CN114072967B - 一种以等离子处理气体污染物的装置 - Google Patents
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Abstract
一种以等离子处理气体污染物的装置，包括一微波源、一波导组件及一谐振腔，该微波源产生一微波振荡，该波导组件耦接至该微波源，该谐振腔耦接至该波导组件，该微波振荡实质上朝一波导方向传递，该谐振腔包括一第一腔室及一第二腔室，该波导方向实质上平行于该第一腔室的一基准轴线，该第一腔室具有一围绕该基准轴线的内壁，该内壁包括一朝该基准轴线倾斜的第一内壁及一相对该基准轴线实质上平行的第二内壁，该第一内壁的面积大于该第二内壁使该第一腔室形成一渐缩的锥形空间，该微波振荡于该第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬。
Description
技术领域
本发明有关一种处理气体污染物的装置，尤指一种以等离子处理气体污染物的装置。
背景技术
半导体制程中的尾气含有多种对人体或环境有害的化学物质，例如最为大众所关注的全氟碳化物(PerFluoroCompounds，PFCs)，例如CF4、C2F6、C3F8等，常见的尾气处理设备，包括燃烧式、等离子式、加热式、水洗式以及触媒式等，由于全氟碳化物被分解的温度较高，故通常采用燃烧式和等离子式来处理。其中，等离子式属于较成熟且稳定的技术，而火炬所产生的温度较高，更适合用于分解全氟碳化物，故为燃烧式之后逐渐受到瞩目的技术。
依照等离子的来源区分，火炬的尾气处理设备主要包括直流式火炬以及微波式火炬，前述的已公开技术可见于美国发明专利公开美国发明专利公开第US20180071751A1号、美国发明专利公告第US9937467号、美国发明专利公告第US9346005号、美国发明专利公告第US9371581号、美国发明专利公告第US10064262号、美国发明专利公告第US9512518号、美国发明专利公告第US9277636号、美国发明专利公开第US20100074821A1号、美国发明专利公开第US20100290966A1号、美国发明专利公开第US20090301298A1号等。
然而，现存技术的缺点为，需要大量的电力以及燃料的消耗，因此，使得利用火炬处理尾气的成本难以降低至合理的范围内。
发明内容
本发明的主要目的在于解决习知火炬需要大量的电力以及燃料的消耗的问题。
为达上述目的，本发明提供一种以等离子处理气体污染物的装置，包括：一微波源，产生一微波振荡；一波导组件，耦接至该微波源并传递该微波振荡；以及一谐振腔，耦接至该波导组件且供该微波振荡在该谐振腔内实质上朝一波导方向传递，该谐振腔包括一靠近该波导组件的第一腔室以及一远离该波导组件的第二腔室，该第一腔室包括一连接该波导组件的一入口端和一远离该波导组件的出口端，该第二腔室包括一连通至该出口端的连通端以及一远离该连通端的封闭端，该第二腔室接收通过该第一腔室的该微波振荡，该微波振荡于该第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬；其中，该波导方向实质上平行于该第一腔室的一基准轴线，该第一腔室具有一围绕该基准轴线且沿该基准轴线延伸的内壁，该内壁包括一朝该基准轴线倾斜的第一区域以及一相对该基准轴线实质上平行的第二区域，该第一区域的面积大于该第二区域使该第一腔室从该入口端至该出口端形成一渐缩的锥形空间。
在一实施例中，该内壁包括一第一内侧壁以及一相对该第一内侧壁的第二内侧壁，该第一内侧壁和该第二内侧壁从该入口端至该出口端往该基准轴线向内倾斜。
在一实施例中，该内壁具有一第一内侧壁以及一相对该第一内侧壁的第二内侧壁，该第一内侧壁和该第二内侧壁之间具有一沿该基准轴线递减的渐变宽度差。
在一实施例中，该第一腔室的该内壁具有一第一顶壁以及一第一底壁，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二顶壁相对该第一顶壁具有一第一高度差。
在一实施例中，该第一腔室的该内壁具有一第一顶壁以及一第一底壁，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二底壁相对该第一底壁具有一第二高度差。
在一实施例中，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室且具有一靠近至该点火源的一第一端以及一远离该点火源的第二端，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该介电管的该第二端突出于该第二腔室且相对该第二腔室的该第二底壁具有一第三高度差。
在一实施例中，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室，该点火源包括一探针组件，该探针组件包括一承载体以及至少一设置于该承载体的尖端，该尖端具有一介于1.6毫米(mm)至2毫米(mm)之间的外径。
在一实施例中，该点火气体择自于空气、氮气及氩气所组成的群组。
