CN114136015B - 一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法 - Google Patents
一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114136015B CN114136015B CN202111365726.1A CN202111365726A CN114136015B CN 114136015 B CN114136015 B CN 114136015B CN 202111365726 A CN202111365726 A CN 202111365726A CN 114136015 B CN114136015 B CN 114136015B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- absorption
- low
- thermal control
- control device
- emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 73
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 15
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24S—SOLAR HEAT COLLECTORS; SOLAR HEAT SYSTEMS
- F24S70/00—Details of absorbing elements
- F24S70/60—Details of absorbing elements characterised by the structure or construction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24S—SOLAR HEAT COLLECTORS; SOLAR HEAT SYSTEMS
- F24S70/00—Details of absorbing elements
- F24S70/20—Details of absorbing elements characterised by absorbing coatings; characterised by surface treatment for increasing absorption
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/40—Solar thermal energy, e.g. solar towers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
本发明提出一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法,属于电子元器件技术领域,智能热控器件包括低吸收低发射层或低吸收高发射层其中一种和电致变色层,智能热控器件的制备方法包括:制备电致变色层;在制备的电致变色层背面沉积低吸收低发射层或低吸收高发射层;沉积的低吸收低发射层或低吸收高发射层厚度达到预定厚度时,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备,低吸收低发射层或低吸收高发射层的预定厚度根据电致变色层的红外光谱发射率、厚度以及所用低吸收低发射层或低吸收高发射层材料的太阳光谱吸收率、红外光谱发射率确定。解决了现有智能热控器件无法调控自身吸收发射比的问题,具有突出的实质性特点和显著的进步。
Description
技术领域
本发明属于电子元器件技术领域,具体涉及一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法。
背景技术
智能热控器件因其能根据环境变化来调整自身的热物性参数而实现对热控对象的温度控制,在卫星等空间飞行器热控领域具有广泛应用前景。
现有的智能热控器件只能调控自身的红外发射率,无法调控其吸收发射比(太阳吸收比与红外发射率比值)。太阳辐照环境下,物体表面温度与其吸收发射比的四分之一次方成正比,因此航天领域对能够吸收发射比可调控的智能热控器件具有迫切需求,目前还缺乏此类智能热控器件。
发明内容
本发明提供一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法,目的是解决现有智能热控器件无法调控自身吸收发射比的问题。
本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法,智能热控器件包括电致变色层和低吸收低发射层,智能热控器件的制备方法包括:
S1、制备电致变色层;
S2、采用磁控溅射方法在步骤S1制备的电致变色层背面沉积低吸收低发射层;
S3、沉积的低吸收低发射层厚度达到预定厚度时,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备,低吸收低发射层的预定厚度根据电致变色层的红外光谱发射率、厚度以及所用低吸收低发射层材料的太阳光谱吸收率、红外光谱发射率确定。
进一步地,电致变色层的太阳光谱透过率在5%~70%范围内可调,红外光谱发射率为0.80~0.90。
进一步地,低吸收低发射层的太阳光谱吸收率为0.04~0.10,红外光谱发射率为0.02~0.08。
进一步地,低吸收低发射层采用金属铝或银。
进一步地,电致变色层的厚度为500~1500μm,低吸收低发射层的厚度为1~10μm。
一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法,智能热控器件包括电致变色层和低吸收高发射层,智能热控器件的制备方法包括:
S1、制备电致变色层;
S2、采用空气喷涂方法在步骤S1制备的电致变色层背面制备低吸收高发射层;
S3、沉积的低吸收高发射层厚度达到预定厚度时,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备,低吸收高发射层的预定厚度根据电致变色层的红外光谱发射率、厚度以及所用低吸收高发射层材料的太阳光谱吸收率、红外光谱发射率确定。
进一步地,电致变色层的太阳光谱透过率在5%~70%范围内可调,红外光谱发射率为0.80~0.90。
进一步地,低吸收高发射层的太阳光谱吸收率为0.08~0.15,红外光谱发射率为0.85~0.92。
进一步地,低吸收高发射层采用白色无机陶瓷涂层。
进一步地,电致变色层的厚度为500~1500μm,低吸收高发射层的厚度为50~200μm。
本发明所取得的有益技术效果是:
通过调整电致变色层的太阳光谱透过率,保持红外发射率不变来调控器件的太阳吸收比与红外发射率比值,即吸收发射比。太阳吸收比与红外发射率比值可在0.40~1.0之间调控。可根据空间光照环境变化来智能调控自身的吸收发射比,从而实现对热控对象温度的智能调控,解决了现有智能热控器件无法调控自身吸收发射比的问题,具有突出的实质性特点和显著的进步。
附图说明
图1是本发明其中一种具体实施例的结构示意图;
图2是本发明另外一种具体实施例的结构示意图;
附图标记:1、电致变色层;2、低吸收低发射层;3、低吸收高发射层。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明的技术方案做进一步详细说明。显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明要求保护的范围。
一种吸收发射比可调的智能热控器件,由电致变色层1与低吸收低发射层2或低吸收高发射层3组成,通过调整电致变色层1的太阳光谱透过率来调控器件的吸收发射比。太阳吸收比与红外发射率比值可在0.40~1.0之间调控。吸收发射比可调的智能热控器件可根据空间光照环境变化来调控自身的吸收发射比,从而实现对热控对象温度的调控,解决了现有智能热控器件无法调控自身吸收发射比的问题,在空间飞行器热控具有广阔应用前景。
如图1所示,一种吸收发射比可调的智能热控器件第一具体实施例,包括电致变色层1和低吸收低发射层2,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的500μm厚电致变色层1,电致变色层1采用电化学或化学氧化方法制成,属于现有技术,此处不再赘述。
S2、采用磁控溅射方法在步骤S1制备的电致变色层1背面沉积1μm的金属铝层。
S3、沉积的金属铝层厚度达到1μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.45调节至0.79,红外发射率为0.79不变,吸收发射比为0.57~1.0。
一种吸收发射比可调的智能热控器件第二具体实施例,包括电致变色层1和低吸收低发射层2,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的1000μm厚电致变色层1。
S2、采用磁控溅射方法在步骤S1制备的电致变色层1背面沉积5μm的金属铝层。
S3、沉积的金属铝层厚度达到5μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.40调节至0.80,红外发射率为0.82不变,吸收发射比为0.50~0.98。
一种吸收发射比可调的智能热控器件第三具体实施例,包括电致变色层1和低吸收低发射层2,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的1500μm厚电致变色层1。
S2、采用磁控溅射方法在步骤S1制备的电致变色层1背面沉积10μm的金属铝层。
S3、沉积的金属铝层厚度达到10μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.38调节至0.82,红外发射率为0.82不变,吸收发射比为0.46~1.00。
一种吸收发射比可调的智能热控器件第四具体实施例,包括电致变色层1和低吸收低发射层2,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的1000μm厚电致变色层1。
S2、采用磁控溅射方法在步骤S1制备的电致变色层1背面沉积5μm的金属银层。
S3、沉积的金属铝层厚度达到5μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.33调节至0.82,红外发射率为0.82不变,吸收发射比为0.40~1.00。
如图2所示,一种吸收发射比可调的智能热控器件第五具体实施例,包括电致变色层1和低吸收高发射层3,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的1000μm厚电致变色层1。
S2、采用空气喷涂方法在步骤S1制备的电致变色层1背面制备50μm的白色无机陶瓷涂层。
S3、沉积的白色无机陶瓷涂层厚度达到50μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.40调节至0.82,红外发射率为0.85不变,吸收发射比为0.47~0.96。
一种吸收发射比可调的智能热控器件第六具体实施例,包括电致变色层1和低吸收高发射层3,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的1000μm厚电致变色层1。
S2、采用空气喷涂方法在步骤S1制备的电致变色层1背面制备100μm的白色无机陶瓷涂层。
S3、沉积的白色无机陶瓷涂层厚度达到100μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.40调节至0.82,红外发射率为0.87不变,吸收发射比为0.46~0.94。
一种吸收发射比可调的智能热控器件第七具体实施例,包括电致变色层1和低吸收高发射层3,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的500μm厚电致变色层1。
S2、采用空气喷涂方法在步骤S1制备的电致变色层1背面制备200μm的白色无机陶瓷涂层。
S3、沉积的白色无机陶瓷涂层厚度达到200μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.38调节至0.82,红外发射率为0.88不变,吸收发射比为0.43~0.93。
一种吸收发射比可调的智能热控器件第八具体实施例,包括电致变色层1和低吸收高发射层3,按如下方法制备:
S1、制备在太阳光谱透过率5%~70%可调的500μm厚电致变色层1。
S2、采用空气喷涂方法在步骤S1制备的电致变色层1背面制备150μm的白色无机陶瓷涂层。
S3、沉积的白色无机陶瓷涂层厚度达到150μm,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备。
本具体实施例中制成的智能热控涂层,太阳光谱吸收率可从0.45调节至0.84,红外发射率为0.90不变,吸收发射比为0.50~0.93。
综上,本具体实施例所提出的技术方案通过调整电致变色层1的太阳光谱透过率,保持红外发射率不变来调控器件的太阳吸收比与红外发射率比值,即吸收发射比。太阳吸收比与红外发射率比值可在0.40~1.0之间调控。可根据空间光照环境变化来智能调控自身的吸收发射比,从而实现对热控对象温度的智能调控,解决了现有智能热控器件无法调控自身吸收发射比的问题,在空间飞行器热控领域具有广阔应用前景,具有突出的实质性特点和显著的进步。
Claims (10)
1.一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于,所述制备方法制备的智能热控器件包括电致变色层和低吸收低发射层,所述智能热控器件的制备方法包括:
S1、制备电致变色层;
S2、采用磁控溅射方法在步骤S1制备的电致变色层背面沉积低吸收低发射层;
S3、沉积的低吸收低发射层厚度达到预定厚度时,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备,低吸收低发射层的预定厚度根据电致变色层的红外光谱发射率、厚度以及所用低吸收低发射层材料的太阳光谱吸收率、红外光谱发射率确定。
2.根据权利要求1所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述电致变色层的太阳光谱透过率在5%~70%范围内可调,红外光谱发射率为0.80~0.90。
3.根据权利要求2所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述低吸收低发射层的太阳光谱吸收率为0.04~0.10,红外光谱发射率为0.02~0.08。
4.根据权利要求3所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述低吸收低发射层采用金属铝或银。
5.根据权利要求4所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述电致变色层的厚度为500~1500μm,所述低吸收低发射层的厚度为1~10μm。
6.一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于,所述制备方法制备的智能热控器件包括电致变色层和低吸收高发射层,所述智能热控器件的制备方法包括:
S1、制备电致变色层;
S2、采用空气喷涂方法在步骤S1制备的电致变色层背面制备低吸收高发射层;
S3、沉积的低吸收高发射层厚度达到预定厚度时,完成吸收发射比可调的智能热控器件的制备,低吸收高发射层的预定厚度根据电致变色层的红外光谱发射率、厚度以及所用低吸收高发射层材料的太阳光谱吸收率、红外光谱发射率确定。
7.根据权利要求6所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述电致变色层的太阳光谱透过率在5%~70%范围内可调,红外光谱发射率为0.80~0.90。
8.根据权利要求7所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述低吸收高发射层的太阳光谱吸收率为0.08~0.15,红外光谱发射率为0.85~0.92。
9.根据权利要求8所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述低吸收高发射层采用白色无机陶瓷涂层。
10.根据权利要求9所述的一种吸收发射比可调的智能热控器件制备方法,其特征在于:所述电致变色层的厚度为500~1500μm,所述低吸收高发射层的厚度为50~200μm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111365726.1A CN114136015B (zh) | 2021-11-18 | 2021-11-18 | 一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111365726.1A CN114136015B (zh) | 2021-11-18 | 2021-11-18 | 一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114136015A CN114136015A (zh) | 2022-03-04 |
CN114136015B true CN114136015B (zh) | 2024-06-04 |
Family
ID=80390175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111365726.1A Active CN114136015B (zh) | 2021-11-18 | 2021-11-18 | 一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114136015B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115872632A (zh) * | 2022-12-04 | 2023-03-31 | 航天材料及工艺研究所 | 智能热控器件及其制备方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1223681A (zh) * | 1996-06-27 | 1999-07-21 | 日本石油株式会社 | 紫外线吸收材料和紫外线吸收板 |
CN103713439A (zh) * | 2013-11-30 | 2014-04-09 | 西安科技大学 | 一种可调红外发射率柔性隐身器件及其组装方法 |
CN108129144A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-08 | 南京航空航天大学 | 一种低吸收/发射比自适应控温材料及其制备方法 |
CN110030744A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-07-19 | 中国科学技术大学 | 一种光谱自适应的白天太阳能集热夜间辐射制冷涂层材料 |
WO2020211640A1 (zh) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种可通过电压调节等效发射率的热控皮肤及其在航天器中的应用 |
WO2021120706A1 (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 南京工业大学 | 一种被动式冷热双效材料 |
-
2021
- 2021-11-18 CN CN202111365726.1A patent/CN114136015B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1223681A (zh) * | 1996-06-27 | 1999-07-21 | 日本石油株式会社 | 紫外线吸收材料和紫外线吸收板 |
CN103713439A (zh) * | 2013-11-30 | 2014-04-09 | 西安科技大学 | 一种可调红外发射率柔性隐身器件及其组装方法 |
CN108129144A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-08 | 南京航空航天大学 | 一种低吸收/发射比自适应控温材料及其制备方法 |
CN110030744A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-07-19 | 中国科学技术大学 | 一种光谱自适应的白天太阳能集热夜间辐射制冷涂层材料 |
WO2020211640A1 (zh) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种可通过电压调节等效发射率的热控皮肤及其在航天器中的应用 |
WO2021120706A1 (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 南京工业大学 | 一种被动式冷热双效材料 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
MEMS变发射率真空热控器件研究进展;任大海;田景峰;尤政;;真空科学与技术学报(04);全文 * |
发射率可调型智能热控涂层的发展现状;史建中;曾一兵;刘文言;;宇航材料工艺(05);全文 * |
电致变色热控器件ITO膜层的制备与研究;王洁冰;何延春;许旻;邱家稳;吴春华;赵印中;;真空与低温(01);全文 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114136015A (zh) | 2022-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN114136015B (zh) | 一种吸收发射比可调的智能热控器件及其制备方法 | |
CN114047565B (zh) | 一种具有超高红外透射调制性能的相变材料及其制备方法 | |
WO2005071131A3 (de) | Transparente und leitfähige oxidschicht, herstellung sowie verwendung derselben in einer dünnschichtsolarzelle | |
CN114506136B (zh) | 一种具有温度自适应性和隔热保温功能的智能辐射制冷复合膜及其制备方法与应用 | |
CN103789730A (zh) | 一种二次电子发射薄膜的制备方法 | |
CN102584217B (zh) | 磁控溅射制备BaTiO3-Ni0.5Zn0.5Fe2O4铁电铁磁复合陶瓷薄膜及制备方法 | |
CN110863181B (zh) | 一种基于双层相变材料的红外发射率主动调制涂层 | |
Zhou et al. | Effects of tin content on structure, properties, electrical repeatability, uniformity and stability of high sheet resistance ITO thin films for touch panels | |
CN110055502B (zh) | 一种带隙可调的半导体硼碳薄膜的制备方法 | |
US11396454B2 (en) | Negative thermal expansion material, negative thermal expansion film and preparation method thereof | |
CN108796452B (zh) | 一种二氧化钒薄膜及其制备方法和应用 | |
CN108588661B (zh) | 一种采用低价钒种子层优化氧化钒薄膜性能的方法 | |
CN116377405A (zh) | 一种基于Ta元素掺杂的VO2薄膜的制备方法 | |
CN113652640B (zh) | 溅射制备纳米复合相氧化钒柔性薄膜的方法及薄膜 | |
CN112038481B (zh) | 重稀土掺杂ZnO柱状晶择优取向压电薄膜材料及其制备方法 | |
CN109449076A (zh) | 一种富硅氮化硅薄膜低温制备方法 | |
JP2764539B2 (ja) | サーモクロミック材料の製造方法 | |
CN108193178B (zh) | 一种晶态wc硬质合金薄膜及其缓冲层技术室温生长方法 | |
CN114574831B (zh) | 一种精确控制ito薄膜方块电阻的方法 | |
CN110643937A (zh) | 掺铝AlN-CdZnTe复合结构组件及其制备方法 | |
CN105132875A (zh) | 一种扩散法制备高浓度梯度azo单晶导电薄膜的方法 | |
KR20110111369A (ko) | 인듐 함유의 투명한 전도성 산화막을 형성하는 방법과 이 방법에 사용되는 금속 타겟 및 상기 투명한 전도성 산화막을 이용하는 광발전 장치 | |
CN108103466A (zh) | 高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法 | |
CN115128877B (zh) | 基于氮化锂离子传导层的电致变色器件及其制备方法 | |
CN113809551B (zh) | 一种基于铁电铁磁复合膜加载的实时可控吸波器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |