CN114277236A - 一种有色金属生产用退火炉 - Google Patents

Abstract

本发明涉及工业技术领域，尤其是一种有色金属生产用退火炉，包括支撑架，其特征在于：所述支撑架的顶部设置有退火炉，所述退火炉顶部的一侧可拆卸连接有排烟管，所述排烟管的内部设置有防倒吹机构与清洁机构，所述排烟管分为上管与下管，所述上管与下管为可拆卸连接，有益效果在于：气泵启动然后气泵产生的气体通过进气管进入膨胀气囊的内部，膨胀气囊的底部设置有排气口且排气口上设置有电磁阀，有利于将膨胀气囊内的气体排出，之后膨胀气囊将圆锥筒与排烟管的缝隙填满，有利于防止外界的风从圆锥筒与排烟管的缝隙进入退火炉。

Description

一种有色金属生产用退火炉

技术领域

本发明涉及工业技术领域，尤其涉及一种有色金属生产用退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工具，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉通电前先检查电炉的电气性能，并注意加热元件是否有断路或漏电现象，之后接通电源，点动电柜上的按钮，检查炉门、台车、电动推杆是否正常，密封是否严密，待一切就绪后，开启主令开关，工作指示灯亮(绿灯)在加热过程中，各区炉温上升速度会有所不同，但到达设定温度后会逐渐趋于平衡，记录仪会根据升温趋势画出相应曲线，在保温结束后，可根据工艺是打开炉门降温还是随炉冷却，整个工艺结束后，断开主令开关，关闭空气开关。

退火炉上都设置有排烟管，用于将退火炉内部的烟雾排出，但是当外界的风速或者风量较高时，外界的风会通过排烟管倒吹进退火炉的内部，严重危害退火炉的安全工作；并且排烟管由于长期的使用内壁会沾附大量的灰尘与杂质，现有排烟管的内部结构无法自动对沾附的灰尘与杂质清理。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种有色金属生产用退火炉。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

设计一种有色金属生产用退火炉，包括支撑架，其特征在于：所述支撑架的顶部设置有退火炉，所述退火炉顶部的一侧可拆卸连接有排烟管，所述排烟管的内部设置有防倒吹机构与清洁机构，所述排烟管分为上管与下管，所述上管与下管为可拆卸连接。

优选的，所述防倒吹机构包括下管内部中间位置设置的圆锥筒，所述圆锥筒的一端设置有进烟口另一端设置有排烟口，所述进烟口的直径为排烟口直径的三倍，所述圆锥筒的数目为三组，三组所述圆锥筒分布于一条直线，所述下管的内部位于圆锥筒的一侧设置有膨胀气囊，所述，所述膨胀气囊的一端连接有进气管，所述排烟管的外部固定安装有气泵，所述进气管的另一端与气泵连接，所述下管的内部安装有正反电机，所述正反电机的输出端连接有转轴，所述转轴的一端连接有扇叶，所述扇叶位于排烟管内腔的顶部。

优选的，所述支撑架的一侧安装有控制面板，所述控制面板上设置有启动、停止按键与电源开关转钮。

优选的，所述圆锥筒、膨胀气囊与下管为可拆卸连接，所述下管的内部可拆卸连接有支撑板，所述支撑板宽度为排烟管宽度的三分之一，所述正反电机固定于支撑板一端。

优选的，所述清洁机构包括上管底部的凹槽，所述凹槽的内部安装有电磁滑轨，所述电磁滑轨的外部设置有电磁滑块，所述电磁滑块的顶部与凹槽的顶部平齐，所述电磁滑块的顶部固定连接有清洁箱，所述清洁箱一侧的底部固定连接有凸起板，所述凸起板的顶部连接有遮挡罩，所述遮挡罩与凸起板组成储存仓，所述储存仓的高度高于清洁箱，所述遮挡罩的顶部设置有进料口，所述遮挡罩内部的后端安装有四组电动推杆，所述储存仓的内部通过进料口放置有多组刮板，所述清洁箱的一侧设置有多组形变卡块，所述清洁箱通过隔板设置有收集仓，所述清洁箱内部位于收集仓的一侧设置有两组气缸，两组所述气缸的顶部转动连接有磁铁块，所述清洁箱的顶部设置有伸出口，所述清洁箱位于收集仓的顶部设置有下料口，所述伸出口与下料口的中间位置设置有隔栏。

优选的，所述刮板为铁质材质，所述刮板的两侧边设置有刷毛，所述刮板的硬度小于排烟管的硬度。

优选的，所述退火炉的一端设置有炉口，所述炉口与退火炉活动连接。

本发明提出的一种有色金属生产用退火炉，有益效果在于：

1、通过设置的防倒吹机构，退火炉产生的烟雾会进入排烟管的内部，之后通过圆锥筒，在通过圆锥筒的时候首先从进烟口进入再从排烟口排出，有利于快速将从退火炉中进入排烟管内的烟雾排出，当外界的风吹进排烟管的时候，具体工作步骤如下:气泵启动然后气泵产生的气体通过进气管进入膨胀气囊的内部，膨胀气囊的底部设置有排气口且排气口上设置有电磁阀，有利于将膨胀气囊内的气体排出，之后膨胀气囊将圆锥筒与排烟管的缝隙填满，有利于防止外界的风从圆锥筒与排烟管的缝隙进入退火炉，之后正反电机带动扇叶反转，当扇叶反转的时候风是往上吹，所以就能够避免很大一部分的风进入排烟管，当剩余小部分的风进入排烟管之后会首先通过排烟口，但是由于排烟口的直径仅为进烟口的三分之一，所以只能够使少量的风通过，并且圆锥筒的数目为三组，能够将进入排烟管的风层层格挡，最后基本能够防止从外界进入排烟管内的风进入退火炉实现防倒吹风的目的；

2、通过设置的清洁机构，当退火炉不工作的时候将排烟管从退火炉上拆卸，然后将组成排烟管的上管与下管拆卸，下管内所有的零件与下管均为拆卸连接，之后将下管内的所有零部件拆卸，储存仓的内部提前防止有多组刮板，放置方法为从进料口放入，下管内的所有零部拆卸之后将下管与上管复位连接，之后电磁滑块带动清洁箱在电磁滑轨上滑动，于此同时电动推杆将储存仓内靠前的一组刮板从凸起板的顶部推到清洁箱的内部，在进入清洁箱的时候刮板会通过形变卡块，此举有利于防止凸起板上其它的刮板进入清洁箱，当靠前的一组刮板进入清洁箱之后，其它的刮板会到靠前的一组刮板的位置，进入清洁箱的那一组刮板会被气缸顶部的磁铁块吸附，然后气缸将刮板通过伸出口，刮板的顶部会与下管内壁的顶部接触，然后刮板两侧的刷毛会与下管内壁的两侧接触，之后当电磁滑块带动清洁箱移动的时候刮板能够将下管内壁沾附的灰尘与杂质清除，遮挡罩与清洁箱移动的时候能够将上管内壁沾附的灰尘与杂质清除，之后将上管与下管拆卸然后使磁铁块转动，磁铁块转动的时候刮板随之转动，然后再将上管与下管连接，之后气缸带动使用之后的刮板下降，在下降的时候隔栏能够将磁铁块与刮板分开，分开的刮板会从下料口进入收集仓的内部，有利于对使用之后的刮板回收，当下次清洁的时候电动推杆会推动新的刮板进入收集箱的内部操作方法同上，有利于实现自动化循环清洁。

附图说明

图1为本发明提出的外观结构示意图；

图2为本发明提出的排烟管结构示意图；

图3为本发明提出的下管结构示意图；

图4为本发明提出的圆锥筒结构示意图；

图5为本发明提出的下管结构示意图；

图6为本发明提出的清洁箱外观结构示意图；

图7为本发明提出的清洁箱与遮挡罩组成结构示意图；

图8为本发明提出的清洁箱内部结构示意图；

图9为本发明提出的气缸结构示意图。

图中：1、支撑架；2、排烟管；3、上管；4、下管；5、圆锥筒；6、进烟口；7、排烟口；8、膨胀气囊；9、进气管；10、气泵；11、正反电机；12、扇叶；13、电磁滑轨；14、电磁滑块；15、清洁箱；16、凸起板；17、遮挡罩；18、储存仓；19、进料口；20、电动推杆；21、刮板；22、形变卡块；23、收集仓；24、气缸；25、磁铁块；26、伸出口；27、下料口；28、隔栏。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义，下面根据本发明的整体结构，对其实施例进行说明。

参照图1-9，一种有色金属生产用退火炉，包括支撑架1，其特征在于：支撑架1的顶部设置有退火炉，退火炉顶部的一侧可拆卸连接有排烟管2，排烟管2的内部设置有防倒吹机构与清洁机构，排烟管2分为上管3与下管4，上管3与下管4为可拆卸连接；通过设置的支撑架1便于为退火炉提供支撑力，通过设置的排烟管2有利于将退火炉中的烟雾排出。

其中，防倒吹机构包括下管4内部中间位置设置的圆锥筒5，圆锥筒5的一端设置有进烟口6另一端设置有排烟口7，进烟口6的直径为排烟口7直径的三倍，圆锥筒5的数目为三组，三组圆锥筒5分布于一条直线，下管4的内部位于圆锥筒5的一侧设置有膨胀气囊8，，膨胀气囊8的一端连接有进气管9，排烟管2的外部固定安装有气泵10，进气管9的另一端与气泵10连接，下管4的内部安装有正反电机11，正反电机11的输出端连接有转轴，转轴的一端连接有扇叶12，扇叶12位于排烟管2内腔的顶部；

通过设置的防倒吹机构，退火炉产生的烟雾会进入排烟管2的内部，之后通过圆锥筒5，在通过圆锥筒5的时候首先从进烟口6进入再从排烟口7排出，有利于快速将从退火炉中进入排烟管2内的烟雾排出，当外界的风吹进排烟管2的时候，具体工作步骤如下:气泵10启动然后气泵10产生的气体通过进气管9进入膨胀气囊8的内部，膨胀气囊8的底部设置有排气口且排气口上设置有电磁阀，有利于将膨胀气囊8内的气体排出，之后膨胀气囊8将圆锥筒5与排烟管2的缝隙填满，有利于防止外界的风从圆锥筒5与排烟管2的缝隙进入退火炉，之后正反电机11带动扇叶12反转，当扇叶12反转的时候风是往上吹，所以就能够避免很大一部分的风进入排烟管，当剩余小部分的风进入排烟管2之后会首先通过排烟口7，但是由于排烟口7的直径仅为进烟口6的三分之一，所以只能够使少量的风通过，并且圆锥筒5的数目为三组，能够将进入排烟管2的风层层格挡，最后基本能够防止从外界进入排烟管2内的风进入退火炉实现防倒吹风的目的。

其中，支撑架1的一侧安装有控制面板，控制面板上设置有启动、停止按键与电源开关转钮；通过设置的控制面板便于控制和操作退火炉。

其中，圆锥筒5、膨胀气囊8与下管4为可拆卸连接，下管4的内部可拆卸连接有支撑板，支撑板宽度为排烟管2宽度的三分之一，正反电机11固定于支撑板一端；通过将其设置为下管4拆卸连接，便于在清洁机构使用的时候将零件从下管4内拆卸。

其中，清洁机构包括上管3底部的凹槽，凹槽的内部安装有电磁滑轨13，电磁滑轨13的外部设置有电磁滑块14，电磁滑块14的顶部与凹槽的顶部平齐，电磁滑块14的顶部固定连接有清洁箱15，清洁箱15一侧的底部固定连接有凸起板16，凸起板16的顶部连接有遮挡罩17，遮挡罩17与凸起板16组成储存仓18，储存仓18的高度高于清洁箱15，遮挡罩17的顶部设置有进料口19，遮挡罩17内部的后端安装有四组电动推杆20，储存仓18的内部通过进料口19放置有多组刮板21，清洁箱15的一侧设置有多组形变卡块22，清洁箱15通过隔板设置有收集仓23，清洁箱15内部位于收集仓23的一侧设置有两组气缸24，两组气缸24的顶部转动连接有磁铁块25，清洁箱15的顶部设置有伸出口26，清洁箱15位于收集仓23的顶部设置有下料口27，伸出口26与下料口27的中间位置设置有隔栏28；

通过设置的清洁机构，当退火炉不工作的时候将排烟管2从退火炉上拆卸，然后将组成排烟管2的上管3与下管4拆卸，下管4内所有的零件与下管4均为拆卸连接，之后将下管4内的所有零部件拆卸，储存仓18的内部提前防止有多组刮板21，放置方法为从进料口19放入，下管4内的所有零部拆卸之后将下管4与上管3复位连接，之后电磁滑块14带动清洁箱15在电磁滑轨13上滑动，于此同时电动推杆20将储存仓18内靠前的一组刮板21从凸起板16的顶部推到清洁箱15的内部，在进入清洁箱15的时候刮板21会通过形变卡块22，此举有利于防止凸起板16上其它的刮板21进入清洁箱，当靠前的一组刮板21进入清洁箱15之后，其它的刮板21会到靠前的一组刮板21的位置，进入清洁箱15的那一组刮板21会被气缸24顶部的磁铁块25吸附，然后气缸24将刮板21通过伸出口26，刮板21的顶部会与下管4内壁的顶部接触，然后刮板21两侧的刷毛会与下管4内壁的两侧接触，之后当电磁滑块14带动清洁箱15移动的时候刮板21能够将下管4内壁沾附的灰尘与杂质清除，遮挡罩17与清洁箱15移动的时候能够将上管3内壁沾附的灰尘与杂质清除，之后将上管3与下管4拆卸然后使磁铁块25转动，磁铁块25转动的时候刮板21随之转动，然后再将上管3与下管4连接，之后气缸24带动使用之后的刮板21下降，在下降的时候隔栏28能够将磁铁块25与刮板21分开，分开的刮板21会从下料口27进入收集仓23的内部，有利于对使用之后的刮板21回收，当下次清洁的时候电动推杆20会推动新的刮板21进入收集箱15的内部操作方法同上，有利于实现自动化循环清洁。

其中，刮板21为铁质材质，刮板21的两侧边设置有刷毛，刮板21的硬度小于排烟管2的硬度；通过将刮板21设置为铁质材质便于与磁铁块25连接，通过在刮板21的两侧边设置刷毛便于对下管4的内壁两侧清洁。

其中，退火炉的一端设置有炉口，炉口与退火炉活动连接；通过设置的炉口便于将金属放入退火炉的内部。

工作原理：退火炉产生的烟雾会进入排烟管2的内部，之后通过圆锥筒5，在通过圆锥筒5的时候首先从进烟口6进入再从排烟口7排出，有利于快速将从退火炉中进入排烟管2内的烟雾排出，当外界的风吹进排烟管2的时候，具体工作步骤如下:气泵10启动然后气泵10产生的气体通过进气管9进入膨胀气囊8的内部，膨胀气囊8的底部设置有排气口且排气口上设置有电磁阀，排气口能够将膨胀气囊8内的气体排出，之后膨胀气囊8将圆锥筒5与排烟管2的缝隙填满，有利于防止外界的风从圆锥筒5与排烟管2的缝隙进入退火炉，之后正反电机11带动扇叶12反转，当扇叶12反转的时候风是往上吹，所以就能够避免很大一部分的风进入排烟管，当剩余小部分的风进入排烟管2之后会首先通过排烟口7，但是由于排烟口7的直径仅为进烟口6的三分之一，所以只能够使少量的风通过，并且圆锥筒5的数目为三组，能够将进入排烟管2的风层层格挡，之后基本能够防止从外界进入排烟管2内的风进入退火炉实现防倒吹风的目的，当退火炉不工作的时候将排烟管2从退火炉上拆卸，然后将组成排烟管2的上管3与下管4拆卸，下管4内所有的零件与下管4均为拆卸连接，之后将下管4内的所有零部件拆卸，储存仓18的内部提前防止有多组刮板21，放置方法为从进料口19放入，下管4内的所有零部拆卸之后将下管4与上管3复位连接，之后电磁滑块14带动清洁箱15在电磁滑轨13上滑动，于此同时电动推杆20将储存仓18内靠前的一组刮板21从凸起板16的顶部推到清洁箱15的内部，在进入清洁箱15的时候刮板21会通过形变卡块22，此举有利于防止凸起板16上其它的刮板21进入清洁箱，当靠前的一组刮板21进入清洁箱15之后，其它的刮板21会到靠前的一组刮板21的位置，进入清洁箱15的那一组刮板21会被气缸24顶部的磁铁块25吸附，然后气缸24将刮板21通过伸出口26，刮板21的顶部会与下管4内壁的顶部接触，然后刮板21两侧的刷毛会与下管4内壁的两侧接触，之后当电磁滑块14带动清洁箱15移动的时候刮板21能够将下管4内壁沾附的灰尘与杂质清除，遮挡罩17与清洁箱15移动的时候能够将上管3内壁沾附的灰尘与杂质清除，之后将上管3与下管4拆卸然后使磁铁块25转动，磁铁块25转动的时候刮板21随之转动，然后再将上管3与下管4连接，之后气缸24带动使用之后的刮板21下降，在下降的时候隔栏28能够将磁铁块25与刮板21分开，分开的刮板21会从下料口27进入收集仓23的内部对使用之后的刮板21回收，当下次清洁的时候电动推杆20会推动新的刮板21进入收集箱15的内部操作方法同上实现自动化循环清洁。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种有色金属生产用退火炉，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的顶部设置有退火炉，所述退火炉顶部的一侧可拆卸连接有排烟管(2)，所述排烟管(2)的内部设置有防倒吹机构与清洁机构，所述排烟管(2)分为上管(3)与下管(4)，所述上管(3)与下管(4)为可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种有色金属生产用退火炉，其特征在于，所述防倒吹机构包括下管(4)内部中间位置设置的圆锥筒(5)，所述圆锥筒(5)的一端设置有进烟口(6)另一端设置有排烟口(7)，所述进烟口(6)的直径为排烟口(7)直径的三倍，所述圆锥筒(5)的数目为三组，三组所述圆锥筒(5)分布于一条直线，所述下管(4)的内部位于圆锥筒(5)的一侧设置有膨胀气囊(8)，所述，所述膨胀气囊(8)的一端连接有进气管(9)，所述排烟管(2)的外部固定安装有气泵(10)，所述进气管(9)的另一端与气泵(10)连接，所述下管(4)的内部安装有正反电机(11)，所述正反电机(11)的输出端连接有转轴，所述转轴的一端连接有扇叶(12)，所述扇叶(12)位于排烟管(2)内腔的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种有色金属生产用退火炉，其特征在于，所述支撑架(1)的一侧安装有控制面板，所述控制面板上设置有启动、停止按键与电源开关转钮。

4.根据权利要求2所述的一种有色金属生产用退火炉，其特征在于，所述圆锥筒(5)、膨胀气囊(8)与下管(4)为可拆卸连接，所述下管(4)的内部可拆卸连接有支撑板，所述支撑板宽度为排烟管(2)宽度的三分之一，所述正反电机(11)固定于支撑板一端。

5.根据权利要求1所述的一种有色金属生产用退火炉，其特征在于，所述清洁机构包括上管(3)底部的凹槽，所述凹槽的内部安装有电磁滑轨(13)，所述电磁滑轨(13)的外部设置有电磁滑块(14)，所述电磁滑块(14)的顶部与凹槽的顶部平齐，所述电磁滑块(14)的顶部固定连接有清洁箱(15)，所述清洁箱(15)一侧的底部固定连接有凸起板(16)，所述凸起板(16)的顶部连接有遮挡罩(17)，所述遮挡罩(17)与凸起板(16)组成储存仓(18)，所述储存仓(18)的高度高于清洁箱(15)，所述遮挡罩(17)的顶部设置有进料口(19)，所述遮挡罩(17)内部的后端安装有四组电动推杆(20)，所述储存仓(18)的内部通过进料口(19)放置有多组刮板(21)，所述清洁箱(15)的一侧设置有多组形变卡块(22)，所述清洁箱(15)通过隔板设置有收集仓(23)，所述清洁箱(15)内部位于收集仓(23)的一侧设置有两组气缸(24)，两组所述气缸(24)的顶部转动连接有磁铁块(25)，所述清洁箱(15)的顶部设置有伸出口(26)，所述清洁箱(15)位于收集仓(23)的顶部设置有下料口(27)，所述伸出口(26)与下料口(27)的中间位置设置有隔栏(28)。

6.根据权利要求5所述的一种有色金属生产用退火炉，其特征在于，所述刮板(21)为铁质材质，所述刮板(21)的两侧边设置有刷毛，所述刮板(21)的硬度小于排烟管(2)的硬度。

7.根据权利要求1所述的一种有色金属生产用退火炉，其特征在于，所述退火炉的一端设置有炉口，所述炉口与退火炉活动连接。

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