CN114377466A - 化学制剂过滤器更换装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。为了实现该目的的化学制剂过滤器更换装置，包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，过滤器头结合于过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动过滤器外壳，以从过滤器组件拆卸过滤器外壳或者将拆卸的过滤器外壳结合于过滤器组件；其中，在过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，弹性部件在移动过滤器外壳来紧贴于过滤器头的情况下使弹力作用于过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。

Description

化学制剂过滤器更换装置

技术领域

本发明涉及用于拆卸及结合用于过滤化学制剂的化学制剂过滤器组件的过滤器外壳和滤芯的化学制剂过滤器更换装置。

背景技术

通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。

这种化学制剂会经过化学制剂过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。

所述化学制剂过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学制剂的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。

在更换化学制剂过滤器时，将过滤器组件的过滤器外壳和过滤器头分开更换滤芯之后将过滤器外壳重新结合于过滤器头，在此利用夹紧装置夹紧所述过滤器外壳和所述过滤器头的结合部，进而坚固地结合过滤器外壳和过滤器头，以防止过滤器组件内部的化学制剂及烟雾(FUME)泄漏。

在将所述过滤器外壳结合于过滤器头的情况下，可在过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面倾斜的状态下结合。如此，相互面对的面倾斜的理由可能有很多，诸如过滤器外壳和过滤器头的相互面对的部分的平整度差、在组装升降驱动部时出现的公差、在过滤器外壳结合于升降驱动部的部分出现的公差、过滤器头的组装公差等。

如上所述，若过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面在倾斜的状态下结合，则因为过滤器外壳和过滤器头之间的微小的间隙未能保持气密，因此存在化学制剂及烟雾泄漏的问题。

作为用于在过滤器组件更换滤芯的以往的技术，公开了韩国授权专利第10-1921600号。

发明内容

技术问题

本发明是为了解决上述整体问题而提出的，目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。

技术方案

用于达到上述目的的本发明的化学制剂过滤器更换装置包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，所述过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，所述过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，所述过滤器头结合于所述过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动所述过滤器外壳，以从所述过滤器组件拆卸所述过滤器外壳或者将所述拆卸的过滤器外壳结合于所述过滤器组件；其中，在所述过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，所述弹性部件在移动所述过滤器外壳来紧贴于所述过滤器头的情况下使弹力作用于所述过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。

技术效果

通过本发明，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下，使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态，进而保持过滤器外壳和过滤器头之间的气密，可防止化学制剂及烟雾泄漏。

附图说明

图1是示出在本发明的化学制剂过滤器更换装置中从过滤器头拆卸过滤器外壳的状态的立体图；

图2是示出在图1的状态下过滤器外壳下降的状态的立体图；

图3是示出在本发明的过滤器组件固定部中夹紧过滤器外壳和过滤器头的状态的剖面图；

图4是示出在过滤器组件被第一夹紧器和第二夹紧器夹紧的状态的剖面图；

图5是示出本发明的外壳夹持部件夹持过滤器外壳的状态的立体图；

图6是图5的A-A剖面图；

图7是图5的B-B剖面图；

图8是示出压缩弹性部件间隔中间连接部件的下面和第二连接部件的上面之间的状态的图。

附图标记说明

1：化学制剂过滤器更换装置 10：过滤器组件

11：滤芯 12：过滤器外壳

13：过滤器头 14：O型圈

100：过滤器外壳拆装模块 110：外壳运送部

120：第一连接部件 121：驱动连接部

122：支撑部 122a：紧固孔

122b：弹性部件安装槽 122c：连接轴安装槽

130：第二连接部件 130a：紧固孔

130b：连接轴安装槽 140：中间连接部件

140a：轴贯通孔 141：弹性部件安装槽

142：第一插头安装槽 143：第二插头安装槽

150：弹性部件 160：外壳夹持部件

161：第一夹持部 162：第一夹持部

162a：上部夹持部 162b：下部夹持部

171：连接轴 171a、171b：紧固槽

172：球轴套 173：第一插头

174：第二插头 210：第一夹紧器

211：凸出部 220：第二夹紧器

221：凸出部 300：过滤器组件固定部

310：缸体 311：缸主体

312：推杆 320：固定部

321：固定部 322：缸体支撑部

330：第一按压部件 340：第二按压部件

350：连接部件

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明。

参照图1、图4、图5至图7，说明本发明的化学制剂过滤器更换装置1。

所述化学制剂过滤器更换装置1包括过滤器外壳拆装模块100和过滤器组件固定部300，所述过滤器外壳拆装模块100用于安装过滤器组件10并且从所述安装的过滤器组件10更换内部的滤芯11，所述过滤器组件10用于过滤供应于使用化学制剂的工艺的化学制剂。

所述过滤器组件10由滤芯11、过滤器外壳12、过滤器头13构成，所述滤芯11用于过滤化学制剂所含有的异物，所述过滤器外壳12内部容纳所述滤芯11，所述过滤器头13结合于所述过滤器外壳20的开放的一侧。

举一示例，所述滤芯11可构成为具有上下方向的长度的圆柱形状。

所述过滤器外壳12构成为圆柱形状，开放一侧端部，以在内部容纳所述圆柱形状的滤芯11，并且通过所述开放的一侧使得滤芯11能够进出。

在所述过滤器头13形成有多个连接部，所述多个连接部流进从化学制剂供应部(未示出)供应的化学制剂、排放通过所述滤芯11的化学制剂以供应到工艺装置、排放残留于内部空间的化学制剂、流进或者排放氮气。在所述多个连接部分别连接用于输送化学制剂或者氮的排管(未示出)

在所述过滤器外壳12和过滤器头13结合部分介入O型圈14可保持气密。

可具有用于放置所述过滤器头13的过滤器头托架(未示出)。在所述过滤器头托架的上部可放置所述过滤器头13。在所述过滤器头托架的上部放置整个过滤器组件10的状态下向上移动过滤器外壳12从过滤器组件10拆卸之后更换滤芯11，更换所述滤芯11之后向下移动过滤器外壳12来结合于放置在过滤器头托架的过滤器头13，进而实现滤芯11的更换。

在本实施例中示例了过滤器头13位于下部，而过滤器外壳12位于上部，但是也可构成为过滤器外壳12位于下部，而过滤器头13位于上部。

所述过滤器外壳拆装模块100由外壳固定部120、130、140、150、160和外壳运送部110构成，所述外壳固定部120、130、140、150、160固定过滤器外壳12，所述外壳运送部110以上下方向移动所述外壳固定部120、130、140、150、160。

所述外壳运送部110可包括：驱动工具(未示出)，由马达或者缸体构成，以提供用于以上下方向移动所述外壳固定部120、130、140、150、160的驱动力；移动导件(未示出)，具有上下方向的长度，以通过所述驱动工具引导所述外壳固定部120、130、140、150、160的移动。

以下，将通过所述外壳运送部110移动所述外壳固定部120、130、140、150、160的上下方向定义为外壳运送部110的移动方向。

所述外壳固定部120、130、140、150、160包括：第一连接部件120，连接于所述外壳运送部110；第二连接部件130，配置在从所述第一连接部件120向下侧间隔的位置；一对连接轴171，两端分别结合于所述第一连接部件120和第二连接部件130；中间连接部件140，配置成使所述连接轴171以上下方向贯通；外壳夹持部件160，以包围所述过滤器外壳12主体的外侧的结构结合过滤器外壳12，并且结合于所述中间连接部件140；一对弹性部件150，配置成使弹力作用于外壳夹持部件160和第一连接部件120之间。

所述第一连接部件120由驱动连接部121和支撑部122构成，所述驱动连接部121构成为竖立的四边形板形状，而且连接于所述外壳运送部110，所述支撑部122构成为

形状，一侧构成为竖立的板形状以连接于所述驱动连接部121，而另一侧构成为平板形状。

在所述支撑部122中，在另一侧的构成为平板形状的部分形成有以上下方向贯通的一对紧固孔122a。

在所述支撑部122的底面形成有弹性部件安装槽122b，所述弹性部件安装槽122b沿着所述紧固孔122a的周围凹陷地形成环形状。在所述弹性部件安装槽122b安装所述弹性部件150的上端。

在所述支撑部122的底面形成有连接轴安装槽122c，所述连接轴安装槽122c以同心结构形成在所述弹性部件安装槽122b的内侧，并且沿着所述紧固孔122a的周围凹陷地形成环形状。在所述连接轴安装槽122c安装所述连接轴171的上端。

所述第二连接部件130构成为平板形状，配置在从所述第一连接部件120的支撑部122向下侧间隔的位置。所述第二连接部件130和支撑部122可并列配置在水平面上。在所述第二连接部件130形成有一对紧固孔130a，所述一对紧固孔130a以上下方向贯通在与所述支撑部122的紧固孔122a对应的位置。

在所述第二连接部件130的上面形成有连接轴安装槽130b，所述连接轴安装槽130b沿着所述紧固孔130a的周围凹陷地形成环形状。在所述连接轴安装槽130b安装所述连接轴171的下端。

所述中间连接部件140大致构成为直角六面体形状，形成有一对轴贯通孔140a，所述一对轴贯通孔140a由所述一对连接轴171以移动方向贯通。

所述中间连接部件140相对于所述连接轴171能够以上下方向进行移动。

在所述中间连接部件140的上面形成有弹性部件安装槽141，所述弹性部件安装槽141沿着所述轴贯通孔140a的上端周围凹陷地形成环形状。在所述弹性部件安装槽141安装所述弹性部件150的下端。

在所述中间连接部件140的上面形成有第一插头安装槽142，所述第一插头安装槽142以同心结构形成在所述弹性部件安装槽141的内侧，并且沿着所述轴贯通孔140a的上端周围凹陷地形成环形状。在所述第一插头安装槽142插入第一插头173。

在所述中间连接部件140的下面形成第二插头安装槽143，所述第二插头安装槽143沿着所述轴贯通孔140a的下端周围凹陷地形成环形状。在所述第二插头安装槽143插入第二插头174。

所述连接轴171作为具有在移动方向上的长度的杆形状，在上部形成有从上面向下方向凹陷形成的紧固槽171a，在下部形成有从下面向上方向凹陷形成的紧固槽171b。

在所述连接轴171的上面配置有所述支撑部122，在所述连接轴171的下面配置有所述第二连接部件130。在该状态下，用紧固部件紧固所述支撑部122的紧固孔122a和连接轴171的紧固槽171a，并且用紧固部件紧固所述第二连接部件130的紧固孔130a和连接轴171的紧固槽171b，进而第一连接部件120和第二连接部件130、连接轴171结合成一体。

所述弹性部件150由线圈弹簧构成，并且上端安装在第一连接部件120的弹性部件安装槽122b被第一连接部件120的底面支撑，而下端安装在中间连接部件140的弹性部件安装槽141被中间连接部件140的上面支撑。

在所述连接轴171的外侧面和所述轴贯通孔140a的内侧面之间插入球轴套172。在所述球轴套172配置有接触于所述连接轴171外侧面的多个球，配置成使所述多个球接触于所述中间连接部件140的外侧面。

在所述连接轴171的外径和所述球轴套172的内径之间可形成间隙。因为所述间隙连接轴171在贯通球轴套172地插入的状态下出现左右间隔进而可发生歪曲。若调节所述间隙的大小，则调节所述连接轴171的可歪曲的程度。

若在所述球轴套172插入于所述轴贯通孔140a的状态下将第一插头173插入于第一插头安装槽142，将第二插头174插入于第二插头安装槽143，则防止所述球轴套172脱离轴贯通孔140a。

所述外壳夹持部件160由第一夹持部161和第二夹持部162构成，所述第一夹持部161为一侧结合于所述中间连接部件140的侧面，并且包围所述过滤器外壳12的一侧外侧面，所述第二夹持部162为包围所述过滤器外壳12的另一侧外侧面并且结合于所述第一夹持部161。

所述外壳夹持部件160以垂直方向为基准可配置在所述第一连接部件120和第二连接部件130之间。

在所述第一夹持部161和第二夹持部162中包围所述过滤器外壳12外侧面的部分分别构成为半圆形状，若通过紧固部件(未示出)结合所述第一夹持部161和第二夹持部162，则所述第一夹持部161和第二夹持部162包围过滤器外壳12的整个外侧面周围。

所述第二夹持部162可由位于上侧的上部夹持部162a和位于从所述上部夹持部162a间隔的位于下侧的下部夹持部162b构成。

在本实施例中，示例了配置2个所述弹性部件150，但是不限于此，而是可变形成其他个数。在该情况下，对应于所述弹性部件150的个数配置所述连接轴171和球轴套172、插头173、174。

另外，在本实施例中示例了在过滤器外壳12的一侧面并列设置所述弹性部件150，但是不限于此，而是也可配置成多个弹性部件150包围过滤器外壳12周围的形态。在该情况下，第一连接部件120和第二连接部件130以过滤器外壳12为基准可对称地配置在一侧和相对侧的另一侧，并且对应于所述弹性部件150的个数配置所述连接轴171和球轴套172、插头173、174。

举一示例，可构成有1个所述弹性部件150，也可构成有3个以上。在1个所述弹性部件150的情况下，所述弹性部件150可配置成弹性支撑支撑部122和中间连接部件140的中心部之间。在该情况下，所述连接轴171也对应于所述弹性部件150的位置地贯通中间连接部件140的中心部，可分别结合于支撑部122和第二连接部件130的中心部。

另外，在本实施例中，示例了所述中间连接部件140和第一夹持部161由单独的部件结合而成的情况，但是所述中间连接部件140和第一夹持部161也可由构成一体的一个部件构成。

若驱动所述外壳运送部110的驱动工具，则构成所述外壳固定部120、130、140、150、160的第一连接部件120、第二连接部件130、中间连接部件140、弹性部件150及外壳夹持部件160一体地以上下方向(移动方向)移动，因此在所述外壳夹持部件160结合过滤器外壳12的情况下，过滤器外壳12也与外壳固定部120、130、140、150、160一同一体地以移动方向移动。

所述化学制剂过滤器更换装置1可包括：第一夹紧器210，结合所述过滤器头13；第二夹紧器220，结合所述过滤器外壳12。

所述第一夹紧器210和第二夹紧器220大致构成为环形状，所述第一夹紧器210配置成包围所述过滤器头13的上端外侧面周围，所述第二夹紧器220配置成包围所述过滤器外壳12的下端外侧面周围。

在所述第二夹紧器220包围所述过滤器外壳12外侧面周围地结合的状态下，通过所述过滤器外壳拆装模块100一体地以移动方向移动。

在所述第二夹紧器220可形成有从环形状的外侧面更加向外侧凸出的凸出部221。另外，在所述第一夹紧器210也可形成有在与所述凸出部221相对应的位置从环形状的外侧面更加向外侧凸出的凸出部211。在所述凸出部221的上面由后述的第一按压部件330加压。

所述第一夹紧器210为包围所述过滤器头13的外侧面周围地结合，结合所述第一夹紧器210的所述过滤器头13放置在过滤器头托架。

如图4所示，若处于所述过滤器外壳12和过滤器头13结合的状态，则第一夹紧器210的上面接触于第二夹紧器220的下面。

所述过滤器组件固定部300是用于紧贴过滤器头13的上端部和过滤器外壳12的下端部的相互面对的部分。为此，所述过滤器组件固定部300包括：缸体310，通过液压或者气压驱动；按压部件330、340，用于通过所述缸体310的驱动以移动方向加压所述过滤器外壳12。

所述按压部件330、340由第一按压部件330和第二按压部件340构成，所述第一按压部件330在使所述第一夹紧器210的上面和第二夹紧器220的下面位于相互面对的位置的状态下一侧面以作为移动方向的下方向加压所述第二夹紧器220，所述第二按压部件340按压所述第一按压部件330的另一侧面，即一侧面的相反面。

所述缸体310包括：推杆312，通过缸体驱动部(未示出)的驱动进行往返运动；缸主体311，支撑所述推杆312。

所述缸体310可配置成在与所述过滤器组件10相互面对的方向有所述推杆312，在相反的方向有所述缸主体311，以使所述推杆312以接近或者远离所述过滤器组件10的方向进行往返运动。

配置有用于支撑所述缸体310和按压部件330、340的下部的固定臂320。所述固定臂320包括：固定部321，结合并固定于所述第一夹紧器210；缸体支撑部322，结合于所述固定部321。

在所述固定部321分别可旋转地连接所述第一按压部件330及所述连接部件350。所述第一按压部件330可旋转地分别连接于所述固定部321及所述第二按压部件340。

若驱动所述缸体驱动部，则所述推杆312以过滤器组件10方向延伸，通过所述推杆312的延伸第一按压部件330相对于所述固定部321进行旋转，进而向下方向加压第二夹紧器220的上面。在该情况下，所述第二按压部件340向下方向加压所述第一按压部件330的上面。

如上所述，若第一按压部件330向下方向加压第二夹紧器220，则结合于所述第二夹紧器220的过滤器外壳12也被向下方向加压，进而紧贴过滤器外壳12的下端和过滤器头13的上端。

所述过滤器组件固定部300分别配置有一对的缸体310、固定臂320、按压部件330、340，以在所述第二夹紧器220的两侧同时向下方向进行加压。

在本实施例中构成为所述过滤器组件固定部300包括缸体310和按压部件330、340，但是只要是以向下方向加压过滤器外壳12可使过滤器外壳12和过滤器头13相接的部分紧贴的结构，也可由其他结构代替。

另外，在本实施例中示例了配置第一夹紧器210和第二夹紧器220的情况，但是也可构成为未配置第一夹紧器210和第二夹紧器220的结构。即，也可构成为：使过滤器头13的上端边框向外侧方向凸出形成，使过滤器外壳12的下端边框向外侧方向凸出形成，在使所述凸出的部分相接的状态下利用所述按压部件330、340向下方向进行加压。

对于如上述构成的化学制剂过滤器更换装置1的动作过程进行说明。

图1是在通过外壳运送部110的驱动过滤器外壳12结合于外壳固定部120、130、140、150的状态下向上方向移动的状态。图2是在图1的状态下通过外壳运送部110的驱动过滤器外壳12在结合于外壳固定部120、130、140、150的状态下向下方向移动的状态。图3是在所述过滤器外壳12向下移动的状态下驱动过滤器组件固定部300的缸体驱动部处于第一按压部件330向下方向按压第二夹紧器220的上面的状态进而结合过滤器外壳12和过滤器头13的状态。

如图3所示，为了在结合过滤器外壳12和过滤器头13的状态下将化学制剂供应于制造工艺，在配置在过滤器头13的多个连接部分别连接用于供应及排放化学制剂的排管。通过所述过滤器头13流进过滤器组件10内部的化学制剂被滤芯11过滤之后供应于制造工艺中。

若在供应化学制剂时到了所述滤芯11的更换时期，则将过滤器组件10内部的化学制剂全部排放到外部，之后用洗涤水洗涤来中和化学制剂，并将中和的化学制剂全部排放到外部，之后驱动外壳运送部110的驱动工具。如图1所示，通过所述驱动工具的驱动外壳固定部120、130、140、150、160和过滤器外壳12一体地向上方向移动。

在该状态下利用运送工具(未示出)从过滤器头13去除结合于过滤器头13的废滤芯，将新滤芯结合于过滤器头13。

如图2所示，若在所述过滤器头13结合新滤芯，则驱动外壳运送部110的驱动工具，向下方向一体地移动外壳固定部120、130、140、150、160和过滤器外壳12。

所述外壳固定部120、130、140、150、160和过滤器外壳12向下移动，使过滤器外壳12的下端部位于与过滤器头13的上端部相接的位置。

在该情况下，若在所述过滤器外壳12和过滤器头13的相互面对的部分相接之后利用所述外壳运送部110的驱动工具将外壳固定部120、130、140、150、160进一步向下移动预定距离，则所述外壳夹持部件160和连接轴171之间进行相对移动。即，如图8所示，在过滤器外壳12和外壳夹持部件160、中间连接部件140的上下位置静止的状态下只有第一连接部件120和连接轴171、第二连接部件130可向下移动。结果，所述弹性部件150被压缩，可间隔(G)中间连接部件140的下面和第二连接部件130的上面之间。

如果，即使所述过滤器外壳12和过滤器头13的相互面对的部分倾斜，也如上述构成，则通过弹性部件150的弹力过滤器外壳12和过滤器头13相互面对的部分的整个紧贴面也会相接。

即，在所述连接轴171的外径和所述球轴套172的内径之间形成有间隙，因为所述间隙连接轴171构成为在贯通球轴套172地插入的状态下出现左右间隔可发生歪曲的结构。据此，在过滤器外壳12和过滤器头13紧贴的情况下，外壳夹持部件160对应于过滤器外壳12和过滤器头13的相互面对的紧贴面倾斜的角度而相对于水平面发生倾斜。因此，过滤器外壳12和过滤器头13的相互面对的部分以相互平行的状态下紧贴来保持气密，因此可防止化学制剂及烟雾泄漏。

另外，若构成有多个所述弹性部件150，或者沿着过滤器外壳12的周围构成多个弹性部件150，则能够以更加稳定的状态紧贴过滤器外壳12和过滤器头13的相互面对的部分。

如上所述，若在紧贴过滤器外壳12和过滤器头13的相互面对的部分的状态下驱动过滤器组件固定部300的缸体驱动部，则推杆312被延伸，连接部件350和第二按压部件340、第一按压部件330进行旋转，进而所述第一按压部件330向下方向加压第二夹紧器220的上面，而第二按压部件340加压第一按压部件330的上面，因此可保持过滤器外壳12和过滤器头13坚固结合的状态。

如上所述，举优选的实施例详细说明了本发明，但是本发明不限于上述的实施例，而是能够在权利要求书的范围和发明的详细说明及附图的范围内可进行各种变形并实施，而且这也包括在本发明的范围内。

Claims (11)

1.一种化学制剂过滤器更换装置，包括：

过滤器组件固定部，固定过滤器组件，所述过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，所述过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，所述过滤器头结合于所述过滤器外壳的开放的一侧；

过滤器外壳拆装模块，移动所述过滤器外壳，以从所述过滤器组件拆卸所述过滤器外壳或者将所述拆卸的过滤器外壳结合于所述过滤器组件；

其中，在所述过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，所述弹性部件在移动所述过滤器外壳来紧贴于所述过滤器头的情况下使弹力作用于所述过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。

2.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述过滤器外壳拆装模块包括：

外壳运送部，提供驱动力以使所述过滤器外壳移动；

第一连接部件，连接于所述外壳运送部，通过所述外壳运送部的驱动工具移动；

外壳夹持部件，结合所述过滤器外壳，并且通过所述驱动工具与所述第一连接部件一体地移动；

其中，所述弹性部件配置成使弹力作用于所述第一连接部件和外壳夹持部件之间。

3.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述过滤器外壳拆装模块包括：

连接轴，一端结合于所述第一连接部件，并且具有在所述外壳运送部的驱动工具的移动方向上的长度；

第二连接部件，结合于所述连接轴的另一端；

其中，所述外壳夹持部件配置在所述第一连接部件和第二连接部件之间。

4.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述过滤器外壳拆装模块包括：

连接轴，一端结合于所述第一连接部件，并且具有在所述外壳运送部的驱动工具的移动方向上的长度；

中间连接部件，与所述外壳夹持部件配置成一体；

其中，所述连接轴以所述过滤器外壳移动的方向贯通形成在所述中间连接部件的轴贯通孔。

5.根据权利要求4所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在所述连接轴的外周面和形成有所述轴贯通孔的中间连接部件的内侧面之间配置有球轴套，进而所述中间连接部件和所述连接轴沿着所述连接轴的长度方向进行相对移动。

6.根据权利要求5所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在所述过滤器外壳和过滤器头紧贴的情况下，因为所述连接轴的直径和所述球轴套的内径之间间隔的间隙所述外壳夹持部件相对于水平面可发生歪曲。

7.根据权利要求2所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在所述过滤器外壳和过滤器头紧贴的情况下，所述外壳夹持部件对应于所述过滤器外壳和过滤器头的紧贴面倾斜的角度而相对于水平面发生倾斜。

8.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

在所述过滤器外壳和过滤器头紧贴的情况下，所述弹性部件被压缩。

9.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述弹性部件由线圈弹簧构成。

10.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，

所述弹性部件构成有多个。

11.根据权利要求1所述的化学制剂过滤器更换装置，其特征在于，具有：

第一夹紧器，夹紧所述过滤器头的外侧面；

第二夹紧器，夹紧所述过滤器外壳的外侧面；

所述过滤器组件固定部包括按压部件，所述按压部件为在所述过滤器外壳结合过滤器头的情况下，以相互面对的方向加压所述第一夹紧器或者第二夹紧器，以使所述第一夹紧器和第二夹紧器的相互面对的部分紧贴。

Images