CN114296176A - 一种悬空式无胶高功率光纤束及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种悬空式无胶高功率光纤束及其制造方法,属于光纤技术领域。它包括悬空式设计的光纤束、光纤固定器和光纤定位治具;所述光纤固定器内部设有贯通的光纤孔;所述光纤定位治具包括金属材质的定位座、第一弹性压片和第二弹性压片。光纤束入射端设有光纤固定器和光纤定位治具,自带光纤孔、光纤定位槽、散热槽等散热结构,能够在光纤束的入射端进行热量快速传导,保护光纤束的长期稳定工作;在光纤定位治具入射端设有裸露光纤束端部的散热槽,使光纤束处于悬空状态,采用完全无胶结构,保障光纤束的散热性能;对光纤束进行端面研磨抛光处理,完整的无缺陷的光纤束端面可以减少光纤的端面损耗,提高光纤束的能量传输效率。

Description

一种悬空式无胶高功率光纤束及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种悬空式无胶高功率光纤束及其制造方法,属于光纤技术领域。
背景技术
准分子激光在心血管冠脉治疗方面的应用。准分子激光是一种波长为308nm的短波近紫外激光。通常以脉冲的方式发射,在作用于人体组织时穿透深度<50μm,热辐射不明显。不同于以往的长波长热激光,准分子激光为308nm的短波长冷激光,其较浅的消融深度、释放更少的热量以及减少不必要的组织损伤,保证了其安全性,正是由于这些优异的特性,促使了准分子激光在心血管治疗方面有着广阔的应用前景。
准分子激光治疗心血管冠脉疾病的工作原理:(1)光化学作用:准分子脉冲激光被冠脉内组织吸收,组织的碳-碳双键断裂,细胞分子结构破坏;(2)光热作用:激光产生的能量可以升高细胞内的温度,进而产生水蒸气促进细胞破裂,并在导管前端产生蒸汽气泡;(3)光机械作用:气泡的膨胀和紧缩进一步破坏血管内的动脉粥样硬化组织。通过这三种机制的共同作用,使斑块组织断裂成直径小于25μm的碎片,进而被网状内皮系统吸收,从而避免无复流等并发症的发生。
一般在医疗领域,准分子激光在医疗领域的治疗场景为,通过医用光纤导管插入病人体内的血管内,通过光纤导管找到血管内准确的病变位置,开启准分子激光器,近紫外激光通过光纤传导至病人体内的,在光纤导管出射端照射硬化的组织和钙化斑块,病人的病变组织在吸收近紫外激光后会分解破碎成小型碎片,然后通过人体的血液循环和新陈代谢作用将这些碎片排出体外,实现血管的再次畅通。
准分子激光治疗对光纤束有着很高的要求,由于紫外波段短波特性,有着较高的脉冲能量,因此对光纤束的加工制作有着非常高的要求。光纤束的入射端需要承受较高的端面损伤以及光路耦合带来的能量辐射,所以光纤束的入射端必须要经过优化处理,否则很容易导致端面被紫外激光烧灼损坏。
目前市面上的光纤束大都是应用于低能量传输的应用场景,例如照明光纤以及成像光纤等领域。高功率的激光传输一般优先选用单芯的石英光纤,即使是使用单芯光纤,也需要优化处理,必须加装散热结构以及高功率接头才能承受高功率激光。目前,传统的工艺处理多芯的光纤束,对光纤的研磨工艺要求极高,并且常规的光纤束研磨工艺无法制作高功率光纤束这种散热结构,传统的光纤束处理工艺,需要在光纤束研磨前,在光纤与光纤之间的缝隙之间填充大量的环氧树脂胶,用于固定光纤束,而这些环氧树脂胶则会影响光纤束对近紫外激光的耐受功率,正因如此,市面上的常规光纤束是不能够承受高功率的近紫外激光的。
但是在实际使用情况中,医疗领域对医用高功率光纤束的确存在需求,高功率光纤束可以对激光的光斑出射进行排布整合,优化光斑形状,使激光的能量分布更加均匀,同时多芯光纤束也意味着有更大的激光照射面积,对一些大面积的病变组织有着更好的治疗效率。此外,由于国内老龄化的加剧,心血管疾病的发病率也会随着年龄的增加而增长,心血管疾病的治疗也早已提上了日程,尤其使对于一些老年人,很多老年人身体状况不足以支撑多次手术,或者已经放置过心血管支架的人,由于支架放置的时间过久,出现了血管的二次硬化阻塞,这时候就需要对硬化的组织或斑块进行清除。而激光消融属于微创手术,可以极大的减轻病人的身体负担,这对于介入式治疗方案提供了一个新的思路,很大程度上降低了心血管治疗的门槛。因此,准分子激光治疗方案,在心血管治疗领域有着广阔的应用前景,这也对传输激光的光纤束提出了更高的要求,本发明的设计初衷也是为了满足该需求。
