CN113958672B - 一种硅片变节距装置 - Google Patents

一种硅片变节距装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113958672B
CN113958672B CN202111084942.9A CN202111084942A CN113958672B CN 113958672 B CN113958672 B CN 113958672B CN 202111084942 A CN202111084942 A CN 202111084942A CN 113958672 B CN113958672 B CN 113958672B
Authority
CN
China
Prior art keywords
connecting rod
assembly
link
guide rail
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202111084942.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113958672A (zh
Inventor
沈威
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Chengtuo Intelligent Equipment Co ltd
Original Assignee
Suzhou Chengtuo Intelligent Equipment Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Chengtuo Intelligent Equipment Co ltd filed Critical Suzhou Chengtuo Intelligent Equipment Co ltd
Priority to CN202111084942.9A priority Critical patent/CN113958672B/zh
Publication of CN113958672A publication Critical patent/CN113958672A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113958672B publication Critical patent/CN113958672B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H21/00—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides
    • F16H21/10—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides all movement being in, or parallel to, a single plane
    • F16H21/44—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides all movement being in, or parallel to, a single plane for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种硅片变节距装置。该装置包括：机架，两个导轨组件，驱动组件以及两个连杆组件。驱动组件设置在机架的上部，且驱动组件分别与第一连杆组件和第二连杆组件相连，第一连杆组件的底端设置在机架上，第一连杆组件的顶端设置在第一导轨组件上，第一连杆组件上设置有两列载物架，第二连杆组件的底端设置在机架上，第二连杆组件的顶端设置在第二导轨组件上，两个连杆组件上都设置有支撑件，支撑件用于对硅片进行水平支撑，驱动组件通过驱动第一连杆组件的顶端和第二连杆组件的顶端移动，使得各个载物架的倾斜角度发生改变。本申请通过间隔设置的两组连杆组件实现对硅片变节距操作，整个装置结构较为简单，且运行平稳。

Description

一种硅片变节距装置
技术领域
本发明涉及硅片生产制造领域，特别是涉及硅片变节距装置。
背景技术
硅片在制造生产过程中，有些工序需要将硅片与硅片之间的距离进行调节，也就是硅片变节距操作。
传统的硅片变节距装置要么整体结构比较笨重，结构比较复杂，要么结构比较简单，但平稳性较差，容易造成硅片损伤。
发明内容
基于此，有必要针对传统的变节距装置存在的问题，提供一种硅片变节距装置。本申请的装置结构比较简单，且运行平稳。
一种硅片变节距装置，包括：
机架，两个导轨组件，驱动组件以及两个连杆组件，
所述两个导轨组件分别为第一导轨组件和第二导轨组件，第一导轨组件和第二导轨组件间隔设置在机架上，
所述两个连杆组件分别为第一连杆组件和第二连杆组件，
所述驱动组件设置在机架的上部，且所述驱动组件分别与所述第一连杆组件和第二连杆组件相连，
所述第一连杆组件的底端设置在机架上，所述第一连杆组件的顶端设置在第一导轨组件上，所述第一连杆组件上设置有两列载物架，每列载物架包括由上到下依次设置的多个载物架，每个载物架上设置有多个支撑件，所述支撑件用于对硅片进行水平支撑，
所述第二连杆组件的底端设置在机架上，所述第二连杆组件的顶端设置在第二导轨组件上，所述第二连杆组件上设置有两列载物架，每列载物架包括由上到下依次设置的多个载物架，每个载物架上设置有多个支撑件，所述支撑件用于对硅片进行水平支撑，
驱动组件通过驱动第一连杆组件的顶端和第二连杆组件的顶端移动，使得各个载物架的倾斜角度发生改变。
本申请通过间隔设置的两组连杆组件实现对硅片变节距操作，整个装置结构较为简单，且运行平稳。
在其中一个实施例中，所述驱动组件包括直线驱动机构以及活动架，所述直线驱动机构与所述活动架相连，所述活动架的两端分别与第一连杆组件的顶端和第二连杆组件的顶端相连。
在其中一个实施例中，所述支撑件为柱状体，相邻两个支撑件之间留有间隙。
在其中一个实施例中，每列载物架的各个载物架以折线形状依次排布。
在其中一个实施例中，所述载物架包括固定部以及支撑部，所述支撑部上设置有所述支撑件。
在其中一个实施例中，
所述第一连杆组件包括第一组连杆和第二组连杆，第二组连杆设置在第一组连杆和第一导轨组件之间，
所述第一导轨组件包括第一导轨以及安转在第一导轨上的多个滑块，
第一组连杆包括第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆，
第二组连杆包括第五连杆、第六连杆、第七连杆和第八连杆，
所述第一连杆分别与第五连杆、第六连杆和第七连杆铰接，
所述第二连杆分别与第五连杆、第六连杆、第七连杆和第八连杆铰接，
所述第三连杆分别与第五连杆、第六连杆、第七连杆和第八连杆铰接，
所述第四连杆分别与第六连杆、第七连杆和第八连杆铰接，
所述第一连杆和第五连杆通过第一轴铰接，所述第一轴安装在活动架的第一端上，所述活动架的第一端安装在第一导轨上的一个滑块上，
所述第四连杆与所述第八连杆通过第二轴铰接，所述第二轴安装在机架上。
在其中一个实施例中，所述第二连杆与第六连杆通过第三轴铰接，所述第三轴安装在第一块体上，所述第一块体安装在第一导轨上的一个滑块上，
所述第三连杆与第七连杆通过第四轴铰接，所述第四轴安装在第二块体上，所述第二块体安装在第一导轨上的一个滑块上。
在其中一个实施例中，所述第二连杆组件包括第三组连杆和第四组连杆，第四组连杆设置在第三组连杆和第二导轨组件之间，
所述第二导轨组件包括第二导轨以及安转在第二导轨上的多个滑块，
第三组连杆包括第九连杆、第十连杆、第十一连杆和第十二连杆，
第四组连杆包括第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆，
所述第九连杆分别与第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆铰接，
所述第十连杆分别与第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆铰接，
所述第十一连杆分别与第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆铰接，
所述第十二连杆分别与第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆铰接，
所述第九连杆和第十三连杆通过第五轴铰接，所述第五轴安装在活动架的第二端上，所述活动架的第二端安装在第二导轨上的一个滑块上，
所述第十二连杆与所述第十六连杆通过第六轴铰接，所述第六轴安装在机架上。
在其中一个实施例中，所述第十连杆与第十四连杆通过第七轴铰接，所述第七轴安装在第三块体上，所述第三块体安装在第二导轨上的一个滑块上，所述第十一连杆与第十五连杆通过第八轴铰接，所述第八轴安装在第四块体上，所述第四块体安装在第二导轨上的一个滑块上。
附图说明
图1为本申请的实施例的硅片变节距装置的示意图。
图2为本申请的实施例的硅片变节距装置的第一连杆组件的示意图。
图3为本申请的实施例的硅片变节距装置的第一导轨组件的示意图。
图4为本申请的实施例的硅片变节距装置的第二连杆组件的示意图。
图5为本申请的实施例的硅片变节距装置的第二导轨组件的示意图。
其中：
110、机架 120、驱动组件 121、直线驱动机构 122、活动架
130、第一连杆组件 1301、第一连杆 1302、第二连杆
1303、第三连杆 1304、第四连杆 1305、第五连杆
1306、第六连杆 1307、第七连杆 1308、第八连杆
140、第二连杆组件 1401、第九连杆 1402、第十连杆
1403、第十一连杆 1404、第十二连杆 1405、第十三连杆
1406、第十四连杆 1407、第十五连杆 1408、第十六连杆
150、第一导轨组件 151、第一导轨 152、滑块
160、第二导轨组件 161、第二导轨 162、滑块
171、第一轴 172、第二轴 173、第三轴
174、第四轴 175、第五轴 176、第六轴
177、第七轴 178、第八轴
181、第一块体 182、第二块体 183、第三块体 184、第四块体
191、载物架 192、支撑件 200、硅片
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
如图1所示，本申请的实施例提供了一种硅片变节距装置。该装置包括：机架110，两个导轨组件，驱动组件120以及两个连杆组件。
所述两个导轨组件分别为第一导轨组件150和第二导轨组件160，第一导轨组件150和第二导轨组件160间隔设置在机架110上。
所述两个连杆组件分别为第一连杆组件130和第二连杆组件140。
所述驱动组件120设置在机架110的上部，且所述驱动组件120分别与所述第一连杆组件130和第二连杆组件140相连。
所述第一连杆组件130的底端设置在机架110上，所述第一连杆组件130的顶端设置在第一导轨组件150上，所述第一连杆组件130上设置有两列载物架191，每列载物架191包括由上到下依次设置的多个载物架191，每个载物架191上设置有多个支撑件192。所述支撑件192用于对硅片200进行水平支撑。
所述第二连杆组件140的底端设置在机架110上，所述第二连杆组件140的顶端设置在第二导轨组件160上，所述第二连杆组件140上设置有两列载物架191，每列载物架191包括由上到下依次设置的多个载物架191，每个载物架191上设置有多个支撑件192。所述支撑件192用于对硅片200进行水平支撑。
驱动组件120通过驱动第一连杆组件130的顶端和第二连杆组件140的顶端移动，使得各个载物架191的倾斜角度发生改变。
使用时，将一组硅片200通过载物架191上的支撑件192进行支撑，硅片200放置在载物架191上可通过手动或机械自动化的方式完成。硅片200位于载物架191上的状态为水平放置状态，也就是支撑件192对硅片200进行水平支撑。
然后操作驱动组件120，使第一连杆组件130的顶端和第二连杆组件140的顶端进行上移或下移，这样就可使载物架191的倾斜角度发生改变。载物架191倾斜角度的改变，会促使其上支撑的各个硅片200之间的间距发生变化。从而达到变节距的目的。
例如，如图1所示，操作驱动组件120，使第一连杆组件130的顶端和第二连杆组件140的顶端进行上移，各个载物架191的倾斜角度变小，相邻两个硅片200之间的间距随之变大。反向操作后，相邻两个硅片200之间的间距随之变小。
本申请的上述装置通过两个连杆组件来调节硅片200间距，硅片200在变节距过程中运行十分平稳。
而且，由于在每个连杆组件上都设置有2列载物架191，总共通过4列载物架191对硅片200进行支撑。这样可使硅片200支撑十分牢靠，硅片200在随载物架191移动过程中，不易发生晃动。
在其中一个实施例中，如图1所示，所述支撑件192为柱状体，相邻两个支撑件192之间留有间隙。硅片200通过状体来支撑。
具体的，上述柱状体在支撑件192上等间距阵列排布。每个柱状体水平设置。第一连杆组件130的柱状体朝第二连杆组件140方向延伸。第二连杆组件140的柱状体朝第一连杆组件130的方向延伸。
在其中一个实施例中，如图1所示，每列载物架191的各个载物架191以折线形状依次排布。也就是相邻两个载物架191朝不同方向布置，两者之间具有一定夹角。这样的排布方式，有利于充分利用竖直方向上的空间。
具体的，上述载物架191的实施方式有多种，例如，所述载物架191包括固定部以及支撑部，所述支撑部上设置有所述支撑件192。上述支撑部位条状，支撑件192可沿条状支撑部依次设置。
在其中一个实施例中，所述驱动组件120包括直线驱动机构121以及活动架122。所述直线驱动机构121与所述活动架122相连。所述活动架122的两端分别与第一连杆组件130的顶端和第二连杆组件140的顶端相连。
具体的，上述直线驱动机构121可以为电缸等类型的直线驱动机构121。上述直线驱动机构121安装在机架110的顶部。
上述活动架122的中间区域可与上述直线驱动机构121相连。上述活动架122的两端与第一连杆组件130和第二连杆组件140相连的方式有多种。例如，上述第一连杆组件130或第二连杆组件140的顶端可设置轴，上述活动架122的端部可安装在轴上。
上述连杆组件的实施方式也有多种，以下介绍第一连杆组件130和第二连杆组件140的具体实施方式。下述实施方式的连杆组件结构比较简单，且运行十分平稳。
如图2和图3所示，所述第一连杆组件130包括第一组连杆和第二组连杆，第二组连杆设置在第一组连杆和第一导轨组件150之间。
所述第一导轨组件150包括第一导轨151以及安转在第一导轨151上的多个滑块152。第一组连杆包括沿一定方向间隔排列的第一连杆1301、第二连杆1302、第三连杆1303和第四连杆1304。第二组连杆包括沿一定方向间隔排列的第五连杆1305、第六连杆1306、第七连杆1307和第八连杆1308。
所述第一连杆1301分别与第五连杆1305、第六连杆1306和第七连杆1307铰接。所述第二连杆1302分别与第五连杆1305、第六连杆1306、第七连杆1307和第八连杆1308铰接。所述第三连杆1303分别与第五连杆1305、第六连杆1306、第七连杆1307和第八连杆1308铰接。所述第四连杆1304分别与第六连杆1306、第七连杆1307和第八连杆1308铰接。
所述第一连杆1301和第五连杆1305通过第一轴171铰接，所述第一轴171安装在活动架122的第一端上，所述活动架122的第一端安装在第一导轨151上的一个滑块上。
所述第四连杆1304与所述第八连杆1308通过第二轴172铰接，所述第二轴172安装在机架110上。
上述连杆组件使用时，通过驱动第一轴171向上或向下移动，可驱动各个连杆进行运动。
在上述基础上，为了使上述连杆组件的运行更加平稳顺畅，所述第二连杆1302与第六连杆1306通过第三轴173铰接，所述第三轴173安装在第一块体181上，所述第一块体181安装在第一导轨151上的一个滑块152上。
所述第三连杆1303与第七连杆1307通过第四轴174铰接，所述第四轴174安装在第二块体182上，所述第二块体182安装在第一导轨151上的一个滑块152上。
同理，所述第二连杆组件140包括第三组连杆和第四组连杆，第四组连杆设置在第三组连杆和第二导轨组件160之间。
所述第二导轨组件160包括第二导轨161以及安转在第二导轨161上的多个滑块162。
上述第三组连杆包括沿一定方向间隔排列的第九连杆1401、第十连杆1402、第十一连杆1403和第十二连杆1404。上述第四组连杆包括沿一定方向间隔排列的第十三连杆1405、第十四连杆1406、第十五连杆1407和第十六连杆1408。
所述第九连杆1401分别与第十三连杆1405、第十四连杆1406、第十五连杆1407铰接。所述第十连杆1402分别与第十三连杆1405、第十四连杆1406、第十五连杆1407和第十六连杆1408铰接。所述第十一连杆1403分别与第十三连杆1405、第十四连杆1406、第十五连杆1407和第十六连杆1408铰接。所述第十二连杆1404分别与第十四连杆1406、第十五连杆1407和第十六连杆1408铰接。
所述第九连杆1401和第十三连杆1405通过第五轴175铰接，所述第五轴175安装在活动架122的第二端上，所述活动架122的第二端安装在第二导轨161上的一个滑块上。所述第十二连杆1404与所述第十六连杆1408通过第六轴176铰接，所述第六轴176安装在机架110上。
上述连杆组件使用时，通过驱动第五轴175向上或向下移动，可驱动各个连杆进行运动。
在上述基础上，所述第十连杆1402与第十四连杆1406通过第七轴177铰接，所述第七轴177安装在第三块体183上，所述第三块体183安装在第二导轨161上的一个滑块162上。
所述第十一连杆1403与第十五连杆1407通过第八轴178铰接，所述第八轴178安装在第四块体184上，所述第四块体184安装在第二导轨161上的一个滑块162上。
需要说明的是，上述连杆与轴安装时，可在轴与连杆之间设置轴承。这样连杆的运动会更加平稳顺畅。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (4)

1.一种硅片变节距装置，其特征在于，包括：
