CN114335184A - 柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法，柔性显示面板包括：衬底；缓冲层，所述缓冲层设置于所述衬底上；第一柔性层，所述第一柔性层设置于所述缓冲层上；有源层、栅极绝缘层和栅极层，所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层依次设置于所述第一柔性层上；第二柔性层，所述第二柔性层覆盖在所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层上，且所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。本发明通过结合第一柔性层与第二柔性层对有源层、栅极绝缘层以及栅极层实现包裹，从而在第一柔性层和第二柔性层所带来的柔性缓冲作用下，可避免被包裹的有源层在弯折或者其他受力过程中发生断裂，提高了柔性显示面板的可靠性。

Description

柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示面板(Liquid Crysta1l Displa1y，LCD)与有机发光二极管显示面板(Orga1nic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示装置已经逐步取代阴极线管显示器。其中，OLED显示面板具有自发光、驱动电压低、发光效率高、清晰度和对比度高和可实现柔性显示面与大面积全色显示等诸多优点。

然而，在OLED显示面板中，顶栅型薄膜晶体管(Thin Film Transisto，TFT)结构的有源层很薄且位于栅极绝缘层及源漏极图形化位置，地形复杂，在弯折或其他受力过程中，有源层易断裂导致TFT工作失效，影响柔性显示效果。

发明内容

本发明提供一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法，旨在解决有源层在弯折或其他受力过程中发生断裂的问题。

为了解决上述问题，本发明提供一种柔性显示面板，包括：衬底；缓冲层，所述缓冲层设置于所述衬底上；第一柔性层，所述第一柔性层设置于所述缓冲层上；有源层、栅极绝缘层和栅极层，所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层依次设置于所述第一柔性层上；第二柔性层，所述第二柔性层覆盖在所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层上，且所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。

其中，所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料均为不透明材料。

其中，所述柔性显示面板还包括遮光层，所述遮光层设置于所述衬底上，且所述遮光层被所述缓冲层覆盖，所述遮光层与所述有源层对应设置。

其中，所述第一柔性层和第二柔性层的材料相同。

其中，所述第一柔性层和第二柔性层的材料包括无机材料。

其中，所述柔性显示面板还包括：层间介质层，所述层间介质层覆盖于所述第一柔性层和所述第二柔性层上；第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔分别设置在所述栅极层的相对两侧，且所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层；源漏极层，所述源漏极层设置于所述层间介质层上，且所述源漏极层填充于所述第一过孔和所述第二过孔，以与所述有源层电连接。

其中，所述第一柔性层和所述第二柔性层的厚度范围均为0.01μm-2μm。

本发明提供一种显示装置，包括如上述所述的柔性显示面板。

本发明还提供一种柔性显示面板的制作方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成第一柔性层；在所述第一柔性层上依次形成有源层、栅极绝缘层和栅极层；在所述有源层、所述栅极绝缘层、所述栅极层上覆盖形成第二柔性层，以使所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。

其中，所述制作方法还包括:在所述第一柔性层和所述第二柔性层上覆盖形成层间介质层；在所述栅极层的相对两侧分别形成第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层；在所述层间介质层上形成填充所述第一过孔和所述第二过孔的源漏级层。

本发明的有益效果为：本发明提供的柔性显示面板，通过将有源层、栅极绝缘层和栅极层依次设置于第一柔性层上，并将第二柔性层覆盖在有源层、栅极绝缘层和栅极层上，并使第二柔性层与第一柔性层接触，以结合第一柔性层与第二柔性层对有源层、栅极绝缘层以及栅极层实现包裹，从而在第一柔性层和第二柔性层所带来的柔性缓冲作用下，可避免被包裹的有源层在弯折或者其他受力过程中发生断裂，提高了柔性显示面板的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的第一种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图2是本发明实施例提供的第二种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图3是本发明实施例提供的第三种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图4是本发明实施例提供的第四种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图5是本发明实施例提供的柔性显示面板的制作方法的流程示意图；

图6A～图6F是本发明实施例提供的柔性显示面板在制作方法各阶段的剖面结构示意图；

图7是本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参阅图1，图1是本发明实施例提供的第一种柔性显示面板的剖面结构示意图。如图1所示，所述柔性显示面板10包括衬底11、缓冲层12、第一柔性层131、第二柔性层132、有源层141、栅极绝缘层142、以及栅极层143。所述缓冲层12于所述衬底11上，所述第一柔性层131设置于所述缓冲层12上，所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143依次设置于所述第一柔性层131上，所述第二柔性层132覆盖在所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143上，且所述第二柔性层132与所述第一柔性层131接触。

在第二柔性层132与第一柔性层131接触的条件下，即实现了对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143的包裹，从而利用第一柔性层131和第二柔性层132的柔性缓冲作用，可对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143起到保护作用，特别是在柔性显示面板10的受力过程中，可避免有源层141在弯折或者其他受力情形下，出现断裂的现象。

其中，如图1所示，第一柔性层131不仅可以设置在有源层141的底部，还可以设置在TFT区域外，即第一柔性层131设置在缓冲层12的整个表面上，从而第一柔性层还可提升TFT区域外的抗弯折性能。

请参阅图2，图2是本发明实施例提供的第二种柔性显示面板的剖面结构示意图。如图2所示，第一柔性层131也可仅设置在有源层141的底部，也即第一柔性层131只设置在缓冲层12的部分表面上，从而只提升TFT区域的抗弯折性能。其中，图1与图2相比，第一柔性层131与第二柔性层的接触方式不同，具体而言，在图1中，第二柔性层132是沿着第一柔性层131的厚度方向与第一柔性层131接触，而在图2中，第一柔性层131是沿平行于第一柔性层131表面的方向与第二柔性层132接触。在这两种接触方式中，第一柔性层131和第二柔性层132接触后，均实现了对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143的包裹，可对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143起到保护作用，特别是在柔性显示面板10的受力过程中，可避免有源层141在弯折或者其他受力情形下，出现断裂的现象。

衬底11可以是玻璃基底，缓冲层12的材料可以包括氮化硅、氧化硅、氧化钛、氧化铝中的至少一种。有源层141的材料可以包括氧化铟镓锌(Indium Gallium Zinc Oxide，IGZO)材料。栅极绝缘层142用于隔绝栅极层143和有源层141，栅极绝缘层142的组成材料包括氧化硅SiOx和/或氮化硅SiNx。栅极层143的组成材料可以为金属或金属合金，比如Mo、Cu以及Ti中的至少一种。

其中，所述第一柔性层131和所述第二柔性层132的材料均优选为不透明材料。

具体的，通过选择所述第一柔性层131和所述第二柔性层132的材料均为不透明材料，在所述第一柔性层131和所述第二柔性层132对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143实现包裹的条件下，可使得TFT器件内部光线无法射入到有源层141中，避免光线对有源层141产生的电性影响，实现更好的TFT特性。

在本发明实施例中，第一柔性层131也可选择为透明材料，但在第一柔性层131选择为透明材料时，需要在衬底11上增加一遮光层(Light shield，LS)，而避免内部光线从有源层141的底部射入到有源层141中。若不增加遮光层，则来自于衬底11背离TFT一侧的光线穿过衬底11会照射到有源层141上后会使得有源层141的NBIS(全称为NegativeBiasIllumination Stability，即负偏压光照稳定性)和PBIS(全称为PositiveBiasIllumination Stability，即正偏压光照稳定性)降低，导致器件的阈值电压(Vth)产生严重的漂移。

因此，请参阅图3，图3是本发明实施例提供的第三种柔性显示面板的剖面结构示意图。如图3所示，所述柔性显示面板10还包括遮光层15，所述遮光层15设置于所述衬底11上，且所述遮光层15被所述缓冲层12覆盖，所述遮光层15与所述有源层141对应设置。在图3中示出的柔性显示面板10中，即使第一柔性层131的材料选择为透明材料，所述遮光层15对应设置在所述有源层141的底部，利用遮光层15使得来自于衬底11背离TFT一侧的光线也不会穿过衬底11照射到有源层141上。通过对比图3和图1可知，通过选择所述第一柔性层131和所述第二柔性层132的材料为不透明材料，在衬底11上可无需再设置遮光层15，从而可节省一套光罩(Mask)，有利于降低显示面板的制造成本。

其中，所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料相同。

具体的，当所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料相同时，由于相同材料的性质的相似或相同，使得第一柔性层131和第二柔性层132之间的结合力更大，可保证第一柔性层131与第二柔性层132的接触更为紧密，从而保证在柔性显示面板10的受力过程中，即在有源层141在弯折或者其他受力情形下，第一柔性层131与第二柔性层132之间发生的相对位移也较小，因此，有利于第一柔性层131和第二柔性层132在受力过程结束后，恢复到原来的相对位置。因此，通过设置所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料相同，可使得在多次弯折或者其他受力的情形中，所述第一柔性层131和第二柔性层132可为有源层141起到持续的柔性缓冲作用。在本发明的其他实施例中，所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料也可以不同，只是相较于所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料相同的情形，不同材料之间的结合力要更小，所述第一柔性层131和第二柔性层132的之间的接触不够紧密，但同样能够起到柔性缓冲作用，只是在有源层141在弯折或者其他受力情形下，第一柔性层131与第二柔性层132之间发生的相对位移也较大，不利于恢复形变。

其中，所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料包括无机材料。

具体的，若第一柔性层131和第二柔性层132的材料选择为有机柔性材料，则有机柔性材料易引入H/O等元素，会对有源层141(IGZO)的电学特性产生影响，例如导致TFT中产生严重的漂移现象。因此，本实施例中，所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料还优选为无机材料。具体的，所述第一柔性层131的材料可以包括碳基柔性材料或Ag₂S材料，其中碳基柔性材料为石墨烯/碳纳米管/碳纤维中的任一种材料。同样，所述第二柔性层132的材料可以包括碳基柔性材料或Ag₂S材料，其中碳基柔性材料为石墨烯/碳纳米管/碳纤维中的任一种材料。

其中，所述第一柔性层131和所述第二柔性层132的厚度范围均为0.01μm-2μm。也即所述第一柔性层131的厚度范围是0.01μm-2μm，所述第二柔性层132的厚度范围也是0.01μm-2μm。

请参阅图4，图4是本发明实施例提供的第四种柔性显示面板的剖面结构示意图，如图4所示，所述柔性显示面板10还包括层间介质层16、源漏极层17。所述层间介质层16覆盖于所述第一柔性层131和所述第二柔性层132上。该柔性显示面板10还包括第一过孔和第二过孔(图4中未示出)，所述第一过孔和所述第二过孔分别设置在所述栅极层143的相对两侧，且所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层16和所述第二柔性层132。源漏极层17设置于所述层间介质层16上，且所述源漏极层17充于所述第一过孔和所述第二过孔，以与所述有源层141电连接。其中，源漏极层17包括填充第一过孔的漏极171和填充第二过孔的源极172。

具体的，层间介质层16可以为氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、或者二者的夹层结构。

基于上述实施例提供的柔性显示面板，本发明实施例还提供一种显示装置，包括如上述所述的柔性显示面板。

本发明还提供柔性显示面板的制作方法，可用于制作上述的柔性显示面板，具体请参阅图5，图5是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图，如图5所示，所述制作方法可以包括如下步骤：

步骤S101：提供衬底。

其中，步骤S101完成后的柔性显示面板的剖面结构示意图如图6A所示。具体的，所述衬底11可以是玻璃基底。

步骤S102:在所述衬底上形成缓冲层。

其中，步骤S102完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图6B所示。

具体的，所述缓冲层12的材料可以包括氮化硅、氧化硅、氧化钛、氧化铝中的至少一种。

需要进一步说明的是，在进行步骤S102之前，所述制作方法还可以包括在衬底11上沉积遮光材料并图形化的步骤，以形成如图3中所示出的遮光层15，从而接连后续的步骤得到如图3中所示的第三种柔性显示面板的剖面结构示意图。

步骤S103:在所述缓冲层上形成第一柔性层。

其中，步骤S103完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图6C所示。

具体的，所述第一柔性层131的材料优选为不透明材料。在本发明实施例中，第一柔性层131也可选择为透明材料，但在第一柔性层131选择为透明材料时，所述制作方法中需要增加在衬底11上形成遮光层15的步骤，而避免内部光线入射到有源层中。

需要进一步说明的是，在步骤S103之后，所述制作方法还可以包括对所述第一柔性层131进行图形化处理的步骤，从而得到如图2所示出第一柔性层131，从而接连后续的步骤得到如图2中所示出的柔性显示面板的剖面结构示意图。在图2中，第一柔性层131也可仅设置在有源层141的底部，也即第一柔性层131只设置在缓冲层12的部分表面上，从而只提升TFT区域的抗弯折性能。

步骤S104:在所述第一柔性层上依次形成有源层、栅极绝缘层和栅极层。

其中，步骤S104完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图6D所示。

具体的，有源层141的材料可以包括氧化铟镓锌(Indium Gallium Zinc Oxide，IGZO)材料。栅极绝缘层142用于隔绝栅极层143和有源层141，栅极绝缘层142的组成材料包括氧化硅SiOx和/或氮化硅SiNx。栅极层143的组成材料可以为金属或金属合金，比如Mo、Cu以及Ti中的至少一种。

步骤S104具体可以包括：在第一柔性层131上沉积有源层141并图形化；依次在有源层141上沉积栅极绝缘层142和栅极层143并图形化，并对有源层141进行导体化处理。

步骤S105:在所述有源层、所述栅极绝缘层、所述栅极层上覆盖形成第二柔性层，以使所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。

具体的，步骤S105完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图1所示。

在第二柔性层132与第一柔性层131接触的条件下，即实现了对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143的包裹，从而利用第一柔性层131和第二柔性层132的柔性缓冲作用，可对所述有源层141、所述栅极绝缘层142和所述栅极层143起到保护作用，特别是在柔性显示面板10的受力过程中，可避免有源层141在弯折或者其他受力情形下，出现断裂的现象。

其中，如图1所示，第一柔性层131不仅可以设置在有源层141的底部，还可以设置在TFT区域外，即第一柔性层131设置在缓冲层12的整个表面上，从而第一柔性层还可提升TFT区域外的抗弯折性能。

其中，所述第二柔性层132和所述第一柔性层131的材料均优选为不透明材料。其中，所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料相同。

其中，所述第一柔性层131和第二柔性层132的材料包括无机材料。

请参阅图7，图7是本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图，如图7所示，所述制作方法还可以包括:

步骤S106:在所述第一柔性层和所述第二柔性层上覆盖形成层间介质层。

其中，步骤S106完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图6E所示。

具体的，层间介质层16可以为氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、或者二者的夹层结构。

步骤S107:在所述栅极层的相对两侧分别形成第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层。

其中，步骤S107完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图6F所示。

具体的，通过图形化工艺依次刻蚀所述层间介质层16和所述第二柔性层132形成第一过孔101和第二过孔102，从而暴露有源层141的部分表面。

步骤S108:在所述层间介质层上形成填充所述第一过孔和所述第二过孔的源漏级层。

其中，步骤S108完成后柔性显示面板的剖面结构示意图如图4所示。

具体的，通过在所述层间介质层16上沉积形成填充所述第一过孔101和所述第二过孔102的源漏级层17。其中，源漏极层17包括填充第一过孔101的漏极171和填充第二过孔的源极172。

本发明的有益效果为：本发明提供一种柔性显示面板、显示装置以及柔性显示面板的制作方法，在本发明提供的柔性显示面板中，通过将有源层、栅极绝缘层和栅极层依次设置于第一柔性层上，并将第二柔性层覆盖在有源层、栅极绝缘层和栅极层上，并使第二柔性层与第一柔性层接触，以结合第一柔性层与第二柔性层对有源层、栅极绝缘层以及栅极层实现包裹，从而在第一柔性层和第二柔性层所带来的柔性缓冲作用下，可避免被包裹的有源层在弯折或者其他受力过程中发生断裂，提高了柔性显示面板的可靠性。

除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效替换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围。

综上所述，虽然本发明已将优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：

衬底；

缓冲层，所述缓冲层设置于所述衬底上；

第一柔性层，所述第一柔性层设置于所述缓冲层上；

有源层、栅极绝缘层和栅极层，所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层依次设置于所述第一柔性层上；

第二柔性层，所述第二柔性层覆盖在所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极层上，且所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性层和所述第二柔性层的材料均为不透明材料。

3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括遮光层，所述遮光层设置于所述衬底上，且所述遮光层被所述缓冲层覆盖，所述遮光层与所述有源层对应设置。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性层和第二柔性层的材料相同。

5.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性层和第二柔性层的材料包括无机材料。

6.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括：

层间介质层，所述层间介质层覆盖于所述第一柔性层和所述第二柔性层上；

第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔分别设置在所述栅极层的相对两侧，且所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层；

源漏极层，所述源漏极层设置于所述层间介质层上，且所述源漏极层填充于所述第一过孔和所述第二过孔，以与所述有源层电连接。

7.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性层和所述第二柔性层的厚度范围均为0.01μm-2μm。

8.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的柔性显示面板。

9.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供衬底；

在所述衬底上形成缓冲层；

在所述缓冲层上形成第一柔性层；

在所述第一柔性层上依次形成有源层、栅极绝缘层和栅极层；

在所述有源层、所述栅极绝缘层、所述栅极层上覆盖形成第二柔性层，以使所述第二柔性层与所述第一柔性层接触。

10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括:

在所述第一柔性层和所述第二柔性层上覆盖形成层间介质层；

在所述栅极层的相对两侧分别形成第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和所述第二过孔均依次贯穿所述层间介质层和所述第二柔性层；

在所述层间介质层上形成填充所述第一过孔和所述第二过孔的源漏级层。

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