现在高功率光纤束存在的问题:目前市面上没有高功率光纤束的标准产品,大部分的光纤束在制作过程中都需要填充环氧树脂胶水来固定光纤,因为大部分光纤研磨抛光的专用设备都需要在光纤固定的状态下才能对光纤束进行研磨和抛光处理,也正是因为这些环氧树脂胶的存在,激光在传输的过程中会有部分近紫外激光照射到这些环氧树脂胶表面,此外,由于这些用于粘结光纤的环氧树脂胶透光性很差,这就导致了近紫外激光会在胶水存在的位置不断的进行灼烧,这就会导致光纤束端面被灼烧损坏。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于:提供一种悬空式无胶高功率光纤束及其制造方法,它解决了目前采用环氧树脂胶水来固定高功率光纤束,易出现光纤束端面被灼烧损坏的问题。
本发明所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现:
一种悬空式无胶高功率光纤束,它包括光纤束、光纤固定器和光纤定位治具;
所述光纤束的入射端设有去除涂覆层的裸纤段;
所述光纤固定器内部设有贯通的光纤孔,光纤孔的孔径由光纤束中部到端部逐渐缩小,光纤束固定在光纤孔的最窄处;
所述光纤定位治具包括金属材质的定位座、第一弹性压片和第二弹性压片;
定位座中部设有贯穿的光纤定位槽,光纤定位槽上部开口,光纤定位槽的横截面形状与光纤束的横截面形状相同,光纤定位槽的入射端设有围绕光纤束的散热槽;
光纤束的光纤固定器插入光纤定位槽的出射端,并通过第一弹性压片将光纤固定器压紧固定在光纤定位槽内;
光纤束的裸纤段放入光纤定位槽中,光纤束入射端的端部位于散热槽内,并通过第二弹性压片将光纤束压紧固定在光纤定位槽内。
作为优选实例,所述第一弹性压片中部设有弧形部,第一弹性压片通过弧形部压在光纤固定器上,第一弹性压片的弧形部两侧与定位座螺接固定。
作为优选实例,所述定位座靠近入射端的光纤定位槽上设有至少一个圆形压槽,圆形压槽宽于光纤定位槽的开口宽度,第二弹性压片中部设有下压弹片,下压弹片端部伸入圆形压槽内并将光纤定位槽内的光纤束裸纤段压紧。
作为优选实例,所述光纤定位槽的横截面形状采用矩形、六边形、三角形。
一种悬空式无胶高功率光纤束的制造方法,它包括以下步骤:
(1)光纤束预处理:将光纤束的入射端浸泡在强酸或强碱溶液中去除涂覆层,形成裸纤段,反应结束后,清洗去除光纤束表面的强酸或强碱,以及反应残留物;
(2)光纤束入射端固化:将光纤束放置在光纤固定器中,用环氧树脂胶固定,固化温度90-120℃,固化时间10-25分钟,等待胶水固化完成后,室温条件下退火30分钟,等待退火完成后,将光纤放置在筒状的光纤束辅助器内,光纤束辅助器的入射端加装光纤连接器,光纤束辅助器的出射端加装光纤固定器,向光纤连接器内填充有溶于有机溶剂的填充剂,光纤连接器完成填充后需要在室温条件静置20min,等待填充剂完全固化,光纤束完成了固定工作;
(3)光纤束入射端研磨抛光:对光纤连接器内的光纤束入射端进行研磨抛光,依次通过a.去胶研磨、b.粗磨、c.细磨、d.1μm精磨、e.ADS抛光。
(4)光纤束入射端去除填充剂、光纤束辅助器和光纤连接器:研磨抛光结束后,将整根光纤束入射端浸泡在有机溶剂内,然后通过超声波震荡清洗,清洗去除入射端内部的填充剂,以及研磨过程中残留的金刚石和二氧化硅颗粒,待完全清洗结束,移除辅助装置以及光纤连接器;
(5)光纤束入射端固定光纤定位治具:将清洗后的光纤束转置到光纤定位治具中,再次清洗,去除在转置光纤束过程中光纤束端面可能沾染的污染物,然后在200倍显微镜下检测光纤束端面无缺陷,即完成本悬空式无胶高功率光纤束。
作为优选实例,所述填充剂采用环氧树脂和石蜡的混合物。
作为优选实例,所述有机溶剂采用丙酮溶剂。
作为优选实例,所述光纤束入射端研磨抛光包括以下步骤:
a.去胶:研磨时,转速为80-100r/min,时间60s,压力2-4N,研磨垫邵氏A硬度90°,研磨片的材料采用15μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行去胶研磨;
b.粗磨:研磨时,转速为80-100r/min,时间60s,压力4-6N,研磨垫邵氏A硬度90°,研磨片的材料采用9μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行粗磨;
c.细磨:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力5-10N,研磨垫邵氏A硬度85°,研磨片的材料采用3μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行细磨;
d.1μm精磨:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力5-10N,研磨垫邵氏A硬度80°,研磨片的材料采用1μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行1μm精磨;
e.ADS抛光:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力10-20N,研磨垫邵氏A硬度75°,研磨片的材料采用0.02μm二氧化硅,对光纤束入射端的端面进行ADS抛光。
本发明的有益效果是:
(1)光纤束入射端设有光纤固定器和光纤定位治具,光纤固定器和光纤定位治具自带光纤孔、光纤定位槽、散热槽等散热结构,在激光器工作的过程中,能够在光纤束的入射端进行热量快速传导,降低激光损伤,保护光纤束的长期稳定工作;
(2)考虑到目前用于粘结光纤束的环氧树脂胶透光性差,导致近紫外激光会在胶水存在的位置不断的进行灼烧,使得光纤束端面被灼烧损坏,因此设计本光纤束入射端时,在光纤定位治具入射端设有裸露光纤束端部的散热槽,使光纤束处于悬空状态,采用完全无胶结构,保障光纤束的散热性能;
(3)对光纤束进行端面研磨抛光处理,完整的无缺陷的光纤束端面可以减少光纤的端面损耗,提高光纤束的能量传输效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为光纤束和光纤固定器的连接结构示意图;
图3为光纤束、光纤固定器和光纤定位治具的连接结构示意图;
图4为光纤定位槽采用六角形的结构示意图;
图5为光纤定位槽采用正方形角形的结构示意图;
图6为光纤定位槽采用三角形的结构示意图;
图7为光纤定位槽采用长方形的结构示意图;
图8为光纤束和光纤固定器固定后的结构示意图;
图9为光纤固定器、光纤束辅助器和光纤连接器固定结构示意图;
图10为光纤束、光纤固定器和光纤定位治具的俯视结构示意图。
图中:光纤束1,裸纤段101,光纤固定器2,光纤孔201,光纤定位治具3,定位座301,第一弹性压片302,第二弹性压片303,光纤定位槽304,开口305,散热槽306,弧形部307,圆形压槽308,下压弹片309,出射端光纤连接器4,光纤保护管5,光纤束辅助器6,光纤连接器7。
具体实施方式
为了对本发明的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。
实施例1
如图1-图10所示,一种悬空式无胶高功率光纤束,它包括光纤束1、光纤固定器2和光纤定位治具3;
光纤束1的入射端设有去除涂覆层的裸纤段101;
光纤固定器2内部设有贯通的光纤孔201,光纤孔201的孔径由光纤束1中部到端部逐渐缩小,光纤束1固定在光纤孔201的最窄处;裸纤段101为光纤束1的入射端,光纤束1的出射端设有出射端光纤连接器4,光纤束1外设有光纤保护管5,光纤保护管5一端与光纤固定器2连接,另一端与出射端光纤连接器4连接;