机架，两个导轨组件，驱动组件以及两个连杆组件，
所述两个导轨组件分别为第一导轨组件和第二导轨组件，第一导轨组件和第二导轨组件间隔设置在机架上，
所述两个连杆组件分别为第一连杆组件和第二连杆组件，
所述驱动组件设置在机架的上部，且所述驱动组件分别与所述第一连杆组件和第二连杆组件相连，
所述第一连杆组件的底端设置在机架上，所述第一连杆组件的顶端设置在第一导轨组件上，所述第一连杆组件上设置有两列载物架，每列载物架包括由上到下依次设置的多个载物架，每个载物架上设置有多个支撑件，所述支撑件用于对硅片进行水平支撑，
所述第二连杆组件的底端设置在机架上，所述第二连杆组件的顶端设置在第二导轨组件上，所述第二连杆组件上设置有两列载物架，每列载物架包括由上到下依次设置的多个载物架，每个载物架上设置有多个支撑件，所述支撑件用于对硅片进行水平支撑，
驱动组件通过驱动第一连杆组件的顶端和第二连杆组件的顶端移动，使得各个载物架的倾斜角度发生改变；
所述驱动组件包括直线驱动机构以及活动架，所述直线驱动机构与所述活动架相连，所述活动架的两端分别与第一连杆组件的顶端和第二连杆组件的顶端相连；
所述第一连杆组件包括第一组连杆和第二组连杆，第二组连杆设置在第一组连杆和第一导轨组件之间，
所述第一导轨组件包括第一导轨以及安转在第一导轨上的多个滑块，
第一组连杆包括第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆，
第二组连杆包括第五连杆、第六连杆、第七连杆和第八连杆，
所述第一连杆分别与第五连杆、第六连杆和第七连杆铰接，
所述第二连杆分别与第五连杆、第六连杆、第七连杆和第八连杆铰接，
所述第三连杆分别与第五连杆、第六连杆、第七连杆和第八连杆铰接，
所述第四连杆分别与第六连杆、第七连杆和第八连杆铰接，
所述第一连杆和第五连杆通过第一轴铰接，所述第一轴安装在活动架的第一端上，所述活动架的第一端安装在第一导轨上的一个滑块上，
所述第四连杆与所述第八连杆通过第二轴铰接，所述第二轴安装在机架上；
所述第二连杆与第六连杆通过第三轴铰接，所述第三轴安装在第一块体上，所述第一块体安装在第一导轨上的一个滑块上，
所述第三连杆与第七连杆通过第四轴铰接，所述第四轴安装在第二块体上，所述第二块体安装在第一导轨上的一个滑块上；
所述第二连杆组件包括第三组连杆和第四组连杆，第四组连杆设置在第三组连杆和第二导轨组件之间，
所述第二导轨组件包括第二导轨以及安转在第二导轨上的多个滑块，
第三组连杆包括第九连杆、第十连杆、第十一连杆和第十二连杆，
第四组连杆包括第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆，
所述第九连杆分别与第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆铰接，
所述第十连杆分别与第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆铰接，
所述第十一连杆分别与第十三连杆、第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆铰接，
所述第十二连杆分别与第十四连杆、第十五连杆和第十六连杆铰接，
所述第九连杆和第十三连杆通过第五轴铰接，所述第五轴安装在活动架的第二端上，所述活动架的第二端安装在第二导轨上的一个滑块上，
所述第十二连杆与所述第十六连杆通过第六轴铰接，所述第六轴安装在机架上；
所述第十连杆与第十四连杆通过第七轴铰接，所述第七轴安装在第三块体上，所述第三块体安装在第二导轨上的一个滑块上，
所述第十一连杆与第十五连杆通过第八轴铰接，所述第八轴安装在第四块体上，所述第四块体安装在第二导轨上的一个滑块上。
2.根据权利要求1所述的硅片变节距装置，其特征在于，所述支撑件为柱状体，相邻两个支撑件之间留有间隙。
3.根据权利要求1所述的硅片变节距装置，其特征在于，每列载物架的各个载物架以折线形状依次排布。
4.根据权利要求1所述的硅片变节距装置，其特征在于，所述载物架包括固定部以及支撑部，所述支撑部上设置有所述支撑件。
CN202111084942.9A 2021-09-16 2021-09-16 一种硅片变节距装置 Active CN113958672B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111084942.9A CN113958672B (zh) 2021-09-16 2021-09-16 一种硅片变节距装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111084942.9A CN113958672B (zh) 2021-09-16 2021-09-16 一种硅片变节距装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113958672A CN113958672A (zh) 2022-01-21
CN113958672B true CN113958672B (zh) 2023-05-23

Family

ID=79461753

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111084942.9A Active CN113958672B (zh) 2021-09-16 2021-09-16 一种硅片变节距装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113958672B (zh)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101201258B (zh) * 2007-10-29 2010-04-07 张义军 一种用激光读写测量位移的装置
US8464603B2 (en) * 2011-09-19 2013-06-18 Vivero One Research, Llc Parallelogram based actuating device
CN102856244B (zh) * 2012-10-11 2014-11-26 苏州罗博特科自动化设备有限公司 一种运行稳定的变节距夹具
CN203471793U (zh) * 2013-07-04 2014-03-12 长春合心机械制造有限公司 自动插取片机器人工作站
DE102013214799A1 (de) * 2013-07-29 2015-01-29 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silicium
CN212587463U (zh) * 2020-09-13 2021-02-23 无锡泉一科技有限公司 一种伸缩式硅片转换组件
CN113130367A (zh) * 2021-03-31 2021-07-16 连智(大连)智能科技有限公司 一种高精度微变间距吸盘装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN113958672A (zh) 2022-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113958672B (zh) 一种硅片变节距装置
CN112018022B (zh) 一种半导体引线框架抓取机构、转移装置
CN107814171B (zh) 一种机箱双层输送定位装置
CN114477052A (zh) 变间距分液装置
CN203072311U (zh) 安装头及具备该安装头的部件安装装置
CN107607138B (zh) 具有两端支臂结构的超高速重复检测装置
CN215248120U (zh) 一种变间距取放机构
CN101184681B (zh) 低热传导的步进梁传送装置
CN113066744B (zh) 真空烧结炉的料盘转运机构
CN207121378U (zh) 一种单轴多维升降机构
CN113862887A (zh) 一种稳定型大圆机机座
CN214651082U (zh) 一种轨道压入式货架
CN111390749A (zh) 一种大尺寸玻璃多研磨盘清洗装置
CN219832600U (zh) 硅片承载花篮
CN219363119U (zh) 一种升降机构及无人机回收设备
CN218965352U (zh) 高精度自动调宽载台
CN217332568U (zh) 一种探针排、布置组件及电池片测试装置
CN117601411B (zh) 一种横拉链夹
CN217755984U (zh) 一种紧凑型长条料自动规整料仓
CN209499278U (zh) 升降展架
CN216209676U (zh) 双向驱动的运送平台
CN219839419U (zh) 一种四轴同步升降结构
CN220867703U (zh) 一种绣花机
CN216104378U (zh) 一种等距搬运结构
CN218114042U (zh) 稳定型皮带输送机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant