CN113996126B - Sf6回收过滤与自清洁装置及过滤方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种SF₆回收过滤与自清洁装置,该装置包括回收入口低压组合过滤器、高真空传感器、压力/真空传感器、电动调节阀、负压增压泵、单向减压阀、三通控制阀、电动控制阀、高压压缩机、自清洁压缩泵、回收出口高压组合过滤器、附属连接管路和电气控制单元，本发明同时提供了该装置的过滤方法。此装置可对SF₆气室进行正压和深度负压回收的同时对气体进行多组分双重过滤，可对装置内受污染的回收功能管路进行自循环清洗，当回收了严重污染的废气时可以利用自有负压增压泵和自清洁压缩泵联合将回收管路中污染的SF₆清空，实现自清洁和后续回收正常气体，避免不同气室回收过程中造成不合格气体的对合格气体的污染和对管路的腐蚀。

Description

SF6回收过滤与自清洁装置及过滤方法

技术领域

本发明涉及电气设备技术领域，更具体地，涉及一种涉及高压绝缘气体SF₆的回收过滤与自清洁装置，本发明同时提供了该装置的过滤方法。

背景技术

在电力工业中SF₆是一种重要的高压灭弧与绝缘介质。它用作封闭式、高压开关的灭弧和绝缘气体，广泛应用于高压输变电电网工程中，特别是高压、超高压及特高压输电网络的气体绝缘组合电气GIS、气体绝缘线路GIL、气体绝缘变压器GIT等电网设备上。纯净的SF₆（六氟化硫）气体是一种无毒的，具有极佳灭弧性能的高绝缘强度和热稳定性的人造惰性气体，其具有惰性和化学稳定性，无色，无味，但分解产物剧毒。SF₆绝缘性能是空气的2.5倍，灭弧性能是空气的100倍，此外SF₆不可燃，易液化，常压沸点-63.8℃，临界温度45.6℃，20℃下液化压力约2.2MPa，分子量146，气体密度约是空气5倍，工业中主要通过高压钢瓶以液态储存或运输。

同时，SF₆气体是一种氟化类气体，具有很高的全球温室效应影响,是京都议定书中规定的必须监控的六种气体之一，1公斤SF₆气体的全球温室效应（潜值）相当于1公斤CO₂气体的23900倍，因此SF₆气体必须在密闭的系统中使用，严格控制排放，即使是不满足使用要求的废气也应进行回收储存，对SF₆气体处理系统的密封要求严格。

为保证SF₆气体在GIS电气中的绝缘等性能，电力行业对SF₆的气体纯度，微水含量、分解物、油分或合成副产物等含量有相应的严格要求。比如常用的SF₆气体处理标准国际标准IEC 60376—2005《电力设备用工业级六氟化硫的技术规范》、IEC 60480—2005《从电力设备中取出六氟化硫(SF₆)的检验和处理指南及其再使用规范》、GB/T12022—2014《工业六氟化硫》等。

表1 IEC标准与国标标准有关SF₆新气质量标准比较

当SF₆气体绝缘装备内部出现早期及潜伏性绝缘故障时，常常会伴以不同形式和强度的局部放电，产生的局部强电磁能会使SF₆绝缘气体发生分解而生成各种低氟硫化物SFx，SF₆气体绝缘设备内部存在的H₂O和O₂等杂质结合，其分解物还会进一步与之发生反应产生SF₆分解产物，生成如SO₂、HF、H₂S等酸性和剧毒气体。这些特征分解组分会腐蚀设备内固体绝缘及金属部件，加速绝缘劣化，导致设备发生突发性故障。

SF₆回收过程为将工作压力下的充有SF₆绝缘的电气设备气室中抽吸并压缩泵送，经过滤颗粒物与可能存在的分解产物，干燥水分，冷却后高压储存，直至气室中SF₆充分回收，达到深度真空，以便对GIS设备进行下一步充氮储存或拆解检修,并对回收后的气体品质参数进行检测，对回收质量进行监测等。GIS设备回收前的工作压力通常在0.8MPa以下，具体压力取决于GIS设备类型与工程应用条件等。需要通过回收功能将SF₆在确保密封的情况下，回收到2000Pa的绝对压力甚至100Pa以下，目前较高标准的设备可将GIS的回收最终绝对压力控制在100Pa-500Pa，从环保角度看回收越彻底越好，尽可能减少SF₆的损耗与排放,正常情况下，回收后的SF₆经过回收装置的过滤净化可以再次回充到SF₆气室，实现多次重复使用，但如果混有杂质气体及参数指标超标严重，难以单次或数次净化完成，此时可以当作废气储存送到净化中心工厂通过专用设备进行集中净化再生。液态SF₆的密度远高于低压力下气态SF₆密度，所以常见的储存方式是40L钢瓶或储罐高压液态储存，高压液态具有储存密度高，储存容器体积小等优点，便于运输和转移，节省储存空间和运输管理成本。且液态储存易于对SF₆气体进行提纯，因此目前主流的大容量SF₆处理装置以高压液态储存SF₆为主。

SF₆回收处理装置在使用过程中，装置中各式泵组、过滤器及回收管路中自身会存在一定的SF₆，此部分的SF₆气体在进行下一个气室回收过程中，会导致SF₆回收装置内SF₆气体与回收的气体相混，由于SF₆回收处理设备自身存在一定的容积和远高于SF₆气室的压力，因为此部分气体的影响不可忽略。例如上一个气室回收过空气严重超标，或是回收过严重放电击穿事故导致SF₆分解物严重超标的SF₆，此部分气体参数严重超标无法使用，此时如不进行回收装置的自清洁，将会污染下一个气室回收的合格的SF₆气体，甚至将处理装置自身储罐内的合格气体全部污染导致气体无法使用。因此需要将装置自身的SF₆进行清空并将废气储存，而不可直接排放或通过真空泵排放至大气，常规的回收装置通过需要借助另外的回收装置，来将装置自身储有的污染的SF₆气体回收清空，而无法实现回收功能管路自清空和自清洁。或者通过用合格气体反复冲洗管路并储存到废气瓶，或是将回收的SF₆气体统一视为废气不再使用，这些均存在SF₆气体浪费和操作繁琐的弊端。

发明内容

针对SF₆回收装置或SF₆处理处理装置在处理不同品质SF₆过程中，存在对自身进行清洗、自清空和自清洁的需求，本发明的目的是提供一种SF₆的回收过滤与自清洁装置。

本发明采用如下技术手段实现：一种SF₆回收过滤与自清洁装置,包括回收入口低压组合过滤器、高真空传感器、压力/真空传感器、电动调节阀、负压增压泵、单向减压阀、过压保护释压阀及高压压缩机、回收出口高压组合过滤器、附属连接管路和电气控制单元，

回收入口低压组合过滤器、单向减压阀、高压压缩机、回收出口高压组合过滤器通过管路连接，在回收入口低压组合过滤器与回收出口高压组合过滤器还通过另一条管路连接电动调节阀及负压增压泵；

在回收入口低压过滤器及回收出口高压组合过滤器的管路两侧均设置压力/真空传感器及过压保护释压阀，在回收入口低压过滤器管路上还设置高真空传感器。

所述回收入口低压组合过滤器内设置颗粒杂质微米级过滤材料，水分干燥吸附材料和气态SF₆分解物吸附材料，过滤器出入口设置取样自封接口用于采样检测分析回收的气体品质和过滤器性能。

所述的一个电动调节阀设置在连接回收入口低压组合过滤器的进气管路与回收出口高压组合过滤器的排气管路的旁通回路上,所述电动调节阀与高压压缩机及负压增压泵相配合对SF₆回收管路及部件进行气体循环，此外另一个电动调节阀设置在负压回增压泵入口，与高压压缩机及负压增压泵相配合，对SF₆气室的正压和负压进行深度回收。

