CN113878979B - 一种精密模板的制造方法、精密模板及应用 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种精密模板的制造方法、精密模板及应用，涉及太阳电池技术领域。精密模板的制造方法创造性地采用不锈钢薄膜与高强度耐磨的聚合物薄膜复合，形成一种高强度的精密模板基材，配合紫外超短脉冲激光工艺，可以制备出大面积、高精度和高强度的精密模板，当用于印刷太阳电池电极图形时，比现有的基于钢丝网的印刷模板具有更高的强度和使用寿命。

Description

一种精密模板的制造方法、精密模板及应用
技术领域
本发明涉及太阳电池技术领域，具体而言，涉及一种精密模板的制造方法、精密模板及应用。
背景技术
为应对全球气候变暖，世界各国积极提出了碳中和计划。清洁电力供应是人类实现低碳发展的关键举措，其中光伏发电技术是清洁电力非常重要的技术途径之一。大规模发展光伏发电，必然对太阳电池的核心指标-转化效率提出了更高的要求。当下各种高效太阳电池技术百花齐放，如双面钝化电池（PERC）、隧穿氧化层钝化电池（TOPCon)和异质结电池（HJT)。它们都在快速发展，转化效率不断地突破记录。
太阳电池发电的原理包含三个过程，分别是：吸收太阳光产生载流子；载流子的分离，向正负极运动；载流子通过电极导出。在提升太阳电池效率的技术手段中，电极的精细化尤为重要，利用更精细的电极可以降低对表面的遮挡，让电池基体更多地吸收入射光。此外，精细电极减少了金属与硅的接触面积，降低载流子的复合损失。为在太阳电池表面制备更精细、性能更优的电极，精密模板可以定义电极的精细形状，因此它在太阳电池的制造中有着重要作用。精密模板的作用主要表现在以下三个方面：
（1）随着太阳电池正表面的电极栅线宽度逐步降低，目前已经低于30um，这些栅线是通过丝网印刷的方式实现的。但当前金属丝网的丝线直径已经达到11um，继续下降已经变得困难，而且成本昂贵，因此通过金属丝网来降低栅线宽度愈发困难。而基于精密模板的印刷是实现进一步降低栅线宽度的可行方案。
（2）当前具备隧穿氧化层接触的太阳电池都是基于背面结构的，因为沉积的掺杂多晶硅层（载流子传输层）对光线有严重的吸收，所以其无法应用在正表面（迎光面）。如果通过精密模板的定位作用，将掺杂多晶硅沉积在电极栅线下面，实现局域化图形，就可以避免对光线的吸收，从而实现正表面的隧穿接触，这将显著地提升太阳电池的转化效率。
（3）印刷型银电极对太阳电池的制造成本影响显著，随着进一步降低成本的驱动，产业界逐渐在探索其他的电极制作方法，其中一种方法就是通过热蒸发沉积电极，该方法同样需要精密模板的图形定位。
因此，从上述的用途中可以看出精密模板在太阳电池的生产上应用愈发广泛和重要。根据精密模板在太阳电池制造上的用途，需要同时满足大面积图形（12英寸）、线宽在数微米量级、高机械强度的要求。但是，目前产业界并没有相应的方案或者产品来满足上述要求。
鉴于此，特提出本发明。
发明内容
本发明的目的在于提供一种精密模板的制造方法、精密模板及应用，旨在使制备得到的精密模板能够满足大幅面、高强度、高精度的要求。
本发明是这样实现的：
第一方面，本发明提供一种精密模板的制造方法，包括：采用紫外超短脉冲激光在不锈钢薄膜上烧蚀出具有特征图形轮廓的第一通孔，再将不锈钢薄膜与聚合物薄膜复合，然后在聚合物薄膜上与第一通孔对应的位置通过紫外激光烧蚀出具有特征图形轮廓的第二通孔，以使不锈钢薄膜与聚合物薄膜共同形成特征图形轮廓的通孔；其中，聚合物薄膜的材质选自聚酰亚胺、液晶高分子聚合物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰胺和聚醚醚酮中的至少一种。
在可选的实施方式中，不锈钢薄膜的厚度为10-50μm，聚合物薄膜的厚度为5-50μm；优选地，不锈钢薄膜的厚度为10-30μm，边长大于150mm，聚合物薄膜的厚度为5-20μm。
在可选的实施方式中，不锈钢薄膜为冷作硬化加工，抗拉强度大于500MPa；优选地，抗拉强度大于700 MPa；更优选地，抗拉强度大于1000MPa。
在可选的实施方式中，在第一通孔和第二通孔的形成过程中，紫外激光采用超短脉冲紫外激光，且紫外激光为飞秒激光或皮秒激光；
优选地，在第一通孔和第二通孔的形成过程中，脉冲宽度小于等于20ps，波长小于等于355nm，焦点光束直径小于等于20μm；通过多次扫描的方法烧蚀加工图形，单次烧蚀深度小于等于5μm。
在可选的实施方式中，在第一通孔和第二通孔的形成过程中，紫外激光采用超短脉冲紫外激光，脉冲宽度小于等于500fs，波长小于等于355nm，焦点光束直径小于等于10μm。
在可选的实施方式中，在不锈钢薄膜上烧蚀第一通孔之前，对不锈钢薄膜进行平整化处理；其中，平整化处理是采用张力保持装置处理或采用真空吸附的方式将不锈钢薄膜吸引在平整表面上。
在可选的实施方式中，在烧蚀出第一通孔之后，去除不锈钢薄膜表面的激光蚀残留物并进行清洗干燥，再采用涂覆胶黏剂进行高温热压的方式将不锈钢薄膜和聚合物薄膜复合，在聚合物薄膜上烧蚀出第二通孔之后，去除聚合物薄膜表面的激光蚀残留物并进行清洗干燥。
在可选的实施方式中，在进行平整化处理之前，在不锈钢薄膜的表面附着聚合物保护膜，待烧蚀出第一通孔之后将聚合物保护膜去除。
第二方面，本发明提供一种精密模板，通过前述实施方式中任一项的制造方法制造而得。
第三方面，本发明提供前述实施方式的精密模板在太阳电池电极制备中的应用。
本发明具有以下有益效果：创造性地采用不锈钢薄膜与高强度耐磨的聚合物薄膜复合，形成一种高强度的精密模板基材，配合紫外超短脉冲激光工艺，可以制备出大面积、高精度和高强度的精密模板，当用于印刷太阳电池电极图形时，比现有的基于钢丝网的印刷模板具有更高的强度和使用寿命。
需要说明的是，在加工过程中，先在不锈钢薄膜上加工出第一通孔，再将不锈钢薄膜和聚合物薄膜复合，然后在聚合物薄膜上加工出第二通孔，由于聚合物薄膜上加工通孔所使用激光产生的热量远小于在不锈钢薄膜上加工通孔产生的热量，因此在聚合物薄膜上加工第二通孔时不会影响到不锈钢薄膜。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例1提供的精密模板的示意图；
图2为本发明实施例2提供的精密模板的示意图；
图3为试验例2的加工效果照片；
图4为试验例3的加工效果照片；
图5为对比例1的加工效果照片；
图6为对比例2的加工效果照片；
图7为对比例3的加工效果照片；
图8为对比例4的加工效果照片。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
目前，光伏产业界使用的精密模板核心材料---高精密网纱完全依赖进口，我国还没有能实现自主替代的方案，发明人通过长期的探究实验解决了这一技术难题。针对上述需求，通过材料和工艺的改进使制备得到的精密模板具备大面积（大于150mm）、高精度（特征线宽小于20μm）和高强度的优点。
本发明实施例提供一种精密模板的制造方法，包括如下步骤：
S1、选材
发明人创造性地采用不锈钢薄膜和高强度耐磨的聚合物薄膜复合，形成一种高强度的精密模板基材。不锈钢薄膜和聚合物薄膜均为市购材料，根据厚度、强度要求进行选材即可。
进一步地，不锈钢薄膜的厚度为10-50μm；优选地，不锈钢薄膜的厚度为10-30μm，边长大于150mm，可以采用较大尺寸以满足大幅面的要求。具体地，不锈钢薄膜的厚度可以为10μm、15um、20μm、30μm、40μm、50μm，也可以为以上相邻厚度之间的任意值。
在一些实施例中，不锈钢薄膜为冷作硬化加工，抗拉强度大于500MPa；优选地，抗拉强度大于700 MPa；更优选地，抗拉强度大于1000MPa。通过采用更高强度的不锈钢薄膜，以使最终的产品具有更高的强度。
此外，选择不锈钢薄膜的厚度均匀性小于±2um为宜，且表面平整无皱痕。为了增加不锈钢薄膜的利用率，在非图形加工区域可以允许少量的亚毫米级的轻微皱痕和凸起，总数量不高于5个。通过控制不锈钢薄膜的平整度来保证大面积图形的准确性和加工一致性。
