CN114059137A - 一种不溶性阳极电镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种不溶性阳极电镀装置，包括电镀槽、阳极槽，所述电镀槽、阳极槽内部分别为中空的电镀腔、阳极腔，电镀腔、阳极腔之间通过半透膜分割；所述阳极槽内填充有导电液，且导电液浸泡阳极棒，所述阳极棒用于接入电镀阳极，使得导电液导电；所述电镀槽内填充有电镀液，电镀液内含有用于电镀的金属离子；阳极棒采用不溶性材料制作；电镀腔还与流量泵的出口连通，流量泵用于将补充箱内的高浓度电镀液输入电镀腔内以补充电镀腔内电镀液的浓度。本发明通过不溶性阳极结合半透膜、电镀液的活动补充可以实现阳极电场不会发生变化、电镀液的浓度可以精确控制，从而可以获得更好的电镀质量、更加精细的电镀工艺控制。

Description

一种不溶性阳极电镀装置

技术领域

本发明涉及电镀设备，特别是涉及一种不溶性阳极电镀装置。

背景技术

钢铁在自然环境中很容易腐蚀锈蚀，通常在其表面上电镀电位比铁的电位较正的金属镀层，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。电镀就是将被镀件作为阴极，镀层金属作为阳极，含被镀金属离子溶液作为电解液，被镀金属在阳极失去电子，变成离子进入电镀液，在电场的作用下金属离子迁移到被镀件表面，得到电子还原形成金属镀层。

目前的方法主要存在以下问题：

1、阴阳极的大小、形状不一致，一般用溶解性阳极，金属溶解速度大于被镀速度，容易导致溶液中金属粒子浓度升高，而过高的浓度会导致镀层疏松，存在附着力差、镀层空洞等缺陷。

2、金属粒子中含有其他杂质，这些杂质也被溶解，导致被镀件镀层质量缺陷。

发明内容

有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种不溶性阳极电镀装置，其采用不溶性阳极且利用活动补充镀液浓度的方式提高镀层质量。

为实现上述目的，本发明提供了一种不溶性阳极电镀装置，包括电镀槽、阳极槽，所述电镀槽、阳极槽内部分别为中空的电镀腔、阳极腔，电镀腔、阳极腔之间通过半透膜分割；所述阳极槽内填充有导电液，且导电液浸泡阳极棒，所述阳极棒用于接入电镀阳极，使得导电液导电；所述电镀槽内填充有电镀液，电镀液内含有用于电镀的金属离子；阳极棒采用不溶性材料制作；电镀腔还与流量泵的出口连通，流量泵用于将补充箱内的高浓度电镀液输入电镀腔内以补充电镀腔内电镀液的浓度。

优选地，还包括第一立板、第二立板，所述第一立板、第二立板分别安装在电镀槽、阳极槽的两侧，第一立板、第二立板分别与光轴的两端装配，所述光轴穿过阳极槽的驱动板且与之可轴向滑动装配。

优选地，所述电镀槽、阳极槽在相互靠近的一侧上分别安装有电镀门框、阳极门框，所述电镀槽、阳极槽相互靠近的端部上分别安装有不同的密封框，密封框的两侧处分别安装有第一密封气条、第二密封气条，所述第一密封气条的顶部、第二密封气条的顶部开口，同一侧的第一密封气条的内部、第二密封气条的内部分别与同一供气组件的两个供气孔独立连通；所述第一密封气条、第二密封气条具有高弹性且其内部中空；第一密封气条膨胀后与密封板挤压密封、第二密封气条膨胀后与半透膜架挤压密封，第一密封气条、第二密封气条择一膨胀。

优选地，半透膜架上设置有插接槽，插接槽与两块半透膜板卡合装配，两块半透膜板之间卡紧固定有半透膜，所述半透膜只允许-H、-OH通过。

优选地，所述电镀腔还与通过管道与回流泵的进口连通，回流泵的出口与暂存箱内部连通；所述电镀腔内的电镀液还与流量泵的出口连通，流量泵的进口与比例阀的出口连通，比例阀的第一进口与补充箱内的高浓度电镀液连通、第二进口与暂存箱内的电镀液连通；比例阀控制暂存箱、补充箱内液体对流量泵的供液比例。