所述高压压缩机采用双级压缩和风机强制风冷冷却单元，所述自清洁压缩泵为具有负压抽吸能力和较高压力输出的压缩机、螺杆泵等形式单泵体或组合泵。

在负压增压泵出口设置三通控制阀和自清洁压缩泵回路，在所述的自清洁压缩泵回路上设置自清洁压缩泵及电动控制阀，所述的自清洁压缩泵回路上还设置压力/真空传感器及过压保护释压阀对回路进行检测控制，所述自清洁压缩泵和负压增压泵互相配合将回收功能管路部件压力回收到＜2000Pa甚至＜100Pa。

所述附属连接管路、装置进出口采用自密封的自封接头用于连接管路和阀件，管路通径与泵和阀件相匹配；所述电源/控制装置用于主电源的连接和电气保护，带有三相过电流、过电压等常规电气保护，并提供装置所需的控制电路，为装置自动化提供控制回路，所述电源控制装置可以独立，也可以并入成套装置系统回路中。

一种SF₆回收过滤与自清洁装置的过滤方法，包括如下步骤：

1）当SF₆气室中SF₆气体的压力在正压时，气室中的SF₆经由回收入口低压组合过滤器进行过滤；

2）进行过滤后的SF₆气体通过单向减压阀控压后，由高压压缩机双级压缩并冷却；

3）冷却后的SF₆气体通过电磁阀和回收出口高压组合过滤器输出到SF₆储存容器；

4）SF₆气室中的SF₆气体被回收到大气压左右时，负压增压泵启动并开启三通阀控制阀，气室中的SF₆经由回收入口低压组合过滤器进行过滤；

5）进行过滤后的SF₆气体通过电动调节阀控制流量后，经负压增压泵抽吸增压，流经三通阀进入高压压缩机；

6）高压压缩机将SF₆气体双级压缩并冷却后，经过电磁阀和回收出口高压组合过滤器输出到SF₆储存容器。

所述压力/真空传感器监测SF₆气室压力，用于判定选择回收SF₆气体的方式。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：

1、本发明提供的SF₆回收过滤与自清洁装置，采用双级高压压缩机进行正压回收，通过更节能高效的双级压缩来将回收的SF₆高压输出，实现液化储存，由于SF₆较易液化，而对应压力下混入的空气氮气难以液化，便于获得相对更高纯度的液态SF₆。通过负压增压泵自动起动进行，并结合其入口电动调节阀的自动调节，可以深度回收气室SF₆至可深度回收SF₆气室至100Pa甚至更低，减少了SF₆气室中SF₆的残留。

2、本发明提供的SF₆回收过滤与自清洁装置，进出入口均配有组合过滤器，可以对颗粒物，尤其同时配有水分和分解物吸附过滤材料，在待回收SF₆气体可以先进行预过滤，防止SF₆强酸性的SF₆分解产物腐蚀性装置自身的压缩机/泵和管路系统的腐蚀，延长装置寿命，特别适合经常处理的不合格SF₆，或者水分和SF₆分解物超标的SF₆。

3、本发明提供的SF₆回收过滤与自清洁装置具有气体自循环清洗功能，SF₆回收系统中的气体在装置自身中进行循环清洗，这有利于通过循环过滤达到更好气体品质，回收管路中的气体可以实现自循环清洗，此时通过将回收出口与入口连通并调节压力，启动高压压缩机和负压增压泵，实现内部管路中SF₆气体的循环清洗过滤，避免管路内部污染的强腐蚀性气体对装置自身造成腐蚀，增强过滤效果。

4、本发明提供的SF₆回收过滤与自清洁装置具有自清洁功能，通过在双级高压缩机和负压增压泵间设置三通控制阀和自清结压缩泵回路，对回收管路中的废气或不合格气体进行清空，从而实现回收管路清洁，避免不同过程中品质差异的SF₆相互混合造成污染，此外，便于进行设备维修维护前对回收管路系统降压和SF₆清空处理。

附图说明

图1为本发明提供的SF₆回收过滤与自清洁装置组成示意图；

图2为本发明对SF₆进行压回收和双重过滤工序流向示意图；

图3为本发明对SF₆进行深度负压回收和双重过滤工序流向示意图；

图4为本发明装置对自身回收管系部件进行自循环清洗和增强过滤工序流向示意图。

图中：

1-回收入口低压组合过滤器、2-高真空传感器、3-压力/真空传感器、4-电动调节阀、5-负压增压泵、6-单向减压阀、7-三通控制阀、8-电动控制阀、9-高压压缩机、10-自清洁压缩泵、11-回收出口高压组合过滤器、12-过压保护释压阀。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。

应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。

如图1所示，根据本发明提供的SF₆回收过滤与自清洁装置，包括回收入口低压组合过滤器1、高真空传感器2、压力/真空传感器3、电动调节阀4、负压增压泵5、单向减压阀6、三通控制阀7、电动控制阀8、高压压缩机9、自清洁压缩泵10、回收出口高压组合过滤器11、过压保护释压阀12及附属连接管路和电气控制单元。

回收入口低压组合过滤器1、单向减压阀6、高压压缩机9、回收出口高压组合过滤器11通过管路连接，在回收入口低压组合过滤器与1回收出口高压组合过滤器11还通过另一条管路连接电动调节阀4及负压增压泵5；

在回收入口低压过滤器1及回收出口高压组合过滤器11的管路两侧均设置压力/真空传感器3及过压保护释压阀12，在回收入口低压过滤器1的管路上还设置高真空传感器2。

所述的一个电动调节阀4设置在连接回收入口低压组合过滤器1的进气管路与回收出口高压组合过滤器11的排气管路的旁通回路上,所述电动调节阀4与高压压缩机9及负压增压泵5相配合对SF₆回收管路及部件进行气体循环，此外另一个电动调节阀4设置在负压回增压泵5入口，与高压压缩机9及负压增压泵5相配合，对SF₆气室的正压和负压进行深度回收。

在负压增压泵5出口设置三通控制阀7和自清洁压缩泵回路，在所述的自清洁压缩泵回路上设置自清洁压缩泵10及电动控制阀8，所述的自清洁压缩泵回路上还设置压力/真空传感器3及过压保护释压阀12对回路进行检测控制。

本发明中：

所述的回收入口低压组合过滤器具有颗粒杂质微米级过滤、水分干燥吸附过滤和气态SF₆分解物过滤功能，可有效的保护装置动力泵组和管路阀件。

优选地, 回收入口低压组合过滤器1采用过滤能力1微米左右精度过滤网材料过滤颗粒杂质,其亦也可以过滤固态SF₆分解产物；采用三氧化二铝或分子筛等干燥吸附材料吸附水分及采用活性分子筛和活性碳作为吸附材料吸附气态SF₆分解物。

在过滤器出入口通过取样自封接口，用于采样检测分析回收的气体品质和过滤器性能，监测压差判断滤网是否脏污阻塞，便于维保。

所述高真空传感器2用于监测回收至深度负压后的高真空度,并输出信号用于真空显示和控制输出，高真空传感器可用于判断回收程度和自动化控制，当回收到预设真空度时可以通过控制输出，直接停止回收功能或输出回收功能完成信号。

优选地，为了避免传感器受到压力波动受损，所述高真空传感器2采用能够承受过压保护的传感传感器，为了提高测量精度，所述高真空传感器2可采用高真空度窄幅测量范围的真空传感器。

所述的压力/真空传感器3用于监测对应位置的压力或真空，在自动化的控制系统中可实现压力监测，泵的启停控制和压力保护。

所述的电动调节阀4，通过回收入口压力信号调节阀门开度，用于控制负压回收的入口压力匹配，从而使负压泵回收过程得到平稳调节。

优选地，电动调节阀4应有快速的信号响应速度和调节速度，能够根据压力控制条件实现精准幅度的调节，因此本发明采用可精细调节开度的电动调节阀,可以根据压力传感器的测量信号反馈,通过比例调节,或积分调节等方式,实现液态SF₆气体的流量输入调节，稳定工作，适应入口和出口调节的变化下的反馈调节，并通过信息反馈及时修正调节幅度。

所述的负压增压泵5（或真空增压泵）可以深度负压回收SF₆气体至气室达到深度真空。负压增压泵5的起动停止受到回收入口压力/真空传感器的信号控制实现自动启动，如当高压压缩机将气室回收到微正压或大气压左右时时自动启动，为高压压缩机进行增压。

优选地，负压增压泵5为无油型负压增压泵，具有良好抽真空性能，采用能实现深度回收SF₆气室至高真空＜2000Pa甚至＜100Pa以下,尽可回收SF₆减少残留，如果将0.6Mpa的SF₆回收到100Pa,则SF₆的回收率超过99.98%。此外负压增压泵的最大输出压力小于高压压缩机的最大入口允许压力，设计流量相互匹配，以确保流量稳定和高效地进行气室负压回收。

所述的单向减压阀6具有单向连通和止回功能，实现负压回收泵单向旁通和减压等控制功能，如SF₆气室回收初期压力较高时，通过旁通和减压至高压压缩机入口最大允许压力，实现SF₆气室的高压回收，其也可以通过单向阀和减压阀组合达到相同的效果。

所述三通控制阀7用于电动或电-气动阀门组合控制通路，从而控制三通气道间的连通与隔断，从而控制SF₆气体的流通方向。

所述电动控制阀8，采用速开速闭的电磁阀或电动调节阀，用于气路的连通或隔断。其受电路控制单元的控制。

所述高压压缩机9采用双级压缩和风机强制风冷冷却单元，实现对回收气体的吸入，压缩，冷却和高压输出。为了保证回收的SF₆在不同环境温度下能够高效压缩液化，其输出压力应达到4.5Mpa以上。

优选地，为了保证装置自身SF₆气体管路受到油污污染，所述高压压缩机9采用无油干式压缩机，由于气室压力与SF₆液化压力存在较高的压差（约2Mpa），单级压缩能耗高，发热严重，温度过高会缩短材料寿命加剧材料腐蚀，采用双级压缩机并结合级间风冷和二级级后冷却，可以高效降低压缩过程中的气体温度，利于压缩机长期稳定运行。如双级无油活塞式压缩机,根据热力学理论，采用等压缩比的压缩更为省功节能。

所述自清洁压缩泵10能够回收管路通过抽吸回收管路中的不合格SF₆气体，最终通过和负压增压泵联合实现回收管路系统的深度自清洁。当装置回收了严重污染的SF₆废气，或同理需要对装置回收管路进行清洁或气体回收时，可以利用自有负压增压泵和自清洁压缩泵组合，将回收管路的污染的SF₆清空（清空99%以上受污染气体），实现自清洁，避免不同气室SF₆回收过程中不同品质或类型的SF₆气体相混和污染。

优选地，由于自清洁泵10用于压缩和清空装置回收管路和滤器中品质不合格的废气，因此需要材料具有强耐腐蚀性。为了将装置内气更彻底清空，需联合负压压缩泵进行双级抽吸，使装置内气体回收到深度真空。采用具有负压回收能力和较高压力输出的压缩机、螺杆泵等形式单泵体或组合泵，其入口压力应满足负压压缩泵的压力。由于清空的装置自身的气体总量有限，运行时间短，可以采用相对低压低排量的压缩泵，降低设备成本。

所述的回收出口高压组合过滤器11具有颗粒杂质微米级过滤，水分干燥吸附过滤和气态SF₆分解物过滤功能，在过滤器内设置颗粒杂质微米级过滤材料，水分干燥吸附材料和气态SF₆分解物吸附材料，过滤器出口设置取样自封接口，用于采样检测分析回收的气体品质和过滤器性能，所述的回收出口高压组合过滤器为SF₆回收过程的第二重过滤，并且过滤高压压缩机、负压增压泵运行等产生的磨损杂质，保护储罐气体清洁和品质。

优选地, 颗粒杂质微米级过滤材料采用过滤能力1微米左右精度脱脂过滤网材料过滤颗粒杂质,包括固态SF₆分解产物，采用三氧化二铝或分子筛等吸附材料吸附水分,采用活性分子筛和活性碳作为吸附材料吸附气态SF₆分解物。过滤器出入口通过取样自封接口，用于采样检测分析回收的气体品质和过滤器性能，监测压差判断滤网是否脏污阻塞，便于维保。滤器的耐压压缩机的最大设计工作压力。

所述过压保护释压阀12用于提供对位置管路压力在极端或故障条件（如压力传感器或控制故障）下的机械式双重过压保护，进行压力释放和泄压，所述高压释放的气体可导入额外的低压管路或气体收集容器。

所述附属连接管路，装置进出口采用自密封的自封接头，用于连接管路和阀件，采用耐压耐腐蚀的洁净金属管路，管路通径与泵和阀件相匹配；所述电源/控制装置,用于主电源的连接和电气保护，带有三相过电流、过电压等常规电气保护，并提供装置所需的控制电路，为装置自动化提供控制回路，所述电源控制装置可以独立，也可以并入成套装置系统回路中。

本发明提供的SF₆的回收过滤与自清洁装置可以实现以下主要功能,其功能和流程示意说明如下：

功能1-对SF₆气室中的SF₆进行正压回收和双重过滤：

如图2所示：装置对SF₆气室进行SF₆回收时，分两个阶段进行，当气室压力在正压时，气室中的SF₆经由回收入口低压组合过滤器，进行过滤后通过单向减压阀控压后，由高压压缩机双级压缩并冷却后，经过电磁阀和回收出口高压组合过滤器输出到SF₆储存容器，实现SF₆气室正压回收功能，压力/真空传感器监测对应的位置的压力,图中粗实线示出气体具体流向。

功能2-对SF₆气室中的SF₆进行深度负压回收和双重过滤：

如图3所示：装置对SF₆气室回收到大气压左右时，由压力/真空传感器监测压力，根据设定自动启动负压增压泵并开启三通阀控制阀，此时气室中的SF₆经由回收入口低压组合过滤器，进行过滤后通过电动调节阀控制流量后，经负压增压泵抽吸增压，流经三通阀由高压压缩机双级压缩并冷却后，经过电磁阀和回收出口高压组合过滤器输出到SF₆储存容器，实现SF₆气室正压回收功能，压力/真空传感器监测对应的位置的压力，当回收到深度真空后，高真空传感器监测真空参数，如真空达到预设的真空值时，输出控制信息自动停止回收功能或提示回收功能完成，图中粗实线示出气体具体流向。

功能3-对装置自身回收管系部件进行自循环清洗和增强过滤：

如图4所示：当装置回收完不合格的SF₆或故障气室的SF₆，尤其是含有水分和SF₆分解产物超标较严重时，单次过滤无法达到较好效果，装置内残留的水分和SF₆强酸性分解产物可能会严重腐蚀高压压缩机、负压增压泵及管路阀件，装置可进行内部回收功能管系进行自循环清洗，启动高压压缩机、负压增压泵及阀件，回收管系入口和出口通过电动调节阀旁通，并根据压力及过滤性能调节流量，通过自循环来冲洗装置内部管路和部件，通过循环来多次过滤气体，从而将气体净化，此功能可增强气体过滤效果，避免装置内部腐蚀气体成份对装置的腐蚀，图中粗实线示出气体的具体流向。

功能4-对装置自身的回收功能管路部件进行自清洁：

当装置回收完或混入有严重污染超标的SF₆废气，通过常规过滤无法达标，可能会严重损害装置安全，同时如果不进行装置自清洁将无法进行后续的使用，因此通过自身的自清洁功能，启动执行相关的部件并调节压力和流量参数，可在回收管路内部进行自循环的情况下，通过自清洁压缩泵和负压增压泵的联合抽吸，将回收功能管路部件压力回收到深度真空，实现将回收管路气体逐步回收到外部自清洁储气容器或废气收集袋，完成装置自身回收功能管路部件的清空。此外，如果需要对高压压缩机、过滤器等部件进行时维护时，也可以利用此功能将装置回收功能管路部件气体清空，便于进行相关维护，在无SF₆排放和外部装置的作用下，实现装置回收功能管路部件的自清洁。此时，所有管路均投入运转。

以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本发明的实质内容。

Claims (6)

1.一种SF₆回收过滤与自清洁装置, 其特征在于：包括回收入口低压组合过滤器、高真空传感器、压力/真空传感器、电动调节阀、负压增压泵、单向减压阀、过压保护释压阀及高压压缩机、回收出口高压组合过滤器、附属连接管路和电气控制单元，回收入口低压组合过滤器、单向减压阀、高压压缩机、回收出口高压组合过滤器通过管路连接，在回收入口低压组合过滤器与回收出口高压组合过滤器还通过另一条管路连接电动调节阀及负压增压泵；在回收入口低压过滤器及回收出口高压组合过滤器的管路两侧均设置压力/真空传感器及过压保护释压阀，在回收入口低压过滤器管路上还设置高真空传感器；

一个所述的电动调节阀设置在连接回收入口低压组合过滤器的进气管路与回收出口高压组合过滤器的排气管路的旁通回路上,所述电动调节阀与高压压缩机及负压增压泵相配合对SF₆回收管路及部件进行气体循环，此外另一个电动调节阀设置在负压回增压泵入口，与高压压缩机及负压增压泵相配合，对SF₆气室的正压和负压进行深度回收；

在负压增压泵出口设置三通控制阀和自清洁压缩泵回路，在所述的自清洁压缩泵回路上设置自清洁压缩泵及电动控制阀，所述的自清洁压缩泵回路上还设置压力/真空传感器及过压保护释压阀对回路进行检测控制，所述自清洁压缩泵和负压增压泵互相配合将回收功能管路部件压力回收到＜2000Pa甚至＜100Pa。

2.根据权利要求1所述的一种SF₆回收过滤与自清洁装置，其特征在于：所述回收入口低压组合过滤器内设置颗粒杂质微米级过滤材料，水分干燥吸附材料和气态SF₆分解物吸附材料，过滤器出入口设置取样自封接口用于采样检测分析回收的气体品质和过滤器性能。

3.根据权利要求1所述的一种SF₆回收过滤与自清洁装置，其特征在于：所述高压压缩机采用双级压缩和风机强制风冷冷却单元，所述自清洁压缩泵为具有负压抽吸能力和较高压力输出的压缩机、螺杆泵形式的单泵体或组合泵。

4.根据权利要求1所述的一种SF₆回收过滤与自清洁装置，其特征在于：所述附属连接管路、装置进出口采用自密封的自封接头用于连接管路和阀件，管路通径与泵和阀件相匹配；还包括电源/控制装置，所述电源/控制装置用于主电源的连接和电气保护，带有三相过电流、过电压常规电气保护功能，并提供装置所需的控制电路，为装置自动化提供控制回路，所述电源/控制装置独立或者并入成套装置系统回路中。

5.一种采用权利要求1-4任意一项所述的SF₆回收过滤与自清洁装置的过滤方法，其特征在于：包括如下步骤：

1）当SF₆气室中SF₆气体的压力在正压时，气室中的SF₆经由回收入口低压组合过滤器进行过滤；

2）进行过滤后的SF₆气体通过单向减压阀控压后，由高压压缩机双级压缩并冷却；

3）冷却后的SF₆气体通过电磁阀和回收出口高压组合过滤器输出到SF₆储存容器；

4）SF₆气室中的SF₆气体被回收到大气压左右时，负压增压泵启动并开启三通阀控制阀，气室中的SF₆经由回收入口低压组合过滤器进行过滤；

5）进行过滤后的SF₆气体通过电动调节阀控制流量后，经负压增压泵抽吸增压，流经三通阀进入高压压缩机；

6）高压压缩机将SF₆气体双级压缩并冷却后，经过电磁阀和回收出口高压组合过滤器输出到SF₆储存容器。

6.根据权利要求5所述的一种SF₆回收过滤与自清洁装置的过滤方法，其特征在于：所述压力/真空传感器监测SF₆气室压力，用于判定选择回收SF₆气体的方式。

Images