CN113877845A - 一种压力补偿装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种压力补偿装置及方法，包括工作架，其特征在于，所述工作架上部具有台面，台面上安装龙门架，台面与龙门架之间安装有转塔，转塔上固定有若干吸嘴支架，吸嘴支架上活动设置有吸嘴，龙门架上还安装有若干下压座，下压座上安装有直线电机，且直线电机的输出轴竖直向下，直线电机的输出轴端部和压杆相连，且压杆能与吸嘴相配合，台面上还通过可拆卸的方式安装有校准座，校准座上具有压力传感器，且任意一个吸嘴均能位于压力传感器相接触。

Description

一种压力补偿装置及方法

技术领域

本发明属于半导体技术领域，涉及一种压力补偿装置及方法。

背景技术

在转塔式测试分选机中，不同吸嘴在测试工位下压时需要统一压力，由于对下压压力的精度要求较高，传统通过统一吸嘴高度的方法受限于产品厚度误差，压力精度较低；造成设备测试站稳定性较差，容易产生漏判与误判，因此，需要设计出一种高精度且简单的吸嘴压力补偿装置及方法。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种压力补偿装置及方法。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种压力补偿装置及方法，包括工作架，其特征在于，所述工作架上部具有台面，台面上安装龙门架，台面与龙门架之间安装有转塔，转塔上固定有若干吸嘴支架，吸嘴支架上活动设置有吸嘴，龙门架上还安装有若干下压座，下压座上安装有直线电机，且直线电机的输出轴竖直向下，直线电机的输出轴端部和压杆相连，且压杆能与吸嘴相配合，台面上还通过可拆卸的方式安装有校准座，校准座上具有压力传感器，且任意一个吸嘴均能位于压力传感器相接触。

所述工作架下部具有基板，基板上安装有工控机和直线电机驱动器。

所述龙门架上还安装有用于人机交互的触控屏。

所述台面为加厚型台面。

所述具体操作步骤如下：

S1、将带有压力传感器的校准座安装在工作架的台面上；

S2、首次运行，控制固定于下压座上的直线电机直接带动压杆下压，使吸嘴支架上的吸嘴向下，吸嘴压到压力传感器后，根据压力传感器的压力数值获得精确的压力值；

S3、通过工控机控制直线电机驱动器的输出电流大小，调整直线电机的下压压力，当压力值达到设定值后，工控机自动记录直线电机驱动器的输出电流当前数值；

S4、通过转塔带动吸嘴支架旋转，切换到下一吸嘴，重复以上步骤，依次得到不同吸嘴在当前校准座位置时所需直线电机驱动器的输出电流数值，完成各吸嘴在此处达到所需压力时对应的输出电流数值，在每一吸嘴运动到校准座位置时，通过调控直线电机驱动器的输出电流大小，控制吸嘴得到所需的稳定压力，即使每个吸嘴在此处下压时获得同一压力；

S5、撤出校准座。

与现有技术相比，本压力补偿装置及方法具有该优点：

其一，精度高；该装置通过压力传感器反馈计算吸嘴压力，结合直线电机输出的电流大小的控制，使吸嘴压力更精准。

其二，兼容性强；该装置中通过压力传感器反馈，可设定不同下压压力，以兼容不同类型的测试座。

其三，补偿方便；通过工控机程序控制，可自动完成每个吸嘴的压力校准，保存直线电机电流参数，供实际生产。

其四，功能强大；触控屏上预设标准高度，可对产品叠料进行报警。

其五，使用稳定；本装置中主要结构布置于台面上，通过龙门架固定有转塔和人机交互的触控屏，工控机和直线电机驱动器布置于台面下部；由于吸嘴下压时压力精度要求较高，通过加强工作架的刚性，台面加厚增重以减少整个装置运行时的震动干扰，同时，转塔部分的固定由普遍的悬臂结构改为龙门式，可减少吸嘴的抖动。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明中拆去部分的立体结构示意图；

图3是本发明中下压座处的立体结构示意图。

图中，1、校准座；2、压力传感器；3、吸嘴；4、吸嘴支架；5、压杆；6、直线电机；7、下压座；8、直线电机驱动器；9、工控机；10、触控屏；11、工作架；11a、台面；11b、基板；12、转塔；13、龙门架。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1-图3所示，本压力补偿装置及方法，包括工作架11，工作架11上部具有台面11a，台面11a上安装龙门架13，台面11a与龙门架13之间安装有转塔12，转塔12上固定有若干吸嘴支架4，吸嘴支架4上活动设置有吸嘴3，龙门架13上还安装有若干下压座7，下压座7上安装有直线电机6，且直线电机6的输出轴竖直向下，直线电机6的输出轴端部和压杆5相连，且压杆5能与吸嘴3相配合，台面11a上还通过可拆卸的方式安装有校准座1，校准座1上具有压力传感器2，且任意一个吸嘴3均能位于压力传感器2相接触。

