CN114152851A - 一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，包括气源，联结气源的主气路，输入端与主气路输出端联结的第一气路，安装在第一气路上的制冷装置，安装在第一气路上的加热装置，安装在第一气路上的热流罩；输入端与主气路输出端联结的第二气路，第二气路的输出端联通设置在热流罩外侧的气体隔绝层，与主气路输出端联结的第三气路，与第三气路输出端联结的行程气缸，行程气缸与和热流罩联结的加热器装置联结，气源输出至主气路，主气路和第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置；本发明能够更好的提升温控能力和温控精度，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，使得操作监控等更加便捷。

Description

一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备

技术领域

本发明属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备。

背景技术

为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。

然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备包括气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热器装置联结，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。

根据本专利背景技术中对现有技术所述，采用多个设备来回切换，不仅设备复杂，操作不便，而且成本更高，同时效率较低，温度调节不便，并且能源消耗大，温控能力和温控精度都较差；而本发明公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，由于采用复叠冷却系统和加热系统的配合，能够更好的提升温控能力和温控精度，及多级油尘、特定湿气处理系统，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，同时，采用运动热流罩、气体隔绝层以及透明结构，使得操作监控等更加便捷。

另外，根据本发明公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。所述干燥再生系统用于除去气流中的相应水气，同时采用两套水气过滤系统，两套水气过滤系统可以同时工作，也可以单独工作，当其中一套系统单独工作时，另一套系统可以通过排气装置，将系统中的气体和过滤部件中的水气一同带出，起到重复利用的功能。

具体地，时尚干燥再生系统具有两种工作模式，一种是全工模式，一种半工模式。

全工模式下，所有的干燥再生装置同时工作（本案的干燥再生装置可以有多个，不局限于两个干燥再生装置，第一干燥再生装置/第二干燥再生装置可以包括多个干燥再生装置，可以理解为第一干燥再生装置/第二干燥再生装置属于同工作类型的，如正向工作或反向工作，干燥再生装置的集合），全工模式下，干燥再生装置排气阀全部关闭，气体在进气口，即气源输出端相联处，进入进气辅助排气组合件输入端，并由输出端进入两个干燥再生装置，并由干燥再生装置的输出端输出，形成除湿后的干燥气体；

半工模式下，部分干燥再生装置正向工作，部分干燥再生装置反向工作，此时，正向工作的干燥再生装置排气阀关闭，反向工作的干燥再生装置排气阀打开，气体经进气辅助排气组合件输入端输入，由于进气辅助排气组合件的作用使得气体无法通过进气辅助排气组合件进入反向工作的干燥再生装置，只能进入正向工作的干燥再生装置进行除湿过滤，当经正向工作的干燥再生装置输出端后，经出气机械组合件输出，一部分正常输出，一部分反向流经反向工作的干燥再生装置，可以降低其内部的部分湿气，同时，由于凝结和重力的作用，在一定时间内，内部湿气也能够自行析出并流出；通过全工模式和单工模式的周期性工作，从而达到重复利用的效果，并且在操作上更加简便，延长整体设备的使用周期。

进一步地，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。低压控制保护开关在气源压力不足时，可以使整个设备处于待机状态，停止正常工作，避免不可控情况出现，并提供相应报警和记录。

进一步地，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。

进一步地，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。

进一步地，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。

上述两个主电磁阀用于自动控制第二气路和第三气路的开启和闭合，手动阀用于手动调节流量。

进一步地，所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，所述上气体隔绝层上板具有多个微出气孔，所述侧气体隔绝层下部具有出气通道，所述侧气体隔绝层为透明结构。

第二气路将气体输入到上气体隔绝层和侧气体隔绝层，形成流动气体隔绝层，使得热流罩内腔的温度更加稳定，使得内部待测产品检测过程更加稳定和可靠，微出气孔的存在，可以使得整体上气体隔绝层中的气流更加均匀，实验表明，其可以让热流罩内腔环境更加稳定。

