CN114193003B - 一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法 - Google Patents

一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114193003B
CN114193003B CN202111644398.9A CN202111644398A CN114193003B CN 114193003 B CN114193003 B CN 114193003B CN 202111644398 A CN202111644398 A CN 202111644398A CN 114193003 B CN114193003 B CN 114193003B
Authority
CN
China
Prior art keywords
seat
movable
placing
shell
film material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202111644398.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114193003A (zh
Inventor
郑昱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Lingxi Intelligent Photoelectric Technology Co ltd
Journey Technology Ltd
Original Assignee
Wuxi Lingxi Intelligent Photoelectric Technology Co ltd
Journey Technology Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Lingxi Intelligent Photoelectric Technology Co ltd, Journey Technology Ltd filed Critical Wuxi Lingxi Intelligent Photoelectric Technology Co ltd
Priority to CN202111644398.9A priority Critical patent/CN114193003B/zh
Publication of CN114193003A publication Critical patent/CN114193003A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114193003B publication Critical patent/CN114193003B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
    • B23K37/04—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work
    • B23K37/0426—Fixtures for other work
    • B23K37/0435—Clamps
    • B23K37/0443—Jigs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本发明涉及膜材激光切割技术领域，为了解决现有的光学膜材用激光切割装置在使用时存在切割效率低的问题，所述一种光学膜材用激光切割装置，包括壳体和用于放置膜材的放置座，以及用于切割膜材的激光发生器；还包括用于调整放置座与激光发生器相对位置的位置调整机构。本发明将待切割的膜材插入固定在放置槽内，通过激光发生器对膜材进行切割，切割完成后，转动转动件，第二伸缩件推动放置座向下移动，此时顶动部件随放置座向下移动并与磁吸部件相互吸附，顶动部件顶动活动部件在活动门的侧面滑动，从而将活动门顶开，此时放置座移动至壳体的外部，便于膜材的上料和下料，双机位的设计，使得切割更加方便高效。

Description

一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法
技术领域
本发明涉及膜材激光切割技术领域，尤其涉及一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法。
背景技术
光学薄膜是指在光学玻璃、光学塑料、光纤、晶体等各种材料的表面上镀制一层或多层薄膜，基于薄膜内光的干涉效应来改变透射光或反射光的强度、偏振状态和相位变化的光学元件，是现代光学仪器和光学器件的重要组成部分。光学膜材在加工过程中需要对其进行切割处理，现有的光学膜材用激光切割装置在使用时存在切割效率较低的问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种光学膜材用激光切割装置，包括壳体和用于放置膜材的放置座，以及用于切割膜材的激光发生器；还包括用于调整放置座与激光发生器相对位置的位置调整机构；控制器，用于对装置进行控制，还包括活动设置的转动件，转动件的侧面通过第二伸缩件和放置座连接；
放置座远离转动件的一侧开设有放置槽，放置槽远离转动件的一侧开设有通孔，用于进行激光切割；
抽真空机构，用于对放入放置槽内的膜材进行吸附固定；
壳体远离激光发生器的一侧设置有活动门，用于对壳体的内部进行封闭；
顶动机构，用于在第二伸缩件推动放置座移出壳体进行膜材的上料和下料时，自动推开和闭合活动门；
所述顶动机构包括安装在放置座一侧的顶动部件，还包括活动设置在活动门一侧的活动部件，活动部件远离活动门的一侧活动设置有连接座，连接座的位置和顶动部件的位置相对应，连接座靠近顶动部件的一侧设置有磁吸部件；
限位槽，用于对活动部件的移动进行导向；
还包括限位部件，用于在顶动部件拉动活动门闭合时对活动门进行限位固定。
优选的，所述磁吸部件靠近顶动部件的一侧为弧形结构，且磁吸部件的内弧面的内径与顶动部件的外径相适配。
优选的，所述抽真空机构包括空腔，空腔靠近放置槽内部的一侧开设有第一穿孔；
还包括抽真空部件，用于对空腔的内部进行抽真空。
优选的，还按压部件，用于在放置座转动至靠近激光发生器的一侧时，因按压部件自身重力而对膜材的两侧进行按压固定；
按压部件活动设置在放置槽远离第一穿孔的一侧内壁。
优选的，还包括导向机构，用于对放置座的移动进行导向；
所述导向机构包括开设在转动件侧面的导向槽，以及设置在放置座一侧的导向部件，导向部件的一端延伸至导向槽的内部。
优选的，所述位置调整机构包括活动设置的第二活动座，第二活动座的一侧活动设置有第一活动座，激光发生器位于第一活动座的侧面；
还包括升降机构，用于驱动第二活动座的升降；
所述升降机构包括通过第一伸缩件安装在壳体内部的升降部件，第二活动座的端面与升降部件滑动连接。
优选的，还包括吸尘机构，用于对激光切割处进行吸烟处理；
所述吸尘机构包括开设在第二活动座上的吸烟腔，吸烟腔靠近转动件的一侧开设有吸烟孔；
还包括吸烟部件，用于对吸烟腔的内部进行抽气。
优选的，还包括随第一活动座的移动而移动的清洁机构，用于对吸烟孔的开口进行清洁。
优选的，所述清洁机构包括与第一活动座的一侧连接的安装壳体，安装壳体的内部活动设置有转动壳体，转动壳体靠近第二活动座的一侧设置有清洁部件，用于对吸烟孔的开口进行刷动清洁；
转动壳体靠近吸烟孔的一侧开设有第二穿孔，且转动壳体的内部通过连接管与吸烟部件的进气端连通，用于对刷落的灰尘进行吸尘处理；
还包括驱动部件，用于驱动转动壳体转动。
上述的一种光学膜材用激光切割装置的使用方法，包括以下步骤：将待切割的膜材插入放置槽内，通过抽真空机构对膜材进行吸附固定，通过位置调整机构调节激光发生器对膜材进行切割，切割完成后，转动转动件，使得放置有切割完成后膜材的放置座转动至靠近活动门的一侧，第二伸缩件推动放置座向下移动，此时顶动部件随放置座向下移动并与磁吸部件相互吸附，随着放置座的向下移动，顶动部件顶动活动部件在活动门的侧面滑动，从而将活动门顶开，此时放置座移动至壳体的外部，便于膜材的上料和下料，且同时激光发生器对位于转动件另一侧的膜材进行切割处理，膜材上料完成后，第二伸缩件带动放置座移动至壳体内，此时顶动部件拉动活动门闭合，当活动门随顶动部件转动至水平时，限位部件对活动门的转动进行限位。
本发明的有益效果为：
使用时，将待切割的膜材插入放置槽内，通过抽真空机构对膜材进行吸附固定，通过位置调整机构调节激光发生器对膜材进行切割，切割完成后，转动转动件，使得放置有切割完成后膜材的放置座转动至靠近活动门的一侧，第二伸缩件推动放置座向下移动，此时顶动部件随放置座向下移动并与磁吸部件相互吸附，随着放置座的向下移动，顶动部件顶动活动部件在活动门的侧面滑动，从而将活动门顶开，此时放置座移动至壳体的外部，便于膜材的上料和下料，且同时激光发生器对位于转动件另一侧的膜材进行切割处理，双机位的设计，使得切割更加方便高效，膜材上料完成后，第二伸缩件带动放置座移动至壳体内，此时顶动部件拉动活动门闭合，当活动门随顶动部件转动至水平时，限位部件对活动门的转动进行限位，限位部件对活动门的侧面进行吸附固定，保证活动门保持水平、闭合的状态。
附图说明
图1为本发明实施例提出的一种光学膜材用激光切割装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提出的一种光学膜材用激光切割装置的抽真空机构结构示意图；
图3为本发明实施例提出的一种光学膜材用激光切割装置的图1中A处结构示意图；
图4为本发明实施例提出的一种光学膜材用激光切割装置的图1中B处结构示意图；
图5为本发明实施例提出的一种光学膜材用激光切割装置的第一活动座和安装壳体结构示意图。
图中：1-壳体、2-限位部件、3-活动门、4-放置座、5-转动件、6-吸尘机构、61-吸烟孔、62-吸烟腔、63-吸烟部件、7-第一活动座、8-升降机构、81-第一伸缩件、82-升降部件、9-第二活动座、10-控制器、11-抽真空机构、111-第一穿孔、112-空腔、113-抽真空部件、12-按压部件、13-放置槽、14-导向机构、141-导向部件、142-导向槽、15-清洁机构、151-清洁部件、152-转动壳体、153-驱动部件、154-第二穿孔、155-安装壳体、16-顶动机构、161-顶动部件、162-磁吸部件、163-连接座、164-活动部件、17-限位槽、18-第二伸缩件、19-位置调整机构、20-激光发生器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1至图5，一种光学膜材用激光切割装置，包括壳体1和用于放置膜材的放置座4，以及用于切割膜材的激光发生器20；还包括用于调整放置座4与激光发生器20相对位置的位置调整机构19；控制器10，用于对装置进行控制，还包括活动设置的转动件5，转动件5的侧面通过第二伸缩件18和放置座4连接；
放置座4远离转动件5的一侧开设有放置槽13，放置槽13远离转动件5的一侧开设有通孔，用于进行激光切割；
抽真空机构11，用于对放入放置槽13内的膜材进行吸附固定；
壳体1远离激光发生器20的一侧设置有活动门3，用于对壳体1的内部进行封闭；
顶动机构16，用于在第二伸缩件18推动放置座4移出壳体1进行膜材的上料和下料时，自动推开和闭合活动门3；
所述顶动机构16包括安装在放置座4一侧的顶动部件161，还包括活动设置在活动门3一侧的活动部件164，活动部件164远离活动门3的一侧活动设置有连接座163，连接座163的位置和顶动部件161的位置相对应，连接座163靠近顶动部件161的一侧设置有磁吸部件162；
限位槽17，用于对活动部件164的移动进行导向；
还包括限位部件2，用于在顶动部件161拉动活动门3闭合时对活动门3进行限位固定，使用时，将待切割的膜材插入放置槽13内，通过抽真空机构11对膜材进行吸附固定，通过位置调整机构19调节激光发生器20对膜材进行切割，切割完成后，转动转动件5，使得放置有切割完成后膜材的放置座4转动至靠近活动门3的一侧，第二伸缩件18推动放置座4向下移动，此时顶动部件161随放置座4向下移动并与磁吸部件162相互吸附，随着放置座4的向下移动，顶动部件161顶动活动部件164在活动门3的侧面滑动，从而将活动门3顶开，此时放置座4移动至壳体1的外部，便于膜材的上料和下料，且同时激光发生器20对位于转动件5另一侧的膜材进行切割处理，双机位的设计，使得切割更加方便高效，膜材上料完成后，第二伸缩件18带动放置座4移动至壳体1内，此时顶动部件161拉动活动门3闭合，当活动门3随顶动部件161转动至水平时，限位部件2对活动门3的转动进行限位，限位部件2对活动门3的侧面进行吸附固定，保证活动门3保持水平、闭合的状态。
作为本发明的一种优选实施例，第二伸缩件18为电动伸缩杆、液压油缸等，在本实施例中，优选的第二伸缩件18为电动伸缩杆。
作为本发明的一种优选实施例，磁吸部件162靠近顶动部件161的一侧为弧形结构，且磁吸部件162的内弧面的内径与顶动部件161的外径相适配，保证顶动部件161顶动连接座163时，顶动部件161不会与连接座163发生滑动、脱落。
作为本发明的一种优选实施例，磁吸部件162为磁铁片、电磁铁等，在本实施例中，优选的磁吸部件162为磁铁片。
作为本发明的一种优选实施例，抽真空机构11包括空腔112，空腔112靠近放置槽13内部的一侧开设有第一穿孔111；
还包括抽真空部件113，用于对空腔112的内部进行抽真空。
作为本发明的一种优选实施例，还按压部件12，用于在放置座4转动至靠近激光发生器20的一侧时，因按压部件12自身重力而对膜材的两侧进行按压固定；
按压部件12活动设置在放置槽13远离第一穿孔111的一侧内壁。
作为本发明的一种优选实施例，按压部件12为铁质、石料等，在本实施例中，优选的按压部件12为铁质。
作为本发明的一种优选实施例，还包括导向机构14，用于对放置座4的移动进行导向；
所述导向机构14包括开设在转动件5侧面的导向槽142，以及设置在放置座4一侧的导向部件141，导向部件141的一端延伸至导向槽142的内部。
作为本发明的一种优选实施例，位置调整机构19包括活动设置的第二活动座9，第二活动座9的一侧活动设置有第一活动座7，激光发生器20位于第一活动座7的侧面；
还包括升降机构8，用于驱动第二活动座9的升降；
所述升降机构8包括通过第一伸缩件81安装在壳体1内部的升降部件82，第二活动座9的端面与升降部件82滑动连接，可通过第一伸缩件81调节第二活动座9与放置座4之间的距离，并通过第二活动座9和第一活动座7的水平移动调节激光发生器20与膜材的相对位置。
作为本发明的一种优选实施例，还包括吸尘机构6，用于对激光切割处进行吸烟处理；
所述吸尘机构6包括开设在第二活动座9上的吸烟腔62，吸烟腔62靠近转动件5的一侧开设有吸烟孔61；
还包括吸烟部件63，用于对吸烟腔62的内部进行抽气。
作为本发明的一种优选实施例，还包括随第一活动座7的移动而移动的清洁机构15，用于对吸烟孔61的开口进行清洁。
作为本发明的一种优选实施例，清洁机构15包括与第一活动座7的一侧连接的安装壳体155，安装壳体155的内部活动设置有转动壳体152，转动壳体152靠近第二活动座9的一侧设置有清洁部件151，用于对吸烟孔61的开口进行刷动清洁；
转动壳体152靠近吸烟孔61的一侧开设有第二穿孔154，且转动壳体152的内部通过连接管与吸烟部件63的进气端连通，用于对刷落的灰尘进行吸尘处理，避免刷落的灰尘掉落在膜材上；
还包括驱动部件153，用于驱动转动壳体152转动，第一活动座7在第二活动座9上水平移动时，带动安装壳体155在第二活动座9的底部移动，同时驱动部件153驱动转动壳体152转动，对吸烟孔61进行刷动清洁和吸尘。
一种光学膜材用激光切割装置的使用方法，包括以下步骤：将待切割的膜材插入放置槽13内，通过抽真空机构11对膜材进行吸附固定，通过位置调整机构19调节激光发生器20对膜材进行切割，切割完成后，转动转动件5，使得放置有切割完成后膜材的放置座4转动至靠近活动门3的一侧，第二伸缩件18推动放置座4向下移动，此时顶动部件161随放置座4向下移动并与磁吸部件162相互吸附，随着放置座4的向下移动，顶动部件161顶动活动部件164在活动门3的侧面滑动，从而将活动门3顶开，此时放置座4移动至壳体1的外部，便于膜材的上料和下料，且同时激光发生器20对位于转动件5另一侧的膜材进行切割处理，膜材上料完成后，第二伸缩件18带动放置座4移动至壳体1内，此时顶动部件161拉动活动门3闭合，当活动门3随顶动部件161转动至水平时，限位部件2对活动门3的转动进行限位。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种光学膜材用激光切割装置，包括壳体和用于放置膜材的放置座，以及用于切割膜材的激光发生器；还包括用于调整放置座与激光发生器相对位置的位置调整机构；控制器，用于对装置进行控制，其特征在于，还包括活动设置的转动件，转动件的侧面通过第二伸缩件和放置座连接；
放置座远离转动件的一侧开设有放置槽，放置槽远离转动件的一侧开设有通孔，用于进行激光切割；
抽真空机构，用于对放入放置槽内的膜材进行吸附固定；
壳体远离激光发生器的一侧设置有活动门，用于对壳体的内部进行封闭；
顶动机构，用于在第二伸缩件推动放置座移出壳体进行膜材的上料和下料时，自动推开和闭合活动门；
所述顶动机构包括安装在放置座一侧的顶动部件，还包括活动设置在活动门一侧的活动部件，活动部件远离活动门的一侧活动设置有连接座，连接座的位置和顶动部件的位置相对应，连接座靠近顶动部件的一侧设置有磁吸部件；
限位槽，用于对活动部件的移动进行导向；
还包括限位部件，用于在顶动部件拉动活动门闭合时对活动门进行限位固定；
还包括吸尘机构，用于对激光切割处进行吸烟处理；所述吸尘机构包括开设在第二活动座上的吸烟腔，吸烟腔靠近转动件的一侧开设有吸烟孔；
还包括吸烟部件，用于对吸烟腔的内部进行抽气；还包括随第一活动座的移动而移动的清洁机构，用于对吸烟孔的开口进行清洁；所述清洁机构包括与第一活动座的一侧连接的安装壳体，安装壳体的内部活动设置有转动壳体，转动壳体靠近第二活动座的一侧设置有清洁部件，用于对吸烟孔的开口进行刷动清洁；转动壳体靠近吸烟孔的一侧开设有第二穿孔，且转动壳体的内部通过连接管与吸烟部件的进气端连通，用于对刷落的灰尘进行吸尘处理；还包括驱动部件，用于驱动转动壳体转动。
2.根据权利要求1所述的一种光学膜材用激光切割装置，其特征在于，所述磁吸部件靠近顶动部件的一侧为弧形结构，且磁吸部件的内弧面的内径与顶动部件的外径相适配。
3.根据权利要求2所述的一种光学膜材用激光切割装置，其特征在于，所述抽真空机构包括空腔，空腔靠近放置槽内部的一侧开设有第一穿孔；
还包括抽真空部件，用于对空腔的内部进行抽真空。
4.根据权利要求3所述的一种光学膜材用激光切割装置，其特征在于，还按压部件，用于在放置座转动至靠近激光发生器的一侧时，因按压部件自身重力而对膜材的两侧进行按压固定；
按压部件活动设置在放置槽远离第一穿孔的一侧内壁。
5.根据权利要求4所述的一种光学膜材用激光切割装置，其特征在于，还包括导向机构，用于对放置座的移动进行导向；
所述导向机构包括开设在转动件侧面的导向槽，以及设置在放置座一侧的导向部件，导向部件的一端延伸至导向槽的内部。
6.根据权利要求1所述的一种光学膜材用激光切割装置，其特征在于，所述位置调整机构包括活动设置的第二活动座，第二活动座的一侧活动设置有第一活动座，激光发生器位于第一活动座的侧面；
还包括升降机构，用于驱动第二活动座的升降；
所述升降机构包括通过第一伸缩件安装在壳体内部的升降部件，第二活动座的端面与升降部件滑动连接。
7.如权利要求1-6任一所述的一种光学膜材用激光切割装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：将待切割的膜材插入放置槽内，通过抽真空机构对膜材进行吸附固定，通过位置调整机构调节激光发生器对膜材进行切割，切割完成后，转动转动件，使得放置有切割完成后膜材的放置座转动至靠近活动门的一侧，第二伸缩件推动放置座向下移动，此时顶动部件随放置座向下移动并与磁吸部件相互吸附，随着放置座的向下移动，顶动部件顶动活动部件在活动门的侧面滑动，从而将活动门顶开，此时放置座移动至壳体的外部，便于膜材的上料和下料，且同时激光发生器对位于转动件另一侧的膜材进行切割处理，膜材上料完成后，第二伸缩件带动放置座移动至壳体内，此时顶动部件拉动活动门闭合，当活动门随顶动部件转动至水平时，限位部件对活动门的转动进行限位。
CN202111644398.9A 2021-12-30 2021-12-30 一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法 Active CN114193003B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111644398.9A CN114193003B (zh) 2021-12-30 2021-12-30 一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111644398.9A CN114193003B (zh) 2021-12-30 2021-12-30 一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114193003A CN114193003A (zh) 2022-03-18
CN114193003B true CN114193003B (zh) 2022-09-20

Family

ID=80657322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111644398.9A Active CN114193003B (zh) 2021-12-30 2021-12-30 一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114193003B (zh)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE1016686A3 (fr) * 2005-07-18 2007-04-03 Georges Cuvelier Installation pour la realisation d'operations de mise en forme de pieces en verre ou en cristal.
CN100551597C (zh) * 2007-08-22 2009-10-21 天津市天发重型水电设备制造有限公司 具有移动旋转功能的钎焊机
CN109848556A (zh) * 2019-03-25 2019-06-07 深圳力星激光智能装备有限公司 一种双工位周向一次完成焊接的激光焊接设备及方法
CN213729944U (zh) * 2020-10-16 2021-07-20 镇江好德光电科技有限公司 一种七轴五联动激光焊接机械结构

Also Published As

Publication number Publication date
CN114193003A (zh) 2022-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4642608B2 (ja) 基板処理装置および基板処理システム
JP2009064937A (ja) 半導体ダイのピックアップ装置及びピックアップ方法
CN114193003B (zh) 一种光学膜材用激光切割装置及其使用方法
CN104576461A (zh) 晶圆存储盒开盖装置
CN117600166A (zh) 一种电气设备元件清洁装置
CN212874428U (zh) 一种原位蒸镀的弱等离子刻蚀设备
CN114999979B (zh) 晶圆装载系统
CN108483043A (zh) 面板取放料装置
CN221561076U (zh) 一种具有定位功能的玻璃加工用固定装置
CN208450841U (zh) 一种布料激光切割机
JPH1117482A (ja) 水晶振動子の製造装置
CN218778857U (zh) 一种三银Low-E玻璃镀膜装置
CN220738825U (zh) 一种用于蓝宝石晶圆加工的吹扫清洁装置
CN215870190U (zh) 一种封离式具有限位机构的激光器
CN112834396B (zh) 一种能检测不同高度防水汽干扰的空气检测装置
CN221211787U (zh) 一种建筑装饰工程用材料切割设备
CN218557576U (zh) 一种基于bim技术的建筑钻孔装置
CN113588192B (zh) 一种玻璃盖板跌落测试装置
CN219684129U (zh) 一种金属饰面装饰板用切割机
CN220502043U (zh) 一种可降解餐盒码堆机构
CN220637389U (zh) 一种用于水利工程管道的处理设备
JP5927609B2 (ja) 搬送装置、周波数調整装置及び搬送方法
CN114368918A (zh) 一种溅射式玻璃镀膜装置
CN217033065U (zh) 取料装置及样本处理设备
CN217836317U (zh) 一种烟包输送辊用探伤检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant