CN114063479A - 应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，包括如下步骤：步骤S01：获取蚀刻任务信息，确定射频电源的控制策略；步骤S02：根据所述控制策略，确定射频电源的控制步骤；步骤S03：根据所述控制步骤，分别确定每个步骤的输出参数，并输入预设的多路输出模块；步骤S04：通过所述多路输出模块，控制所述射频电源进行蚀刻；通过对蚀刻任务信息进行分析确定射频电源的控制策略，增强了控制策略的针对性和准确性，通过控制策略确定出射频电源的控制步骤，使得控制步骤的控制效果更加精确，同时提高了控制效率，最后通过多路输出模块提高了射频电源蚀刻效率。
Description
技术领域
本发明涉及蚀刻机技术领域，特别涉及一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法及系统。
背景技术
目前，随着我国现代科技的快速发展，航空、航天、机械、半导体等领域上对蚀刻机的需求逐年递增，中国市场对芯片的需求在世界上都位列前部，并且随着我国电子行业的飞速发展，还有着需求继续扩大的趋势，而芯片制造离不开光刻机、蚀刻机、离子注入机等设备，这些设备的研发突破对我国的芯片制造行业，乃至其他行业的影响都是巨大的，5nm蚀刻机的关键技术，可用于台积电的5nm芯片制造；一直以来受到技术难度的限制和国外的技术封锁，使我国在芯片制造方向一直受阻，不过我国的蚀刻机技术已经逐步突破到了5nm；现有的蚀刻机在进行蚀刻时，通常以多个单路输出进行组合输出，通过对蚀刻机的蚀刻精准度调控来保证蚀刻的工作效率，但缺少应对不同情况下蚀刻进程变化的方案。
发明内容
本发明提供一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法及系统，用以解决蚀刻机不能及时对蚀刻过程进行多路实时控制及时刻过程温度监测的情况。
本发明提供了一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S01：获取蚀刻任务信息，确定射频电源的控制策略；
步骤S02：根据所述控制策略，确定射频电源的控制步骤；
步骤S03：根据所述控制步骤，分别确定每个步骤的输出参数，并输入预设的多路输出模块；
步骤S04：通过所述多路输出模块，控制所述射频电源进行蚀刻。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述步骤S01包括：
根据蚀刻任务信息，确定蚀刻主体，并根据所述蚀刻主体，确定蚀刻技术：其中，
所述蚀刻技术包括：溶液蚀刻、主体洗涤、干燥判定、修偏处理；
根据蚀刻技术，确定射频电源控制的控制需求，通过所述控制需求和蚀刻技术生成控制策略。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述步骤S02包括：
对控制策略进行方案分析，获取控制方案；其中，
所述控制方案包括：溶液蚀刻方案、主体洗涤方案、干燥判定方案、修偏处理方案；
根据控制方案，进行方案步骤规划处理，获取控制步骤；其中，
所述控制步骤包括：溶液蚀刻步骤、主体洗涤步骤、干燥判定步骤、修偏处理步骤。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述主体洗涤步骤包括：
对溶液蚀刻信息进行位置信息提取，根据蚀刻目标预设的坐标系，确认洗涤信息，并输出洗涤参数；其中，
所述洗涤信息包括：清洗坐标、清洗坐标对应的清洗强度；
根据所述洗涤信息对溶液蚀刻主体分别进行多次洗涤，获得洗涤主体；其中，
所述两次洗涤包括：喷淋洗涤、喷射洗涤。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述干燥判定步骤包括：
将洗涤完成的洗涤主体进行温度检测处理，获取温度检测信息，并输出温度参数；其中，
所述温度检测信息包括：洗涤主体温度、检测时间、预设时间内的温度变化值；
根据所述温度检测信息，对洗涤主体进行干燥处理，获取干燥值，并进行干燥判断，并输出干燥参数；其中，
当所述干燥值大于等于预设的干燥值时，则所述洗涤主体完成干燥处理；
当所述干燥值小于预设的干燥值时，则进行烘干处理，直到洗涤主体的干燥值大于等于预设的干燥值。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述修偏处理步骤包括：
通过射频电源对洗涤主体和洗涤主体所在区域进行电磁识别，获取电磁数据，并输出电磁参数；其中，
所述电磁数据包括：电磁频率、电磁场范围、射频电源到洗涤主体的距离；
对所述电磁数据和预设的执行电磁数据进行差异计算，获取边际差值，并进行收取判断；其中，
当所述边际差值在预设的安全差值阈值内时，则为可收取状态，对所述洗涤主体进行收取操作；
当所述边际差值不在预设的安全差值阈值内时，则为不可收取状态，对其进行修偏操作；
所述修偏操作通过对边际差值进行数值分析，获取电磁偏量，并根据的电磁对照库对电磁偏量进行转换，获取偏差电压信号；
伺服电机根据所述偏差电压信号，通过电压变速处理，获取驱动控制信号，并根据所述驱动控制信号，对洗涤主体进行驱动修偏控制，收取蚀刻主体，并输出驱动参数。
本发明提供了一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统，包括：
溶液检测模块：用于根据蚀刻目标对蚀刻溶液进行检测，获取蚀刻溶液信息，并进行调控，获取调控信息；
蚀刻模块：根据所述控制信息，对蚀刻目标进行蚀刻处理，获取蚀刻信息；其中，
所述蚀刻处理包括：蚀刻定位、调整蚀刻方式；
温控模块：用于在蚀刻处理后，根据蚀刻信息对蚀刻主体进行温度检测，获取主体温度信息，并进行判断，获取判断信息；
伺服电机模块：用于根据判断信息对伺服电机进行控制，获取电机控制信息。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述溶液检测模块包括：
溶液监测单元：用于对蚀刻溶液进行监测，获取初始蚀刻溶液信息和放入蚀刻主体后的蚀刻溶液信息；其中，
所述蚀刻溶液信息包括：溶液浓度、溶液比例、液位信息；
溶液偏差单元：用于根据所述初始蚀刻溶液信息和放入蚀刻主体后的蚀刻溶液信息，进行对比计算，获取溶液偏差值；
溶液调控单元：用于根据溶液偏差值对蚀刻溶液进行调控，获取调控信息。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述蚀刻模块包括：
蚀刻定位单元：用于根据调控信息，对需要进行蚀刻的部分定位，获取定位信息；
蚀刻策略单元：用于根据蚀刻目标和所述定位信息，对蚀刻主体进行划分，获取蚀刻块和蚀刻信息；其中，
所述蚀刻块包括：喷淋蚀刻块、喷射蚀刻块。
作为本技术方案的一种实施例，在于所述温控模块包括：
温度监测单元：用于监测蚀刻主体的温度，获取蚀刻主体温度变化信息，并计算出预设时间段内，蚀刻主体的温度变化率；
智能控温单元：用于对蚀刻过程进行实时温度监测，获取蚀刻过程温度信息，根据预设的蚀刻温度数据库和所述蚀刻过程温度信息，进行差异计算，获取温分布度差异值，并根据所述温度分布差异值对蚀刻过程进行温度调控处理；其中，
所述蚀刻过程温度信息包括：蚀刻溶液实时温度、蚀刻溶液温度变化率；
所述温度调控处理包括：溶液防护型升温处理、冷液循环降温处理；
保温单元：用于对蚀刻主体的温度变化率进行保温处理，将蚀刻主体的温度维持在预设的阈值范围内，并进行实时监测，获取保温数据。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明实施例中一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法的步骤图；
图2为本发明实施例中一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统的功能图；
图3为本发明实施例中一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统中溶液检测模块的功能图；
图4为本发明实施例中一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法中蚀刻机参考图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
如附图1所示，本发明实施例提供了一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，包括如下步骤：
步骤S01：获取蚀刻任务信息，确定射频电源的控制策略；
步骤S02：根据所述控制策略，确定射频电源的控制步骤；
步骤S03：根据所述控制步骤，分别确定每个步骤的输出参数，并输入预设的多路输出模块；
步骤S04：通过所述多路输出模块，控制所述射频电源进行蚀刻；
上述技术方案的工作原理为：图4为现有技术中的蚀刻机，现有技术方案中通过射频电源对蚀刻机在蚀刻过程中进行单一指令控制，单一控制的方式可能会省去很多繁琐的步骤，但是也因为这样，使得参数不可控，导致出现误差的几率大大增加。本发明的技术方案如图1所示，首先对蚀刻策略和步骤进行分析，首先获取蚀刻任务信息，确定出射频电源的控制策略，再根据控制策略来得出控制步骤，这个时候根据控制步骤要确定好每个步骤应该输出的输出参数，再输入多路输出模块，实现对射频电源的蚀刻控制；
上述技术方案的有益效果为：通过对蚀刻任务信息进行分析确定射频电源的控制策略，大大提高了策略的针对性和准确性，通过策略确定出射频电源的控制步骤，使得控制步骤的控制效果更加精确，同时提高了控制效率，通过多路输出模块提法哦了射频电源蚀刻效率。
在一个实施例中，所述步骤S01包括：
根据蚀刻任务信息，确定蚀刻主体，并根据所述蚀刻主体，确定蚀刻技术：其中，
所述蚀刻技术包括：溶液蚀刻、主体洗涤、干燥判定、修偏处理；
根据蚀刻技术，确定射频电源控制的控制需求，通过所述控制需求和蚀刻技术生成控制策略；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案在蚀刻过程中用统一方案流程和不同溶液配比不同，上述技术方案通过确定蚀刻主体，并根据蚀刻主体确定出蚀刻主体需要用到的蚀刻技术，用到哪种蚀刻技术，则获取对应的控制需求，这里的控制需求是，用来帮助射频电源进行控制并生成控制策略；
上述技术方案的有益效果为：通过对蚀刻主体和蚀刻主体需要用到的蚀刻技术进行分析，提高控制策略的准确性和策略生成速度。
在一个实施例中，所述步骤S02包括：
对控制策略进行方案分析，获取控制方案；其中，
所述控制方案包括：溶液蚀刻方案、主体洗涤方案、干燥判定方案、修偏处理方案；
根据控制方案，进行方案步骤规划处理，获取控制步骤；其中，
所述控制步骤包括：溶液蚀刻步骤、主体洗涤步骤、干燥判定步骤、修偏处理步骤；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中蚀刻机通过电源的单一控制方案进行整个蚀刻流程不同，上述技术方案通过对溶液蚀刻、主体洗涤、干燥判定、修偏处理分别定制方案，再根据各自的方案进行步骤规划，分别获得每一个方案的执行步骤；
上述技术方案的有益效果为：通过不同方案的规划和不同技术步骤的控制，提高了蚀刻效率，同时增强了溶液蚀刻的准确性，保证了洗涤和蚀刻的精度，提高了蚀刻的安全性和有效性。
在一个实施例中，所述主体洗涤步骤包括：
对溶液蚀刻信息进行位置信息提取，根据蚀刻目标预设的坐标系，确认洗涤信息，并输出洗涤参数；其中，
所述洗涤信息包括：清洗坐标、清洗坐标对应的清洗强度；
根据所述洗涤信息对溶液蚀刻主体分别进行多次洗涤，获得洗涤主体；其中，
所述两次洗涤包括：喷淋洗涤、喷射洗涤；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中对蚀刻目标进行单一清洗不同，上述技术方案中通过将蚀刻目标建立坐标系，并根据坐标系确定清洗坐标和分别对应的清洗强度，再对溶液蚀刻主体进行喷淋洗涤和喷射洗涤；
上述技术方案的有益效果为：通过建立坐标系大大提高了洗涤精准度，也保障了蚀刻完成的整体精确性，提高了蚀刻洗涤效率。
在一个实施例中，所述干燥判定步骤包括：
将洗涤完成的洗涤主体进行温度检测处理，获取温度检测信息，并输出温度参数；其中，