本发明还提供一种以等离子处理气体污染物的装置，包括：一微波源，产生一微波振荡；一波导组件，耦接至该微波源并传递该微波振荡；以及一谐振腔，耦接至该波导组件且供该微波振荡在该谐振腔内实质上朝一波导方向传递，该谐振腔包括一靠近该波导组件的第一腔室以及一远离该波导组件的第二腔室，该第一腔室包括一连接该波导组件的一入口端和一远离该波导组件的出口端，该第二腔室包括一连通至该出口端的连通端以及一远离该连通端的封闭端，该第二腔室接收通过该第一腔室的该微波振荡，该微波振荡于该第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬；其中，该波导方向实质上平行于该第一腔室的一基准轴线，该第一腔室包括一第一内侧壁、一相对该第一内侧壁的第二内侧壁、一第一顶壁以及一第一底壁，该第一内侧壁和该第二内侧壁从该入口端至该出口端往该基准轴线向内倾斜。
在一实施例中，该第一内侧壁和该第二内侧壁之间具有一沿该基准轴线递减的渐变宽度差。
在一实施例中，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二顶壁相对该第一腔室的该第一顶壁具有一第一高度差。
在一实施例中，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二底壁相对该第一腔室的该第一底壁具有一第二高度差。
在一实施例中，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室且具有一靠近至该点火源的一第一端以及一远离该点火源的第二端，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该介电管的该第二端突出于该第二腔室且相对该第二腔室的该第二底壁具有一第三高度差。
在一实施例中，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室，该点火源包括一探针组件，该探针组件包括一承载体以及至少一设置于该承载体的尖端，该尖端具有一介于1.6毫米(mm)至2毫米(mm)之间的外径。
本发明更提供一种毋须燃料的处理气体污染物的装置，包括：一微波源，产生一微波振荡；一波导组件，耦接至该微波源并传递该微波振荡；以及一谐振腔，耦接至该波导组件且沿一波导方向延伸，该谐振腔包括一靠近该波导组件的锥形腔室以及一远离该波导组件的燃烧腔室，该燃烧腔室接收通过该锥形腔室的该微波振荡，该微波振荡于该燃烧腔室和一非燃料的点火气体反应而形成一火炬。
在一实施例中，该锥形腔室的该内壁具有一第一顶壁以及一第一底壁，该燃烧腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二顶壁相对该第一顶壁的一底端具有一第一高度差。
在一实施例中，该锥形腔室的该内壁具有一第一顶壁以及一第一底壁，该燃烧腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二底壁相对该第一底壁具有一第二高度差。
在一实施例中，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该燃烧腔室且具有一靠近至该点火源的一第一端以及一远离该点火源的第二端，该燃烧腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该介电管的该第二端突出于该燃烧腔室且相对该燃烧腔室具有一第三高度差。
本发明利用特殊的腔室结构设计，将该第一腔室的锥面增加，例如达到类似双锥状腔室的空间，藉此提升微波场强度，让该第二腔室的微波场强度达最大化。如此一来，可以大幅降低该微波源所需要的电力，也可以不用燃料气体，除了降低成本外，也更达到节能的目的。另外，本发明的点火源只需要探针，不需要如传统技术配置点火变压器和辉光放电电极，也不用点火变压器供电给辉光放电电极。
在一方面，本发明等离子处理气体污染物的装置可以直接作为一尾气处理设备；或者，本发明等离子处理气体污染物的装置也可以作为一尾气处理模组，而和其他形式的尾气处理设备整合。
附图说明
指定代表图为『图1』
『图1』，为本发明一实施例的立体组装示意图。
『图2』，为『图1』沿XZ平面的部分剖面立体示意图。
『图3A』，为『图1』沿XZ平面的剖面示意图。
『图3B』，为『图3A』的部分放大示意图。
『图4A』，为『图1』沿XY平面的剖面示意图。
『图4B』，为『图4A』的部分放大示意图。
『图5』，为本发明一实施例中，该探针组件的立体组装示意图。
『图6A』，为本发明第一实施例的部分立体组装示意图。
『图6B』，为『图6A』的侧视示意图。
『图7A』，为本发明第二实施例的部分立体组装示意图。
『图7B』，为『图7A』的侧视示意图。
『图8A』，为本发明第三实施例的部分立体组装示意图。
『图8B』，为『图8A』的侧视示意图。
『图9』，为本发明第四实施例的部分示意图。
『图10』，为本发明另一实施例的立体组装示意图。
『图11』，为『图10』沿YZ平面的剖面示意图。
具体实施方式
有关本发明的详细说明及技术内容，现就配合图式说明如下：
本发明揭露一种以等离子处理气体污染物的装置，参阅『图1』至『图4B』，在一实施例中，该装置包括一微波源10、一波导组件20、一隔离件30、一谐振腔40、一介电管50、一探针组件60、一移动件70、一冷却组件80以及一介电窗组件90，该微波源10用以产生一微波振荡，在本实施例中，该微波源10采用一磁控管，该波导组件20靠近该微波源10且和该微波源10耦接，该波导组件20包括一腔室21，该腔室21呈一长方体状，该腔室21包括一入口端21a以及一出口端21b，该入口端21a连接该微波源10，该隔离件30设置于该波导组件20和该谐振腔40之间。该介电窗组件90包括至少一第一介电窗90a以及至少一第二介电窗90b，该第一介电窗90a设置于该波导组件20和该隔离件30之间，该第二介电窗90b设置于该隔离件30和该谐振腔40之间。在本实施例中，该隔离件30包括一环形器以及一水负载，且该第一介电窗90a和该第二介电窗90b由一石英玻璃制成。
参阅『图2』、『图3A』及『图3B』，该谐振腔40包括一第一腔室41、一第二腔室42、一入口端43、一连通端44以及一封闭端45，本发明的一实施例中，该第一腔室41沿一基准轴线L延伸，该微波振荡在该谐振腔40内实质上平行一波导方向传递，该波导方向接近或实质上相等于该基准轴线L，该第一腔室41具有一内壁411，该内壁411围绕一基准轴线L且沿该基准轴线L延伸，该内壁411包括一第一区域以及一第二区域，其中，该第一区域朝该基准轴线L倾斜，而该第二区域相对该基准轴线L实质上平行，该第一区域的面积大于该第二区域，使该第一腔室41从该入口端43至该连通端44形成一渐缩的锥形空间。本发明的另一实施例中，该谐振腔40耦接至该波导组件20且沿一波导方向延伸，该谐振腔40包括一靠近该波导组件20的锥形腔室以及一远离该波导组件的燃烧腔室，该燃烧腔室接收通过该锥形腔室的该微波振荡，该微波振荡于该燃烧腔室和一非燃料的点火气体反应而形成一火炬T。
参阅『图3A』至『图4B』，本实施例中，该内壁411包括一第一内侧壁411a、一第二内侧壁411b、一第一顶壁411c以及一第一底壁411d，而该第一内侧壁411a和该第二内侧壁411b对称地相对该基准轴线L朝内倾斜，该第一内侧壁411a或该第二内侧壁411b和该基准轴线L之间形成一夹角θ2，该夹角θ2介于1°至5°之间，较佳地，该夹角θ2介于1°至3°之间。该第一顶壁411c相对该基准轴线L朝内倾斜，该第一顶壁411c和该基准轴线L之间形成一夹角θ1，该夹角θ1介于10°至15°之间，较佳地，该夹角θ1介于10°至13°之间，该第一顶壁411c包括一靠近该入口端43的高端以及靠近该连通端44的低端，该第一底壁411d则相对该基准轴线L实质上平行。换言之，在本实施例中，该第一区域包括该第一内侧壁411a、该第二内侧壁411b和该第一顶壁411c，而该第二区域包括该第一底壁411d，在本实施例中，该第一区域和该第二区域的面积比介于1.2至2之间。如『图4B』所示，该第一内侧壁411a和该第二内侧壁411b之间具有一沿该基准轴线L递减的渐变宽度差W1D；如『图3B』所示，该第一顶壁411c和该第一底壁411d间具有一沿该基准轴线L递减的渐变高度差H1D。
参阅『图3A』至『图4B』，本实施例中，该第二腔室42包括一第一内侧壁421a、一第二内侧壁421b、一第二顶壁421c以及一第二底壁421d，该第二顶壁421c包括一上开口422，该第二底壁421d包括一下开口423，该介电管50插设于该上开口422和该下开口423，该介电管50包括一第一段部51、一第二段部52、一第三段部53、一顶端54以及一底端55，该第一段部51以及该第三段部53分别突出于该上开口422和该下开口423，该第二段部52位于该第二腔室42内。本实施例中，该第二腔室42的该第一内侧壁421a和该第一腔室41的该第一内侧壁411a系相对该基准轴线L形成一连续倾斜面，该第二腔室42的该第二内侧壁421b和该第一腔室41的该第二内侧壁411b也相对该基准轴线L形成一连续倾斜面，该第二腔室42的该第二顶壁421c以及该第二底壁421d则相互平行，在一实施例中，该第二腔室42的该第二底壁421d和该第一腔室41的该第一底壁411d位在同一高度；该第二腔室42的该第二顶壁421c则和该第一腔室的该第一顶壁411c的低端位在同一高度。该第二腔室42的该第二顶壁421c以及该第二底壁421之间具有一高度差H2D，本实施例中，该高度差H2D沿该基准轴线L为一固定值，而在其他实施例中，该高度差H2D沿基准轴线L为一渐变值或具有一落差。
在该谐振腔40中，该入口端43具有一第一高度H1以及一第一宽度W1，该连通端44具有一第二高度H2以及一第二宽度W2，该封闭端45具有一第三高度H3以及一第三宽度W3，本实施例中，该入口端43的该第一高度H1以及该第一宽度W1分别大于该连通端44的该第二高度H2以及该第二宽度W2，该连通端44的该第二高度H2等于该封闭端45的该第三高度H3，而该连通端44的该第二宽度W2大于该封闭端45的该第三宽度W3，而在其他实施例中，该连通端44的该第二宽度W2也可等于该封闭端45的该第三宽度W3。
参阅『图2』及『图3B』，该冷却组件80装设于该介电管50的该顶端54一侧并罩覆该介电管50的该第一段部51，该移动件70和该探针组件60连接，并装设于该冷却组件80上，该探针组件60包括一承载体61以及至少一设置于该承载体61的一端面611的尖端62。该移动件70控制该探针组件60相对该第二腔室42的垂直移动，该冷却组件80包括一气体腔室81、一气体管路82以及一冷却管路83，该气体腔室81和该介电管50的一中空部H连通，该气体腔室81的内壁具有至少一气孔811，至少一点火气体从该气孔811进入该气体腔室81并进入该介电管50的该中空部H，在一实施例中，该点火气体为一非燃料气体，例如惰性气体，如氮气(N2)、氩气(Ar)或压缩干燥空气(Clean Dry Air/Compressed dry air,CDA)，该冷却管路83用以供冷却流体流动，以控制该气体腔室81的温度避免元件损坏。在本实施例中，该探针组件60、该移动件70和该冷却组件80构成一点火源，然此仅为举例说明，依照实际应用，该点火源亦可以采其他配置。
参阅『图3B』，该微波振荡将在该谐振腔40的该第二腔室42达到一最大强度，该最大强度将发生在该介电管50的该第二段部52内的该中空部H，当该点火气体充满于该介电管50的该中空部H，让该移动件70控制该探针组件60向下进入该第二段部52内的该中空部H，当该微波振荡的该最大强度达到一最低阀值时，将使得该探针组件60的该尖端62形成一火炬T。在本实施例中，该移动件70可采用一汽缸。
请参阅『图5』，在本发明的一实施例中，该探针组件60包括一第一尖端62a以及一第二尖端62b，该第一尖端62a和该第二尖端62b分别包括一渐缩的端部，该端部的直径介于1.6毫米(mm)至2.0毫米(mm)之间，该第一尖端62a和该第二尖端62b的长度介于30毫米(mm)至50毫米(mm)之间，该第一尖端62a和该第二尖端62b的材质可以为铜(Cu)、钨(W)或镍铬合金，例如：
600。利用设置复数个该尖端，可以增加点火的机率，此外，在其他实施例中，该端部也可以采用直径小于1.6毫米(mm)。
根据本发明的一实施例，该第一腔室41的该第一顶壁411c相对该第二腔室42的该第二顶壁421c具有一第一高度差；根据本发明的另一实施例，该第一腔室41的该第一底壁411d相对该第二腔室42的该第二底壁421d具有一第二高度差，该介电管50的该底端55突出于该第二腔室42且相对该第二腔室42的该第二底壁421d具有一第三高度差。
继续参阅『图6A』至『图9』，根据本发明的不同实施例，透过改变调整该第一高度差、该第二高度差和该第三高度差，以及该介电管的各段部尺寸，可以进一步调整或提升微波场强度。请参阅『图6A』和『图6B』，分别为本发明第一实施例的部分立体组装示意图以及侧视示意图，本实施例中，该第二腔室42包括有一第一本体42a以及一第二本体42b，该第一本体42a以及该第二本体42b分别具有高度Ha和Hb，该介电管50的该底端55和该第二腔室42的该第一本体42a的外底壁之间的一距离为Hd，该第一本体42a为一圆柱体，该第二本体42b为一方形体。该第一本体42a的高度Ha为20毫米(mm)，该第二本体42b的直径为80毫米(mm)，该第一本体42a的一开口424的直径为36毫米(mm)，该介电管50的总长度为20公分()。下表1为根据不同的该第二本体42b的高度Hb以及该距离Hd，量测该第二腔室42内的最大场强度(V/m)。
表1
| H<sub>b</sub>(mm) | H<sub>d</sub>(mm) | 最大场强度(V/m) |
| 100 | 35 | 342040 |
| 50 | 5 | 536790 |
| 75 | 60 | 643740 |
| 25 | 60 | 397650 |
| 60 | 35 | 659930 |
| 65 | 50 | 562390 |
| 70 | 55 | 472280 |
| 80 | 35 | 495810 |
请参阅『图7A』和『图7B』，分别为本发明第二实施例的部分立体组装示意图以及侧视示意图，本实施例中，该第二腔室42包括有一第一本体42a以及一第二本体42b，该第一本体42a以及该第二本体42b分别具有高度Ha和Hb，该介电管50的该底端55和该第二腔室42的该第一本体42a的外底壁之间的一距离为Hd，该第一本体42a和该第二本体42b均为一方形体。该第一本体42a的高度Ha为20毫米(mm)，该第二本体42b的边长为80毫米(mm)，该第一本体42a的一开口424的直径为36毫米(mm)，该介电管50的总长度为20公分(cm)。下表2为根据不同的该第二本体42b的高度Hb以及该距离Hd，量测该第二腔室42内的最大场强度(V/m)。
表2
| H<sub>b</sub>(mm) | H<sub>d</sub>(mm) | 最大场强度(V/m) |
| 100 | 35 | 366710 |
| 50 | 5 | 746580 |
| 75 | 60 | 608990 |
| 25 | 70 | 386360 |
| 60 | 35 | 672790 |
| 65 | 70 | 555980 |
| 45 | 50 | 751930 |
| 55 | 80 | 507490 |
| 40 | 95 | 871530 |
请参阅『图8A』和『图8B』，分别为本发明第三实施例的部分立体组装示意图以及侧视示意图，本实施例中，该第二腔室42包括有一第一本体42a、一第二本体42b以及一第三本体42c，该第一本体42a、该第二本体42b以及该第三本体42c分别具有高度Ha和Hb和Hc，该介电管50的该底端55和该第二腔室42的该第三本体42c的外底壁之间的一距离为Hd，该第一本体42a、该第二本体42b以及该第三本体42c均为一方形体。该第一本体42a的高度Ha为20毫米(mm)，该第一本体42a和该第三本体42c的边长为80毫米(mm)，该第一本体42a的一开口424的直径为36毫米(mm)，该介电管50的总长度为20公分(cm)。下表3和表4为根据不同的该第二本体42b的高度Hb、该第三本体42c的高度Hc以及该距离Hd，量测该第二腔室42内的最大场强度(V/m)。
表3
表4
其中，表4的最后一组配置，系具有最佳的最大场强度，该组的具体结构可参阅『图9』。
请参阅『图10』和『图11』，为本发明另一实施例的立体组装示意图以及『图10』沿YZ平面的剖面示意图。本实施例中，该处理气体污染物的装置进一步包括一进气模组100，该进气模组100包括一第一管路100a以及一第二管路100b，该第一管路100a和该第二管路100b装设于该冷却组件80，且和该气体腔室81相互连通，该进气模组100用于将至少一待处理的气体污染物G导入该气体腔室81内，并经由该气体腔室81进入该介电管50的该中空部H而被该火炬所形成的高温而分解。
Claims (14)
1.一种以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，包括：
一微波源，产生一微波振荡；
一波导组件，耦接至该微波源并传递该微波振荡；以及
一谐振腔，耦接至该波导组件且供该微波振荡在该谐振腔内实质上朝一波导方向传递，该谐振腔包括一靠近该波导组件的第一腔室以及一远离该波导组件的第二腔室，该第一腔室包括一连接该波导组件的一入口端和一远离该波导组件的出口端，该第二腔室包括一连通至该出口端的连通端以及一远离该连通端的封闭端，该第二腔室接收通过该第一腔室的该微波振荡，该微波振荡于该第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬；
其中，该波导方向实质上平行于该第一腔室的一基准轴线，该第一腔室具有一围绕该基准轴线且沿该基准轴线延伸的内壁，该内壁包括一朝该基准轴线倾斜的第一区域以及一相对该基准轴线实质上平行的第二区域，该第一区域的面积大于该第二区域使该第一腔室从该入口端至该出口端形成一渐缩的锥形空间。
2.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该内壁包括一第一内侧壁以及一相对该第一内侧壁的第二内侧壁，该第一内侧壁和该第二内侧壁从该入口端至该出口端往该基准轴线向内倾斜。
3.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该内壁具有一第一内侧壁以及一相对该第一内侧壁的第二内侧壁，该第一内侧壁和该第二内侧壁之间具有一沿该基准轴线递减的渐变宽度差。
4.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该第一腔室的该内壁具有一第一顶壁以及一第一底壁，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二顶壁相对该第一顶壁具有一第一高度差。
5.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该第一腔室的该内壁具有一第一顶壁以及一第一底壁，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二底壁相对该第一底壁具有一第二高度差。
6.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室且具有一靠近至该点火源的一第一端以及一远离该点火源的第二端，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该介电管的该第二端突出于该第二腔室且相对该第二腔室的该第二底壁具有一第三高度差。
7.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室，该点火源包括一探针组件，该探针组件包括一承载体以及至少一设置于该承载体的尖端，该尖端具有一介于1.6毫米至2毫米之间的外径。
8.根据权利要求1所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该点火气体择自于空气、氮气及氩气所组成的群组。
9.一种以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，包括：
一微波源，产生一微波振荡；
一波导组件，耦接至该微波源并传递该微波振荡；以及
一谐振腔，耦接至该波导组件且供该微波振荡在该谐振腔内实质上朝一波导方向传递，该谐振腔包括一靠近该波导组件的第一腔室以及一远离该波导组件的第二腔室，该第一腔室包括一连接该波导组件的一入口端和一远离该波导组件的出口端，该第二腔室包括一连通至该出口端的连通端以及一远离该连通端的封闭端，该第二腔室接收通过该第一腔室的该微波振荡，该微波振荡于该第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬；
其中，该波导方向实质上平行于该第一腔室的一基准轴线，该第一腔室包括一第一内侧壁、一相对该第一内侧壁的第二内侧壁、一第一顶壁以及一第一底壁，该第一内侧壁和该第二内侧壁从该入口端至该出口端往该基准轴线向内倾斜。
10.根据权利要求9所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该第一内侧壁和该第二内侧壁之间具有一沿该基准轴线递减的渐变宽度差。
11.根据权利要求9所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二顶壁相对该第一腔室的该第一顶壁具有一第一高度差。
12.根据权利要求9所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该第二底壁相对该第一腔室的该第一底壁具有一第二高度差。
13.根据权利要求9所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室且具有一靠近至该点火源的一第一端以及一远离该点火源的第二端，该第二腔室具有一第二顶壁以及一第二底壁，该介电管的该第二端突出于该第二腔室且相对该第二腔室的该第二底壁具有一第三高度差。
14.根据权利要求9所述的以等离子处理气体污染物的装置，其特征在于，还包括一点火源以及一介电管，该介电管插设于该第二腔室，该点火源包括一探针组件，该探针组件包括一承载体以及至少一设置于该承载体的尖端，该尖端具有一介于1.6毫米至2毫米之间的外径。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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| CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: # 01-23, No. 30, Refrigeration Industrial Zone, Singapore Patentee after: Yikesi Co.,Ltd. Address before: Singapore cooling Industrial Zone Patentee before: Yikesi Co.,Ltd. |
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| CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20230725 Address after: # 01-23/24, No. 30, Jialengfang, Singapore Jialeng Industrial Park Patentee after: Baohong (Singapore) Pte. Ltd. Address before: # 01-23, No. 30, Refrigeration Industrial Zone, Singapore Patentee before: Yikesi Co.,Ltd. |
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| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231004 Address after: 1-3/F, Building 3, Zhongsoft Wuhu Software Park, No. 17 Henglangshan Road, High tech Industrial Development Zone, Yijiang District, Wuhu City, Anhui Province Patentee after: Anhui yikos automation equipment Co.,Ltd. Address before: # 01-23/24, No. 30, Jialengfang, Singapore Jialeng Industrial Park Patentee before: Baohong (Singapore) Pte. Ltd. |
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| TR01 | Transfer of patent right |