进一步地，所述制冷装置为复叠式制冷装置，所述复叠式制冷装置包括一级制冷装置和二级制冷装置，所述一级制冷装置包括一级压缩机、一级冷凝器、一级气化器，所述二级制冷装置包括二级压缩机、油分离器、二级冷凝器，二级交换冷凝器，二级气化器。

更进一步地，所述一级制冷装置还包括一级储液器、一级过滤器、膨胀阀，所述一级压缩机联结所述一级冷凝器，所述一级冷凝器联结所述一级储液器，所述一级储液器联结所述一级过滤器，所述一级过滤器联结所述膨胀阀，所述膨胀阀联结所述一级汽化器，所述一级汽化器联结所述一级压缩机；

所述二级制冷装置还包括联结在冷凝器输出端的泄压阀，与所述泄压阀联结的膨胀箱，所述膨胀箱的输出端联结所述二级压缩机；及二级过滤器和毛细管；所述二级压缩机输出端联结所述油分离器的输入端，所述油分离器的第一输出端联结所述二级压缩机的输入端，所述油分离器的第二输出端联结所述二级冷凝器，所述二级冷凝器的输出端分别联结所述二级交换冷凝器和所述泄压阀，所述二级交换冷凝器的输出端联结所述二级过滤器，所述二级过滤器的输出端联结所述毛细管，所述毛细管的输出端联结所述二级汽化器，所述二级汽化器的输出端联结所述二级压缩机。

一级压缩机压缩来自一级汽化器中的气体，将其进行压缩行程高温高压气体，高温高压气体进入一级冷凝器，成为液体，进入一级储液器，一级储液器具有入口和出口，入口高于整体液面，而出口工作状态下始终保持在液面以下，保证出口出去的均为液态成分，经过相应过滤处理，通过膨胀阀进入一起汽化器气化，吸收二级交换冷凝器中的热量，将此处的温度降低，气化成分进入一级压缩机进行下一次循环；

二级压缩机压缩来自二级气化器中的气体，将此进行压缩形成压缩气体，压缩气体经过油分离器，将来自二级压缩机中的油进行分离，压缩气体进行二级冷凝器中冷却，再进入二级交换冷凝器进行二次冷却，同时，二级冷凝器中的输出端如果压力过大，将通过泄压阀进入膨胀箱，再次进入二级压缩机，同来自二级汽化器中的成分一同进入二级压缩机进行压缩，二级交换冷凝器中的成分经过二级过滤器，进入毛细管并进入二级汽化器进行气化，进一步吸取相应的热量，如此通过二级复叠冷却系统将相应气流进行冷却，进行输出，并经过加热装置，进行温度调节，如此可以得到更低的温度，同时由于在两级冷却中采用的对应的制冷剂，使得制冷效果更佳。

进一步地，所述加热装置包括加热隔绝层和设置在所述加热隔绝层内侧的石英玻璃加热器，所述第一气路通过所述石英玻璃加热器内部，所述第一气路和所述热流罩相联。

进一步地，所述干燥再生装置包括第一干燥装置和第二干燥装置，所述第一干燥装置和所述第二干燥装置输出端分别与出气机械组合件的两个输入端联结，所述出气机械组合件的输出端与所述第一气路、所述第二气路、所述第三气路联结，所述第一干燥装置和所述第二干燥装置输入端和进气辅助排气组合件的两个输出端相联，所述进气辅助排气组合件输入端和所述气源输出端联结，所述第一干燥装置输入端通过第一干燥装置排气阀联结第一干燥装置排气件，所述第二干燥装置输入端通过第二干燥装置排气阀联结第二干燥装置排气件。

更进一步地，所述第一干燥再生装置和所述第二干燥再生装置结构相同，包括，顶盖和底盖、侧壁及所述顶盖和所述底盖和所述侧壁形成的内腔，所述内腔包括上腔、中腔和下腔，所述上腔底部为第一过滤组合件，所述下腔顶部为第二过滤组合件，所述第一过滤组合件和所述第二过滤组合件形成所述中腔，所述中腔内装有铝硅分子筛，所述下腔中第二过滤组合件和所述底盖之间具有弹性件。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本发明的整体系统示意图；