所述温度检测信息包括：洗涤主体温度、检测时间、预设时间内的温度变化值；
根据所述温度检测信息，对洗涤主体进行干燥处理，获取干燥值，并进行干燥判断，并输出干燥参数；其中，
当所述干燥值大于等于预设的干燥值时，则所述洗涤主体完成干燥处理；
当所述干燥值小于预设的干燥值时，则进行烘干处理，直到洗涤主体的干燥值大于等于预设的干燥值；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中对清洗后的蚀刻体进行简单烘干不同，上述技术方案中通过将洗涤好了的主体进行测温，根据检测出洗涤主体温度，一定时间内的温度变化，这里的一定时间是要根据不同的蚀刻对象和不同蚀刻方案下的不同时间段，根据这些信息，对洗涤主体进行干燥处理，使其达到预设的干燥状态，此时，完成蚀刻干燥；
上述技术方案的有益效果为：通过对洗涤后的主体进行温度判断，提高了其对干燥处理范围对焦的精准性，也通过干燥值判断，大大提高了蚀刻干燥程序的完整度和效率。
在一个实施例中，所述修偏处理步骤包括：
通过射频电源对洗涤主体和洗涤主体所在区域进行电磁识别，获取电磁数据，并输出电磁参数；其中，
所述电磁数据包括：电磁频率、电磁场范围、射频电源到洗涤主体的距离；
对所述电磁数据和预设的执行电磁数据进行差异计算，获取边际差值，并进行收取判断；其中，
当所述边际差值在预设的安全差值阈值内时，则为可收取状态，对所述洗涤主体进行收取操作；
当所述边际差值不在预设的安全差值阈值内时，则为不可收取状态，对其进行修偏操作；
所述修偏操作通过对边际差值进行数值分析，获取电磁偏量，并根据电磁对照库对电磁偏量进行转换，获取偏差电压信号；
伺服电机根据所述偏差电压信号，通过电压变速处理，获取驱动控制信号，并根据所述驱动控制信号，对洗涤主体进行驱动修偏控制，收取蚀刻主体，并输出驱动参数；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中对蚀刻控制是通过单程流程控制不同，上述技术方案中通过对进行蚀刻的洗涤主体进行电磁数据识别获取，将其和预设任务应该达到的数据进行对比，计算其边际差值，对其边际差值进行判断，如果边际差值在预设的差值范围内，则可以直接对蚀刻体进行收取，完成蚀刻处理，但如果出现边际差值过大的情况，那么需要进行修偏操作，修偏操作就是根据具体的边际差值与预设差值的偏差数据，将其中的电磁偏量转化成电压信号，射频电源通过传递电压信号对伺服电机进行控制，直到修偏完成，收取蚀刻主体；
上述技术方案的有益效果为：通过计算边际差值，可以直观的反映出当前蚀刻完成情况、干燥完成情况，为后续的收取工作提供了帮助，加快了收取工作效率，通过修偏操作，提高了整体蚀刻效率。
在一个实施例中，所述射频电源对伺服电机进行控制包括如下步骤：
步骤S100：计算蚀刻过程中蚀刻机对蚀刻主体做收取的第一负载惯量If和第二负载惯量Is：
其中，d为蚀刻机滚动轴的长度，ρf为蚀刻主体的密度，rf为蚀刻机滚动轴的半径，i为蚀刻机蚀刻转动的速比，M为蚀刻机进行蚀刻的总质量，L为蚀刻机滚动轴上相邻对应点的轴向距离，Vs为蚀刻机蚀刻过程中起蚀刻作用的器件总体积；
步骤S200：计算负载扭矩δ：
其中，τ为蚀刻机进行蚀刻的摩擦系数，λ为蚀刻机负载轴上相邻对应点的轴向距离，fz为蚀刻机正面收到的压力，fr为溶液压力，ε为制动效率，
为其他负载扭矩；
步骤S300：计算伺服电机在不接负载的情况下运行的扭矩γ：
其中，vm为伺服电机在蚀刻过程中进行快速制动的最大转速，Ir为伺服电机的惯矩，Ts为伺服电机加速时间，ts为第一负载惯量If对应的时间系数，tf为第二负载惯量Is对应的时间系数，tr为伺服电机的惯矩对应的时间系数，其中，0<ts,tf,tr≤100；
上述技术方案的原理在于：本发明首先计算蚀刻过程中蚀刻机对蚀刻主体做收取的第一负载惯量If和第二负载惯量Is，通过用蚀刻机滚动轴的半径rf的平方除以处理过的蚀刻机蚀刻转动速比i，其结果作为平方变量进行平方计算
，再与蚀刻机滚动轴围绕面积及蚀刻主体的密度ρf相乘，其中，所述蚀刻机滚动轴围绕面积通过蚀刻机滚动轴的长度d进行面积计算2×π×d，此时得到第一负载惯量If，再通过蚀刻机进行蚀刻的总质量M、蚀刻机滚动轴上相邻对应点的轴向距离L、蚀刻机蚀刻过程中起蚀刻作用的器件总体积Vs，计算出第二负载惯量Is；第二步计算出在负载状况下的扭矩，除了溶液对蚀刻机和蚀刻主体造成的压力和蚀刻机正面压力外，还要考虑是否有其他因素造成的压力，不同的蚀刻主体，其对应的蚀刻方案和方案中的蚀刻压力有所不同，通过对负载情况的计算，最后根据伺服电机数据，计算出伺服电机在不接负载的情况下运行的扭矩γ，得到射频电源控制伺服电机的基本条件；
上述技术方案的有益效果为：通过对多种压力情况的考虑，提高了负载扭矩的准确度，又通过伺服电机在不接负载的情况下运行的扭矩的计算，保障了射频电源对伺服电机的控制及时性，提高了蚀刻效率和蚀刻安全。
本发明提供了一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统，包括：
溶液检测模块：用于根据蚀刻目标对蚀刻溶液进行检测，获取蚀刻溶液信息，并进行调控，获取调控信息；
蚀刻模块：根据所述控制信息，对蚀刻目标进行蚀刻处理，获取蚀刻信息；其中，
所述蚀刻处理包括：蚀刻定位、调整蚀刻方式；
温控模块：用于在蚀刻处理后，根据蚀刻信息对蚀刻主体进行温度检测，获取主体温度信息，并进行判断，获取判断信息；
伺服电机模块：用于根据判断信息对伺服电机进行控制，获取电机控制信息；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中对蚀刻机进行机器控制和数据获取不同，上述技术方案中如图2所示，通过溶液检测模块，将蚀刻溶液信息进行分析判断，并根据分析结果进行调控，同时要记录下调控信息；通过蚀刻模块对蚀刻目标在进行蚀刻过程中的数据进行记录，获取到蚀刻定位，调整蚀刻方式；再通过温度模块对蚀刻处理之后的主体进行测温，对其温度进行分析判断
上述技术方案的有益效果为：通过溶液检测并根据蚀刻溶液信息进行蚀刻处理，蚀刻定位提高了蚀刻精准度，蚀刻方式的匹配提高了蚀刻效率，通过温度控制，保证了蚀刻过程的完整性和安全性。
在一个实施例中，所述伺服电机模块包括如下步骤：
步骤1：计算蚀刻过程中的最大蚀刻面积βmax：
其中，μ为蚀刻器件工作平面最大直径，σ为蚀刻器件工作曲面最高高度，ω为溢出/缩小的影响面积；
步骤2：计算出发送给伺服电机的目标额定电压U：
其中，σ为射频电源额定电阻，θ为射频电源进行蚀刻时的安全误差系数，αk为第k种情况进行蚀刻过程中的最大电流密度，k为蚀刻过程中的不同电流情况的数量，m为常数，且1<m≤10；
上述技术方案的原理在于：本发明首先通过对射频电源系统在控制蚀刻机进行蚀刻作用时的最大有效面积βmax，通过蚀刻器件工作平面最大直径μ和蚀刻器件工作曲面最高高度σ进行面积计算
，同时还要考虑到溢出/缩小的影响面积ω，最后计算出最大有效面积βmax；可以通过最大有效面积与蚀刻过程中的最大电流密度进行相乘，再乘以射频电源进行蚀刻时的安全误差系数θ，可以计算出射频电源的额定电流，但考虑到不同蚀刻情况下的电流情况有所不同，所以对多种情况进行分析，再与射频电源额定电阻σ相乘，获取目标额定电压U，并发送给伺服电机，转化为扭矩，实现射频电源对伺服电机的调控；
上述技术方案的有益效果为：通过对溢出/缩小的影响面积的考虑，提高了有效面积的准确性，通过对额定电压的计算，提高了伺服电机调控效率。
在一个实施例中，所述溶液检测模块包括：
溶液监测单元：用于对蚀刻溶液进行监测，获取初始蚀刻溶液信息和放入蚀刻主体后的蚀刻溶液信息；其中，
所述蚀刻溶液信息包括：溶液浓度、溶液比例、液位信息；
溶液偏差单元：用于根据所述初始蚀刻溶液信息和放入蚀刻主体后的蚀刻溶液信息，进行对比计算，获取溶液偏差值；
溶液调控单元：用于根据溶液偏差值对蚀刻溶液进行调控，获取调控信息；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中直接进行溶液蚀刻不同，上述技术方案中如图3所示，通过溶液监测单元对蚀刻溶液进行监测，根据蚀刻体在进行溶液蚀刻前后信息的对比，通过溶液偏差单元计算出溶液偏差值，最后溶液调控单元根据偏差值对蚀刻溶液进行调控，直到满足蚀刻条件；
上述技术方案的有益效果为：通过对蚀刻溶液进行数据检测，提高了蚀刻溶液的适用性，增强了蚀刻溶液的控制效率，提高了蚀刻速度。
在一个实施例中，所述蚀刻模块包括：
蚀刻定位单元：用于根据调控信息，对需要进行蚀刻的部分定位，获取定位信息；
蚀刻策略单元：用于根据蚀刻目标和所述定位信息，对蚀刻主体进行划分，获取蚀刻块和蚀刻信息；其中，
所述蚀刻块包括：喷淋蚀刻块、喷射蚀刻块；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中对蚀刻体直接进行轮廓内的蚀刻处理不同，上述技术方案中，通过建立坐标系，对蚀刻体的蚀刻部分进行精准定位，定位轮廓可以是任何形状，不受约束，同时对每一部分进行判断，确定蚀刻方式；
上述技术方案的有益效果为：通过建立坐标系确定蚀刻坐标和将蚀刻部分进行划分，大大提高了蚀刻精准度，通过划分成蚀刻块，提高了蚀刻效率。
在一个实施例中，所述温控模块包括：
温度监测单元：用于监测蚀刻主体的温度，获取蚀刻主体温度变化信息，并计算出预设时间段内，蚀刻主体的温度变化率；
智能控温单元：用于对蚀刻过程进行实时温度监测，获取蚀刻过程温度信息，根据预设的蚀刻温度数据库和所述蚀刻过程温度信息，进行差异计算，获取温分布度差异值，并根据所述温度分布差异值对蚀刻过程进行温度调控处理；其中，
所述蚀刻过程温度信息包括：蚀刻溶液实时温度、蚀刻溶液温度变化率；
所述温度调控处理包括：溶液防护型升温处理、冷液循环降温处理；
保温单元：用于对蚀刻主体的温度变化率进行保温处理，将蚀刻主体的温度维持在预设的阈值范围内，并进行实时监测，获取保温数据；
上述技术方案的工作原理为：与现有技术方案中对射频电源和蚀刻过程进行单一温度监测不同，上述技术方案中通过对蚀刻主体进行温度监测，同时计算在一定时间内，蚀刻主体的温度变化率，通过智能温控单元，将蚀刻过程的温度也进行监控分析，获得温度分布的差异值，并根据差异值进行温度调控；最后还有保温单元可以根据控制目标实现维持温度；
上述技术方案的有益效果为：通过计算蚀刻主体的温度变化率，使得蚀刻过程把控更为精细，大大提高了蚀刻过程的精确度和射频管理的准确性。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S01：获取蚀刻任务信息，确定射频电源的控制策略；
步骤S02：根据所述控制策略，确定射频电源的控制步骤；
步骤S03：根据所述控制步骤，分别确定每个步骤的输出参数，并输入预设的多路输出模块；
步骤S04：通过所述多路输出模块，控制所述射频电源进行蚀刻。
2.如权利要求1所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述步骤S01包括：
根据蚀刻任务信息，确定蚀刻主体，并根据所述蚀刻主体，确定蚀刻技术：其中，
所述蚀刻技术包括：溶液蚀刻、主体洗涤、干燥判定、修偏处理；
根据蚀刻技术，确定射频电源控制的控制需求，通过所述控制需求和蚀刻技术生成控制策略。
3.如权利要求1所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述步骤S02包括：
对控制策略进行方案分析，获取控制方案；其中，
所述控制方案包括：溶液蚀刻方案、主体洗涤方案、干燥判定方案、修偏处理方案；
根据控制方案，进行方案步骤规划处理，获取控制步骤；其中，
所述控制步骤包括：溶液蚀刻步骤、主体洗涤步骤、干燥判定步骤、修偏处理步骤。
4.如权利要求3所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述主体洗涤步骤包括：
对溶液蚀刻信息进行位置信息提取，根据蚀刻目标预设的坐标系，确认洗涤信息，并输出洗涤参数；其中，
所述洗涤信息包括：清洗坐标、清洗坐标对应的清洗强度；
根据所述洗涤信息对溶液蚀刻主体分别进行多次洗涤，获得洗涤主体；其中，
所述两次洗涤包括：喷淋洗涤、喷射洗涤。
5.如权利要求3所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述干燥判定步骤包括：
