CN114279977A - 液晶光学片的检测方法及存储介质 - Google Patents
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 8
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Abstract
本发明涉及光学检测技术领域，公开一种液晶光学片的检测方法及存储介质，以快速地检测液晶光学片在不同电压、不同波长所对应的相位延迟量。方法包括：在被测的液晶光学片旋转定位到光强最大值后，控制主机通过光谱仪获取第一光谱数据，第一光谱数据记录光谱仪对应光强最大值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据；在被测的液晶光学片旋转定位到光强最小值后，控制主机通过光谱仪获取第二光谱数据，第二光谱数据记录光谱仪对应光强最小值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据；控制主机根据第一线性偏振片与第二线性偏振片之间的夹角并结合第一光谱数据和第二光谱数据得到液晶光学片对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量。
Description
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种液晶光学片的检测方法及存储介质。
背景技术
部分液晶光学片，例如液晶波片，是一种新型的可控相位延迟器。通过控制加在液晶两边的电压，可以改变液晶的双折射系数，从而改变通过液晶波片光的相位差。其中，未加电压情况下，液晶分子的取向由取向膜决定。
在液晶光学片的研制和生产过程中，需要对液晶光学片样品的相位延迟量进行检测，而如何快速地检测液晶光学片在不同电压、不同波长所对应的相位延迟量则成为研究的热点。
发明内容
本发明目的在于公开一种液晶光学片的检测方法及存储介质，以快速地检测液晶光学片在不同电压、不同波长所对应的相位延迟量。
为达上述目的，本发明公开一种液晶光学片的检测方法，包括以下步骤：
步骤S0、部署检测系统，所述检测系统包括：
广谱光源、第一线性偏振片、第二线性偏振片、处于所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间用于固定被测的不具分光能力的液晶光学片的支架、与控制主机连接的光谱仪；所述光谱仪用于对所述第二线性偏振片出射的光束进行分光、感光测量各波长光的强度后得到相对应的光谱图；且所述液晶光学片的两边连接有电压发生器，所述电压发生器与所述控制主机连接；
步骤S1、用户通过所述控制主机的控制界面设置测试过程中所述电压发生器的电压幅值自动切换的参数；
步骤S2、在被测的所述液晶光学片旋转定位到光强最大值后，所述控制主机通过所述光谱仪获取第一光谱数据，所述第一光谱数据记录所述光谱仪对应光强最大值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据；
步骤S3、在被测的所述液晶光学片旋转定位到光强最小值后，所述控制主机通过所述光谱仪获取第二光谱数据，所述第二光谱数据记录所述光谱仪对应光强最小值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据；
步骤S4、所述控制主机根据所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间的夹角并结合所述第一光谱数据和所述第二光谱数据得到所述液晶光学片对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量。
优选地，本实施例方法还包括：
将所述液晶光学片划分成至少两个光斑区域；
所述支架采用能对所述液晶光学片在光路垂直平面内的二维坐标进行位移的位移台；所述位移台的位移驱动器与所述控制主机建立数据通道以根据所述控制主机设置的参数进行相应的位移；并分别测量所述液晶光学片在同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量；
所述控制主机对所述液晶光学片在同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量进行排列后，根据排列序列中的最大值和最小值得出所述液晶光学片的相位均匀度特征。
优选地，本实施例在所述相位均匀度的测量过程中，通过所述位移台的移动，使得所述液晶光学片旋转前后的光强最大值与光强最小值所分别对应的光斑区域一致。
作为一种延伸，本发明所述液晶光学片可被替换为能旋转相对角度的至少两个所述液晶光学片组成的液晶光学组件。相对应地，本发明还包括：调整所述液晶光学组件中两个液晶光学片之间的相对角度，通过对比得到调整前后所述液晶光学组件对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量的变化和/或同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量之间的变化。
为达上述目的，本发明还公开一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现上述方法中所述控制主机所对应的步骤。
本发明具有以下有益效果：
操作便捷，在光强最大值的测试环境下，可自动测量不同电压所对应的光谱数据，同理，在旋转到光强最小值的测试环境下，也能自动测量不同电压所对应的光谱数据；然后根据所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间的夹角并结合从所述光谱仪所调取的所述液晶光学片分别定位到光强最大值和光强最小值所对应的对比光谱数据得到所述液晶光学片对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量。而且，当所述第一线性偏振片与第二线性偏振片的方向一致时，还可以进一步简化相位延迟量的计算过程。