具体地，聚合物薄膜的材质选自聚酰亚胺、液晶高分子聚合物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰胺和聚醚醚酮中的至少一种，上述材质均能够满足高强度且耐磨的要求。液晶高分子聚合物是指80年代初期发展起来的一种新型高性能工程塑料，英文名为:LiquidCrystal Polymer 简称为LCP，是一种市购产品。
进一步地，聚合物薄膜的厚度为5-50μm；作为优选，聚合物薄膜的厚度为5-20μm。聚合物薄膜的厚度控制在上述范围内为宜，以更好地和不锈钢薄膜复合，形成高强度的模板。具体地，聚合物薄膜的厚度可以为5μm、10μm、20μm、30μm、40μm、50μm，也可以为以上相邻厚度之间的任意值。
S2、平整化处理
先对不锈钢薄膜进行平整化处理，使表面平整，以便后续与聚合物薄膜复合。
在一些实施例中，对于不锈钢薄膜本身平整度满足要求的情况，可以不进行平整化处理。
具体地，平整化处理是采用张力保持装置处理或采用真空吸附的方式将不锈钢薄膜吸引在平整表面上。在实际操作过程中，通过张力使其张平，并固定在张力保持装置上；或者通过真空吸附将薄膜吸引在平整表面。
需要说明的是，平整化处理的方式不限于以上两种，现有的可以使不锈钢薄膜表面平整的方法均适合于本发明实施例。
在一些实施例中，在进行平整化处理之前，在不锈钢薄膜的表面附着聚合物保护膜，待烧蚀出第一通孔之后将聚合物保护膜去除。通过聚合物保护膜可以在加工过程中对不锈钢薄膜起到很好地保护作用，避免加工过程中导致皱痕。由于覆膜与不锈钢表面是低粘的，容易揭除；或者利用溶剂去除覆膜。具体地，聚合物保护膜可以为一般的PET膜。
S3、加工第一通孔
采用紫外超短激光在不锈钢薄膜上烧蚀出具有特征图形轮廓的第一通孔，第一通孔的形状和尺寸不限，可以根据所需要的特征图形轮廓进行设计。
具体地，第一通孔可以为连续性线条或者是孔阵列，对应于所需的图形即可。特征图形外的区域可以不加工通孔，以降低加工成本。
在一些实施例中，在烧蚀出第一通孔之后，去除不锈钢薄膜表面的激光蚀残留物并进行清洗干燥，以得到洁净的表面。
进一步地，在第一通孔和第二通孔的形成过程中，紫外激光采用超短脉冲紫外激光，且紫外激光为飞秒激光或皮秒激光。相比于纳秒激光，采用飞秒激光或皮秒激光具备更高的瞬间功率，才能满足制备具有高精度特征图形的精密模板的工艺要求。
进一步地，在第一通孔的形成过程中，紫外激光采用超短脉冲紫外激光，脉冲宽度小于等于20ps，波长小于等于355nm（如355nm），焦点光束直径小于等于20μm。发明人对紫外激光的具体参数做了优化，通过调控紫外激光的脉冲宽度、波长和焦点光束直径，可以实现比钢丝网更细小的特征线宽，从而提高转换效率，特征线宽小于20um，甚至不大于10um。
在优选的实施例中，在第一通孔的形成过程中，紫外激光采用超短脉冲紫外激光，脉冲宽度小于等于500fs，波长小于等于355nm，焦点光束直径小于等于10μm。通过进一步优化紫外激光的脉冲宽度、波长和焦点光束直径，通过上述的激光参数可以显着降低加工过程中的热效应，可以制造出高精度的图形。
在优选的实施例中，通过多次扫描的方法烧蚀加工图形，单次烧蚀深度小于等于5μm；优选地，单次烧蚀深度不高于2um；通过多次扫描可以避免单次加工热效应过大导致的皱痕，满足高精度图形的要求。
S4、薄膜复合并加工第二通孔
将不锈钢薄膜与聚合物薄膜复合，然后在聚合物薄膜上与第一通孔对应的位置通过紫外激光烧蚀出具有特征图形轮廓的第二通孔，以使不锈钢薄膜与聚合物薄膜共同形成特征图形轮廓的通孔。
需要说明的是，由于不锈钢薄膜在图形的加工区是薄弱之处，通过复合高强度耐磨聚合物薄膜，与不锈钢薄膜形成不易分离的整体，可以有效地增强精密模板的强度。同时，利用聚合物薄膜与目标工件接触，而不是不锈钢薄膜与工件接触，利用聚合物的耐磨特性，可以有效增加精密模板的使用寿命。
具体地，将不锈钢薄膜与聚合物薄膜复合的方式不限，可以采用涂覆胶黏剂进行高温热压的方式将不锈钢薄膜和聚合物薄膜复合。
在一些实施例中，在聚合物薄膜上烧蚀出第二通孔之后，去除聚合物薄膜表面的激光蚀残留物并进行清洗干燥，得到洁净表面，并检验图形轮廓的准确性和完整性。
需要补充的是，在第二通孔的形成过程中，紫外激光采用超短脉冲紫外激光，其具体参数可以与S3相同，或者采用不同参数的激光，但在S3中紫外激光的参数范围内进行选择。具体地，脉冲宽度小于等于20ps，波长小于等于355nm，焦点光束直径小于等于20μm；优选地，脉冲宽度小于等于500fs，波长小于等于355nm（如355nm），焦点光束直径小于等于10μm。
聚合物薄膜与不锈钢薄膜作为整体，其中不锈钢薄膜的第一通孔宽度可以大于、等于、或小于聚合物薄膜的第二通孔宽度。不锈钢薄膜通孔与聚合物通孔对位，其组合共同来确定最终的图形通孔，最终图形的特征线宽不高于20um，优选不大于10um。
本发明实施例提供一种精密模板，通过上述制造方法制造而得，具有很高的强度和很高的精度，当用于印刷太阳电池电极图形时，比现有的基于钢丝网的印刷模板具有更高的强度和使用寿命。
以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。
实施例1
本实施例提供一种精密模板的制造方法，请参照图1，包括如下步骤：
（1）选材：选择冷作硬化态的306不锈钢，抗拉强度大于1100MPa。冷轧后厚度为15um，表面平整无皱痕。在不锈钢薄膜表面附着低粘、且具有一定强度的PET膜，作为衬底，裁取边长为250mm的方形薄膜作为模板基材10。
（2）平整化处理：通过张力装置将不锈钢薄膜张平，张力保持在5-10N/cm，使表面处于完全平整的状态。
（3）第一通孔加工：
利用高稳定的飞秒激光在不锈钢薄膜上烧蚀出特征图形轮廓的第一通孔11，选择波长为355nm的紫外激光，脉冲宽度300fs，调节激光焦点处的光斑直径为10um。通过调节脉冲重复频率、扫描速率和激光功率，控制单次烧蚀深度约为1.5um，共10次重复烧蚀形成特征图形轮廓的第一通孔。不锈钢薄膜近激光烧蚀后得到通孔，其通孔为连续性线条，如附图1所示。
去除不锈钢薄膜表面的保护膜，并去除激光烧蚀的残留物，清洗干燥，得到洁净表面。
（4）薄膜复合并加工第二通孔
在不锈钢薄膜上涂覆胶水，通过高温热压的方式，将不锈钢薄膜与高强度耐磨损聚合物薄膜20（聚酰亚胺材质）复合，在复合过程中同样保持薄膜表面的平整性，不引入皱痕。
利用高稳定超短脉冲紫外激光烧蚀不锈钢薄膜表面的聚酰亚胺薄膜，形成通孔21。采用选择波长为355nm的紫外激光，脉冲宽度15ps，调节激光焦点处的光斑直径为5um。通过调节脉冲重复频率、扫描速率和激光功率，仅仅将聚酰亚胺薄膜烧蚀，而不损伤不锈钢薄膜。烧蚀的区域与不锈钢薄膜的烧蚀区对准，通孔对位，使不锈钢薄膜和聚酰亚胺薄膜作为整体，共同来定义最终的图形。
经检测，形成轮廓的特征线宽w1等于50um，烧蚀聚酰亚胺薄膜的特征宽度w2等于15um，得到最终图形的特征线宽等于15um。
实施例2
本实施例提供一种精密模板的制造方法，请参照图2，与实施例1的区别仅在于：第一通孔不是连续性线条，而呈孔阵列的形式。
实施例3
本实施例提供一种精密模板的制造方法，与实施例2的区别仅在于：将聚酰亚胺薄膜替换为液晶高分子聚合物薄膜。
实施例4
本实施例提供一种精密模板的制造方法，与实施例2的区别仅在于：将聚酰亚胺薄膜替换为聚萘二甲酸乙二醇酯聚合物薄膜。
实施例5
本实施例提供一种精密模板的制造方法，与实施例2的区别仅在于：将聚酰亚胺薄膜替换为聚酰胺薄膜。
实施例6
本实施例提供一种精密模板的制造方法，与实施例2的区别仅在于：将聚酰亚胺薄膜替换为聚醚醚酮薄膜。
试验例1
通过实施例2至6所述的方法制备出与市售模板相同特征线宽的精密模板，利用印刷的方式进行耐久性测试，设定刮具的下压力95N，刮条运动速度200mm/s，通过反复刮擦直至模板破坏，统计刮擦的次数如表1。从表中可见本发明所得的精密模板具有更高的使用寿命。
表1 刮擦的次数测试结果
Figure P_211202134349661_661263001
试验例2
本试验例提供一种精密模板的制造方法，采用与实施例1的相同的激光参数，利用高稳定的飞秒激光在不锈钢薄膜上烧蚀出矩形通孔阵列，来验证激光的加工效果。激光选用选择波长为355nm的紫外激光，脉冲宽度300fs，调节激光焦点处的光斑直径为10um。通过调节脉冲重复频率、扫描速率和激光功率，控制单次烧蚀深度约为1.5um，共10次重复烧蚀就形成通孔阵列，效果如附图3所示。
从图3可以看出，上述参数形成了均匀一致的方孔阵列，通孔侧壁光滑，没有烧蚀残渣，孔隙的连接区宽度可以达到13um，完全能满足加工模板上精密图形的要求。
试验例3
本试验例提供一种精密模板的制造方法，同样利用高稳定的飞秒激光在不锈钢薄膜上烧蚀出矩形通孔阵列，来验证加工效果。激光选用选择波长为355nm的紫外激光，脉冲宽度15ps，调节激光焦点处的光斑直径为10um。通过调节脉冲重复频率、扫描速率和激光功率，控制单次烧蚀深度约为0.5um，共30次重复烧蚀就形成通孔阵列，效果如附图4所示。
从图4可以看出，上述参数形成了均匀一致的方孔阵列，通孔侧壁光滑，没有烧蚀残渣，孔隙的连接区宽度可以达到20um，满足加工模板上精密图形的要求。
对比例1
本对比例提供一种精密模板的制造方法，与实施例1的区别仅在于：选择波长1064nm的红外脉冲激光，脉冲宽度为20ps，而非波长为紫外的超短脉冲激光来加工第一通孔，目标图形为矩形通孔阵列。加工效果如附图5所示，非加工区为不锈钢薄膜基材，加工区为实际所得的孔阵列。
从图中观察可以看出：（1）每个孔周围有明显的熔融边缘；（2）由于热氧化，加工区的颜色不同于非加工区（图中加工区暗于非加工区），整个加工区在红外激光加工过程中受热显著，更严重的是会导致孔隙连接区受热后的抗拉强度会明显下降，在模板使用过程中更易破坏。上述两点主要是由于红外激光照射不锈钢薄膜表面时，相较于紫外激光，1064nm的红外光子能量较小，光斑区的金属熔化并蒸发，热效应明显。
从图中还可以看出：（3）通孔为近圆形，并非是设计的矩形方孔；（4）有些孔间隙被烧蚀，导致两个孔连通。这是相较于紫外激光，由于红外激光聚焦形成的光斑尺寸更大，较难实现超精密尺寸的加工。
对比例2
本对比例提供一种精密模板的制造方法，与实施例1的区别仅在于：选择脉冲宽度较大的10ns紫外激光，激光波长355nm，而非用超短脉冲的紫外激光来加工第一通孔，调节激光焦点处的光斑直径为20um，目标图形为矩形通孔阵列。调节激光功率，避免在加工过程中导致的热变形。调节脉冲重复频率、扫描速率和激光功率，激光重复扫描50次，效果如附图6所示。
从图6中可以看出：（1）相较于试验例1和2，即使重复扫描次数更多，仍旧未能形成完整的通孔；（2）由于多次扫描，累计热效应导致加工区也产生了显著的热效应（图中加工区颜色暗于非加工区）。上述主要是由于脉冲宽度大，单脉冲的峰值功率远远低于试验例1和2所用激光，致使烧蚀速率显著下降，需要更多的扫描次数，这就使得激光的加工效率明显偏低，不利于大面积精密模板的制造。
对比例3
本对比例提供一种精密模板的制造方法，与试验例1的区别仅在于：不锈钢薄膜并未完全平整铺展，在加工过程中存在变形，其效果如附图7所示。由于薄膜的变形，激光未能在不锈钢薄膜表面实现精确聚焦，导致加工的矩形通孔并不规整，边缘甚至存在着毛刺，并不能满足加工模板上精密图形的要求。
对比例4
本实施例提供一种精密模板的制造方法，与实施例1的区别仅在于：先将不锈钢薄膜和聚合物薄膜复合，将步骤（3）和步骤（4）所述的两次激光加工合并成一次激光加工。不锈钢薄膜表面向上，聚合物薄膜表面向下，激光直接照射不锈钢薄膜表面。所述的参数如试验例1，其效果如附图8所示。
图8中的（a）不锈钢薄膜表面上形成了有通孔阵列组成的直线图形，示意图如图8中的（b）所示；图8中的（c）是聚合物薄膜表面所形成的通孔阵列，示意图如图8中的（d）所示（白色区域为背面的不锈钢薄膜通孔，黑色区域是聚合物薄膜的通孔）。可见，不锈钢薄膜的通孔均匀一致，但是聚合物薄膜却是形状不规则的通孔，这是由于激光对不锈钢薄膜和聚合物薄膜烧蚀特性差异造成的。因此在本发明中分别通过S3和S4两个步骤来形成均匀一致的通孔，将两者对位，共同定义出最终的图形。
综上所述，本发明提供一种精密模板的制造方法、精密模板及应用，创造性地采用不锈钢薄膜与高强度耐磨的聚合物薄膜复合，形成一种高强度的精密模板基材，配合紫外激光工艺，可以制备出大面积、高精度和高强度的精密模板，当用于印刷太阳电池电极图形时，比现有的基于钢丝网的印刷模板具有更高的强度和使用寿命，解决了目前我国太阳电池领域的一大难题，并且显着地降低了太阳电池的制造成本。
以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种精密模板的制造方法，其特征在于，包括：采用紫外超短脉冲激光在不锈钢薄膜上烧蚀出具有特征图形轮廓的第一通孔，再将所述不锈钢薄膜与聚合物薄膜复合，然后在所述聚合物薄膜上与所述第一通孔对应的位置通过紫外激光烧蚀出具有特征图形轮廓的第二通孔，以使所述不锈钢薄膜与所述聚合物薄膜共同形成特征图形轮廓的通孔；
其中，所述聚合物薄膜的材质选自聚酰亚胺、液晶高分子聚合物、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰胺和聚醚醚酮中的至少一种；
在所述第一通孔和所述第二通孔的形成过程中，所述紫外激光采用超短脉冲紫外激光，脉冲宽度小于等于500fs，波长小于等于355nm。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述不锈钢薄膜的厚度为10-50μm，所述聚合物薄膜的厚度为5-50μm。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述不锈钢薄膜为冷作硬化加工，抗拉强度大于500MPa。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的制造方法，其特征在于，在所述第一通孔和所述第二通孔的形成过程中，所述紫外激光采用超短脉冲紫外激光，且所述紫外激光为飞秒激光或皮秒激光。
5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，在所述第一通孔和所述第二通孔的形成过程中，焦点光束直径小于等于20μm；通过多次扫描的方法烧蚀加工图形，单次烧蚀深度小于等于5μm。
6.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，在所述第一通孔和所述第二通孔的形成过程中，所述紫外激光焦点光束直径小于等于10μm。
7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述不锈钢薄膜上烧蚀所述第一通孔之前，对所述不锈钢薄膜进行平整化处理；
其中，所述平整化处理是采用张力保持装置处理或采用真空吸附的方式将所述不锈钢薄膜吸引在平整表面上。
8.根据权利要求1或7所述的制造方法，其特征在于，在烧蚀出所述第一通孔之后，去除所述不锈钢薄膜表面的激光蚀残留物并进行清洗干燥，再采用涂覆胶黏剂进行高温热压的方式将所述不锈钢薄膜和所述聚合物薄膜复合，在所述聚合物薄膜上烧蚀出所述第二通孔之后，去除所述聚合物薄膜表面的激光蚀残留物并进行清洗干燥。
9.根据权利要求7所述的制造方法，其特征在于，在进行所述平整化处理之前，在所述不锈钢薄膜的表面附着聚合物保护膜，待烧蚀出所述第一通孔之后将所述聚合物保护膜去除。
10.一种精密模板，其特征在于，通过权利要求1-9中任一项所述的制造方法制造而得。
11.权利要求10所述的精密模板在太阳电池电极制备中的应用。
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