工作架11下部具有基板11b，基板11b上安装有工控机9和直线电机驱动器8，在实际中，通过工控机9程序控制，可自动完成每个吸嘴3的压力校准，保存直线电机6电流参数，供实际生产，工控机9采用的是现有技术，其程序也可以采用现有的。

龙门架13上还安装有用于人机交互的触控屏10。

台面11a为加厚型台面11a。

在本实施例中，压力传感器2、直线电机6、工控机9和直线电机驱动器8等之间线路连接采用的是现有技术。

具体操作步骤如下：

S1、将带有压力传感器2的校准座1安装在工作架11的台面11a上；

S2、首次运行，控制固定于下压座7上的直线电机6直接带动压杆5下压，使吸嘴支架4上的吸嘴3向下，吸嘴3压到压力传感器2后，根据压力传感器2的压力数值获得精确的压力值；

S3、通过工控机9控制直线电机驱动器8的输出电流大小，调整直线电机6的下压压力，当压力值达到设定值后，工控机9自动记录直线电机驱动器8的输出电流当前数值；

S4、通过转塔12带动吸嘴支架4旋转，切换到下一吸嘴3，重复以上步骤，依次得到不同吸嘴3在当前校准座1位置时所需直线电机驱动器8的输出电流数值，完成各吸嘴3在此处达到所需压力时对应的输出电流数值，在每一吸嘴3运动到校准座1位置时，通过调控直线电机驱动器8的输出电流大小，控制吸嘴3得到所需的稳定压力，即使每个吸嘴3在此处下压时获得同一压力；

S5、撤出校准座1。

在实际应用中，后续换上测试模块后可使测试结果更稳定可靠；通过在触控屏10上设定预压高度，先用直线电机6的位移控制迅速将吸嘴3降至预压高度，然后使用电流控制模式压至所设定电流，即可快速获得对应所需压力；另外达到设定电流时，通过直线电机6反馈的位置高度，与正常吸嘴3取一颗料时的高度对比，可判断是否叠料，报警提醒设备异常，即可预设标准高度，可对产品叠料进行报警。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (5)

1.一种压力补偿装置及方法，包括工作架(11)，其特征在于，所述工作架(11)上部具有台面(11a)，台面(11a)上安装龙门架(13)，台面(11a)与龙门架(13)之间安装有转塔(12)，转塔(12)上固定有若干吸嘴支架(4)，吸嘴支架(4)上活动设置有吸嘴(3)，龙门架(13)上还安装有若干下压座(7)，下压座(7)上安装有直线电机(6)，且直线电机(6)的输出轴竖直向下，直线电机(6)的输出轴端部和压杆(5)相连，且压杆(5)能与吸嘴(3)相配合，台面(11a)上还通过可拆卸的方式安装有校准座(1)，校准座(1)上具有压力传感器(2)，且任意一个吸嘴(3)均能位于压力传感器(2)相接触。

2.根据权利要求1所述的一种压力补偿装置及方法，其特征在于，所述工作架(11)下部具有基板(11b)，基板(11b)上安装有工控机(9)和直线电机驱动器(8)。

3.根据权利要求2或3所述的一种压力补偿装置及方法，其特征在于，所述龙门架(13)上还安装有用于人机交互的触控屏(10)。

4.根据权利要求1所述的一种压力补偿装置及方法，其特征在于，所述台面(11a)为加厚型台面。

5.根据权利要求3所述的一种压力补偿装置及方法，其特征在于，所述具体操作步骤如下：

S1、将带有压力传感器(2)的校准座(1)安装在工作架(11)的台面(11a)上；

S2、首次运行，控制固定于下压座(7)上的直线电机(6)直接带动压杆(5)下压，使吸嘴支架(4)上的吸嘴(3)向下，吸嘴(3)压到压力传感器(2)后，根据压力传感器(2)的压力数值获得精确的压力值；

S3、通过工控机(9)控制直线电机驱动器(8)的输出电流大小，调整直线电机(6)的下压压力，当压力值达到设定值后，工控机(9)自动记录直线电机驱动器(8)的输出电流当前数值；

S4、通过转塔(12)带动吸嘴支架(4)旋转，切换到下一吸嘴(3)，重复以上步骤，依次得到不同吸嘴(3)在当前校准座(1)位置时所需直线电机驱动器(8)的输出电流数值，完成各吸嘴(3)在此处达到所需压力时对应的输出电流数值，在每一吸嘴(3)运动到校准座(1)位置时，通过调控直线电机驱动器(8)的输出电流大小，控制吸嘴(3)得到所需的稳定压力，即使每个吸嘴(3)在此处下压时获得同一压力；

S5、撤出校准座(1)。

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