优选地，电镀腔内安装有叶轮，所述叶轮安装在供料轴的一端上，供料轴的另一端穿出电镀槽后装入供液盖内，供液盖安装在架体上，所述供料轴与电镀槽密封、可圆周转动装配，所述供液盖罩在供料轴外且与之可相对圆周转动装配，供液盖安装在架体上且供液盖内部通过管道与流量泵的出口连通，所述供料轴内部设置有中空的供料孔，所述叶轮上设置有与供料孔连通的叶轮孔；

所述供料轴外套装有第一搅拌齿、第一搅拌齿与第二搅拌齿啮合传动，所述第二搅拌齿安装在电机轴上，电机轴一端装入电机内。

优选地，所述阳极槽远离电镀槽一侧与气缸的伸缩轴装配，气缸安装在第一立板上，所述阳极槽、半透膜架正下方安装有回收箱，所述回收箱内通过隔板密封分割为导电液回收腔、电镀液回收腔，所述隔板顶部与半透膜架的底部贴合密封；

所述半透膜架侧面上安装有移动铰接板，所述移动铰接板与两根连杆的一端分别铰接，两根连杆的另一端分别与移动座铰接，移动座上安装有移动滑块，移动滑块穿出移动滑槽且与之卡合、可滑动装配，所述移动滑槽设置在侧板上，侧板的两端分别以第一立板、第二立板装配；所述移动滑块穿出移动滑槽的一端与动力杆装配，动力杆安装在驱动板上；所述侧板上还安装有导向轮轴，导向轮轴上可圆周转动地安装有导向轮。

优选地，还包括供气组件，所述供气组件包括第一供气壳、第二供气壳，所述第一供气壳、第二供气壳之间装配固定，第一供气壳上分别设置有连通室、上通孔、下通孔、供气孔，所述供气孔的侧壁上设置有供气侧槽；所述连通室与管头一端连通，管头另一端与恒压罐内的气体连通，恒压罐用于提供恒定的气压；

所述第二供气壳上设置有导向孔、安装腔，所述上通孔、下通孔、供气孔、导向孔均与第二供气轴卡合、密封、可轴向滑动装配，所述第二供气轴上分别设置有齿槽、内轴孔、连通槽；所述供气孔底部安装有保持架，保持架上设置有贯穿的气槽，两个保持架的气槽分别与第一密封气条、第二密封气条内部连通；所述保持架上安装有第一供气轴，第一供气轴上设置有顶部开口、底部封闭的盲孔，盲孔与侧孔连通，侧孔贯穿第一供气轴，第一供气轴装入内轴孔内且与之密封、可轴向滑动装配；所述第二供气轴有两根，两根第二供气轴的齿槽分别与联动齿轮两侧啮合。

优选地，联动齿安装在安装腔内且套装在第一齿轴上，所述第一齿轴与第一轴板可圆周转动装配，第一齿轴上分别套装有第二伞齿轮、第一中间齿，所述第二伞齿轮、第一中间齿分别与第一伞齿轮、第二中间齿啮合传动，所述第一伞齿轮、第二中间齿分别套装在第二齿轴、第三齿轴上，所述第二齿轴与第二轴板可圆周转动装配，第一轴板、第二轴板均安装在第一供气壳上；所述第二齿轴一端穿出第二供气壳后与第一外驱齿轮装配；所述第三齿轴与第一轴板可圆周转动装配且其一端穿出第二供气壳后与第二外驱齿轮装配；

第二齿轴、第三齿轴的转动都会带动第一齿轴正转、反转相同角度，从而带动两根第二供气轴切换状态以切换对第一密封气条、第二密封气条的供气；所述第一中间齿为单向齿轮，其转动方向为第一伞齿轮驱动第一齿轴转动的方向，因此在第一伞齿轮驱动第一齿轴转动时，第一中间齿不转动；所述第二伞齿轮为单向齿轮，其转动方向为第二中间齿驱动第一齿轴转动的方向；

所述第一外驱齿轮可与密封板齿条啮合传动，所述第二外驱齿轮可与半透膜架齿条啮合传动，所述半透膜架齿条通过齿条架安装在半透膜架上；所述第一外驱齿轮的锁止方向为密封板插入时密封板齿条带动第一外驱齿轮的转向，此时可驱动第二齿轴转动；而密封板向上取出时第一外驱齿轮处于转动方向，因此不能带动第二齿轴转动；所述第二外驱齿轮的转向为阳极槽、半透膜架远离电镀槽时半透膜架齿条带动第二外驱齿轮转动的方向，此时第二外驱齿轮不能带动第三齿轴转动；而阳极槽、半透膜架向电镀槽移动时，第二外驱齿轮处于锁止方向，半透膜架齿条驱动第二外驱齿轮带动第三齿轴转动。

优选地，所述第一供气轴位于第二供气轴端部与保持架之间的部分上套装有弹簧，弹簧用于对第二供气轴施加远离保持架的推力；所述连通室内安装有限位，限位块装入连通槽内且与之卡合、可滑动装配。

本发明的有益效果是：

本发明通过不溶性阳极结合半透膜、电镀液的活动补充可以实现阳极电场不会发生变化、电镀液的浓度可以精确控制，从而可以获得更好的电镀质量、更加精细的电镀工艺控制。另外本发明采用供气组件灵活切换对第一密封气条、第二密封气条的供气，从而可以灵活地实现对半透膜架、密封板的密封及密封解除。

附图说明

图1-图9是本发明的结构示意图，其中图6为供料轴250轴线所在中心面处剖视图。

图10是密封板630、半透膜架610、供气组件500的结构示意图。

图11是供气组件500位于第二供气轴830轴线所在中心面处剖视图。

图12-图15是供气组件500的结构示意图。

图16是供气组件500位于第二供气轴830轴线所在中心面处剖视图。

图17是供气组件去除第一供气壳、第二供气壳后的结构示意图。

图18是供气组件500位于第二供气轴830轴线所在中心面处剖视图。

图19是本发明的改进结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参见图1-图18，一种不溶性阳极电镀装置，包括电镀槽130、阳极槽120、第一立板111、第二立板112，所述第一立板111、第二立板112分别安装在电镀槽130、阳极槽120的两侧，第一立板111、第二立板112分别与光轴210的两端装配，所述光轴210穿过阳极槽120的驱动板123且与之可轴向滑动装配；所述电镀槽130、阳极槽120内部分别为中空的电镀腔131、阳极腔121，所述电镀槽130、阳极槽120在相互靠近的一侧上分别安装有电镀门框132、阳极门框122，所述电镀槽130、阳极槽120相互靠近的端部上分别安装有不同的密封框640，密封框640的两侧处分别安装有第一密封气条710、第二密封气条720，所述第一密封气条710的顶部、第二密封气条720的顶部开口，同一侧的第一密封气条710的内部、第二密封气条720的内部分别与同一供气组件500的两个供气孔513独立连通。所述第一密封气条710、第二密封气条720具有高弹性且其内部中空，初始状态时，第一密封气条710、第二密封气条720通过自身弹力处于收缩状态，一旦第一密封气条710、第二密封气条720内部充气后就会克服自身弹性膨胀，从而与其它装置挤压实现密封。

使用时，密封板630插装入电镀门框132（或阳极门框122）和此侧的密封框640内，然后对第一密封气条710内部充气，使得第一密封气条710膨胀后与密封板630压紧以实现密封板630与电镀门框132之间的密封。而半透膜架610与阳极槽120、电镀槽130处于装配状态时，第二密封气条720内部充气而膨胀，从而挤压半透膜架610的外壁，使得半透膜架610与密封框640之间密封。本实施例中，第一密封气条710、第二密封气条720择一保持充气膨胀状态。

半透膜架610上设置有插接槽611，插接槽611与两块半透膜板620卡合装配，两块半透膜板620之间卡紧固定有半透膜621，所述半透膜621只允许-H、-OH通过。

所述阳极槽120内填充有导电液，且导电液浸泡阳极棒、第一离子传感器341，所述阳极棒用于接入电镀阳极，使得导电液导电；所述第一离子传感器用于探测导电液内的-H、-OH离子浓度。所述电镀槽130内填充有电镀液，电镀液内含有用于电镀的金属离子。使用时被镀件连接电镀的阴极，然后放入电镀液内，阳极棒接入电镀的阳极，电场通过-H、-OH在半透膜621的两侧不断穿梭，从而使得电场在阳极腔、电镀腔之间传递，以使得金属离子附着在被镀件上形成镀层。本实施例中，阳极棒采用不溶性材料制作，使得电镀时，阳极棒只是向导电液传递电场，自身不会溶解；所述电镀液内配置了相应工艺参数的金属离子。这种设计使得使用时，阳极棒的形状、大小不会变，而且不需要通过阳极的溶解保持电镀所需的金属离子浓度，因此电镀工艺的控制精度会非常高，电镀产品的质量也会比较高。同时根本性地解决了溶解性阳极中由于金属杂质溶解后影响工艺参数而造成的质量缺陷，使被镀件镀层均匀，废品率低，质量好。另外本实施例采用半透膜分割阳极腔和电镀腔，这能够有效避免电镀腔内的金属离子等进入阳极腔，从而附着在阳极棒上影响电镀。

优选地，所述电镀腔还与通过管道与回流泵351的进口连通，回流泵351的出口与暂存箱322内部连通。使用时，可以将电镀腔内多余的电镀液通过回流泵351抽送至暂存箱322内存储。

所述电镀腔内的电镀液还与流量泵353的出口连通，流量泵353的进口与比例阀352的出口连通，比例阀352的第一进口与补充箱321内的高浓度电镀液连通、第二进口与暂存箱322内的电镀液连通。比例阀352采用电控驱动，且控制暂存箱322、补充箱321内液体对流量泵353的供液比例。

在电镀工艺的设计中，金属离子的浓度都有最佳的设计区间值，而随着电镀的进行，金属离子的浓度会下降，而本实施例由于采用不溶性阳极，因此无法通过阳极直接补充金属离子。因此本实施例在电镀腔内安装有电镀离子传感器330，所述电镀离子传感器330浸泡在电镀液内且用于探测电镀液内用于电镀的金属离子的浓度。一旦浓度偏低，则表示需要补充电镀液以保证电镀液金属离子浓度的稳定，此时回流泵启动，将一部分电镀液抽送至暂存箱中存储（暂存箱内有电镀液时则不必进行此操作）；然后根据预设程序、当前电镀槽内金属离子浓度、补充箱321内电镀液的金属离子浓度、暂存箱内电镀液的金属离子浓度调节比例阀两个进口的连通比例，并计算流量泵需要向电镀槽内提供的液体容积，最后启动流量泵，流量泵将补充箱321内的电镀液、暂存箱内的电镀液抽送、混合后输入电镀腔内补充金属离子，直到达到预设的容积。此时金属离子传感器探测当前电镀用金属离子浓度，如果发现浓度偏高或偏低，则分别通过补充暂存箱内的电镀液、补充箱321内的电镀液的方式向电镀腔补充电镀液，直到金属离子浓度到达设计区间值。这种设计使得电镀的金属离子浓度可以非常精确地控制，相较于传统阳极溶解的方式，这种设计显然可控性更高。

优选地，为了防止电镀腔内电镀液存在混合不均的情况，特别是向电镀腔内补充电镀液时。本实施例还在电镀腔内安装有叶轮410，所述叶轮410安装在供料轴250的一端上，供料轴250的另一端穿出电镀槽130后装入供液盖430内，供液盖430安装在架体150上，所述供料轴250与电镀槽130密封、可圆周转动装配，所述供液盖430罩在供料轴250外且与之可相对圆周转动装配，供液盖430安装在架体150上且供液盖430内部通过管道与流量泵353的出口连通，所述供料轴250内部设置有中空的供料孔251，所述叶轮410上设置有与供料孔251连通的叶轮孔411。使用时，流量泵将电镀液抽送至供液盖430内，电镀液从供液盖430内进入供料孔251，最后进入电镀腔。当然可以在供液盖430于流量泵的管道上串联一个向供液盖430流动的单向阀，这样可以防止供液盖430内电镀液反流进入供液盖430内。本实施例中，流量泵采用具有反流功能的，因此可以取消单向阀。

所述供料轴250外套装有第一搅拌齿421、第一搅拌齿421与第二搅拌齿422啮合传动，所述第二搅拌齿422安装在电机轴上，电机轴一端装入电机354内，电机354启动后能够驱动第二搅拌齿422圆周转动，从而带动供料轴250、叶轮410圆周转动，叶轮410圆周转动时可以搅拌电镀液，从而使得电镀液混合均匀。

所述电镀腔靠近半透膜板620的一端上安装与第二离子传感器342，所述第二离子传感器342用于探测半透膜621位于电镀槽一侧的-H、-OH浓度。一旦第一离子传感器探测到的浓度大于第二离子传感器342探测的浓度，则认为半透膜堵塞，此时需要更换半透膜。更换半透膜时直接将两块密封板630插入阳极槽120、电镀槽130的密封框640处，并使得第二密封气条720膨胀压紧密封板630密封，再排出两块密封板之间的液体，最后取出半透膜板620更换半透膜621即可。

优选地，由于更换半透膜时两块密封板之间的导电液和电镀液会混合，电镀液比较昂贵，一旦混合会导致这部分电镀液报废，因此本实施例还进行了如下设计：

所述阳极槽120远离电镀槽130一侧与气缸310的伸缩轴311装配，气缸310安装在第一立板111上，所述阳极槽120、半透膜架610正下方安装有回收箱360，所述回收箱360内通过隔板363密封分割为导电液回收腔361、电镀液回收腔362，所述隔板363顶部与半透膜架610的底部贴合密封。

所述半透膜架610侧面上安装有移动铰接板612，所述移动铰接板612与两根连杆240的一端分别铰接，两根连杆240的另一端分别与移动座231铰接，移动座231上安装有移动滑块230，移动滑块230穿出移动滑槽141且与之卡合、可滑动装配，所述移动滑槽141设置在侧板140上，侧板140的两端分别以第一立板111、第二立板112装配。

所述移动滑块230穿出移动滑槽141的一端与动力杆220装配，动力杆220安装在驱动板123上。所述侧板140上还安装有导向轮轴451，导向轮轴451上可圆周转动地安装有导向轮450。在需要更换半透膜时气缸启动，驱动伸缩轴收缩，从而带动阳极槽向气缸移动，阳极槽通过动力杆220带动移动滑块230、移动座231同步移动，从而带动半透膜架610同步移动，直到移动铰接板612与导向轮450贴紧，此时半透膜架610不能继续移动，因此会在连杆的驱动下向上移动，从而凸出两块密封板630、电镀腔131、阳极腔121以便于拆装半透膜板620，同时阳极槽继续移动，使得半透膜架610与阳极槽之间形成间隙以便于导电液的流出。半透膜架610移动的过程中，电镀液一侧会直接流入电镀液回收腔362内存储，导电液会流入导电液回收腔361内存储，从而避免两者混合，造成损失。

更优选地，所述半透膜架610的底部、阳极槽130的底部分别安装有行走导轮440，所述行走导轮440卡合安装在导轨260上，导轨260安装在回收箱360上。这种设计主要是为了给半透膜架610、阳极槽120的移动提供导向同时还提供支撑。

优选地，为了便于使用，申请人还设计了供气组件500，利用密封板630、半透膜架610的安装实现供气组件500对第一密封气条710、第二密封气条720供气的切换。

所述供气组件500包括第一供气壳510、第二供气壳520，所述第一供气壳510、第二供气壳520之间装配固定，第一供气壳510上分别设置有连通室511、上通孔512、下通孔514、供气孔513，所述供气孔513的侧壁上设置有供气侧槽5131；所述连通室511与管头740一端连通，管头740另一端与恒压罐内的气体连通，恒压罐用于提供恒定的气压；

所述第二供气壳520上设置有导向孔521、安装腔522，所述上通孔512、下通孔514、供气孔513、导向孔521均与第二供气轴830卡合、密封、可轴向滑动装配，所述第二供气轴830上分别设置有齿槽831、内轴孔832、连通槽833，所述第二供气轴830位于齿槽831与连通槽833之间构成中间密封部分835，所述第二供气轴830与导向孔521装配的一端为上端密封部分836，所述第二供气轴830与下通孔514装配的部分为下端密封部分834；所述供气孔513底部安装有保持架810，保持架810上设置有贯穿的气槽811，两个保持架810的气槽811分别与第一密封气条、第二密封气条内部连通；所述保持架810上安装有第一供气轴820，第一供气轴820上设置有顶部开口、底部封闭的盲孔821，盲孔821与侧孔822连通，侧孔822贯穿第一供气轴820，第一供气轴820装入内轴孔832内且与之密封、可轴向滑动装配；所述第一供气轴820位于第二供气轴830端部与保持架810之间的部分上套装有弹簧730，弹簧用于对第二供气轴830施加远离保持架810的推力。所述连通室511内安装有限位块750，限位块750装入连通槽833内且与之卡合、可滑动装配。所述限位块750通过与连通槽833的配合，可以限制第二供气轴的轴向位移量。

所述第二供气轴有两根，且分别用于控制第一密封气条、第二密封气条的供气、放气，在正常使用时，第二密封气条与恒压罐连通、第一密封条排气，从而确保半透膜架610与两侧密封框640之间的密封。当密封板630插入后，供气组件切换至对第一密封条供气、第二密封条排气，从而降低对半透膜架610的密封性、增加对密封板的密封。在更换半透膜、半透膜架610装配到位后，恢复至初始状态，第二密封气条与恒压罐连通、第一密封条排气，从而降低对密封板的挤压力。这种设计主要是为了降低导电液、密封液的损失，同时便于密封板的拆装。

两根第二供气轴830的齿槽831分别与联动齿840的两侧啮合传动，联动齿安装在安装腔522内且套装在第一齿轴271上，所述第一齿轴271与第一轴板531可圆周转动装配，第一齿轴271上分别套装有第二伞齿轮852、第一中间齿861，所述第二伞齿轮852、第一中间齿861分别与第一伞齿轮851、第二中间齿862啮合传动，所述第一伞齿轮851、第二中间齿862分别套装在第二齿轴272、第三齿轴273上，所述第二齿轴272与第二轴板532可圆周转动装配，第一轴板531、第二轴板532均安装在第一供气壳510上；所述第二齿轴272一端穿出第二供气壳520后与第一外驱齿轮461装配；所述第三齿轴273与第一轴板531可圆周转动装配且其一端穿出第二供气壳520后与第二外驱齿轮462装配。

第二齿轴、第三齿轴的转动都会带动第一齿轴正转、反转相同角度，从而带动两根第二供气轴830切换状态以切换对第一密封气条、第二密封气条的供气。所述第一中间齿861为单向齿轮，其转动方向为第一伞齿轮851驱动第一齿轴转动的方向，因此在第一伞齿轮851驱动第一齿轴转动时，第一中间齿861不转动。所述第二伞齿轮852为单向齿轮，其转动方向为第二中间齿862驱动第一齿轴271转动的方向，这就使得第二中间齿862驱动第一齿轴271转动时不会带动第二齿轴转动。

所述第一外驱齿轮461可与密封板齿条631啮合传动，所述第二外驱齿轮462可与半透膜架齿条614啮合传动，所述半透膜架齿条614通过齿条架613安装在半透膜架610上。所述第一外驱齿轮461的锁止方向为密封板630插入时密封板齿条631带动第一外驱齿轮461的转向，此时可以驱动第二齿轴272转动；而密封板630向上取出时第一外驱齿轮461处于转动方向，因此不能带动第二齿轴272转动。所述第二外驱齿轮462的转向为阳极槽120、半透膜架610远离电镀槽130时半透膜架齿条614带动第二外驱齿轮462转动的方向，此时第二外驱齿轮462不能带动第三齿轴273转动；而阳极槽120、半透膜架610向电镀槽130移动（更换半透膜后复位）时，第二外驱齿轮462处于锁止方向，半透膜架齿条614驱动第二外驱齿轮462带动第三齿轴273转动。

正常使用时，供气组件对第二密封气条720供气，此时第一密封气条710处于收缩状态。而更换半透膜时，首先插入密封板630，密封板齿条631带动第二齿轴272转动，第二齿轴272带动联动齿轮转动且由于此时处于第一中间齿轮861的转动方向，第一齿轴不会带动第一中间齿轮861转动。密封板安装到位后，供气组件中与第一密封气条710对应的连通槽833穿过下通孔514，从而通过连通槽833将连通室511、供气孔连通，对应的侧孔822装入内轴孔832中被密封；而与第二密封气条720的连通槽833上移退出对应的供气孔513，此时下端密封部分834与对应的密封装配下通孔514，且对应的侧孔822与此供气孔513连通，从而实现对第二密封气条720的放气，从而降低对半透膜架610的密封性。然后半透模架610移动，此时第二外驱齿轮处于转向，从而不会带动第三齿轴转动，且半透膜架齿条614随着半透模架610上移脱离第二外驱齿轮。在更换完成半透膜621后，半透膜架610下移，从而使得半透膜架齿条614与第二外驱齿轮462恢复啮合，然后随着半透膜架610的反向移动带动第二外驱齿轮462反转以带动第三齿轴转动，第三齿轴带动第一齿轴转动，第一齿轴与第二伞齿轮之间发生相对转动，从而带动联动齿轮反转实现对第二密封气条的供气，对第一密封气条的放气，以使得密封板处密封性降低，而半透膜架处密封性恢复至最大，然后抽出密封板即可正常使用。

参见图19，其为本实施例的样机改良图纸，在电镀池的两侧对称安装两个阳极池。使用时电镀工件作阴极，通过挂具连接到负极导电铜排置于电镀槽中间，电镀槽两边分别布置一组阳极连接到正极导电铜排，以保证被镀工件两面都有需要的电场。

本发明未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。

以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种不溶性阳极电镀装置，其特征在于，包括电镀槽、阳极槽，所述电镀槽、阳极槽内部分别为中空的电镀腔、阳极腔，电镀腔、阳极腔之间通过半透膜分割；所述阳极槽内填充有导电液，且导电液浸泡阳极棒，所述阳极棒用于接入电镀阳极，使得导电液导电；所述电镀槽内填充有电镀液，电镀液内含有用于电镀的金属离子；阳极棒采用不溶性材料制作；电镀腔还与流量泵的出口连通，流量泵用于将补充箱内的高浓度电镀液输入电镀腔内以补充电镀腔内电镀液的浓度。

2.如权利要求1所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，还包括第一立板、第二立板，所述第一立板、第二立板分别安装在电镀槽、阳极槽的两侧，第一立板、第二立板分别与光轴的两端装配，所述光轴穿过阳极槽的驱动板且与之可轴向滑动装配。

3.如权利要求1所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，所述电镀槽、阳极槽在相互靠近的一侧上分别安装有电镀门框、阳极门框，所述电镀槽、阳极槽相互靠近的端部上分别安装有不同的密封框，密封框的两侧处分别安装有第一密封气条、第二密封气条，所述第一密封气条的顶部、第二密封气条的顶部开口，同一侧的第一密封气条的内部、第二密封气条的内部分别与同一供气组件的两个供气孔独立连通；所述第一密封气条、第二密封气条具有高弹性且其内部中空；第一密封气条膨胀后与密封板挤压密封、第二密封气条膨胀后与半透膜架挤压密封，第一密封气条、第二密封气条择一膨胀。

4.如权利要求1所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，半透膜架上设置有插接槽，插接槽与两块半透膜板卡合装配，两块半透膜板之间卡紧固定有半透膜，所述半透膜只允许-H、-OH通过。

5.如权利要求1所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，所述电镀腔还与通过管道与回流泵的进口连通，回流泵的出口与暂存箱内部连通；所述电镀腔内的电镀液还与流量泵的出口连通，流量泵的进口与比例阀的出口连通，比例阀的第一进口与补充箱内的高浓度电镀液连通、第二进口与暂存箱内的电镀液连通；比例阀控制暂存箱、补充箱内液体对流量泵的供液比例。

6.如权利要求5所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，电镀腔内安装有叶轮，所述叶轮安装在供料轴的一端上，供料轴的另一端穿出电镀槽后装入供液盖内，供液盖安装在架体上，所述供料轴与电镀槽密封、可圆周转动装配，所述供液盖罩在供料轴外且与之可相对圆周转动装配，供液盖安装在架体上且供液盖内部通过管道与流量泵的出口连通，所述供料轴内部设置有中空的供料孔，所述叶轮上设置有与供料孔连通的叶轮孔；

所述供料轴外套装有第一搅拌齿、第一搅拌齿与第二搅拌齿啮合传动，所述第二搅拌齿安装在电机轴上，电机轴一端装入电机内。

7.如权利要求1所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，所述阳极槽远离电镀槽一侧与气缸的伸缩轴装配，气缸安装在第一立板上，所述阳极槽、半透膜架正下方安装有回收箱，所述回收箱内通过隔板密封分割为导电液回收腔、电镀液回收腔，所述隔板顶部与半透膜架的底部贴合密封；

