CN114002227B - 一种半导体缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体检测技术领域，具体是一种半导体缺陷检测装置，包括安装架、连接架、外壳、激光检测器、激光探针、散热罩、固定罩、旋转轴、驱动电机、散热组件、换热组件和两个固定板，所述激光检测器安装在外壳的内底端，所述激光探针设置在外壳的底部，所述散热罩与连接架的底端固定连接，所述旋转轴转动安装在散热罩的内部，所述驱动电机竖直设置在散热罩的顶部，并且驱动电机的输出轴与旋转轴的顶端固定连接，所述散热组件安装在旋转轴上，所述换热组件设置在安装架上，本发明实现激光检测器的快速散热，避免热量聚集在外壳内无法散发，换热效果较好，提高了激光检测器的性能以及寿命，进而不会影响半导体的检测工作。

Description

一种半导体缺陷检测装置

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，具体是一种半导体缺陷检测装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，故而在半导体生产的过程中需要用到检测装置。

目前常用的半导体缺陷检测装置一般使用激光探伤的方式进行检测，激光检测器在不间断工作下会产生大量热量，热量大量聚集快速提高激光检测器的温度，影响激光检测器的性能以及寿命，进而容易影响半导体的检测工作。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体缺陷检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本发明的技术方案是：

一种半导体缺陷检测装置，包括安装架、连接架、外壳、激光检测器、激光探针、散热罩、固定罩、旋转轴、驱动电机、散热组件、换热组件和两个固定板，所述连接架设置在安装架的底部，两个所述固定板对称设置在安装架的顶部，所述外壳与两个固定板的底端固定连接，所述外壳的底部设有若干个与其内部相连通的散热槽，所述激光检测器安装在外壳的内底端，所述激光探针设置在外壳的底部，并且激光探针的顶端与激光检测器电性连接，所述散热罩与连接架的底端固定连接，所述固定罩设置在外壳的顶部，并且固定罩与外壳的内部相连通，所述固定罩的顶端设有开口，所述旋转轴转动安装在散热罩的内部，并且旋转轴的底端穿过开口延伸至固定罩的内部，所述驱动电机竖直设置在散热罩的顶部，并且驱动电机的输出轴与旋转轴的顶端固定连接，所述散热组件安装在旋转轴上，所述换热组件设置在安装架上。

进一步的，所述散热组件包括散热风扇、固定环、转动板、弧形安装套和弧形导热板，所述散热风扇与旋转轴的底端固定连接，所述固定环安装在旋转轴上，并且固定环位于散热罩和固定罩之间，所述转动板的一端与固定环固定连接，所述转动板的另一端延伸至外壳的顶部上方，所述弧形安装套设置在转动板的底部，所述弧形导热板的顶端插接在弧形安装套内，并且弧形导热板的内壁与外壳的外壁抵触，所述弧形安装套的外壁上设有若干个与其内部相连通的圆孔，所述弧形导热板的顶端外壁上设有若干个安装孔，若干个所述安装孔与若干个圆孔一一对应，每个所述圆孔内均设有螺栓，所述螺栓的尾端与安装孔螺接。

进一步的，所述散热罩的底部设有第一环形槽，所述第一环形槽内滑动安装有第一滑块，所述固定罩的顶部设有第二环形槽，所述第二环形槽内滑动安装有第二滑块，所述转动板的顶部与第一滑块之间固定有第一竖板，所述转动板的底部与第二滑块之间固定有第二竖板。

进一步的，所述外壳的外壁上对称设置有两个第三环形槽，两个所述第三环形槽内均滑动安装有第三滑块，所述第三滑块远离外壳的一侧与弧形导热板的内壁固定连接。

进一步的，所述换热组件包括水箱、螺旋换热管、第一水管、增压泵、第二水管、第三水管和若干个半导体制冷片，所述水箱设置在安装架内，所述螺旋换热管设置在外壳的内壁上，并且螺旋换热管的进水口和出水口均延伸至外壳的底部下方，所述第一水管的两端分别与水箱和螺旋换热管的进水口相连通，所述增压泵水平设置在水箱的旁侧，所述第二水管的两端分别与增压泵的输入端和螺旋换热管的出水口相连通，所述第三水管的两端分别与增压泵的输出端和水箱相连通，所述第一水管上设有电磁阀。

进一步的，所述水箱的底端外壁上设有与其内部相连通的排水管，所述排水管上设有阀门，所述水箱的顶部设有与其内部相连通的添加管，所述添加管内螺接有密封盖。

进一步的，所述散热罩的顶部设有若干个与其内部相连通的进风槽，所述进风槽内设有防尘网。

进一步的，所述弧形导热板和外壳均为铝合金材质制成。

本发明通过改进在此提供一种半导体缺陷检测装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：

(1)本发明通过驱动电机工作带动旋转轴转动，旋转轴带动散热风扇转动，散热风扇转动对外壳内的激光检测器进行风冷散热，外界的空气会随着散热罩和固定罩之间的空隙经过开口进入至固定罩内，为散热风扇转动提供大量空气，散热后的热风经过散热槽流出，同时旋转轴带动固定环转动，固定环带动转动板和弧形安装套转动，弧形安装套带动弧形导热板转动，弧形导热板转动对外壳内传导至外壳外壁上的热量进行吸热，弧形导热板在转动的时候会有空气对其进行散热，防止弧形导热板的温度过高影响其吸热性能，激光检测器产生的大量热量被快速吸收交换，实现激光检测器的快速散热，避免热量聚集在外壳内无法散发，换热效果较好，提高了激光检测器的性能以及寿命，进而不会影响半导体的检测工作。

(2)本发明转动板带动第一竖板和第二竖板转动，进而第一滑块在第一环形槽内转动，第二滑块在第二环形槽内转动，第一滑块和第二滑块与第一竖板和第二竖板配合对转动板的转动起到稳定支撑的作用，防止转动板在转动时发生晃动，进而影响弧形导热板的内壁与外壳的外壁抵触。

(3)本发明弧形导热板长时间在外壳的外壁上转动会发生磨损，利用将螺栓从安装孔内卸出，对弧形导热板进行快速更换。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释:

图1是本发明的立体结构示意图一；

图2是本发明的立体结构示意图二；

图3是本发明的立体结构示意图三；

图4是本发明的立体结构示意图四；

图5是本发明的局部剖视图；

图6是本发明的局部立体结构示意图；

图7是本发明的弧形安装套的立体结构示意图；

图8是本发明的弧形导热板的立体结构示意图；

图9是本发明的散热罩的立体结构示意图。

附图标记说明：

安装罩1，连接架2，外壳3，激光发生器31，激光探针32，散热槽33，第三环形槽34，第三滑块35，散热罩4，第一环形槽41，第一滑块42，进风槽43，防尘网44，固定罩5，旋转轴51，驱动电机52，第二环形槽53，第二滑块54，散热组件6，散热风扇61，固定环62，转动板63，第一竖板631，第二竖板632，弧形安装套64，弧形导热板65，圆孔66，安装孔67，螺栓68，换热组件7，水箱71，排水管711，阀门712，添加管713，密封盖714，螺旋换热管72，第一水管73，电磁阀731，增压泵74，第二水管75，第三水管76，半导体制冷片77，固定板8。

具体实施方式

下面对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明通过改进在此提供一种半导体缺陷检测装置，如图1-图9所示，包括安装架1、连接架2、外壳3、激光检测器31、激光探针32、散热罩4、固定罩5、旋转轴51、驱动电机52、散热组件6、换热组件7和两个固定板8，所述连接架2设置在安装架1的底部，两个所述固定板8对称设置在安装架1的顶部，所述外壳3与两个固定板8的底端固定连接，所述外壳3的底部设有若干个与其内部相连通的散热槽33，所述激光检测器31安装在外壳3的内底端，所述激光探针32设置在外壳3的底部，并且激光探针32的顶端与激光检测器31电性连接，所述散热罩4与连接架2的底端固定连接，所述固定罩5设置在外壳3的顶部，并且固定罩5与外壳3的内部相连通，所述固定罩5的顶端设有开口，所述旋转轴51转动安装在散热罩4的内部，并且旋转轴51的底端穿过开口延伸至固定罩5的内部，所述驱动电机52竖直设置在散热罩4的顶部，并且驱动电机52的输出轴与旋转轴51的顶端固定连接，所述散热组件6安装在旋转轴51上，所述换热组件7设置在安装架1上。

具体的，所述散热组件6包括散热风扇61、固定环62、转动板63、弧形安装套64和弧形导热板65，所述散热风扇61与旋转轴51的底端固定连接，所述固定环62安装在旋转轴51上，并且固定环62位于散热罩4和固定罩5之间，所述转动板63的一端与固定环62固定连接，所述转动板63的另一端延伸至外壳3的顶部上方，所述弧形安装套64设置在转动板63的底部，所述弧形导热板65的顶端插接在弧形安装套64内，并且弧形导热板65的内壁与外壳3的外壁抵触，所述弧形安装套64的外壁上设有若干个与其内部相连通的圆孔66，所述弧形导热板65的顶端外壁上设有若干个安装孔67，若干个所述安装孔67与若干个圆孔66一一对应，每个所述圆孔66内均设有螺栓68，所述螺栓68的尾端与安装孔67螺接；通过驱动电机52工作带动旋转轴51转动，旋转轴51带动散热风扇61转动，散热风扇61转动对外壳3内的激光检测器31进行风冷散热，外界的空气会随着散热罩4和固定罩5之间的空隙经过开口进入至固定罩5内，为散热风扇61转动提供大量空气，散热后的热风经过散热槽33流出，同时旋转轴51带动固定环62转动，固定环62带动转动板63和弧形安装套64转动，弧形安装套64带动弧形导热板65转动，弧形导热板65转动对外壳3内传导至外壳3外壁上的热量进行吸热，弧形导热板65在转动的时候会有空气对其进行散热，防止弧形导热板65的温度过高影响其吸热性能，激光检测器31产生的大量热量被快速吸收交换，实现激光检测器31的快速散热，避免热量聚集在外壳3内无法散发，换热效果较好，提高了激光检测器31的性能以及寿命，进而不会影响半导体的检测工作，弧形导热板65长时间在外壳3的外壁上转动会发生磨损，利用将螺栓68从安装孔67内卸出，对弧形导热板65进行快速更换。

具体的，所述散热罩4的底部设有第一环形槽41，所述第一环形槽41内滑动安装有第一滑块42，所述固定罩5的顶部设有第二环形槽53，所述第二环形槽53内滑动安装有第二滑块54，所述转动板63的顶部与第一滑块42之间固定有第一竖板631，所述转动板63的底部与第二滑块54之间固定有第二竖板632；通过转动板63带动第一竖板631和第二竖板632转动，进而第一滑块42在第一环形槽41内转动，第二滑块54在第二环形槽53内转动，第一滑块42和第二滑块54与第一竖板631和第二竖板632配合对转动板63的转动起到稳定支撑的作用，防止转动板63在转动时发生晃动，进而影响弧形导热板65的内壁与外壳3的外壁抵触。

具体的，所述外壳3的外壁上对称设置有两个第三环形槽34，两个所述第三环形槽34内均滑动安装有第三滑块35，所述第三滑块35远离外壳3的一侧与弧形导热板65的内壁固定连接；通过弧形导热板65转动带动第三滑块35在第三环形槽34内转动，第三滑块35对弧形导热板65进行支撑，避免弧形导热板65晃动造成其内壁与外壳3的外壁分离，进而影响弧形导热板65对外壳3的外壁进行吸热。

具体的，所述换热组件7包括水箱71、螺旋换热管72、第一水管73、增压泵74、第二水管75、第三水管76和若干个半导体制冷片77，所述水箱71设置在安装架1内，所述螺旋换热管72设置在外壳3的内壁上，并且螺旋换热管72的进水口和出水口均延伸至外壳3的底部下方，所述第一水管73的两端分别与水箱71和螺旋换热管72的进水口相连通，所述增压泵74水平设置在水箱71的旁侧，所述第二水管75的两端分别与增压泵74的输入端和螺旋换热管72的出水口相连通，所述第三水管76的两端分别与增压泵74的输出端和水箱71相连通，所述第一水管73上设有电磁阀731；通过半导体制冷片77工作对水箱71内的水进行制冷，然后电磁阀731开启，水箱71内的冷水经过第一水管73流至螺旋换热管72的进水口内，然后冷水经过螺旋换热管72流至螺旋换热管72的出水口处，冷水在螺旋换热管72内流动时对外壳3内激光检测器31产生的热量进行换热，随后增压泵74工作，换热后的水经过螺旋换热管72的出水口、第二水管75和第三水管76流至水箱71内，半导体制冷片77对水箱71内的水持续制冷，水箱71内的水持续进入至螺旋换热管72内，达到了对外壳3内激光检测器31产生的热量进行换热的目的。

具体的，所述水箱71的底端外壁上设有与其内部相连通的排水管711，所述排水管711上设有阀门712，所述水箱71的顶部设有与其内部相连通的添加管713，所述添加管713内螺接有密封盖714；定期开启阀门712，水箱71内的水经过排水管711排出进行更换，转动密封盖714与添加管713分离，然后利用添加管713对水箱71进行换水。

具体的，所述散热罩4的顶部设有若干个与其内部相连通的进风槽43，所述进风槽43内设有防尘网44；进风槽43方便外界的一部分空气进入至散热罩4内，为散热风扇61工作提供一定的风量，防尘网44避免灰尘等杂质进入至散热罩4内。

具体的，所述弧形导热板65和外壳3均为铝合金材质制成；铝合金材质导热性能好，外壳3内的热量快速传导至外壳3的外壁上，然后弧形导热板65快速对外壳3的外壁上的热量进行吸收。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：包括安装架(1)、连接架(2)、外壳(3)、激光检测器(31)、激光探针(32)、散热罩(4)、固定罩(5)、旋转轴(51)、驱动电机(52)、散热组件(6)、换热组件(7)和两个固定板(8)，所述连接架(2)设置在安装架(1)的底部，两个所述固定板(8)对称设置在安装架(1)的顶部，所述外壳(3)与两个固定板(8)的底端固定连接，所述外壳(3)的底部设有若干个与其内部相连通的散热槽(33)，所述激光检测器(31)安装在外壳(3)的内底端，所述激光探针(32)设置在外壳(3)的底部，并且激光探针(32)的顶端与激光检测器(31)电性连接，所述散热罩(4)与连接架(2)的底端固定连接，所述固定罩(5)设置在外壳(3)的顶部，并且固定罩(5)与外壳(3)的内部相连通，所述固定罩(5)的顶端设有开口，所述旋转轴(51)转动安装在散热罩(4)的内部，并且旋转轴(51)的底端穿过开口延伸至固定罩(5)的内部，所述驱动电机(52)竖直设置在散热罩(4)的顶部，并且驱动电机(52)的输出轴与旋转轴(51)的顶端固定连接，所述散热组件(6)安装在旋转轴(51)上，所述换热组件(7)设置在安装架(1)上；

其中，所述散热组件(6)包括散热风扇(61)、固定环(62)、转动板(63)、弧形安装套(64)和弧形导热板(65)，所述散热风扇(61)与旋转轴(51)的底端固定连接，所述固定环(62)安装在旋转轴(51)上，并且固定环(62)位于散热罩(4)和固定罩(5)之间，所述转动板(63)的一端与固定环(62)固定连接，所述转动板(63)的另一端延伸至外壳(3)的顶部上方，所述弧形安装套(64)设置在转动板(63)的底部，所述弧形导热板(65)的顶端插接在弧形安装套(64)内，并且弧形导热板(65)的内壁与外壳(3)的外壁抵触，所述弧形安装套(64)的外壁上设有若干个与其内部相连通的圆孔(66)，所述弧形导热板(65)的顶端外壁上设有若干个安装孔(67)，若干个所述安装孔(67)与若干个圆孔(66)一一对应，每个所述圆孔(66)内均设有螺栓(68)，所述螺栓(68)的尾端与安装孔(67)螺接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：所述散热罩(4)的底部设有第一环形槽(41)，所述第一环形槽(41)内滑动安装有第一滑块(42)，所述固定罩(5)的顶部设有第二环形槽(53)，所述第二环形槽(53)内滑动安装有第二滑块(54)，所述转动板(63)的顶部与第一滑块(42)之间固定有第一竖板(631)，所述转动板(63)的底部与第二滑块(54)之间固定有第二竖板(632)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：所述外壳(3)的外壁上对称设置有两个第三环形槽(34)，两个所述第三环形槽(34)内均滑动安装有第三滑块(35)，所述第三滑块(35)远离外壳(3)的一侧与弧形导热板(65)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：所述换热组件(7)包括水箱(71)、螺旋换热管(72)、第一水管(73)、增压泵(74)、第二水管(75)、第三水管(76)和若干个半导体制冷片(77)，所述水箱(71)设置在安装架(1)内，所述螺旋换热管(72)设置在外壳(3)的内壁上，并且螺旋换热管(72)的进水口和出水口均延伸至外壳(3)的底部下方，所述第一水管(73)的两端分别与水箱(71)和螺旋换热管(72)的进水口相连通，所述增压泵(74)水平设置在水箱(71)的旁侧，所述第二水管(75)的两端分别与增压泵(74)的输入端和螺旋换热管(72)的出水口相连通，所述第三水管(76)的两端分别与增压泵(74)的输出端和水箱(71)相连通，所述第一水管(73)上设有电磁阀(731)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：所述水箱(71)的底端外壁上设有与其内部相连通的排水管(711)，所述排水管(711)上设有阀门(712)，所述水箱(71)的顶部设有与其内部相连通的添加管(713)，所述添加管(713)内螺接有密封盖(714)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：所述散热罩(4)的顶部设有若干个与其内部相连通的进风槽(43)，所述进风槽(43)内设有防尘网(44)。

7.根据权利要求2所述的一种半导体缺陷检测装置，其特征在于：所述弧形导热板(65)和外壳(3)均为铝合金材质制成。

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