下面将参照附图，对本发明作进一步详细的说明。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1是本发明实施例公开的液晶光学片的相位延迟量的检测方法流程图。
图2是本发明实施例公开的液晶光学片检测系统的结构框图。
图3是本发明实施例公开的相位延迟均匀度的检测方法流程图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
实施例1
本实施例公开一种液晶光学片的检测方法，如图1所示，包括以下步骤：
步骤S0、部署检测系统。
在该步骤中，所部署的检测系统，如图2所示，包括以下几部分：
广谱光源1、第一线性偏振片2、第二线性偏振片4、处于所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间用于固定被测的不具分光能力的液晶光学片3的支架、与控制主机6连接的光谱仪5；所述光谱仪用于对所述第二线性偏振片出射的光束进行分光、感光测量各波长光的强度后得到相对应的光谱图；且所述液晶光学片的两边连接有电压发生器7，所述电压发生器与所述控制主机连接。
步骤S1、用户通过所述控制主机的控制界面设置测试过程中所述电压发生器的电压幅值自动切换的参数。
步骤S2、在被测的所述液晶光学片旋转定位到光强最大值后，所述控制主机通过所述光谱仪获取第一光谱数据，所述第一光谱数据记录所述光谱仪对应光强最大值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据。
步骤S3、在被测的所述液晶光学片旋转定位到光强最小值后，所述控制主机通过所述光谱仪获取第二光谱数据，所述第二光谱数据记录所述光谱仪对应光强最大值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据。
步骤S4、所述控制主机根据所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间的夹角并结合所述第一光谱数据和所述第二光谱数据得到所述液晶光学片对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量。
在该步骤中，测量原理与现有的旋转波片法测液晶波片的原理一致，不做赘述。优选地，所述第一线性偏振片与第二线性偏振片的方向一致。在任一电压下，其对应的延迟量的计算公式为：
其中，
为相位延迟角，Imax为光强最大值测试环境下所得到的光强值，Imin为光强最小值测试环境下所得到的光强值，且配对的Imax与Imin为同一波长对应同一电压下的对比数据。
实施例2
本实施例在上述实施例1的软硬件基础上，将上述支架具体选用能对所述液晶光学片在光路垂直平面内的二维坐标进行位移的位移台；所述位移台的位移驱动器与所述控制主机建立数据通道以根据所述控制主机设置的参数进行相应的位移，以测量液晶光学片的均匀度。
如图3所示，具体包括以下步骤：
步骤S10、将所述液晶光学片划分成至少两个光斑区域。
该步骤可以根据光斑大小合理设置不同光斑区域之间的位移步长。
步骤S20、分别测量所述液晶光学片在同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量。
在该步骤中，基于位移台所建立坐标系的精准定位功能，通过所述位移台的移动，使得所述液晶光学片旋转前后的光强最大值与光强最小值所分别对应的光斑区域一致。
步骤S30、所述控制主机对所述液晶光学片在同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量进行排列后，根据排列序列中的最大值和最小值得出所述液晶光学片的相位均匀度特征。
在该步骤中，可选地，相位均匀度的具体计算公式可以定义为相位延迟量的最大值减去相位延迟量的最小值后除以该相位延迟量的最大值所得到的比值。
作为一种替换：在本案申请人的实验过程中，观测到不均匀度通常对光强最大值情况的光强大小影响有限，因此可将各区域的Imax值视为相等；因此，在本实施例的实际检测过程中，也可只在光强最小值情况下通过位移台切换光斑的区域；藉此，可简化系统的设计。进一步地，通常旋转只是为了找到一个特定的角度，因此可以先以大光斑来测Imax值，在确定光强最小值所对应的旋转角度之后，在分别测各区域在光强最小值情况下所对应的光强值可以切换成小光斑以提升所分区域的数量，进而确保了均匀度的精度。
进一步地，在广谱光源部分，可以设置光阑来控制光斑的大小。具体光斑的大小调节可以采用人工手动的方式，也可以采用自动的方式；当采用自动方式时，可以通过控制主机与光阑调节驱动结构进行逻辑关联予以实现。
实施例3
本实施例视为在上述实施例1和实施例2的基础上的一种延伸或等同替换。具体为将上述实施例中的液晶光学片替换为能旋转相对角度的至少两个所述液晶光学片组成的液晶光学组件。藉此，若调整所述液晶光学组件中两个液晶光学片之间的相对角度，则可通过对比得到调整前后所述液晶光学组件对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量的变化和/或同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量之间的变化。具体操作方法及原理与上述实施例1和实施例2类似，不做赘述。
实施例4
本实施例公开一种存储介质，其上存储有计算机程序，其中，所述程序被处理器执行时实现上述实施例1至实施例3中所述控制主机所对应的步骤。
综上，本发明上述实施例所分别公开的液晶光学片的检测方法及存储介质，至少具有以下有益效果：
操作便捷，在光强最大值的测试环境下，可自动测量不同电压所对应的光谱数据，同理，在旋转到光强最小值的测试环境下，也能自动测量不同电压所对应的光谱数据；然后根据所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间的夹角并结合从所述光谱仪所调取的所述液晶光学片分别定位到光强最大值和光强最小值所对应的对比光谱数据得到所述液晶光学片对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量。而且，当所述第一线性偏振片与第二线性偏振片的方向一致时，还可以进一步简化相位延迟量的计算过程。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种液晶光学片的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S0、部署检测系统，所述检测系统包括：
广谱光源、第一线性偏振片、第二线性偏振片、处于所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间用于固定被测的不具分光能力的液晶光学片的支架、与控制主机连接的光谱仪；所述光谱仪用于对所述第二线性偏振片出射的光束进行分光、感光测量各波长光的强度后得到相对应的光谱图；且所述液晶光学片的两边连接有电压发生器，所述电压发生器与所述控制主机连接；
步骤S1、用户通过所述控制主机的控制界面设置测试过程中所述电压发生器的电压幅值自动切换的参数；
步骤S2、在被测的所述液晶光学片旋转定位到光强最大值后，所述控制主机通过所述光谱仪获取第一光谱数据，所述第一光谱数据记录所述光谱仪对应光强最大值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据；
步骤S3、在被测的所述液晶光学片旋转定位到光强最小值后，所述控制主机通过所述光谱仪获取第二光谱数据，所述第二光谱数据记录所述光谱仪对应光强最小值所得出的各波长在各电压所对应的光强数据；
步骤S4、所述控制主机根据所述第一线性偏振片与所述第二线性偏振片之间的夹角并结合所述第一光谱数据和所述第二光谱数据得到所述液晶光学片对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
将所述液晶光学片划分成至少两个光斑区域；
所述支架采用能对所述液晶光学片在光路垂直平面内的二维坐标进行位移的位移台；所述位移台的位移驱动器与所述控制主机建立数据通道以根据所述控制主机设置的参数进行相应的位移；并分别测量所述液晶光学片在同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量；
所述控制主机对所述液晶光学片在同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量进行排列后，根据排列序列中的最大值和最小值得出所述液晶光学片的相位均匀度特征。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：
在所述相位均匀度的测量过程中，通过所述位移台的移动，使得所述液晶光学片旋转前后的光强最大值与光强最小值所分别对应的光斑区域一致。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述液晶光学片被替换为能旋转相对角度的至少两个所述液晶光学片组成的液晶光学组件。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括：
调整所述液晶光学组件中两个液晶光学片之间的相对角度，通过对比得到调整前后所述液晶光学组件对各波长和各电压所一一对应的相位延迟量的变化和/或同一电压下对应至少两个不同区域的相位延迟量之间的变化。
6.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现上述权利要求1至5任一所述方法中所述控制主机所对应的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111621822.8A CN114279977A (zh) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 液晶光学片的检测方法及存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN202111621822.8A CN114279977A (zh) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 液晶光学片的检测方法及存储介质 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114279977A true CN114279977A (zh) | 2022-04-05 |
Family
ID=80876778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111621822.8A Pending CN114279977A (zh) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 液晶光学片的检测方法及存储介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114279977A (zh) |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5504581A (en) * | 1992-02-29 | 1996-04-02 | Kanzaki Paper Manufacturing Company, Ltd. | Method and apparatus for measuring birefringence |
| JPH08178800A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Hitachi Ltd | むら検査装置 |
| CN101464576A (zh) * | 2009-01-14 | 2009-06-24 | 北京航空航天大学 | 液晶相位可变延迟器特性参数定标系统 |
| JP2013128617A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Kowa Co Ltd | 吸込口本体及び電気掃除機 |
