CN114141659A - 一种晶圆干燥模组 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆干燥模组，包括：支架、线性移动模组、外腔部、内腔部、化学注入管，线性移动模组安装于支架上，内腔部固定安装于线性移动模组上，外腔部可移动地安装于线性移动模组上，外腔部设置于内腔部的一侧，外腔部靠近内腔部的一侧内凹形成有一密封插槽，外腔部在线性移动模组的驱动下使得内腔部插入于外腔部内，化学注入管与内腔部连接。通过对本发明的应用，提供了一种用于晶圆干燥的模组式结构，通过外腔部和内腔部的配合进一步加强了干燥室的密封性，保证了干燥流程的高质量稳定执行，进一步提高了晶圆的干燥效果；同时，本发明易于使得干燥室打开和关闭，便于自动化机械手的介入以实现无人工接触的全自动化的晶圆干燥流程。

Description

一种晶圆干燥模组
技术领域
本发明涉及晶圆干燥技术领域，尤其涉及一种晶圆干燥模组。
背景技术
对于晶圆在生产制造的过程中，往往为了保证晶圆表面的清洁程度，需要对晶圆进行相应的清洗与干燥过程，其中，对于干燥过程而言，为了防止新的污染物与晶圆接触，往往需要将晶圆放置于一相对密闭的干燥室内进行干燥工作，尤其是对于采用湿法工艺对晶圆进行干燥时，对于干燥室的密封性又提出了更高的要求，以保证在用于将水分从晶圆表面的分离的化学流体能够稳定工作。然而，现有的晶圆的干燥室往往结构较为复杂，密封性较差，且这种干燥室的打开和关闭较为繁琐，不易于无人直接接触的自动化清洗干燥流程。
发明内容
有鉴于此，为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种晶圆干燥模组，包括：支架、线性移动模组、外腔部、内腔部、化学注入管，所述线性移动模组安装于所述支架上，所述内腔部固定安装于所述线性移动模组上，所述外腔部可移动地安装于所述线性移动模组上，所述外腔部设置于所述内腔部的一侧，所述外腔部靠近所述内腔部的一侧内凹形成有一密封插槽，所述外腔部在所述线性移动模组的驱动下使得所述内腔部插入于所述外腔部内，所述化学注入管与所述内腔部连接；
其中，所述内腔部包括：上腔体和下腔体，所述上腔体与所述下腔体之间相匹配形成一干燥室，所述下腔体可升降设置于所述上腔体的下方。
在另一个优选的实施例中，所述支架包括：底架、安装架和固定架，所述安装架安装于所述底架的上端，所述安装架上安装有所述线性移动模组，所述固定架与所述安装架固定连接，所述固定架向上延伸设置，所述固定架的上部与所述上腔体固定连接。
在另一个优选的实施例中，所述线性移动模组包括：两滑轨、滑块和移动机构，两所述滑轨平行的安装于所述支架上，所述滑块安装于一所述滑轨上，所述移动机构安装于另一所述滑轨上，所述移动机构和所述滑块均与所述外腔部固定连接。
在另一个优选的实施例中，所述内腔部还包括：升降气缸和气缸座，所气缸座与所述支架固定连接，所述升降气缸的尾部与所述气缸座固定连接，所述升降气缸的活塞杆与所述下腔体固定连接。
在另一个优选的实施例中，所述外腔体包括：挡板、第一插槽部和第二插槽部，所述挡板的设置方向与所述线性移动模组的设置方向垂直，所述第一插槽部的一端和所述第二插槽部的一端分别连接于所述挡板的一侧的两端，所述第一插槽部和所述第二插槽部均平行于所述线性移动模组设置，所述第一插槽部的下端和所述第二插槽部的下端均与所述线性移动模组连接，所述第一插槽部和所述第二插槽部相互靠近的一侧分别开设有一插入槽，两所述插入槽和所述挡板的一侧共同形成所述密封插槽。
在另一个优选的实施例中，所述上腔体的上表面的两侧分别下凹形成两第一阶梯部，所述下腔体的下表面的两侧分别上凹形成两第二阶梯部，每一所述第一阶梯部和一所述第二阶梯部相靠近设置，且一所述第一阶梯部和对应一所述第二阶梯部共同形成的外轮廓与所述插入槽的内轮廓相匹配。
在另一个优选的实施例中，所述第一插槽部和所述第二插槽部之间间隔有一定距离，所述上腔体的上表面与所述外腔体的上表面平齐设置，所述化学注入管与所述上腔体的中部连接。
在另一个优选的实施例中，所述上腔体的下部形成有一上容置部，所述下腔体的上部形成有一下容置部，所述上容置部和所述下容置部上下配合形成所述干燥室。
在另一个优选的实施例中，所述上腔体内还设置有一输入主管、一第一输入次管和若干第二输入次管，所述输入主管沿竖直方向设置，所述输入主管的上端与所述化学注入管连接，所述第一输入次管沿竖直方向设置，所述第一输入次管的上端与所述输入主管的下端连接，所述第一输入次管的下端与所述干燥室的顶面的中心位置连通，每一所述第二输入次管的上端分别与所述输入主管的下端连接，每一所述第二输入次管的下端均与干燥室的顶面连通，若干所述第二输入次管的下端呈环形均匀布置。
在另一个优选的实施例中，所述下腔体还设置有一排出通道。
本发明由于采用了上述技术方案，使之与现有技术相比具有的积极效果是：通过对本发明的应用，提供了一种用于晶圆干燥的模组式结构，通过外腔部和内腔部的配合进一步加强了干燥室的密封性，保证了干燥流程的高质量稳定执行，进一步提高了晶圆的干燥效果；同时，本发明易于使得干燥室打开和关闭，便于自动化机械手的介入以实现无人工接触的全自动化的晶圆干燥流程。
附图说明
图1为本发明的一种晶圆干燥模组的整体示意图；
图2为本发明的一种晶圆干燥模组的外腔体移动方向示意图；
图3为本发明的一种晶圆干燥模组的晶圆取放示意图；
图4为本发明的一种晶圆干燥模组的外腔体示意图；
图5为本发明的一种晶圆干燥模组的内腔体配合示意图；
图6为本发明的一种晶圆干燥模组的干燥室内部示意图；
图7为本发明的一种晶圆干燥模组的干燥室顶面示意图。
附图中：
1、支架；2、线性移动模组；3、外腔部；4、内腔部；5、化学注入管5；41、上腔体；42、下腔体；11、底架；12、安装架；13、固定架；21、滑轨；43、气缸座；31、挡板；32、第一插槽部；33、第二插槽部；34、插入槽；411、第一阶梯部；421、第二阶梯部；412、上容置部；422、下容置部；413、输入主管；414、第一输入次管；415、第二输入次管；423、排出通道；6、机械手；7、承载部。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
如图1至图7所示，示出一种较佳实施例的晶圆干燥模组，包括：支架1、线性移动模组2、外腔部3、内腔部4、化学注入管5，线性移动模组2安装于支架1上，内腔部4固定安装于线性移动模组2上，外腔部3可移动地安装于线性移动模组2上，外腔部3设置于内腔部4的一侧，外腔部3靠近内腔部4的一侧内凹形成有一密封插槽，外腔部3在线性移动模组2的驱动下使得内腔部4插入于外腔部3内，化学注入管5与内腔部4连接；其中，内腔部4包括：上腔体41和下腔体42，上腔体41与下腔体42之间相匹配形成一干燥室，下腔体42可升降设置于上腔体41的下方。进一步，作为一种较佳的实施例，本晶圆干燥模组尤其适用于湿法工艺对晶圆进行清洗干燥中的干燥流程，具体地说，先通过化学试剂等对晶圆的表面进行清洗，然后将晶圆放入干燥室，在干燥室内注入用于干燥的流体如异丙醇或超临界态流体等，从而对晶圆的表面实现干燥；在对本发明进行实际使用的过程中，完成清洗工作的晶圆移动至内腔部4远离外腔部3的一侧，外腔部3通过线性移动模组2远离内腔体，内腔体的上腔体41和下腔体42相对分离从而形成一入口，可通过机械臂等夹持晶圆并由入口放入干燥室内，然后通过化学注入管5对干燥室内注入用于对晶圆表面的水分进行移除从而实现干燥的化学流体。
进一步，作为一种较佳的实施例，支架1包括：底架11、安装架12和固定架13，安装架12安装于底架11的上端，安装架12上安装有线性移动模组2，固定架13与安装架12固定连接，固定架13向上延伸设置，固定架13的上部与上腔体41固定连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，底架11和安装架12均呈沿水平方向延伸设置的矩形框体结构。
进一步，作为一种较佳的实施例，安装架12的中部中空以便于升降气缸与下腔体42的连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，固定架13呈竖直设置于安装架12边缘四角处的立杆，至少一侧的两立杆直接或者通过其他连接件间接地与上腔体41固定连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，底架11的中部中空以便于下腔体42的排出通道423与外部的回收管道进行连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，线性移动模组2包括：两滑轨21、滑块和移动机构，两滑轨21平行的安装于支架1上，滑块安装于一滑轨21上，移动机构安装于另一滑轨21上，移动机构和滑块均与外腔部3固定连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，移动机构也可替换为直线驱动气缸等能够实现线性移动的装置。
