CN113968375B - 一种硅晶圆储存运输箱 - Google Patents

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Abstract

发明属于硅晶圆储存运输领域，为一种硅晶圆储存运输箱，包括箱体，所述箱体上端中部设有放置槽，所述放置槽底部设有弧形槽，所述箱体上端弧形槽两侧固设有限位块，所述弧形槽上端滑动设有支撑底座，所述支撑底座上固设有伸缩壳体，所述伸缩壳体内滑动设有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端固设有放置平台，所述箱体两侧设有防撞垫，所述箱体底部沿箱体长度方向滑动设有多个移动轮轴，所述移动轮轴外设有移动轮，所述箱体上端两侧固设有盖板连接板，所述盖板连接板内滑动设有盖板连接轴，所述盖板连接轴外设有盖板转动辊，所述盖板转动辊外固设有盖板。本发明能够对硅晶圆在水平方向及垂直方向上进行减震，并保持硅晶圆在搬运过程中保持水平。

Description

一种硅晶圆储存运输箱
技术领域
本发明属于硅晶圆储存运输领域，尤其涉及一种硅晶圆储存运输箱。
背景技术
晶圆便是硅元素加以纯化，接着是将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆，在现有技术中，用于包装储存硅材料晶圆片的储存盒通常由盒座和上盖构成，在盒座中垂直成型有多个用于插放晶圆片的V型槽，在上盖的内侧对应成型有多个与V型槽对应的V型槽，现有的晶圆片储存盒存在如下缺点：
1.会产生夹持过紧或储存盒移动时晶圆会与接触面产生摩擦等问题；
2.由于晶圆片是一种贵重的电子半成品，在储存和运输过程中，要避免过度振动和受压太大因此需要改进。
发明内容
本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种硅晶圆储存运输箱，本发明能够对硅晶圆在水平方向及垂直方向上进行减震，并保持硅晶圆在搬运过程中保持水平。
本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种硅晶圆储存运输箱，包括箱体，所述箱体上端中部设有放置槽，所述放置槽底部设有弧形槽，所述箱体上端弧形槽两侧固设有限位块，所述弧形槽上端滑动设有支撑底座，所述支撑底座上固设有伸缩壳体，所述伸缩壳体内滑动设有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端固设有放置平台，所述箱体两侧设有防撞垫，所述箱体底部沿箱体长度方向滑动设有多个移动轮轴，所述移动轮轴外设有移动轮，所述箱体上端两侧固设有盖板连接板，所述盖板连接板内滑动设有盖板连接轴，所述盖板连接轴外设有盖板转动辊，所述盖板转动辊外固设有盖板，所述盖板的一侧设有密封弹性垫，所述盖板的一侧密封弹性垫外固设有密封垫圈，所述放置槽上部两侧设有滑动轨道，所述滑动轨道内滑动设有安装滑块。
优选的，所述放置平台通过减震弹簧与支撑底座相连，所述放置平台上端固设有抽气平台，所述抽气平台内设有通气腔，所述通气腔上部沿抽气平台长度方向设有多个气孔，所述放置平台的一侧设有出膜槽，所述出膜槽内两侧沿出膜槽高度方向矩阵设有多个送膜辊轴，所述送膜辊轴外设有送膜辊，所述放置平台两侧下部对称设有固膜槽，所述固膜槽内固设有固膜壳体座，所述固膜壳体座的一侧固设有固膜伸缩壳体，所述固膜伸缩壳体内滑动设有固膜杆，所述固膜杆的输出端固设有放置滑块，所述放置滑块上设有加热块,所述出膜槽的上端固设有导向板，所述出膜槽上端两侧导向板的一侧固设有安装板，所述安装板内沿安装板高度方向对称设有多个送膜轮。
优选的，所述抽气平台的上端两侧设有滑槽，所述滑槽内滑动设有滑动连接块，所述滑动连接块的一侧固设有安装槽，所述安装槽内沿安装槽高度方向滑动设有多个第二辊轴，所述第二辊轴外固设有第二辊，所述安装槽的侧端设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的一端连接有缓冲紧固板，所述抽气平台上端中部固设有放置板，所述放置板上端设有软性垫。
优选的，所述安装滑块内中部固设有夹紧轴，所述夹紧轴外沿夹紧轴长度方向滑动设有多个夹紧板，所述安装滑块的一端内设有卡槽，所述卡槽内滑动设有抵接块，所述抵接块与安装滑块通过抵接弹簧连接，所述安装滑块上端滑动设有转动连接轴，所述转动连接轴外连接有连接弹簧，所述连接弹簧的另一端与密封弹性垫滑动连接。
优选的，所述滑动轨道内一侧固设有按钮壳体，所述按钮壳体内滑动设有按钮，所述按钮通过按钮弹簧与滑动轨道一侧连接。
优选的，所述支撑底座底部滑动设有适应轮轴，所述适应轮轴外设有适应轮，所述支撑底座底部两侧设有平衡槽，所述支撑底座底部一侧固设有连接底座，所述连接底座的一端固设有适应移动壳体，所述适应移动壳体内滑动设有适应杆，所述适应杆的输出端滑动设有滑动连接轮，所述滑动连接轮在平衡槽内滑动连接，所述箱体内底部一侧滑动设有密封膜卷筒。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
1.通过密封膜将使夹紧模块对硅圆进行夹紧，有效保证夹紧模块的夹紧效果，通过密封膜对硅圆进行密封防止外界气体对硅圆进行污染。
2.在水平方向和垂直方向对硅圆进行减震，通过加紧模块中的弹簧和减震弹簧使其在震动使有效减少硅圆震动。
3.当箱体倾斜时放置平台能够通过滚轮滚动保持放置平台始终保持水平，通过底部滚子和伸缩连接装置的配合保持放置平台的水平。
附图说明
图1是本发明立体图。
图2是本发明侧视图。
图3是图2中A-A方向剖视图。
图4是图3中B-B方向剖视图。
图5是图3中C处结构放大图。
图6是图3中D处结构放大图。
图7是图3中E处结构放大图。
图8是图4中F处结构放大图。
图9是图3中G处结构放大图。
图中，箱体10、弧形槽11、限位块12、支撑底座13、伸缩壳体14、伸缩杆15、放置平台16、防撞垫17、移动轮轴18、移动轮19、盖板连接板20、盖板连接轴21、盖板转动辊22、盖板23、密封弹性垫24、密封垫圈25、滑动轨道26、安装滑块27、放置槽28、减震弹簧29、抽气平台30、通气腔31、气孔32、出膜槽33、送膜辊轴34、送膜辊35、固膜槽36、固膜壳体座37、固膜伸缩壳体38、固膜杆39、放置滑块40、加热块41、滑槽42、滑动连接块43、安装槽44、第二辊轴45、第二辊46、缓冲弹簧47、缓冲紧固板48、放置板49、软性垫50、夹紧轴51、夹紧板52、卡槽53、抵接弹簧54、抵接块55、转动连接轴56、连接弹簧57、导向板58、安装板59、送膜轮60、按钮壳体61、按钮62、按钮弹簧63、适应轮轴64、适应轮65、平衡槽66、连接底座67、适应移动壳体68、适应杆69、滑动连接轮70、密封膜卷筒71。
具体实施方式
以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“内”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
如图1-图9所示，一种硅晶圆储存运输箱，包括箱体10，箱体10上端中部设有放置槽28，放置槽28底部设有弧形槽11，箱体10上端弧形槽11两侧固设有限位块12，弧形槽11上端滑动设有支撑底座13，支撑底座13上固设有伸缩壳体14，伸缩壳体14内滑动设有伸缩杆15，伸缩杆15的输出端固设有放置平台16，箱体10两侧设有防撞垫17，箱体10底部沿箱体10长度方向滑动设有多个移动轮轴18，移动轮轴18外设有移动轮19，箱体10上端两侧固设有盖板连接板20，盖板连接板20内滑动设有盖板连接轴21，盖板连接轴21外设有盖板转动辊22，盖板转动辊22外固设有盖板23，盖板23的一侧设有密封弹性垫24，盖板23的一侧密封弹性垫24外固设有密封垫圈25，放置槽28上部两侧设有滑动轨道26，滑动轨道26内滑动设有安装滑块27。
进一步的，放置平台16通过减震弹簧29与支撑底座13相连，放置平台16上端固设有抽气平台30，抽气平台30内设有通气腔31，通气腔31上部沿抽气平台30长度方向设有多个气孔32，放置平台16的一侧设有出膜槽33，出膜槽33内两侧沿出膜槽33高度方向矩阵设有多个送膜辊轴34，送膜辊轴34外设有送膜辊35，放置平台16两侧下部对称设有固膜槽36，固膜槽36内固设有固膜壳体座37，固膜壳体座37的一侧固设有固膜伸缩壳体38，固膜伸缩壳体38内滑动设有固膜杆39，固膜杆39的输出端固设有放置滑块40，放置滑块40上设有加热块41,出膜槽33的上端固设有导向板58，出膜槽33上端两侧导向板58的一侧固设有安装板59，安装板59内沿安装板59高度方向对称设有多个送膜轮60。
进一步的，抽气平台30的上端两侧设有滑槽42，滑槽42内滑动设有滑动连接块43，滑动连接块43的一侧固设有安装槽44，安装槽44内沿安装槽44高度方向滑动设有多个第二辊轴45，第二辊轴45外固设有第二辊46，安装槽44的侧端设有缓冲弹簧47，缓冲弹簧47的一端连接有缓冲紧固板48，抽气平台30上端中部固设有放置板49，放置板49上端设有软性垫50。
进一步的，安装滑块27内中部固设有夹紧轴51，夹紧轴51外沿夹紧轴51长度方向滑动设有多个夹紧板52，安装滑块27的一端内设有卡槽53，卡槽53内滑动设有抵接块55，抵接块55与安装滑块27通过抵接弹簧54连接，安装滑块27上端滑动设有转动连接轴56，转动连接轴56外连接有连接弹簧57，连接弹簧57的另一端与密封弹性垫24滑动连接。
进一步的，滑动轨道26内一侧固设有按钮壳体61，按钮壳体61内滑动设有按钮62，按钮62通过按钮弹簧63与滑动轨道26一侧连接。
进一步的，支撑底座13底部滑动设有适应轮轴64，适应轮轴64外设有适应轮65，支撑底座13底部两侧设有平衡槽66，支撑底座13底部一侧固设有连接底座67，连接底座67的一端固设有适应移动壳体68，适应移动壳体68内滑动设有适应杆69，适应杆69的输出端滑动设有滑动连接轮70，滑动连接轮70在平衡槽66内滑动连接，箱体10内底部一侧滑动设有密封膜卷筒71。
工作原理
当硅圆需要放入箱体10内时，打开盖板23通过转动盖板转动辊22使盖板23翻转，同时通过连接弹簧57带动转动连接轴56使安装滑块27在滑动轨道26内滑动，此时夹紧板52呈闭合状态，当盖板23完全打开时安装滑块27与安装板59啮合，使夹紧板52打开，送膜轮60上夹紧的密封膜通过送膜辊35与导向板58配合滑入安装板59通过送膜轮60夹紧滚入夹紧板52内，同时硅圆放置于软性垫50上。
硅圆放置完成后将盖板23翻转，安装滑块27向按钮62移动，此时抵接块55被抵接弹簧54弹出使夹紧板52将密封膜夹紧并跟随安装滑块27移动，当安装滑块27与按钮62接触并撞击按钮62时启动电机对气孔32内进行抽气将放置板49进行吸紧，同时将密封膜从出膜槽33内进行吸出使密封膜与硅圆紧密贴合，同时对安装槽44进行推动使缓冲紧固板48与硅圆接触并夹紧，缓冲弹簧47能够使硅圆在水平晃动时减小震动，当密封膜使硅圆夹密封并将缓冲紧固板48与硅圆夹紧时通过伸出固膜杆39使加热块41与密封膜接触并将密封膜热熔于安装槽44外侧。
当密封膜，密封完成后盖板23完全与箱体10闭合，同时密封弹性垫24对硅圆上端进行压紧，使伸缩杆15向下移动，由于减震弹簧29对放置平台16具有作用力，当箱体10上下震动时能够对放置平台16进行减震作用，通过减震弹簧29与伸缩杆15进行配合移动使硅圆减少震动。
当箱体10倾斜时适应轮65在弧形槽11内移动，适应轮轴64移动时带动支撑底座13移动使滑动连接轮70在平衡槽66内滑动，适应杆69能够适应支撑底座13的移动并对支撑底座13进行水平稳定作用。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利保护范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (1)

1.一种硅晶圆储存运输箱，包括箱体(10)，其特征在于，所述箱体(10)上端中部设有放置槽(28)，所述放置槽(28)底部设有弧形槽(11)，所述箱体(10)上端弧形槽(11)两侧固设有限位块(12)，所述弧形槽(11)上端滑动设有支撑底座(13)，所述支撑底座(13)上固设有伸缩壳体(14)，所述伸缩壳体(14)内滑动设有伸缩杆(15)，所述伸缩杆(15)的输出端固设有放置平台(16)，所述箱体(10)两侧设有防撞垫(17)，所述箱体(10)底部沿箱体(10)长度方向滑动设有多个移动轮轴(18)，所述移动轮轴(18)外设有移动轮(19)，所述箱体(10)上端两侧固设有盖板连接板(20)，所述盖板连接板(20)内滑动设有盖板连接轴(21)，所述盖板连接轴(21)外设有盖板转动辊(22)，所述盖板转动辊(22)外固设有盖板(23)，所述盖板(23)的一侧设有密封弹性垫(24)，所述盖板(23)的一侧密封弹性垫(24)外固设有密封垫圈(25)，所述放置槽(28)上部两侧设有滑动轨道(26)，所述滑动轨道(26)内滑动设有安装滑块(27)；所述放置平台(16)通过减震弹簧(29)与支撑底座(13)相连，所述放置平台(16)上端固设有抽气平台(30)，所述抽气平台(30)内设有通气腔(31)，所述通气腔(31)上部沿抽气平台(30)长度方向设有多个气孔(32)，所述放置平台(16)的一侧设有出膜槽(33)，所述出膜槽(33)内两侧沿出膜槽(33)高度方向矩阵设有多个送膜辊轴(34)，所述送膜辊轴(34)外设有送膜辊(35)，所述放置平台(16)两侧下部对称设有固膜槽(36)，所述固膜槽(36)内固设有固膜壳体座(37)，所述固膜壳体座(37)的一侧固设有固膜伸缩壳体(38)，所述固膜伸缩壳体(38)内滑动设有固膜杆(39)，所述固膜杆(39)的输出端固设有放置滑块(40)，所述放置滑块(40)上设有加热块(41),所述出膜槽(33)的上端固设有导向板(58)，所述出膜槽(33)上端两侧导向板(58)的一侧固设有安装板(59)，所述安装板(59)内沿安装板(59)高度方向对称设有多个送膜轮(60)；所述抽气平台(30)的上端两侧设有滑槽(42)，所述滑槽(42)内滑动设有滑动连接块(43)，所述滑动连接块(43)的一侧固设有安装槽(44)，所述安装槽(44)内沿安装槽(44)高度方向滑动设有多个第二辊轴(45)，所述第二辊轴(45)外固设有第二辊(46)，所述安装槽(44)的侧端设有缓冲弹簧(47)，所述缓冲弹簧(47)的一端连接有缓冲紧固板(48)，所述抽气平台(30)上端中部固设有放置板(49)，所述放置板(49)上端设有软性垫(50)；所述安装滑块(27)内中部固设有夹紧轴(51)，所述夹紧轴(51)外沿夹紧轴(51)长度方向滑动设有多个夹紧板(52)，所述安装滑块(27)的一端内设有卡槽(53)，所述卡槽(53)内滑动设有抵接块(55)，所述抵接块(55)与安装滑块(27)通过抵接弹簧(54)连接，所述安装滑块(27)上端滑动设有转动连接轴(56)，所述转动连接轴(56)外连接有连接弹簧(57)，所述连接弹簧(57)的另一端与密封弹性垫(24)滑动连接；所述滑动轨道(26)内一侧固设有按钮壳体(61)，所述按钮壳体(61)内滑动设有按钮(62)，所述按钮(62)通过按钮弹簧(63)与滑动轨道(26)一侧连接；所述支撑底座(13)底部滑动设有适应轮轴(64)，所述适应轮轴(64)外设有适应轮(65)，所述支撑底座(13)底部两侧设有平衡槽(66)，所述支撑底座(13)底部一侧固设有连接底座(67)，所述连接底座(67)的一端固设有适应移动壳体(68)，所述适应移动壳体(68)内滑动设有适应杆(69)，所述适应杆(69)的输出端滑动设有滑动连接轮(70)，所述滑动连接轮(70)在平衡槽(66)内滑动连接，所述箱体(10)内底部一侧滑动设有密封膜卷筒(71)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011081172B4 (de) * 2011-08-18 2013-05-08 Schott Ag Verpackungseinheit für ein auf einen Wickelkern gerolltes Glas
JP2016159968A (ja) * 2015-03-04 2016-09-05 レンゴー株式会社 物品の包装体
CN108146856A (zh) * 2017-12-24 2018-06-12 广西广付金商贸有限公司 一种用于电子通信设备存放转移的双保护型运输箱
CN208806236U (zh) * 2018-11-12 2019-04-30 浙江雅市晶科技有限公司 一种基于半导体制造工艺的硅晶圆片保护装置
CN209410748U (zh) * 2019-01-21 2019-09-20 四川职业技术学院 防震型物流运输箱
CN211392318U (zh) * 2019-11-28 2020-09-01 合肥坦创网络科技有限公司 一种工业产品设计用模型收纳装置
CN112124766A (zh) * 2020-09-21 2020-12-25 苏州曜恺信息科技有限公司 一种计算机运输箱

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