| CN103196658A (zh) * | 2013-04-19 | 2013-07-10 | 山东大学 | 波片相位延迟光谱特性的测量方法及装置 |
| CN103411756A (zh) * | 2013-08-28 | 2013-11-27 | 山东交通学院 | 一种精确测量波片相位延迟量的方法 |
| CN104849879A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-08-19 | 中北大学 | 一种液晶可变延迟器的延迟量定标方法及装置 |
| CN105403382A (zh) * | 2015-10-27 | 2016-03-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法 |
| CN105628343A (zh) * | 2016-01-17 | 2016-06-01 | 武汉光电工业技术研究院有限公司 | 一种波片检测装置及方法 |
| CN108534993A (zh) * | 2018-03-21 | 2018-09-14 | 华中科技大学 | 一种液晶可变相位延迟器偏振特性检测方法及系统 |
| CN110631806A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-31 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种快速测量宽波段波片相位延迟量的装置和方法 |
| CN112525493A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-03-19 | 华中科技大学 | 一种铁电液晶延迟器光学特性检测方法及装置 |
| CN113654996A (zh) * | 2021-07-20 | 2021-11-16 | 上海精测半导体技术有限公司 | 一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法 |
-
2021
- 2021-12-28 CN CN202111621822.8A patent/CN114279977A/zh active Pending
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5504581A (en) * | 1992-02-29 | 1996-04-02 | Kanzaki Paper Manufacturing Company, Ltd. | Method and apparatus for measuring birefringence |
| JPH08178800A (ja) * | 1994-12-27 | 1996-07-12 | Hitachi Ltd | むら検査装置 |
| CN101464576A (zh) * | 2009-01-14 | 2009-06-24 | 北京航空航天大学 | 液晶相位可变延迟器特性参数定标系统 |
| JP2013128617A (ja) * | 2011-12-21 | 2013-07-04 | Kowa Co Ltd | 吸込口本体及び電気掃除機 |
| CN103196658A (zh) * | 2013-04-19 | 2013-07-10 | 山东大学 | 波片相位延迟光谱特性的测量方法及装置 |
| CN103411756A (zh) * | 2013-08-28 | 2013-11-27 | 山东交通学院 | 一种精确测量波片相位延迟量的方法 |
| CN104849879A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-08-19 | 中北大学 | 一种液晶可变延迟器的延迟量定标方法及装置 |
| CN105403382A (zh) * | 2015-10-27 | 2016-03-16 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法 |
| CN105628343A (zh) * | 2016-01-17 | 2016-06-01 | 武汉光电工业技术研究院有限公司 | 一种波片检测装置及方法 |
| CN108534993A (zh) * | 2018-03-21 | 2018-09-14 | 华中科技大学 | 一种液晶可变相位延迟器偏振特性检测方法及系统 |
| CN110631806A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-31 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种快速测量宽波段波片相位延迟量的装置和方法 |
| CN112525493A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-03-19 | 华中科技大学 | 一种铁电液晶延迟器光学特性检测方法及装置 |
| CN113654996A (zh) * | 2021-07-20 | 2021-11-16 | 上海精测半导体技术有限公司 | 一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法 |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| 孙英姿: "红外波片相位延迟的测试方法及精度分析", 《光学学报》 * |
| 孙英姿;王东光;张志勇;邓元勇;张洪起;玄伟佳;: "波片相位延迟的光强测量法研究", 天文研究与技术, no. 01 * |
| 张志勇;邓元勇;王东光;孙英姿;玄伟佳;: "几种波片位相延迟测量方法的比较", 光学精密工程, no. 11 * |
| 薛鹏;王志斌;张瑞;李克武;: "液晶可变相位延迟器相位延迟的精确定标", 光电子・激光, no. 08 * |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20220405 |