CN114351241B - 一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构。转动组件包括轴座、转轴；旋转密封件以及隔离件；轴座与转轴通过轴承转动连接；旋转密封件与轴承同轴设置，旋转密封件的固定端设置有贯穿固定端的第一气流道。隔离件一端与固定端连接，且隔离件与转轴之间围设成第二气流道，第二气流道与第一气流道连通。隔离件可以一定程度上避免颗粒物进入转轴和旋转端的连接位置处，在使用过程中，气体依次流过第一气流道和第二气流道后，气体可以携带位于转轴和旋转端连接位置处的至少部分颗粒物离开前述位置，减小颗粒物对旋转密封件的影响，避免旋转密封件卡死，增加旋转密封件的使用寿命。

Description

一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构

技术领域

本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等材料熔化，用直拉法生长无错位单晶棒的设备。单晶炉设备包括可旋转伸缩的坩埚轴，磁流体密封装置密封坩埚轴和轴座；但是还是会发生氧化颗粒等进入传动轴和基座之间的缝隙中，导致磁流体卡死，影响设备的运行。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构，其旨在改善现有的轴和轴座之间易进杂物的问题。

本申请提供一种转动组件，所述转动组件包括轴座、转轴；旋转密封件以及隔离件；所述轴座与所述转轴通过轴承转动连接；所述旋转密封件与所述轴承同轴设置，所述旋转密封件包括相互连接的旋转端和固定端，所述旋转端与所述转轴连接，所述固定端与所述轴座连接，所述固定端设置有贯穿所述固定端的第一气流道。所述隔离件一端与所述固定端连接，且所述隔离件的自由端与所述转轴之间围设成第二气流道，所述第二气流道与所述第一气流道连通，使气体能依次流过所述第一气流道和所述第二气流道。

隔离件可以一定程度上避免颗粒物进入转轴和旋转端的连接位置处，在使用过程中，气体依次流过第一气流道和第二气流道后，气体可以携带位于转轴和旋转端连接位置处的至少部分颗粒物离开前述位置，减小颗粒物对旋转密封件的影响，避免旋转密封件卡死，增加旋转密封件的使用寿命。此外，气体还可以为转轴和旋转密封件降温。

在本申请的一些实施例中，转动组件还包括防尘罩，所述防尘罩一端与所述转轴连接，所述隔离件的自由端位于所述防尘罩的自由端与所述转轴之间的缝隙，所述防尘罩与所述隔离件之间形成第三气流道，所述第三气流道与所述第二气流道连通。

在本申请的一些实施例中，旋转密封件为磁流体密封件，所述第一气流道设置于所述磁流体密封件；

或者，所述旋转密封件为相互连接的油封座和油封，所述油封座与所述轴座连接，所述油封与所述转轴连接，所述第一气流道设置于所述油封座。

在本申请的一些实施例中，固定端设置有贯穿所述固定端的多个所述第一气流道；多个所述第一气流道沿所述转轴的轴线方向间隔分布，每个所述第一气流道均与所述第二气流道连通。

在本申请的一些实施例中，轴座设置有贯穿所述轴座的第四气流道，所述第四气流道与所述第一气流道连通。

在本申请的一些实施例中，转动组件还包括沿所述转轴的轴线方向延伸的保护套，所述保护套一端与所述轴座连接，另一端与所述转轴滑动连接，所述保护套与所述转轴之间具有第五气流道，使气体能依次流经所述第四气流道、所述第一气流道、所述第二气流道、所述第五气流道、所述转轴与所述保护套连接位置然后流至所述保护套外。

可选地，所述保护套为波纹管。

在本申请的一些实施例中，转动组件还包括沿所述转轴的轴线方向延伸的保护套，所述保护套一端与所述固定端连接，另一端与所述转轴滑动连接，所述保护套与所述转轴之间具有第五气流道，使气体能依次流经所述第一气流道、所述第二气流道、所述第五气流道，然后从所述转轴与所述保护套之间的缝隙流出。

可选地，所述保护套为波纹管。

在本申请的一些实施例中，转动组件还包括隔热套，所述隔热套套设于所述转轴外并与所述保护套连接，且所述隔热套位于所述保护套和隔热套之间。

在本申请的一些实施例中，转动组件还包括进液管和出液管，所述出液管与所述轴座连接；所述进液管与所述出液管通过旋转水套转动连接；所述转轴靠近轴座的一端设置有容纳腔，所述进液管伸入所述容纳腔内并与所述容纳腔连通，所述容纳腔与所述出液管连通。

本申请还提供一种单晶炉用坩埚驱动机构，单晶炉用坩埚驱动机构包括安装座、上述的转动组件以及直线驱动组件；所述轴座与所述安装座连接，所述转轴远离所述轴座的一端用于连接坩埚；所述直线驱动组件与所述安装座连接，以驱动所述安装座和所述转动组件能做直线运动。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本实施例提供的单晶炉用坩埚驱动机构的结构示意图；

图2示出了本申请实施例提供的第一示例的转动组件的剖视图；

图3示出了图2中A处的放大示意图；

图4示出了图2中B处的放大示意图；

图5示出了本申请实施例提供的第二示例的转动组件的剖视图；

图6示出了图5中C处的放大示意图。

图标：100-单晶炉用坩埚驱动机构；101-机架；102-安装座；110-直线驱动机构；200-转动组件；201-第一气流道；202-第二气流道；203-第三气流道；204-第四气流道；205-第五气流道；210-轴座；211-多楔带轮；220-转轴；221-容纳腔；222-进液管；223-出液管；224-旋转水套；230-轴承；240-旋转密封件；241-旋转端；242-固定端；250-隔离件；260-防尘罩；270-保护套；280-隔热套。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例

图1示出了本实施例提供的单晶炉用坩埚驱动机构100的结构示意图，请参阅图1，本实施例提供一种单晶炉用坩埚驱动机构100，单晶炉用坩埚驱动机构100包括机架101、安装座102、直线驱动机构110和转动组件200。转动组件200和安装座102连接；直线驱动机构110的动力输出端与安装座102连接，直线驱动机构110与机架101连接，直线驱动机构110驱动转动组件200和安装座102直线运动。在使用时，直线驱动机构110驱动转动组件200和安装座102沿竖直方向运动。

在本实施例中，机架101设置有滑轨，安装座102与滑轨连接，直线驱动机构110包括电机、减速器、丝杠螺母副；电机和减速器传动连接，丝杠螺母副和减速器连接，丝杠螺母副和安装座102连接；电机输出动力时带动安装座102和转动组件200沿竖直方向运动。

需要说明的是，在本申请的其他实施例中，直线驱动机构110也可以为其他可以输出直线运动的动力机构，本申请不对直线驱动机构110的具体结构进行限定。

图2示出了本申请实施例提供的第一示例的转动组件200的剖视图，请参阅图2，转动组件200包括轴座210、转轴220、轴承230、旋转密封件240、隔离件250、防尘罩260以及保护套270。

轴座210与转轴220通过轴承230连接，旋转密封件240与轴承230同轴设置，旋转密封件240密封轴座210、转轴220之间的缝隙，轴承230位于旋转密封件240、轴座210、转轴220围设形成的腔体内。隔离件250与旋转密封件240连接，且隔离件250与转轴220之间具有缝隙，防尘罩260与转轴220连接，防尘罩260扣合在隔离件250外，且防尘罩260与隔离件250之间具有缝隙。保护套270套设于转轴220外，保护套270一端与轴座210连接，防尘罩260、隔离件250均位于保护套270与转轴220之间。

在本申请中，电机(图中未示出)将动力传递至多楔带轮211，多楔带轮211套设与转轴220外，从而实现带动转轴220转动。

需要说明的是，在本申请的其他实施例中，可以通过其他驱动机构带动转轴220转动，例如可以通过电机将动力传递至传送带，传送带带动转轴220转动等等方式。

例如，在本实施例中，转动组件200主要用于将动力传递至坩埚，使坩埚以转轴220的轴线为轴进行转动，在本实施例中，由于坩埚的温度较高，高温会传递至转轴220，需要对转轴进行降温，因此，转轴220内部设置有容纳冷却液的腔体。

图3示出了图2中A处的放大示意图，请一并参阅图2与图3，在本实施例中，转轴220一端用于连接坩埚，另一端开设有容纳腔221，容纳腔221内设置有进液管222。

进液管222的一端伸入容纳腔221内，进液管222与转轴220同轴设置，进液管222与容纳腔221的内壁具有间隙，使冷却液从进液管222进入容纳腔221，然后再从容纳腔221的开口处流出。

