CN113913788A - 一种用于产业化生产的正背面镀膜设备及方法 - Google Patents

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Abstract

一种用于产业化生产的正背面镀膜设备及方法，属于电池片生产技术领域，包括机体，所述机体内部中空设置有镀膜腔，所述镀膜腔内部固设有滑轨，所述滑轨上密封滑动连接有用于将镀膜腔分隔成两个区域的载板，所述载板上阵列设置有若干个放置槽，若干个所述放置槽均贯穿所述载板的上下端面，且所述放置槽中固设有用于承载组件；所述承载组件包括容置于所述放置槽内的放置框，所述放置框内侧间隔设置的多个纤维条，其中，所述机体的两侧均开设有腔体门，所述镀膜腔通过腔体门和外界空间相连通；本发明运用该设备实现电池片正背面同时镀膜以及开槽，节省激光开槽的设备及步骤，降低了大批量生产成本的同时增加了生产时效。

Description

一种用于产业化生产的正背面镀膜设备及方法
技术领域
本发明属于电池片生产技术领域，特别涉及一种用于产业化生产的正背面镀膜设备及方法。
背景技术
太阳能电池技术的发展日新月异，各种新技术层出不穷，新技术的出现通常包含了复杂的工艺流程，如何把各类新型的技术尽可能的简化，用于满足较低成本的大批量生产，是各类新技术必须重视的问题。目前perc及氮化硅的镀膜技术，一般采用管式或者板式的镀膜方式，但都是分开进行，先镀背面的氧化铝及氮化硅，再镀膜正面的氮化硅，再进行激光开槽，或者先镀膜正面的氮化硅，再镀膜背面的氧化铝及氮化硅，再进行激光开槽。
而且镀膜及激光开槽的机台均个单个机台，即正面镀氮化硅机台，背面镀氧化铝及氮化硅机台，激光开槽机台；MAIA开发出的正面氮化硅和背面氧化铝及氮化硅一体化的一台，也是开镀背面氧化铝及氮化硅，再镀正面氮化硅，只是在同一机台内分布完成；如果能将镀正面氮化硅，背面氧化铝及氮化硅，及背面激光开槽在同一机台同一时间内完成，这能很大程度减少制程时间，极大的提升制程效率，而且减少的机台也可以很大程度减少厂房布局面积，将太阳能电池大规模生产将变得更加容易。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于控制伪装门体启闭平稳的电控系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种用于产业化生产的正背面镀膜设备，包括机体，所述机体内部中空设置有镀膜腔，所述镀膜腔内部固设有滑轨，所述滑轨上密封滑动连接有用于将镀膜腔分隔成两个区域的载板，所述载板上阵列设置有若干个放置槽，若干个所述放置槽均贯穿所述载板的上下端面，且所述放置槽中固设有用于承载组件；所述承载组件包括容置于所述放置槽内的放置框，所述放置框内侧间隔设置的多个纤维条，其中，所述机体的两侧均开设有腔体门，所述镀膜腔通过腔体门和外界空间相连通。
作为优选，所述纤维条为碳纤维条，且该纤维条的宽度为30-50μm。
作为优选，所述放置框的四周均敷设有密封圈。
一种用于产业化生产的正背面镀膜方法，基于所述的一种镀膜设备，包括如下步骤：
1)、根据工艺需求调整纤维条的数量以及相邻纤维条之间的间隔；
2)、将电池片放置在载板上，随之，将载板通过滑轨送至镀膜腔内；
3)、关闭两侧的腔体门，挤压载板两侧，构成上下两个独立且密闭的工作腔；
4)、启动设备，调整微波功率范围为500-1500W，腔体内温度调节为350-450℃，压力调整为100-300Pa，位于上部的工作腔按照一定的流量通入第一工艺气体，在位于下部的工作腔按照一定的流量通入第二工艺气体，在沉积30-75秒后，位于下部的工作腔按照一定的流量切换通入第三工艺气体；
5)、完成镀膜，取出载板，循环上述步骤。
作为优选，所述步骤4)中所述的第一工艺气体为SiH4、NH3，分别按照100-400sccm和200-1000sccm的流量通入上部的工作腔，所述第二工艺气体为TMA、N2O和Ar，分别按照100-400sccm、300-1000sccm和200-800sccm的流量通入下部的工作腔，所述第三工艺气体为SiH4、NH3,流量分别在100-400sccm和200-1000sccm。
作为优选，所述步骤4)中在沉积30-75秒后，位于上部的工作腔将第一工艺气体切换成惰性气体，所述惰性气体为N2、Ar。
作为优选，所述步骤4中在沉积完成后，所述电池片与载板触接区域采用铝浆烧结。
与现有技术相比，本技术方案具有如下效果：
1、在传统的镀膜装置中，太阳能电池的正反面镀膜是分开进行的，因此需要多台设备，为了让镀膜装置具备同时进行正反面镀膜的能力，通过在镀膜腔内设置滑轨和载板，当载板通过滑轨滑入镀膜腔内时，关闭腔体门，构成一个密封结构，实现上下两部分分区工作的同时彼此独立；
2、多个间隔设置的纤维条，在进行正反面镀膜时，只对纤维条间隔处的电池片表面进行镀膜，同时，电池片本身体积较小，如果只是一味设置贯穿的放置槽，一方面需要对放置槽的尺寸要求与电池片的尺寸相适配，增加制造载板的工艺难度，所以通过设置多条纤维条进行承载电池片时，在一定程度上对电池片放置以及载板的制造技术要求降低，其次，节省激光开槽的设备及步骤，降低了大批量生产成本的同时增加了生产时效。
附图说明
图1是本发明中镀膜设备的结构示意图；
图2是图1中“A”处局部放大结构示意图。
图中所示：1-机体；2-镀膜腔；3-滑轨；4-载板；5-放置槽；6-承载组件；60-放置框；61-纤维条；7-腔体门。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚，完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部实施例。
实施例：
如图1-2所示的一种用于产业化生产的正背面镀膜设备，包括机体1，所述机体1内部中空设置有镀膜腔2，所述镀膜腔2内部固设有滑轨3，所述滑轨3上密封滑动连接有用于将镀膜腔2分隔成两个区域的载板4，所述载板4上阵列设置有若干个放置槽5，若干个所述放置槽5均贯穿所述载板4的上下端面，且所述放置槽5中固设有用于承载组件6；所述承载组件6包括容置于所述放置槽5内的放置框60，所述放置框60内侧间隔设置的多个纤维条61，其中，所述机体1的两侧均开设有腔体门7，所述镀膜腔2通过腔体门7和外界空间相连通；另外，所述纤维条61的材质为耐酸碱清洗的材质，尤其是耐酸(氢氟酸，盐酸等)，在本实施例中选用碳纤维条，该碳纤维条的宽度为30-50μm，同时，为了解决在电池片背面需要用激光开槽的问题，通过设置若干条碳纤维条(根据实际所需调整碳纤维条的数量)，从而在镀膜的时候，由于电池片的背面和碳纤维条接触，则接触的区域不会有沉积膜生成，而相邻碳纤维条的间隔处生成沉积膜，实现类似开槽的目的，而该生成的过程和镀膜的过程是同时发生，节约了工序，提高生产效率。
在本实施例中，需要注意的是所述放置框60的四周设有密封圈62，同时，所述载板4的四周同样包覆有密封层，在将载板4放置在滑轨3上送至镀膜腔2，在镀膜时，所述腔体门7的内表面抵接于对应的载板4端面的密封层上。
一种用于产业化生产的正背面镀膜方法，包括如下步骤：
1)、根据工艺需求调整纤维条61的数量以及相邻纤维条61之间的间隔；
2)、将电池片放置在载板4上，随之，将载板4通过滑轨3送纸镀膜腔2；
3)、关闭两侧的腔体门7挤压载板4两侧，构成上下两个独立且密闭的工作腔；
4)、启动设备，调整微波功率范围为500-1500W，腔体内温度调节为350-450℃，压力调整为100-300Pa，位于上部的工作腔按照一定的流量通入第一工艺气体，在位于下部的工作腔按照一定的流量通入第二工艺气体，在沉积30-75秒后，位于下部的工作腔按照一定的流量切换通入第三工艺气体；
值得注意的是，所述步骤4)中所述的第一工艺气体为SiH4、NH3，分别按照100-400sccm和200-1000sccm的流量通入上部的工作腔，所述第二工艺气体为TMA、N2O和Ar，分别按照100-400sccm、300-1000sccm和200-800sccm的流量通入下部的工作腔，所述第三工艺气体为SiH4、NH3,流量分别在100-400sccm和200-1000sccm；其次，在沉积30-75秒后，位于上部的工作腔将第一工艺气体切换成惰性气体，所述惰性气体为N2、Ar，最后，在沉积完成后，所述电池片与载板4触接区域采用铝浆烧结。
5)、完成镀膜，取出载板4，循环上述步骤。
本发明的工作原理
本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“若干个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
本发明按照实施例进行了说明，在不脱离本原理的前提下，本装置还可以作出若干变形和改进。应当指出，凡采用等同替换或等效变换等方式所获得的技术方案，均落在本发明的保护范围内。

Claims (7)

1.一种用于产业化生产的正背面镀膜设备，包括机体(1)，所述机体(1)内部中空设置有镀膜腔(2)，其特征在于：所述镀膜腔(2)内部固设有滑轨(3)，所述滑轨(3)上密封滑动连接有用于将镀膜腔(2)分隔成两个区域的载板(4)，所述载板(4)上阵列设置有若干个放置槽(5)，若干个所述放置槽(5)均贯穿所述载板(4)的上下端面，且所述放置槽(5)中固设有用于承载组件(6)；所述承载组件(6)包括容置于所述放置槽(5)内的放置框(60)，所述放置框(60)内侧间隔设置的多个纤维条(61)，其中，所述机体(1)的两侧均开设有腔体门(7)，所述镀膜腔(2)通过腔体门(7)和外界空间相连通。
2.如权利要求1所述的一种用于产业化生产的正背面镀膜设备，其特征在于：所述纤维条(61)为碳纤维条，且该纤维条的宽度为30-50μm。
3.如权利要求1或2所述的一种用于产业化生产的正背面镀膜设备，其特征在于：所述放置框(60)的四周均敷设有密封圈(62)。
4.一种用于产业化生产的正背面镀膜方法，基于权利要求1-3所述的一种镀膜设备，其特征在于：包括如下步骤：
1)、根据工艺需求调整纤维条(61)的数量以及相邻纤维条(61)之间的间隔；
2)、将电池片放置在载板(4)上，随之，将载板(4)通过滑轨(3)送纸镀膜腔(2)；
3)、关闭两侧的腔体门(7)挤压载板(4)两侧，构成上下两个独立且密闭的工作腔；
4)、启动设备，调整微波功率范围为500-1500W，腔体内温度调节为350-450℃，压力调整为100-300Pa，位于上部的工作腔按照一定的流量通入第一工艺气体，在位于下部的工作腔按照一定的流量通入第二工艺气体，在沉积30-75秒后，位于下部的工作腔按照一定的流量切换通入第三工艺气体；
5)、完成镀膜，取出载板(4)，循环上述步骤。
5.如权利要求4所述的一种用于产业化生产的正背面镀膜方法，其特征在于：所述步骤4)中所述的第一工艺气体为SiH4、NH3，分别按照100-400sccm和200-1000sccm的流量通入上部的工作腔，所述第二工艺气体为TMA、N2O和Ar，分别按照100-400sccm、300-1000sccm和200-800sccm的流量通入下部的工作腔，所述第三工艺气体为SiH4、NH3,流量分别在100-400sccm和200-1000sccm。
6.如权利要求5所述的一种用于产业化生产的正背面镀膜方法，其特征在于：所述步骤4)中在沉积30-75秒后，位于上部的工作腔将第一工艺气体切换成惰性气体，所述惰性气体为N2、Ar。
7.如权利要求4所述的一种用于产业化生产的正背面镀膜方法，其特征在于：所述步骤4)中在沉积完成后，所述电池片与载板(4)触接区域采用铝浆烧结。
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