。

步骤S150，当前容器层编号加一为新的目标容器层编号；并判断目标容器层编号是否大于最大容器层编号。

容器层编号的顺序与预设的搬运基板的顺序相同。示例性的，若预设从下向上依次搬运基板，则容器层由下至上依次编号。当然，容器层还可以由上至下依次升序编号，或者以某一规律进行编号，再次不再一一赘述。本发明实施例中，以“多层容器层由下至上依次升序编号，搬运基板时，从下向上逐层搬运”为例进行描述。

步骤S161，若是，结束基板搬运。此时，基板容器20内所有容器层上都没有基板，控制器控制执行器10运动至初始位置并进入待机或者关机状态。

步骤S162，若否，控制器控制执行器10移动至目标容器层。若尚有容器层没有进行判断(判断是否存在基板)或者搬运(搬运容器层上的基板)，则控制器(轨迹生成模块)控制执行器按照预设轨迹运动至下一容器层，并对下一容器层进行判断，若存在基板，则搬运基板，不存在则继续循环判定当前容器层编号是否大于最大容器层编号，直至对所有容器层进行判定或者搬运；即，从下至上依次搬运基板，直至搬运完最上层才进入待机状态。

现有技术中，当中间某个容器层没有基板时，无论基板容器内的其他容器层是否还有基板，机器人均进入待机或者停机状态，直至人工再次输入搬运基板指令，然后开始再次搬运基板。本发明实施例的基板搬运机器人的控制方法，若当前容器层没有基板，则判断该容器层是否是最后一个容器层(编号最大的一个容器层)，若是，则进入待机或者停机状态，若不是，则执行器继续运动至下一层搬运下一层的基板，直至将基板容器内所有基板都搬运完，然后进入待机或者关机状态。相较于现有技术，本发明实施例的基板搬运机器人的控制方法可以减少基板搬运机器人的停机次数，增加机器人的搬运效率。

在一些实施例中，在执行器搬运基板之前，控制方法还包括：

步骤S210，判断待搬运基板的长度，并根据基板的长度开启对应的吸附系统。

示例性的，参照图2，吸附系统2的数量为两个，当基板长度L小于L0时，开启第一吸附系统2a；当基板长度大于L0时，同时开启第一吸附系统2a和第二吸附系统2b。

需要说明的是，一般情况下，工业生产中，同一批次(同一基板容器内)的基板尺寸相同；因此，可以通过提前测量基板长度，并将基板长度通过指令输入单元直接输入到控制器内；然后由控制器判断与基板相对应的吸附系统；与之对应的，步骤S210可以在步骤S110之前或者步骤S110与步骤S120之间进行。

在另外一些实施例中，也可以在执行器10上设置传感器，利用传感器检测每块待搬运基板的长度，执行器10移动至目标容器层后，若目标容器层存在基板，开启传感器测量基板长度，进而根据基板长度控制开启吸附系统2的数量；与之对应的，此时，步骤S210可以步骤S131之后进行。

在一些实施例中，基板容器包括单列容器层，执行器10的运动轨迹包括：第一轨迹：执行器10处于伸出状态，并沿竖直方向由下向上移动单位距离；其中，单位距离等于相邻两个容器层的高度差；若当前容器层没有基板，且目标容器层编号小于最大容器层编号，控制器生成第一轨迹，并控制执行器10沿第一轨迹移动；执行器10的运动路径较短，只需要向上移动单位距离即可运动至下一容器层，便于提升基板的搬运效率。

在另一些实施例中，基板容器包括多列容器层，执行器的运动轨迹包括：第一轨迹：执行器处于伸出状态，并沿竖直方向由下向上移动单位距离；第二轨迹：执行器由伸出状态收回，并移动至相邻列容器层中的最下层容器层，然后伸出执行器；若当前容器层没有基板，且目标容器层编号小于最大容器层编号，判断当前容器层编号是否为当前列最大容器层编号；若是，控制器生成第二轨迹，并控制执行器沿第二轨迹移动；若否，控制器生成第一轨迹，并控制执行器沿第一轨迹移动。

基板搬运机器人还包括示教器，控制方法还包括确认容器基板中容器层的位置坐标，以多列多层基板容器为例，控制包括:

步骤S310，确认基板容器20的每列容器层中最下层容器层的位置坐标。

步骤S320，确认基板容器的每列容器层中最上层容器层的位置坐标。

步骤S330，根据基板容器的每列容器层的容器层层数，确认该列容器层的每层容器层的位置坐标；将基板容器的每层容器层的位置坐标存储到信息存储模块中。

参照图3，以两列列多层的基板容器为例，确认每层容器层的位置坐标。先将示教器移动至右侧一列的最下层容器层，示教器记录该容器层的位置坐标PA；然后将示教器移动至同列的最上层容器层，示教器记录该容器层的位置坐标PB；再将示教器移动至相邻列的最上层容器层(或最下层容器层)，示教器记录该容器层的位置坐标PC。基板搬运机器人确认坐标位置时一般包括五个轴坐标数据，其中，同列的容器层坐标中，只有竖直方向上的尺寸差异，即同列容器层中只有Z轴坐标不同，其余坐标相同；因此，计算第一列容器层坐标时，确认A、B两点的坐标，以及该列容器层的层数，即可获得中间容器层的坐标。

记：PA.Z为顶下层容器层的Z轴坐标；PB.Z为顶上层容器层的Z轴坐标；Pn.Z为第n层容器层的Z轴坐标，1＜n≤N；N为本列包含的容器层数；相邻两层容器层的高度差为Δh。则：

Δh＝(PB.Z-PA.Z)/(N-1)

Pn.Z＝PA.Z+(n-1)*Δh；其中，1＜n≤N。

在一些实施例中，控制方法还包括：

步骤S410，获取托板1的长度L；

步骤S420，判断托板1的长度是否大于第一阈值。

步骤S431，若是，确认每层容器层的多个位置点的坐标，且多个位置点沿第一方向间隔分布。当托板1的长度大于第一阈值时，托板1自由端的会在重力作用下产生下垂，且该下垂量导致托板1沿第一方向上各位置的Z轴坐标不相同，因此，需要确认并记录容器层沿第一方向的多个位置点的坐标值；示例性的，可以确认和记录三个位置点的坐标，以提升执行器的位置精度。

步骤S432，若否，确认每层容器层单个位置点的坐标值，且该位置点位于容器层沿第一方向的中部；当长度小于第一阈值时，托板1的长度较小，托板1自由端的下垂量可以忽略不计，此时，可以认为托板1沿第一方向的每个位置的Z轴坐标相同，只需要测试容器层一个位置点的坐标即可，示例性的，该位置点可以为容器层沿第一方向的中部的位置点。

在一些实施例中，控制方法还包括自检程序，收到搬运基板的指令后，自动检测各零部件和传感器是否能够正常工作，可以正常工作时，机器人执行搬运基板的指令；不能正常工作时，发出警报示警存在故障的零部件。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求所述的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基板搬运机器人，其特征在于，包括：

执行器，所述执行器包括托板和多个吸附系统，多个所述吸附系统沿第一方向间隔设置，每个所述吸附系统均可以独立运行，且每个所述吸附系统均包括至少两个吸盘，所述吸盘位于所述托板的表面；其中，所述第一方向为所述托板的长度方向；

控制器，所述控制器包括信息输入模块、信息存储模块、基板探测模块和轨迹生成模块，所述信息输入模块、信息存储模块、基板探测模块均与所述轨迹生成模块电连接；所述轨迹生成模块根据所述信息输入模块、信息存储模块和基板探测模块的信息计算和控制所述执行器的动作。

2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人，其特征在于，基板探测模块包括：

负压检测单元，所述负压检测单元用于检测所述吸附系统的负压；和/或，

载荷检测单元，所述载荷检测单元用于检测所述托板上的负载。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运机器人，其特征在于，所述控制器还包括示教器，所述示教器用于确认基板容器中容器层的坐标值。

4.一种基板搬运机器人的控制方法，用于如权利要求1～3中任一项所述基板搬运机器人，其特征在于，包括：

控制器获取搬运基板指令；

所述控制器控制所述执行器移动至目标容器层；

检测当前容器层是否存在基板；

若是，所述执行器搬运基板，所述控制器记录当前容器层编号；

若否，所述控制器记录当前容器层编号；

以当前容器层编号加一为新的目标容器层编号，并判断目标容器层编号是否大于最大容器层编号；

若是，结束基板搬运；

若否，控制器控制所述执行器移动至目标容器层。

5.根据权利要求4所述的控制方法，其特征在于，所述执行器搬运所述基板之前，所述控制方法还包括：

判断待搬运基板的长度，并根据基板的长度开启对应的所述吸附系统。

6.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，基板容器包括单列容器层，所述执行器的运动轨迹包括：

第一轨迹：所述执行器处于伸出状态，并沿竖直方向由下向上移动单位距离；其中，所述单位距离等于相邻两个容器层的高度差；

若当前容器层没有基板，且目标容器层编号小于或等于最大容器层编号，所述控制器控制所述执行器沿第一轨迹移动。

7.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，基板容器包括多列容器层，所述执行器的运动轨迹包括：

第一轨迹：所述执行器处于伸出状态，并沿竖直方向由下向上移动单位距离；其中，所述单位距离等于相邻两个容器层的高度差；

第二轨迹：所述执行器由伸出状态收回，并移动至相邻列容器层中的最下层容器层，然后伸出所述执行器；

若当前容器层没有基板，且目标容器层编号小于最大容器层编号，判断当前容器层编号是否等于当前列最大容器层编号；

若是，所述控制器控制所述执行器沿第二轨迹移动；

若否，所述控制器控制所述执行器沿第一轨迹移动。

8.根据权利要求4～7中任一项所述的控制方法，其特征在于，所述控制器还包括示教器，所述控制方法还包括：

确认基板容器的每列容器层中最下层容器层的位置坐标；

确认基板容器的每列容器层中最上层容器层的位置坐标；

根据基板容器的每列容器层的容器层层数，确认该列容器层的每层容器层的位置坐标；并将每层容器层的位置坐标存储到控制器中。

9.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：

获取托板的长度，并判断托板的长度是否大于第一阈值；

若是，确认每层容器层的多个位置点的坐标，且多个位置点沿第一方向间隔分布；

若否，确认每层容器层单个位置点的坐标值。

10.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，将每列容器层的容器层由下至上编号，所述执行器由下向上逐层搬运基板。

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