进一步，作为一种较佳的实施例，内腔部4还包括：升降气缸和气缸座43，所气缸座43与支架1固定连接，升降气缸的尾部与气缸座43固定连接，升降气缸的活塞杆与下腔体42固定连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，升降气缸的数量为四个。
进一步，作为一种较佳的实施例，四升降气缸呈矩形阵列布置。
进一步，作为一种较佳的实施例，外腔体包括：挡板31、第一插槽部32和第二插槽部33，挡板31的设置方向与线性移动模组2的设置方向垂直，第一插槽部32的一端和第二插槽部33的一端分别连接于挡板31的一侧的两端，第一插槽部32和第二插槽部33均平行于线性移动模组2设置，第一插槽部32的下端和第二插槽部33的下端均与线性移动模组2连接，第一插槽部32和第二插槽部33相互靠近的一侧分别开设有一插入槽34，两插入槽34和挡板31的一侧共同形成密封插槽。
进一步，作为一种较佳的实施例，上腔体41的上表面的两侧分别下凹形成两第一阶梯部411，下腔体42的下表面的两侧分别上凹形成两第二阶梯部421，每一第一阶梯部411和一第二阶梯部421相靠近设置，且一第一阶梯部411和对应一第二阶梯部421共同形成的外轮廓与插入槽34的内轮廓相匹配。
进一步，作为一种较佳的实施例，第一插槽部32和第二插槽部33之间间隔有一定距离，上腔体41的上表面与外腔体的上表面平齐设置，化学注入管5与上腔体41的中部连接。
进一步，作为一种较佳的实施例，上腔体41的下部形成有一上容置部412，下腔体42的上部形成有一下容置部422，上容置部412和下容置部422上下配合形成干燥室。
进一步，作为一种较佳的实施例，上腔体41内还设置有一输入主管413、一第一输入次管414和若干第二输入次管415，输入主管413沿竖直方向设置，输入主管413的上端与化学注入管5连接，第一输入次管414沿竖直方向设置，第一输入次管414的上端与输入主管413的下端连接，第一输入次管414的下端与干燥室的顶面的中心位置连通，每一第二输入次管415的上端分别与输入主管413的下端连接，每一第二输入次管415的下端均与干燥室的顶面连通，若干第二输入次管415的下端呈环形均匀布置。
进一步，作为一种较佳的实施例，若干第二输入次管415的下端沿干燥室的顶面的外缘均匀布置。
进一步，作为一种较佳的实施例，若干第二输入次管415的下端呈圆形均匀布置。
进一步，作为一种较佳的实施例，上腔体41的水平截面呈圆形设置。
进一步，作为一种较佳的实施例，下腔体42的水平截面呈圆形设置。
进一步，作为一种较佳的实施例，干燥室的内轮廓呈圆饼形结构设置。
进一步，作为一种较佳的实施例，每一第二输入次管415的下端与干燥室的顶面形成一输入孔，每一输入孔的轴线方向均相对于竖直方向呈倾斜设置。
进一步，作为一种较佳的实施例，每一输入孔的轴线的延长线的上端靠近化学注入管5设置，每一输入孔的轴线的延长线的下端靠近干燥室的环形内壁设置。进一步地，保证了通过化学注入管5注入的流体在干燥室内均匀稳定输出。
进一步，作为一种较佳的实施例，下腔体42还设置有一排出通道423。进一步地，在晶圆干燥完成后将干燥室的内部的流体通过排出通道423排出。
以上仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围。
本发明在上述基础上还具有如下实施方式：
本发明的进一步实施例中，还包括：机械手6，机械手6用于夹持晶圆，机械手6设置于支架1的一端，机械手6设置于内腔部4远离外腔部3的一端。
本发明的进一步实施例中，还包括：承载部7，承载部7设置于下腔体42内，承载部7用于承载晶圆于其上。
本发明的进一步实施例中，承载部7上设置有若干接触头，接触头与晶圆的底面相抵以形成支撑。
本发明的进一步实施例中，承载部7上设置有若干空气孔，空气孔通过一穿过下腔体42设置的吹气管以向干燥室内提供由下至上的气流以使得晶圆非接触地承载于承载部7的上方。
本发明的进一步实施例中，还包括：充气装置、充气管、两充气密封囊，充气装置设置于底架11上，充气管的一端与充气装置的输入端连接，两充气密封囊均与充气管的另一端连接，充气管的另一端设置于外腔体内，两充气密封囊分别设置于两插入槽34内。
本发明的进一步实施例中，两充气密封囊均呈长条形结构，且充气密封囊的长度方向沿线性移动模组2的设置方向设置。进一步地，在平行于线性移动模组2的设置方向上有线性移动模组2的移动机构为内腔部4和外腔部3在该方向上提供稳定压力以保证密封，而在垂直于线性移动模组2的设置方向上，通过两充气密封气囊实现对上腔体41和下腔体42的接触处进行密封加强。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆干燥模组，其特征在于，包括：支架、线性移动模组、外腔部、内腔部、化学注入管，所述线性移动模组安装于所述支架上，所述内腔部固定安装于所述线性移动模组上，所述外腔部可移动地安装于所述线性移动模组上，所述外腔部设置于所述内腔部的一侧，所述外腔部靠近所述内腔部的一侧内凹形成有一密封插槽，所述外腔部在所述线性移动模组的驱动下使得所述内腔部插入于所述外腔部内，所述化学注入管与所述内腔部连接；
其中，所述内腔部包括：上腔体和下腔体，所述上腔体与所述下腔体之间相匹配形成一干燥室，所述下腔体可升降设置于所述上腔体的下方。
2.根据权利要求1所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述支架包括：底架、安装架和固定架，所述安装架安装于所述底架的上端，所述安装架上安装有所述线性移动模组，所述固定架与所述安装架固定连接，所述固定架向上延伸设置，所述固定架的上部与所述上腔体固定连接。
3.根据权利要求1所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述线性移动模组包括：两滑轨、滑块和移动机构，两所述滑轨平行的安装于所述支架上，所述滑块安装于一所述滑轨上，所述移动机构安装于另一所述滑轨上，所述移动机构和所述滑块均与所述外腔部固定连接。
4.根据权利要求1所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述内腔部还包括：升降气缸和气缸座，所气缸座与所述支架固定连接，所述升降气缸的尾部与所述气缸座固定连接，所述升降气缸的活塞杆与所述下腔体固定连接。
5.根据权利要求1所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述外腔体包括：挡板、第一插槽部和第二插槽部，所述挡板的设置方向与所述线性移动模组的设置方向垂直，所述第一插槽部的一端和所述第二插槽部的一端分别连接于所述挡板的一侧的两端，所述第一插槽部和所述第二插槽部均平行于所述线性移动模组设置，所述第一插槽部的下端和所述第二插槽部的下端均与所述线性移动模组连接，所述第一插槽部和所述第二插槽部相互靠近的一侧分别开设有一插入槽，两所述插入槽和所述挡板的一侧共同形成所述密封插槽。
6.根据权利要求5所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述上腔体的上表面的两侧分别下凹形成两第一阶梯部，所述下腔体的下表面的两侧分别上凹形成两第二阶梯部，每一所述第一阶梯部和一所述第二阶梯部相靠近设置，且一所述第一阶梯部和对应一所述第二阶梯部共同形成的外轮廓与所述插入槽的内轮廓相匹配。
7.根据权利要求5所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述第一插槽部和所述第二插槽部之间间隔有一定距离，所述上腔体的上表面与所述外腔体的上表面平齐设置，所述化学注入管与所述上腔体的中部连接。
8.根据权利要求1所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述上腔体的下部形成有一上容置部，所述下腔体的上部形成有一下容置部，所述上容置部和所述下容置部上下配合形成所述干燥室。
9.根据权利要求8所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述上腔体内还设置有一输入主管、一第一输入次管和若干第二输入次管，所述输入主管沿竖直方向设置，所述输入主管的上端与所述化学注入管连接，所述第一输入次管沿竖直方向设置，所述第一输入次管的上端与所述输入主管的下端连接，所述第一输入次管的下端与所述干燥室的顶面的中心位置连通，每一所述第二输入次管的上端分别与所述输入主管的下端连接，每一所述第二输入次管的下端均与干燥室的顶面连通，若干所述第二输入次管的下端呈环形均匀布置。
10.根据权利要求1所述的晶圆干燥模组，其特征在于，所述下腔体还设置有一排出通道。
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