所述半透膜架侧面上安装有移动铰接板，所述移动铰接板与两根连杆的一端分别铰接，两根连杆的另一端分别与移动座铰接，移动座上安装有移动滑块，移动滑块穿出移动滑槽且与之卡合、可滑动装配，所述移动滑槽设置在侧板上，侧板的两端分别以第一立板、第二立板装配；所述移动滑块穿出移动滑槽的一端与动力杆装配，动力杆安装在驱动板上；所述侧板上还安装有导向轮轴，导向轮轴上可圆周转动地安装有导向轮。

8.如权利要求3所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，还包括供气组件，所述供气组件包括第一供气壳、第二供气壳，所述第一供气壳、第二供气壳之间装配固定，第一供气壳上分别设置有连通室、上通孔、下通孔、供气孔，所述供气孔的侧壁上设置有供气侧槽；所述连通室与管头一端连通，管头另一端与恒压罐内的气体连通，恒压罐用于提供恒定的气压；

所述第二供气壳上设置有导向孔、安装腔，所述上通孔、下通孔、供气孔、导向孔均与第二供气轴卡合、密封、可轴向滑动装配，所述第二供气轴上分别设置有齿槽、内轴孔、连通槽；所述供气孔底部安装有保持架，保持架上设置有贯穿的气槽，两个保持架的气槽分别与第一密封气条、第二密封气条内部连通；所述保持架上安装有第一供气轴，第一供气轴上设置有顶部开口、底部封闭的盲孔，盲孔与侧孔连通，侧孔贯穿第一供气轴，第一供气轴装入内轴孔内且与之密封、可轴向滑动装配；所述第二供气轴有两根，两根第二供气轴的齿槽分别与联动齿轮两侧啮合。

9.如权利要求8所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，联动齿安装在安装腔内且套装在第一齿轴上，所述第一齿轴与第一轴板可圆周转动装配，第一齿轴上分别套装有第二伞齿轮、第一中间齿，所述第二伞齿轮、第一中间齿分别与第一伞齿轮、第二中间齿啮合传动，所述第一伞齿轮、第二中间齿分别套装在第二齿轴、第三齿轴上，所述第二齿轴与第二轴板可圆周转动装配，第一轴板、第二轴板均安装在第一供气壳上；所述第二齿轴一端穿出第二供气壳后与第一外驱齿轮装配；所述第三齿轴与第一轴板可圆周转动装配且其一端穿出第二供气壳后与第二外驱齿轮装配；

第二齿轴、第三齿轴的转动都会带动第一齿轴正转、反转相同角度，从而带动两根第二供气轴切换状态以切换对第一密封气条、第二密封气条的供气；所述第一中间齿为单向齿轮，其转动方向为第一伞齿轮驱动第一齿轴转动的方向，因此在第一伞齿轮驱动第一齿轴转动时，第一中间齿不转动；所述第二伞齿轮为单向齿轮，其转动方向为第二中间齿驱动第一齿轴转动的方向；

所述第一外驱齿轮可与密封板齿条啮合传动，所述第二外驱齿轮可与半透膜架齿条啮合传动，所述半透膜架齿条通过齿条架安装在半透膜架上；所述第一外驱齿轮的锁止方向为密封板插入时密封板齿条带动第一外驱齿轮的转向，此时可驱动第二齿轴转动；而密封板向上取出时第一外驱齿轮处于转动方向，因此不能带动第二齿轴转动；所述第二外驱齿轮的转向为阳极槽、半透膜架远离电镀槽时半透膜架齿条带动第二外驱齿轮转动的方向，此时第二外驱齿轮不能带动第三齿轴转动；而阳极槽、半透膜架向电镀槽移动时，第二外驱齿轮处于锁止方向，半透膜架齿条驱动第二外驱齿轮带动第三齿轴转动。

10.如权利要求8所述的不溶性阳极电镀装置，其特征在于，所述第一供气轴位于第二供气轴端部与保持架之间的部分上套装有弹簧，弹簧用于对第二供气轴施加远离保持架的推力；所述连通室内安装有限位，限位块装入连通槽内且与之卡合、可滑动装配。

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