在本实施例中，进液管222通过接头与输送管连接，液体通过输送管进入进液管222，进液管222与输送管独立设置然后再通过接头连接，且降低进液管222与输送管的制备成本。可以理解的是，在本申请的其他实施例中，可以仅仅设置进液管222，将进液管222与其他配置有输送管的装置配合使用。

在本实施例中，转轴220远离坩埚的一端连接有出液管223，出液管223与容纳腔221连通，容纳腔221内的水可以通过出液管223流出。出液管223与转轴220的连接位置处设置有水封，出液管223与转轴220通过轴承230连接，使出液管223与转轴220能相对转动。需要说明的是，在本申请的实施例中，进液管222进液，出液管223出液，仅仅是冷却液流动的一种方式，可以理解的是，在本申请的其他实施例中，可以从出液管223进液，进液管222出液。

在本实施例中，为了避免因为进液管222与转轴220相对转动而存在异响，进液管222与出液管223之间通过旋转水套224连接。即旋转水套224包括旋转部和固定部，旋转部与进液管222连接，固定部与出液管223连接，可以实现进液管222与转轴220同步转动，进液管222与出液管223相对转动的目的；可以降低进液管222与转轴220相互摩擦的几率，从而避免异响。此外，由于进液管222与转轴220几乎不相对运动，容纳腔221的内壁可以不用光滑处理，相应地，进液管222的外壁也可以不用光滑处理，降低制造成本。

承上所述，在本申请的实施例中，出液管223通过接头与旋转水套224的固定部连接，可以降低出液管223和接头的制造成本，可以理解的是，在本申请的其他实施例中，出液管223和接头可以一体成型，或者，出液管223直接与旋转水套224的固定部连接。

可以理解的是，在本申请的其他实施例中，也可以不设置为上述形式，例如，进液管222与出液管223通过螺纹连接，进液管222、出液管223同步运动，二者与转轴220相对转动。

承上所述，转轴220与轴座210通过轴承230连接，旋转密封件240与轴承230同轴设置，旋转密封件240连接转轴220与轴座210。

图4示出了图2中B处的放大示意图，请参阅图2与图4，旋转密封件240包括旋转端241和固定端242，旋转端241与转轴220连接，固定端242与轴座210连接，固定端242设置有贯穿固定端242的第一气流道201。

在本实施例中，旋转密封件240为磁流体密封件，磁流体密封件的固定端242设置有贯穿固定端242的第一气流道201。在本实施例中，第一气流道201为弯曲形流道，在本申请的实施例中，不对第一气流道201的形状进行限定。

在一些实施例中，为了增加去除颗粒物的效果，固定端242设置有多个贯穿固定端242的第一气流道201，多个第一气流道201沿转轴220的周向间隔分布，使第一气流道201与转轴220周向的多个位置均连通，相应地，多个第一气流道201的形状可以不完全相同，可以理解的是，第一气流道201的数量也可以为1个；本申请不对第一气流道201截面的形状和大小进行限定。

在一些实施例中，固定端242与轴座210连接，为了增加固定端242与轴座210之间的密封性，固定端242与轴座210之间设置有密封圈。

可以理解的是，在本申请的其他实施例中，上述的旋转密封件240不限于仅为磁流体密封件，例如旋转密封件240包括相互连接的油封座和油封，油封座与轴座210连接，油封与转轴220连接，第一气流道201设置于油封座，承上所述，油封座上也可以设置有多个第一气流道201，多个第一气流道201沿转轴220的周向间隔分布。

在第一示例的一些实施例中，轴座210设置有贯穿轴座210的第四气流道204，第四气流道204与第一气流道201连通，气体可以通过第四气流道204进入第一气流道201。

隔离件250一端与旋转密封件240的固定端242连接，隔离件250的自由端与转轴220之间围设成第二气流道202，第二气流道202与第一气流道201连通。

在本实施例中，隔离件250为圆形套筒，圆形套筒的一端与旋转密封件240的固定端242连接，圆形套筒套设于转轴220外，圆形套筒远离旋转密封件240的一端与转轴220之间形成环形第二气流道202。

可以理解的是，在本申请的其他实施例中，隔离件250可以为其他形状，例如隔离件250为方形筒、多棱柱形筒或者其他不规则形状的筒状结构等，满足隔离件250与转轴220之间不直接接触，且二者之间具有缝隙即可。