将洗涤完成的洗涤主体进行温度检测处理，获取温度检测信息，并输出温度参数；其中，
所述温度检测信息包括：洗涤主体温度、检测时间、预设时间内的温度变化值；
根据所述温度检测信息，对洗涤主体进行干燥处理，获取干燥值，并进行干燥判断，并输出干燥参数；其中，
当所述干燥值大于等于预设的干燥值时，则所述洗涤主体完成干燥处理；
当所述干燥值小于预设的干燥值时，则进行烘干处理，直到洗涤主体的干燥值大于等于预设的干燥值。
6.如权利要求3所述的一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，其特征在于，所述修偏处理步骤包括：
通过射频电源对洗涤主体和洗涤主体所在区域进行电磁识别，获取电磁数据，并输出电磁参数；其中，
所述电磁数据包括：电磁频率、电磁场范围、射频电源到洗涤主体的距离；
对所述电磁数据和预设的执行电磁数据进行差异计算，获取边际差值，并进行收取判断；其中，
当所述边际差值在预设的安全差值阈值内时，则为可收取状态，对所述洗涤主体进行收取操作；
当所述边际差值不在预设的安全差值阈值内时，则为不可收取状态，对其进行修偏操作；
所述修偏操作通过对边际差值进行数值分析，获取电磁偏量，并根据的电磁对照库对电磁偏量进行转换，获取偏差电压信号；
根据所述偏差电压信号，伺服电机进行电压变速处理，获取驱动控制信号，并根据所述驱动控制信号，对洗涤主体进行驱动修偏控制，收取蚀刻主体，并输出驱动参数。
7.一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统，其特征在于，包括：
溶液检测模块：用于根据蚀刻目标对蚀刻溶液进行检测，获取蚀刻溶液信息，并进行调控，获取调控信息；
蚀刻模块：根据所述控制信息，对蚀刻目标进行蚀刻处理，获取蚀刻信息；其中，
所述蚀刻处理包括：蚀刻定位、调整蚀刻方式；
温控模块：用于在蚀刻处理后，根据蚀刻信息对蚀刻主体进行温度检测，获取主体温度信息，并进行判断，获取判断信息；
伺服电机模块：用于根据判断信息对伺服电机进行控制，获取电机控制信息。
8.如权利要求7所述的一种用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统，其特征在于，所述溶液检测模块包括：
溶液监测单元：用于对蚀刻溶液进行监测，获取初始蚀刻溶液信息和放入蚀刻主体后的蚀刻溶液信息；其中，
所述蚀刻溶液信息包括：溶液浓度、溶液比例、液位信息；
溶液偏差单元：用于根据所述初始蚀刻溶液信息和放入蚀刻主体后的蚀刻溶液信息，进行对比计算，获取溶液偏差值；
溶液调控单元：用于根据溶液偏差值对蚀刻溶液进行调控，获取调控信息。
9.如权利要求8所述的一种用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统，其特征在于，所述蚀刻模块包括：
蚀刻定位单元：用于根据调控信息，对需要进行蚀刻的部分定位，获取定位信息；
蚀刻策略单元：用于根据蚀刻目标和所述定位信息，对蚀刻主体进行划分，获取蚀刻块和蚀刻信息；其中，
所述蚀刻块包括：喷淋蚀刻块、喷射蚀刻块。
10.如权利要求7所述的一种用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制系统，其特征在于，所述温控模块包括：
温度监测单元：用于监测蚀刻主体的温度，获取蚀刻主体温度变化信息，并计算出预设时间段内，蚀刻主体的温度变化率；
智能控温单元：用于对蚀刻过程进行实时温度监测，获取蚀刻过程温度信息，根据预设的蚀刻温度数据库和所述蚀刻过程温度信息，进行差异计算，获取温分布度差异值，并根据所述温度分布差异值对蚀刻过程进行温度调控处理；其中，
所述蚀刻过程温度信息包括：蚀刻溶液实时温度、蚀刻溶液温度变化率；
所述温度调控处理包括：溶液防护型升温处理、冷液循环降温处理；
保温单元：用于对蚀刻主体的温度变化率进行保温处理，将蚀刻主体的温度维持在预设的阈值范围内，并进行实时监测，获取保温数据。
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