图2是根据本发明的加热装置和热流罩的局部示意图；

图3是根据本发明的复叠冷却装置；

图4是根据本发明的干燥再生装置示意图；

其中，气源1，低压保护开关2，压力表3，主气路4，油尘过滤器组件41，干燥再生装置42，二级尘过滤器43，第一气路5，第一主电磁阀51，流量比例阀52，流量计53，第二气路6，第二主电磁阀61，第一手动阀62，热流罩内腔63，侧气体隔绝层64，饱和出气平衡口65，出气通道66,微出气孔67，上气体隔绝层68，第三气路7，第三主电磁阀71，第二手动阀72，制冷装置8，一级压缩机810，一级冷凝器811，一级储液器812，一级过滤器813，膨胀阀814，二级压缩机820，油分离器821，二级冷凝器822，二级过滤器823，毛细管824，泄压阀825，膨胀箱826，热量交换装置830，一级汽化器831，二级交换冷凝器832，二级汽化器840，加热器装置9，加热气腔91，加热器92，吹气头93，加热隔绝层94，热流罩A，热流罩壁B，行程气缸C，实验平台D，一级制冷装置E，二级制冷装置F，第一干燥再生装置G1，上腔G11/G21，第一过滤组合件G12/G22，中腔G13/G23，第二过滤组合件G14/G24，弹性件G15/G25，第一干燥再生装置输入端G16，第一干燥再生装置排气阀G17，下腔G18/G28，第二干燥再生装置G2，第二干燥再生装置输入端G26，第二干燥再生装置排气阀G27，出气机械组合件的输出端G3，出气机械组合件G31，进气辅助排气组合件输入端G4，进气辅助排气组合件G41。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；“配合”可以是面与面的配合，也可以是点与面或线与面的配合，也包括孔轴的配合，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的发明构思如下，由于采用本案提及的复叠冷却系统和加热系统的配合，能够更好的提升温控能力和温控精度，而多级油尘、特定湿气处理系统，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，同时，采用运动热流罩、气体隔绝层以及透明结构等特定结构，使得整体气流稳定，进一步杜绝输出处的结霜现象。

下面将参照附图来描述本发明，其中图1是本发明的整体系统示意图；图2是根据本发明的加热装置和热流罩的局部示意图；图3是根据本发明的复叠冷却装置。

根据本发明的实施例，一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备包括气源1，联结所述气源1的主气路4，输入端与所述主气路4输出端联结的第一气路5，安装在所述第一气路5上的制冷装置8，安装在所述第一气路5上的加热器92装置9，安装在所述第一气路5上的热流罩A；输入端与所述主气路4输出端联结的第二气路6，所述第二气路6的输出端联通设置在所述热流罩A外侧的气体隔绝层，与所述主气路4输出端联结的第三气路7，与所述第三气路7输出端联结的行程气缸C，所述行程气缸C与和所述热流罩A联结的所述加热器92装置9联结，所述气源1输出至所述主气路4，所述主气路4和所述第一气路5之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置42。

另外，根据本发明公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备的还具有如下附加技术特征：

根据本发明的一些实施例，同时采用两套水气过滤系统，两套水气过滤系统可以同时工作，也可以单独工作，当其中一套系统单独工作时，另一套系统可以通过排气装置，将系统中的气体和过滤部件中的水气一同带出，起到重复利用的功能。

具体地，时尚干燥再生系统具有两种工作模式，一种是全工模式，一种半工模式。

全工模式下，所有的干燥再生装置42同时工作（本案的干燥再生装置42可以有多个，不局限于两个干燥再生装置42，第一干燥再生装置/第二干燥再生装置可以包括多个干燥再生装置42，可以理解为第一干燥再生装置/第二干燥再生装置属于同工作类型的，如正向工作或反向工作，干燥再生装置42的集合），全工模式下，干燥再生装置42排气阀全部关闭，气体在进气口，即气源输出端相联处，进入进气辅助排气组合件输入端，并由输出端进入两个干燥再生装置42，并由干燥再生装置42的输出端输出，形成除湿后的干燥气体；

半工模式下，部分干燥再生装置42正向工作，部分干燥再生装置42反向工作，此时，正向工作的干燥再生装置42排气阀关闭，反向工作的干燥再生装置42排气阀打开，气体经进气辅助排气组合件输入端输入，由于进气辅助排气组合件的作用使得气体无法通过进气辅助排气组合件进入反向工作的干燥再生装置42，只能进入正向工作的干燥再生装置42进行除湿过滤，当经正向工作的干燥再生装置42输出端后，经出气机械组合件输出，一部分正常输出，一部分反向流经反向工作的干燥再生装置42，可以降低其内部的部分湿气，同时，由于凝结和重力的作用，在一定时间内，内部湿气也能够自行析出并流出；通过全工模式和单工模式的周期性工作，从而达到重复利用的效果，并且在操作上更加简便，延长整体设备的使用周期。

根据本发明的一些实施例，所述主气路4上还安装有压力表3和低压控制保护开关。低压控制保护开关在气源1压力不足时，可以使整个设备处于待机状态，停止正常工作，避免不可控情况出现，并提供相应报警和记录。

根据本发明的一些实施例，所述制冷装置8、所述加热器92装置9、所述热流罩A依次顺序安装在所述第一气路5上，所述第一气路5输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀52、流量计53。

根据本发明的一些实施例，所述第二气路6输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀61、第一手动阀62，所述第一手动阀62输出端联结所述气体隔绝层。

根据本发明的一些实施例，所述第三气路7输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀71和第二手动阀72，所述第二手动阀72输出端联结所述行程气缸C。

上述两个主电磁阀用于自动控制第二气路6和第三气路7的开启和闭合，手动阀用于手动调节流量。

根据本发明的一些实施例，所述热流罩A包括热流罩内腔63和形成所述热流罩内腔63的热流罩壁B，所述热流罩壁B上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩A饱和出气平衡口65，所述热流罩A饱和出气平衡口65出口通向外部环境，所述热流罩壁B外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层68和侧气体隔绝层64，所述第二气路6输出端联结所述上气体隔绝层68，所述上气体隔绝层68和所述侧气体隔绝层64联通，所述上气体隔绝层68上板具有多个微出气孔67，所述侧气体隔绝层64下部具有出气通道66，所述侧气体隔绝层64为透明结构。

根据本发明的一些实施例，第二气路6将气体输入到上气体隔绝层68和侧气体隔绝层64，形成流动气体隔绝层，使得热流罩内腔63的温度更加稳定，使得内部待测产品检测过程更加稳定和可靠，微出气孔67的存在，可以使得整体上气体隔绝层68中的气流更加均匀，实验表明，其可以让热流罩内腔63环境更加稳定。

所述制冷装置8为复叠式制冷装置，所述复叠式制冷装置包括一级制冷装置E和二级制冷装置F，所述一级制冷装置E包括一级压缩机810、一级冷凝器811、一级气化器，所述二级制冷装置F包括二级压缩机820、油分离器821、二级冷凝器822，二级交换冷凝器832，二级气化器。

进一步地，所述一级制冷装置E还包括一级储液器812、一级过滤器813、膨胀阀814，所述一级压缩机810联结所述一级冷凝器811，所述一级冷凝器811联结所述一级储液器812，所述一级储液器812联结所述一级过滤器813，所述一级过滤器813联结所述膨胀阀814，所述膨胀阀814联结所述一级汽化器831，所述一级汽化器831联结所述一级压缩机810；

所述二级制冷装置F还包括联结在冷凝器输出端的泄压阀825，与所述泄压阀825联结的膨胀箱826，所述膨胀箱826的输出端联结所述二级压缩机820；及二级过滤器823和毛细管824；所述二级压缩机820输出端联结所述油分离器821的输入端，所述油分离器821的第一输出端联结所述二级压缩机820的输入端，所述油分离器821的第二输出端联结所述二级冷凝器822，所述二级冷凝器822的输出端分别联结所述二级交换冷凝器832和所述泄压阀825，所述二级交换冷凝器832的输出端联结所述二级过滤器823，所述二级过滤器823的输出端联结所述毛细管824，所述毛细管824的输出端联结所述二级汽化器840，所述二级汽化器840的输出端联结所述二级压缩机820。

一级压缩机810压缩来自一级汽化器831中的气体，将其进行压缩行程高温高压气体，高温高压气体进入一级冷凝器811，成为液体，进入一级储液器812，一级储液器812具有入口和出口，入口高于整体液面，而出口工作状态下始终保持在液面以下，保证出口出去的均为液态成分，经过相应过滤处理，通过膨胀阀814进入一起汽化器气化，吸收二级交换冷凝器832中的热量，将此处的温度降低，气化成分进入一级压缩机810进行下一次循环；

二级压缩机820压缩来自二级气化器中的气体，将此进行压缩形成压缩气体，压缩气体经过油分离器821，将来自二级压缩机820中的油进行分离，压缩气体进行二级冷凝器822中冷却，再进入二级交换冷凝器832进行二次冷却，同时，二级冷凝器822中的输出端如果压力过大，将通过泄压阀825进入膨胀箱826，再次进入二级压缩机820，同来自二级汽化器840中的成分一同进入二级压缩机820进行压缩，二级交换冷凝器832中的成分经过二级过滤器823，进入毛细管824并进入二级汽化器840进行气化，进一步吸取相应的热量，如此通过二级复叠冷却系统将相应气流进行冷却，进行输出，并经过加热器92装置9，进行温度调节，如此可以得到更低的温度，同时由于在两级冷却中采用的对应的制冷剂，使得制冷效果更佳。

根据本发明的一些实施例，所述加热器92装置9包括加热隔绝层94和设置在所述加热隔绝层94内侧的石英玻璃加热器92，所述第一气路5通过所述石英玻璃加热器92内部，所述第一气路5和所述热流罩A相联。

根据本发明的一些实施例，所述干燥再生装置42包括第一干燥装置和第二干燥装置，所述第一干燥装置和所述第二干燥装置输出端分别与出气机械组合件的两个输入端联结，所述出气机械组合件的输出端与所述第一气路5、所述第二气路6、所述第三气路7联结，所述第一干燥装置和所述第二干燥装置输入端和进气辅助排气组合件的两个输出端相联，所述进气辅助排气组合件输入端和所述气源输出端联结，所述第一干燥装置输入端通过第一干燥装置排气阀联结第一干燥装置排气件，所述第二干燥装置输入端通过第二干燥装置排气阀联结第二干燥装置排气件。

进一步地，所述第一干燥再生装置和所述第二干燥再生装置结构相同，包括，顶盖和底盖、侧壁及所述顶盖和所述底盖和所述侧壁形成的内腔，所述内腔包括上腔、中腔和下腔，所述上腔底部为第一过滤组合件，所述下腔顶部为第二过滤组合件，所述第一过滤组合件和所述第二过滤组合件形成所述中腔，所述中腔内装有铝硅分子筛，所述下腔中第二过滤组合件和所述底盖之间具有弹性件。

本案涉及的干燥再生装置包括梁工工作模式，一种是全工模式，一种半工模式。

全工模式下，所有的干燥再生装置同时工作（本案的干燥再生装置可以有多个，不局限于两个干燥再生装置，第一干燥再生装置/第二干燥再生装置可以包括多个干燥再生装置，可以理解为第一干燥再生装置/第二干燥再生装置属于同工作类型的，如正向工作或反向工作，干燥再生装置的集合），全工模式下，干燥再生装置排气阀全部关闭，气体在进气口，即气源输出端相联处，进入进气辅助排气组合件输入端，并由输出端进入两个干燥再生装置，并由干燥再生装置的输出端输出，形成除湿后的干燥气体；

半工模式下，部分干燥再生装置正向工作，部分干燥再生装置反向工作，此时，正向工作的干燥再生装置排气阀关闭，反向工作的干燥再生装置排气阀打开，气体经进气辅助排气组合件输入端输入，由于进气辅助排气组合件的作用使得气体无法通过进气辅助排气组合件进入反向工作的干燥再生装置，只能进入正向工作的干燥再生装置进行除湿过滤，当经正向工作的干燥再生装置输出端后，经出气机械组合件输出，一部分正常输出，一部分反向流经反向工作的干燥再生装置，可以降低其内部的部分湿气，同时，由于凝结和重力的作用，在一定时间内，内部湿气也能够自行析出并流出；通过全工模式和单工模式的周期性工作，从而达到重复利用的效果，并且在操作上更加简便，延长整体设备的使用周期。

任何提及“一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。

尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (12)

1.一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于,包括：气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热器装置联结，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。

2.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。

3.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。

4.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。

5.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。

6.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。

7.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于， 所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，所述上气体隔绝层上板具有多个微出气孔， 所述侧气体隔绝层下部具有出气通道，所述侧气体隔绝层为透明结构。

8.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述制冷装置为复叠式制冷装置，所述复叠式制冷装置包括一级制冷装置和二级制冷装置，所述一级制冷装置包括一级压缩机、一级冷凝器、一级气化器，所述二级制冷装置包括二级压缩机、油分离器、二级冷凝器，二级交换冷凝器，二级气化器。

9.根据权利要求8所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述一级制冷装置还包括一级储液器、一级过滤器、膨胀阀，所述一级压缩机联结所述一级冷凝器，所述一级冷凝器联结所述一级储液器，所述一级储液器联结所述一级过滤器，所述一级过滤器联结所述膨胀阀，所述膨胀阀联结所述一级汽化器，所述一级汽化器联结所述一级压缩机；

所述二级制冷装置还包括联结在冷凝器输出端的泄压阀，与所述泄压阀联结的膨胀箱，所述膨胀箱的输出端联结所述二级压缩机；及二级过滤器和毛细管；所述二级压缩机输出端联结所述油分离器的输入端，所述油分离器的第一输出端联结所述二级压缩机的输入端，所述油分离器的第二输出端联结所述二级冷凝器，所述二级冷凝器的输出端分别联结所述二级交换冷凝器和所述泄压阀，所述二级交换冷凝器的输出端联结所述二级过滤器，所述二级过滤器的输出端联结所述毛细管，所述毛细管的输出端联结所述二级汽化器，所述二级汽化器的输出端联结所述二级压缩机。

10.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述加热装置包括加热隔绝层和设置在所述加热隔绝层内侧的石英玻璃加热器，所述第一气路通过所述石英玻璃加热器内部，所述第一气路和所述热流罩相联。

11.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述干燥再生装置包括第一干燥装置和第二干燥装置，所述第一干燥装置和所述第二干燥装置输出端分别与出气机械组合件的两个输入端联结，所述出气机械组合件的输出端与所述第一气路、所述第二气路、所述第三气路联结，所述第一干燥装置和所述第二干燥装置输入端和进气辅助排气组合件的两个输出端相联，所述进气辅助排气组合件输入端和所述气源输出端联结，所述第一干燥装置输入端通过第一干燥装置排气阀联结第一干燥装置排气件，所述第二干燥装置输入端通过第二干燥装置排气阀联结第二干燥装置排气件。

12.根据权利要求11所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第一干燥再生装置和所述第二干燥再生装置结构相同，包括，顶盖和底盖、侧壁及所述顶盖和所述底盖和所述侧壁形成的内腔，所述内腔包括上腔、中腔和下腔，所述上腔底部为第一过滤组合件，所述下腔顶部为第二过滤组合件，所述第一过滤组合件和所述第二过滤组合件形成所述中腔，所述中腔内装有铝硅分子筛，所述下腔中第二过滤组合件和所述底盖之间具有弹性件。

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