在本实施例中，隔离件250与旋转密封件240的固定端242通过焊接的方式连接，可以理解的是可以通过其他方式连接，例如，隔离件250与旋转密封件240的固定端242通过螺栓等方式连接，或者，隔离件250与旋转密封件240的固定端242一体成型等。

隔离件250可以将转轴220与旋转端241连接的位置处与外界进行分隔，避免过多的颗粒物进入转轴220与旋转端241连接的位置处，从而可以避免颗粒物对旋转密封件240的污染，避免旋转密封件240对转轴220和轴座210的密封性能下降和使用寿命降低。

第四气流道204与第一气流道201连通，第一气流道201与第二气流道202连通，即第四气流道204、第一气流道201、第二气流道202依次连通，当向第四气流道204通入气体时，气体经过第一气流道201、第二气流道202从隔离件250的自由端与转轴220之间的缝隙流出；在该过程中，气体携带位于转轴220与旋转端241连接的位置处的至少部分颗粒物离开该位置，进一步减小转轴220与旋转端241连接位置处的颗粒物，提升旋转密封件240的密封性能和使用寿命。

承上所述，在本申请的实施例中，转动组件200还包括防尘罩260，防尘罩260与转轴220连接。

请再次参阅图4，在本实施例中，防尘罩260一端与转轴220连接，防尘罩260与转轴220可以同步转动，防尘罩260的自由端(防尘罩260远离转轴220的一端)与转轴220之间具有缝隙，隔离件250的自由端(隔离件250远离固定端242的一端)伸入防尘罩260的自由端与转轴220之间的缝隙，且防尘罩260与隔离件250之间形成第三气流道203，第三气流道203与第二气流道202连通。

在本申请的实施例中，防尘罩260为筒状结构，防尘罩260的一端与转轴220连接，防尘罩260与转轴220之间形成圆环形空腔，隔离件250的自由端伸入前述的圆环形空腔内，隔离件250的自由端均不与转轴220、防尘罩260接触，隔离件250的自由端与转轴220之间形成第二气流道202,隔离件250的自由端与防尘罩260之间形成第三气流道203，第三气流道203与第二气流道202连通。

防尘罩260与转轴220同步转动，两者相对于隔离件250转动，隔离件250均不与防尘罩260、转轴220接触，避免相对转动时发生干扰。本申请不限制防尘罩260的形状，相应地，也不限制防尘罩260与隔离件250沿转轴220轴线方向的长度，满足隔离件250的自由端伸入防尘罩260的自由端与转轴220之间的缝隙即可。

隔离件250的自由端伸入防尘罩260的自由端与转轴220之间的缝隙，防尘罩260可以避免颗粒物等进入隔离件250与转轴220之间。承上所述，当气体穿过第一气流道201、第二气流道202以及第三气流道203后，气体可以携带隔离件250与转轴220之间的至少部分颗粒物离开转轴220，进一步避免颗粒物对旋转密封件240造成的影响。

可以理解的是，在本申请中，防尘罩260并非是必要的，可以不设置防尘罩260。

保护套270沿转轴220的轴线方向延伸；保护套270一端与轴座210连接，另一端与转轴220滑动连接；保护套270与轴座210之间具有第五气流道205，使气体能依次流经第一气流道201、第二气流道202、第五气流道205、转轴220与保护套270连接位置然后流至保护套270外。

在本实施例中，保护套270远离轴座210的一端与坩埚支撑板连接，保护套270与转轴220之间具有缝隙，当直线驱动组件输出直线驱动时，直线驱动组件带动轴座210、转轴220等部件一并沿转轴220的轴线方向做直线运动，保护套270沿转轴220的轴线方向的相对两端会相互靠近或者远离。

在本实施例中，保护套270为波纹管，波纹管在沿转轴220的轴线方向可以伸缩；且波纹管可以承受波纹管内外的压差，可以较好地实现坩埚在真空环境内自由升降。

可以理解的是，在本申请的其他实施例中，保护套270不仅限于波纹管，其可以为其他沿其长度方向可以收缩的部件。

由于坩埚温度较高，热量会传递至保护套270所在的位置，气体能依次流经第一气流道201、第二气流道202、第五气流道205、转轴220与保护套270连接位置然后流至保护套270外，气体可以携带走保护套270的部分热量，增加保护套270的寿命。且气体能将转轴220与旋转密封件240之间的颗粒物携带至保护套270外，增加旋转密封件240的使用寿命。

进一步地，为了进一步降低保护套270的温度，转动组件200还包括隔热套280，隔热套280套设于转轴220外并与保护套270连接，且隔热套280位于保护套270和隔热套280之间。

隔热套280和保护套270远离轴座210的一端均与坩埚支撑板连接，转轴220能相对隔热套280和保护套270转动。在本实施例中，不限制隔热套280的形状，隔热套280可以为隔热材料制成，例如保温陶瓷等等。

可以理解的是，在本申请的其他实施例中，可以不设置隔热套280，相应地，在一些实施例中，可以不设置保护套270。

请一并参阅图2、图3以及图4，以下就第一示例的转动组件200的使用过程作为示例进行描述：

电机将动力传递至多楔带轮211，多楔带轮211带动转轴220转动，在该过程中，轴座210、旋转密封件240的固定端242、隔离件250、保护套270、隔热套280、出液管223不转动，转轴220、旋转密封件240的旋转端241、防尘罩260以及进液管222同步转动。运行一段时间后，可以向第四气流道204内通入气体，气体依次通过第四气流道204、第一气流道201、第二气流道202、第三气流道203、第五气流道205、所述转轴220与所述保护套270连接位置然后流至保护套270外。可以理解的是，本申请不限制向第一气流道201内通入气体的时间，可以在转动组件200运行时通入，也可以在转动组件200不运行是通入，或者，可以根据需求间歇性通入。

在本实施例中，上述气体可以为氩气、氮气等惰性气体，本申请不对气体的成分进行限制，在运行过程中，需要使保护套270和转轴220之间具有真空度，例如真空度为0-12Torr。

在运行过程中，冷却液从进液管222进入，然后流至容纳腔221，再从出液管223流出；或者，冷却液从出液管223进入，然后流至容纳腔221，再从进液管222流出，在该过程中，冷却液可以对转轴220进行降温。

需要说明的是，本申请不对冷却液的成分进行限定，例如可以为冷却水，或者可以为添加有冷冻剂的其他流体。

本申请第一示例提供的转动组件200至少具有以下优点：

隔离件250可以一定程度上避免颗粒物进入转轴220和旋转端241的连接位置处，在使用过程中，气体依次流过第一气流道201和第二气流道202后，气体可以携带位于转轴220和旋转端241连接位置处的至少部分颗粒物离开前述位置，减小颗粒物对旋转密封件240的影响，避免旋转密封件240卡死，增加旋转密封件240的使用寿命。此外，气体可以为转轴220和旋转密封件240降温，降低转轴220的温度。

对于轴座210设置第四气流道204的实施例而言，气体可以从第四气流道204进入第二气流道202，旋转密封件240的固定端242可以整个均位于轴座210的腔体内，增加未被旋转密封件240覆盖的转轴220的长度，对于设置保护套270的实施例而言，可以减小保护套270沿轴线方向的长度。

对于设置防尘罩260的实施例而言，防尘罩260可以避免颗粒物等进入隔离件250与转轴220之间，进一步避免颗粒物对旋转密封件240造成的影响。

对于进液管222与出液管223之间通过旋转水套224连接的实施例而言，可以降低进液管222与转轴220相互摩擦的几率，从而避免异响及产生的震动。

图5示出了本申请实施例提供的第二示例的转动组件200的剖视图，图6示出了图5中C处的放大示意图，第二示例也提供一种转动组件200。

请一并参阅图2-图6，第二示例的转动组件200与第一示例的转动组件200的区别在于：在第二示例中，轴座210没有设置第四气流道204。

在第二示例中，保护套270与旋转密封件240的固定端242连接；旋转密封件240的固定端242有部分伸出轴座210外，使第二气流道202的开口不被轴座210遮挡，便于气体进入。

可以理解的是，在本申请的其他实施例中，保护套270与旋转密封件240的固定端242可以通过法兰等部件进行连接。

相应地，隔离件250一端与固定端242也可以间接连接，例如，固定端242与法兰连接，隔离件250与法兰连接。

第二示例的转动组件200的其余结构请参阅第一示例，此处不再进行赘述。

相应地，第二示例提供的转动组件200也具有第一示例的转动组件200的优点，可以增加旋转密封件240的使用寿命，同时可以为转轴220和旋转密封件240降温。

本申请实施例提供的单晶炉用坩埚驱动机构100具有上述转动组件200的优点。

请一并参阅图2-图6，本申请还提供一种转动组件200，请参阅上述转动组件200的描述，在本申请中，转动组件200包括轴座210、转轴220、轴承230、旋转密封件240和隔离件250，前述部件请参阅上述单晶炉用坩埚驱动机构100中转动组件200的描述。

在一些实施例中，转动组件200还可以包括防尘罩260；在一些实施例中，转动组件200还可以包括保护套270；在一些实施例中，转动组件200还可以包括隔热套280。在一些实施例中，转动组件200还可以配置进液管222和出液管223。前述部件的结构和连接关系请参阅上述单晶炉用坩埚驱动机构100中的描述。

需要说明的是，在本申请的实施例中，转动组件200不仅限于用于单晶炉用坩埚的驱动机构；其可以用于其他需要转动轴的场景，相应地，可以根据使用场景，选择是否需要设置防尘罩260、保护套270、隔热套280、进液管222和出液管223等等。本申请不对其应用进行限制。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种转动组件，其特征在于，所述转动组件包括：

轴座；

转轴；所述轴座与所述转轴通过轴承转动连接；

旋转密封件，所述旋转密封件与所述轴承同轴设置，所述旋转密封件包括相互连接的旋转端和固定端，所述旋转端与所述转轴连接，所述固定端与所述轴座连接，所述固定端设置有贯穿所述固定端的第一气流道；以及

隔离件，所述隔离件一端与所述固定端连接，且所述隔离件的自由端与所述转轴之间围设成第二气流道，所述第二气流道与所述第一气流道连通，使气体能依次流过所述第一气流道和所述第二气流道。

2.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括防尘罩，所述防尘罩一端与所述转轴连接，所述隔离件的自由端位于所述防尘罩的自由端与所述转轴之间的缝隙，所述防尘罩与所述隔离件之间形成第三气流道，所述第三气流道与所述第二气流道连通。

3.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述旋转密封件为磁流体密封件，所述第一气流道设置于所述磁流体密封件；

或者，所述旋转密封件为相互连接的油封座和油封，所述油封座与所述轴座连接，所述油封与所述转轴连接，所述第一气流道设置于所述油封座。

4.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述固定端设置有贯穿所述固定端的多个所述第一气流道；多个所述第一气流道沿所述转轴的轴线方向间隔分布，每个所述第一气流道均与所述第二气流道连通。

5.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述轴座设置有贯穿所述轴座的第四气流道，所述第四气流道与所述第一气流道连通。

6.根据权利要求5所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括沿所述转轴的轴线方向延伸的保护套，所述保护套一端与所述轴座连接，另一端与所述转轴滑动连接，所述保护套与所述转轴之间具有第五气流道，使气体能依次流经所述第四气流道、所述第一气流道、所述第二气流道、所述第五气流道，然后从所述转轴与所述保护套之间的缝隙流出。

7.根据权利要求6所述的转动组件，其特征在于，所述保护套为波纹管。

8.根据权利要求1所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括沿所述转轴的轴线方向延伸的保护套，所述保护套一端与所述固定端连接，另一端与所述转轴滑动连接，所述保护套与所述转轴之间具有第五气流道，使气体能依次流经所述第一气流道、所述第二气流道、所述第五气流道、所述转轴与所述保护套连接位置然后流至所述保护套外。

9.根据权利要求8所述的转动组件，其特征在于，所述保护套为波纹管。

10.根据权利要求6-9任一项所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括隔热套，所述隔热套套设于所述转轴外并与所述保护套连接，且所述隔热套位于所述保护套和所述转轴之间。

11.根据权利要求1-9任一项所述的转动组件，其特征在于，所述转动组件还包括进液管和出液管，所述出液管与所述轴座连接；所述进液管与所述出液管通过旋转水套转动连接；所述转轴靠近轴座的一端设置有容纳腔，所述进液管伸入所述容纳腔内并与所述容纳腔连通，所述容纳腔与所述出液管连通。

12.一种单晶炉用坩埚驱动机构，其特征在于，所述单晶炉用坩埚驱动机构包括：

安装座；

权利要求1-11任一项所述的转动组件；所述轴座与所述安装座连接，所述转轴远离所述轴座的一端用于连接坩埚；以及

直线驱动组件；所述直线驱动组件与所述安装座连接，以驱动所述安装座和所述转动组件能做直线运动。

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