光纤定位治具3包括金属材质的定位座301、第一弹性压片302和第二弹性压片303;
定位座301中部设有贯穿的光纤定位槽304,光纤定位槽304上部开口305,光纤定位槽304的横截面形状与光纤束1的横截面形状相同,光纤定位槽304的入射端设有围绕光纤束1的散热槽306;
光纤束1的光纤固定器2插入光纤定位槽304的出射端,并通过第一弹性压片302将光纤固定器2压紧固定在光纤定位槽304内;
光纤束1的裸纤段101放入光纤定位槽304中,光纤束1入射端的端部位于散热槽306内,并通过第二弹性压片303将光纤束1压紧固定在光纤定位槽304内。
第一弹性压片302中部设有弧形部307,第一弹性压片302通过弧形部307压在光纤固定器2上,第一弹性压片302的弧形部307两侧与定位座301螺接固定。
实施例2
定位座301靠近入射端的光纤定位槽304上设有至少一个圆形压槽308,圆形压槽308宽于光纤定位槽304的开口宽度,第二弹性压片303中部设有下压弹片309,下压弹片309端部伸入圆形压槽308内并将光纤定位槽304内的光纤束1裸纤段101压紧。其他结构与实施例1相同。
实施例3
如图4-图7所示,光纤定位槽304的横截面形状采用矩形、六边形、三角形。还可以采用其他需要的形状,光纤定位槽304的横截面形状和光纤束1的横截面形状相同,光纤束1的横截面形状形成激光光斑。其他结构与实施例1相同。
工作原理:悬空式无胶高功率光纤束1的入射端设有光纤固定器2和光纤定位治具3。
其中,光纤固定器2和光纤定位治具3不仅起到固定光纤束1的作用,还能够通过空气散热。
(1)光纤固定器2仅通过最窄处与光纤束1进行固定,光纤孔201其他空间均不与光纤束1接触,留有空气散热空间。
(2)因为光纤定位治具3内的光纤束1入射端需要对接准分子激光器(图中未画出),所以光纤束1的入射端需要承受较高的端面损伤以及光路耦合带来的能量辐射,现有的光纤束1的入射端采用环氧树脂胶水来固定,没有经过优化处理,很容易导致端面被紫外激光烧灼损坏。因此,在光纤定位治具3的光纤定位槽304上部开口305,拥有更好的散热效果。此外,在光纤定位槽304的入射端设有围绕光纤束1的散热槽306,使光纤束1处于悬空状态,通过空气直接接触散热,并且没有采用环氧树脂胶水固定,而是采用第一弹性压片302、第二弹性压片303与光纤定位槽304配合固定,没有环氧树脂,光纤束1入射端端面不会被紫外激光烧灼损坏。
一种悬空式无胶高功率光纤束的制造方法,它包括以下步骤:
(1)光纤束预处理:光纤束1采用光纤型号UV 105/125/140P NA0.22(该光纤束的加工工艺,同样适用于其他芯径的光纤,光纤芯径50-1000μm的同类型光纤均可以采用此工艺加工制作高功率光纤束),该款光纤为针对近紫外激光进行过优化的石英光纤,光纤纤芯直径105μm,包层125μm,涂覆层140μm,涂覆层为聚酰亚胺材料,预处理需要将头端9cm长度左右的光纤涂覆层全部去除。具体去除涂覆层的方法如下:根据聚酰亚胺材料的性质,将光纤待处理部分浸泡在强酸强碱溶液中(例如浓硫酸、氢氧化钠溶液),高温150-250℃条件下加热浸泡15-30分钟,反应结束后需要将光纤表面的强酸或强碱通过清洗去除,可以选择放置在乙醇溶液中,超声波震荡清洗,频率80-120KHz清洗10-15分钟重复3次,去除浓硫酸或氢氧化钠溶液的残留;
(2)光纤束1入射端固化:将光纤束1放置在光纤固定器2中,用环氧树脂胶固定(EPO-TEK353ND环氧树脂胶、EPO-TEK305环氧树脂胶等),固化温度90-120℃,固化时间10-25分钟,等待胶水固化完成后,室温条件下退火30分钟,等待退火完成后才能进行下一步操作,高温状态下光纤会发生脆化,未完全冷却的光纤容易在操作的过程中发生机械损伤。然将光纤束1放置在光纤束辅助器6内,光纤束辅助器6内入射端加装光纤连接器7(采用SMA905标准连接器、或带有通孔结构的金属圆管),光纤连接器7填充环氧树脂和石蜡的混合物,该种混合物填充剂的特点是溶于丙酮等有机溶剂,光纤连接器7完成填充后需要在室温条件静置20min,等待填充剂完全固化,光纤束1即完成了固定工作;
(3)光纤束1入射端研磨抛光:光纤束1完成固定等准备工作后,就可以将光纤束1放置在光纤研磨机上进行研磨抛光处理,研磨工序包括:
a.去胶:研磨时,转速为80-100r/min,时间60s,压力2-4N,研磨垫邵氏A硬度90°,研磨片(利用精密涂布技术,将微米级金刚石颗粒与高性能粘合剂均匀分散后,涂敷于高强度PET聚酯薄膜(POLYESTER)表面的一种研磨耗材)的材料采用15μm的金刚石,对光纤束1端面进行去胶研磨;
b.粗磨:研磨时,转速为80-100r/min,时间60s,压力4-6N,研磨垫邵氏A硬度90°,研磨片的材料采用9μm的金刚石,对光纤束1端面进行粗磨;
c.细磨:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力5-10N,研磨垫邵氏A硬度85°,研磨片的材料采用3μm的金刚石,对光纤束端面进行细磨;
d.1μm精磨:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力5-10N,研磨垫邵氏A硬度80°,研磨片的材料采用1μm的金刚石,对光纤束1端面进行1μm精磨;
e.ADS抛光:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力10-20N,研磨垫邵氏A硬度75°,研磨片的材料采用0.02μm二氧化硅,对光纤束1端面进行ADS抛光;
Figure BDA0003458538300000081
(4)光纤束1入射端去除填充剂、光纤束辅助器6和光纤连接器7:研磨结束后,整根光纤束1头端浸泡在有机溶剂内(例如丙酮、乙醚、乙醇、甲醇等有机溶剂内),然后通过超声波震荡清洗,清洗去除头端内部的填充剂,以及研磨过程中的残留的金刚石和二氧化硅颗粒。接着将光纤束1放置在乙醇溶液中超声波震荡清洗,频率80-120KHz清洗10分钟重复3次,清洗去除光纤束1表面的丙酮以及环氧树脂等有机物残留。待完全清洗结束,移除光纤束辅助器6以及光纤连接器7;
(5)光纤束1入射端固定光纤定位治具3:然后将光纤束1转置到光纤定位治具3,转置完成后用两个弹性压片固定,再次清洗,将光纤束1放置在酒精溶液内超声波震荡清洗,频率80-120KHz清洗10分钟重复3次,去除在转置光纤束1过程中光纤束1端面可能沾染的污染物。然后在200倍显微镜下检测光纤束1端面,无缺陷,悬空式无胶高功率光纤束1便完成了。
采用溶于有机溶剂的填充剂固化后,能够更方便地进行打磨抛光。打磨抛光后,能够通过有机溶剂方便地将溶于有机溶剂的填充剂溶解去除,便于清洁。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本领域的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种悬空式无胶高功率光纤束,其特征在于,它包括光纤束、光纤固定器和光纤定位治具;
所述光纤束的入射端设有去除涂覆层的裸纤段;
所述光纤固定器内部设有贯通的光纤孔,光纤孔的孔径由光纤束中部到端部逐渐缩小,光纤束固定在光纤孔的最窄处;
所述光纤定位治具包括金属材质的定位座、第一弹性压片和第二弹性压片;
定位座中部设有贯穿的光纤定位槽,光纤定位槽上部开口,光纤定位槽的横截面形状与光纤束的横截面形状相同,光纤定位槽的入射端设有围绕光纤束的散热槽;
光纤束的光纤固定器插入光纤定位槽的出射端,并通过第一弹性压片将光纤固定器压紧固定在光纤定位槽内;
光纤束的裸纤段放入光纤定位槽中,光纤束入射端的端部位于散热槽内,并通过第二弹性压片将光纤束压紧固定在光纤定位槽内。
2.根据权利要求1所述一种悬空式无胶高功率光纤束,其特征在于,所述第一弹性压片中部设有弧形部,第一弹性压片通过弧形部压在光纤固定器上,第一弹性压片的弧形部两侧与定位座螺接固定。
3.根据权利要求1所述一种悬空式无胶高功率光纤束,其特征在于,所述定位座靠近入射端的光纤定位槽上设有至少一个圆形压槽,圆形压槽宽于光纤定位槽的开口宽度,第二弹性压片中部设有下压弹片,下压弹片端部伸入圆形压槽内并将光纤定位槽内的光纤束裸纤段压紧。
4.根据权利要求1所述一种悬空式无胶高功率光纤束,其特征在于,所述光纤定位槽的横截面形状采用矩形、六边形、三角形。
5.根据权利要求1所述的一种悬空式无胶高功率光纤束的制造方法,其特征在于,它包括以下步骤:
(1)光纤束预处理:将光纤束的入射端浸泡在强酸或强碱溶液中去除涂覆层,形成裸纤段,反应结束后,清洗去除光纤束表面的强酸或强碱,以及反应残留物;
(2)光纤束入射端固化:将光纤束放置在光纤固定器中,用环氧树脂胶固定,固化温度90-120℃,固化时间10-25分钟,等待胶水固化完成后,室温条件下退火30分钟,等待退火完成后,将光纤放置在筒状的光纤束辅助器内,光纤束辅助器的入射端加装光纤连接器,光纤束辅助器的出射端加装光纤固定器,向光纤连接器内填充有溶于有机溶剂的填充剂,光纤连接器完成填充后需要在室温条件静置20min,等待填充剂完全固化,光纤束完成了固定工作;
(3)光纤束入射端研磨抛光:对光纤连接器内的光纤束入射端进行研磨抛光,依次通过a.去胶研磨、b.粗磨、c.细磨、d.1μm精磨、e.ADS抛光。
(4)光纤束入射端去除填充剂、光纤束辅助器和光纤连接器:研磨抛光结束后,将整根光纤束入射端浸泡在有机溶剂内,然后通过超声波震荡清洗,清洗去除入射端内部的填充剂,以及研磨过程中残留的金刚石和二氧化硅颗粒,待完全清洗结束,移除辅助装置以及光纤连接器;
(5)光纤束入射端固定光纤定位治具:将清洗后的光纤束转置到光纤定位治具中,再次清洗,去除在转置光纤束过程中光纤束端面可能沾染的污染物,然后在200倍显微镜下检测光纤束端面无缺陷,即完成本悬空式无胶高功率光纤束。
6.根据权利要求5所述的一种悬空式无胶高功率光纤束的制造方法,其特征在于,所述填充剂采用环氧树脂和石蜡的混合物。
7.根据权利要求5所述的一种悬空式无胶高功率光纤束的制造方法,其特征在于,所述有机溶剂采用丙酮溶剂。
8.根据权利要求5所述的一种悬空式无胶高功率光纤束的制造方法,其特征在于,所述光纤束入射端研磨抛光包括以下步骤:
a.去胶:研磨时,转速为80-100r/min,时间60s,压力2-4N,研磨垫邵氏A硬度90°,研磨片的材料采用15μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行去胶研磨;
b.粗磨:研磨时,转速为80-100r/min,时间60s,压力4-6N,研磨垫邵氏A硬度90°,研磨片的材料采用9μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行粗磨;
c.细磨:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力5-10N,研磨垫邵氏A硬度85°,研磨片的材料采用3μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行细磨;
d.1μm精磨:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力5-10N,研磨垫邵氏A硬度80°,研磨片的材料采用1μm的金刚石,对光纤束入射端的端面进行1μm精磨;
e.ADS抛光:研磨时,转速为100-130r/min,时间80s,压力10-20N,研磨垫邵氏A硬度75°,研磨片的材料采用0.02μm二氧化硅,对光纤束入射端的端面进行ADS抛光。
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