CN113835017A - 硅基板测试夹具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅基板测试夹具，包括底座和设置在底座上方的夹具上板，夹具上板中部设置有矩形孔，矩形孔中设置有真空吸盘，真空吸盘上设置有多个吸孔，吸孔连接真空源；真空吸盘通过Z轴升降台安装到底座上；真空吸盘两个相邻的连缘处分别设置有滑槽，两个滑槽中分别设置有X轴调节块和Y轴调节块；X轴调节块和Y轴调节块分别由X轴移动平台和Y轴移动平台驱动在滑槽内滑动。本发明可实现X、Y、Z三个方向的调节，调整精度可达到微米级，这样在测试不同尺寸的产品时，本发明的夹具就具备了一定的通用性。同时，Z方向使用真空吸附平台，保证了被测试产品在测量过程中的稳定性和安全性。
Description
技术领域
本发明涉及产品测试技术领域，具体地说，是一种用于硅基板产品测试的硅基板测试夹具。
背景技术
对于硅基板产品来说，产品的功能测试是必不可少的工序。目前针对此类产品都是在采用手动的万用表或者专门的示波器、频谱仪对它进行各种信号的测试。由于硅基板是将芯片叠加在硅基片上的，硅基片比较薄（正常在50-200微米）而且脆。在测试过程中经常发生由于产品固定不良，造成测量时损坏产品的现象，因此在测量过程中就必须非常小心，所以有必要设计一款通用的测试辅助夹具，来保护被测试产品。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种硅基板测试夹具，可以使被测试产品牢固地固定在测试夹具上，且不会对被测产品造成损伤。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅基板测试夹具，包括底座和设置在底座上方的夹具上板，所述夹具上板中部设置有矩形孔，所述矩形孔中设置有真空吸盘，所述真空吸盘上设置有多个吸孔，所述吸孔连接真空源；所述真空吸盘通过Z轴升降台安装到所述底座上；所述真空吸盘两个相邻的连缘处分别设置有滑槽，两个所述滑槽中分别设置有X轴调节块和Y轴调节块；所述X轴调节块和Y轴调节块分别由X轴移动平台和Y轴移动平台驱动在所述滑槽内滑动。
进一步地，所述X轴调节块上连接有X轴千分表，所述Y轴调节块上连接有Y轴千分表。
进一步地，所述X轴移动平台和Y轴移动平台分别包括滑座、可在滑座上滑动的滑块和调节旋钮，所述调节旋钮转动时驱动所述滑块在滑座上滑动，所述X轴调节块和Y轴调节块分别安装到所述X轴移动平台和Y轴移动平台的滑块上。
进一步地，所述滑块上设置有燕尾槽，所述燕尾槽的顶部中间向上形成有矩形槽；所述滑座上对应设置有燕尾形凸起，所述燕尾形凸起顶部中间上向形成有矩形凸起；所述滑座上的燕尾形凸起和矩形凸起分别与所述滑块上的燕尾槽和矩形槽相配合，使滑块可在滑座上滑动。
进一步地，所述Z轴升降台包括基座以及可沿基座上下滑动的升降平台，所述真空吸盘安装到所述升降平台上；所述基座一侧铰接有转动件，所述转动件上形成有第一接触部和第二接触部，所述第一接触部与所述升降平台接触，所述第二接触部与一Z轴调节旋钮接触。
进一步地，所述转动件包括第一旋转臂和第二旋转臂，所述第一旋转臂的第一端和第二旋转臂的第一端相连并铰接到所述基座上，所述第一旋转臂和第二旋转臂之间形成60-120度的夹角；所述第一旋转臂上形成第一接触部，第二旋转臂上形成第二接触部。
进一步地，所述第一旋转臂和第二旋转臂之间的夹角为90度。
进一步地，所述第一接触部和第二接触部的位置分别设置有球形突起。
进一步地，所述升降平台的底部向下延伸形成有接触柱，所述接触柱的底端与所述第一接触部接触。
进一步地，所述吸孔分为多组，每组吸孔分别通过独立的通道连接到所述真空源。
本发明的硅基板测试夹具，可以实现X、Y、Z三个方向的调节，调整精度可达到微米级，这样在测试不同尺寸的产品时，本发明的夹具就具备了一定的通用性。同时，Z方向使用真空吸附平台，保证了被测试产品在测量过程中的稳定性和安全性。另外，该夹具还可以安装在专门测试设备上，用于自动化设备的测试。
附图说明
图1是本发明的硅基板测试夹具一实施例的立体结构示意图。
图2是图1所示实施例的硅基板测试夹具的俯视图。
图3是图1所示实施例的硅基板测试夹具去除夹具上板后的立体图。
图4是图1所示实施例的硅基板测试夹具去除夹具上板后另一角度的立体图。
图5是图1所示实施例的硅基板测试夹具中Z轴升降平台的立体图。
图6是图1所示实施例的硅基板测试夹具中Z轴升降平台另一角度的立体图。
图7是本发明中真空吸盘上吸孔分组方式的实施例的示意图。
图中：1.底座，2.夹具上板，3.X轴千分表，4.真空吸盘，5.吸孔，6.被测产品，7. Y轴千分表，8. Y轴滑槽，9. Y轴调节块，10. X轴调节块，11. X轴滑槽，12. X轴调节旋钮，13. Y轴调节旋钮，14.Y轴滑块，15.Y轴滑座，16.X轴滑块，17.转动件，18.第一旋转臂，19.第二旋转臂，20.升降平台，21.接触柱，22.球形突起，23.Z轴调节旋钮，24.基座。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
如图1至图4所示，本发明的硅基板测试夹具的一实施例，包括底座1和设置在底座1上方的夹具上板2，夹具上板2中部设置有矩形孔，矩形孔中设置有真空吸盘4，真空吸盘4上设置有多个吸孔5，吸孔5连接真空源；真空吸盘4通过Z轴升降台安装到底座1上；真空吸盘4两个相邻的连缘处分别设置有滑槽，两个滑槽（即X轴滑槽11和Y轴滑槽8）中分别设置有X轴调节块10和Y轴调节块9；X轴调节块10和Y轴调节块9分别由X轴移动平台和Y轴移动平台驱动在X轴滑槽11和Y轴滑槽8内滑动。优选地，在X轴调节块上10连接有X轴千分表3，在Y轴调节块9上连接有Y轴千分表7。
作为一种实施例，如图3和图4所示，X轴移动平台包括X轴滑座、可在X轴滑座上滑动的X轴滑块16和X轴调节旋钮12，X轴调节旋钮12转动时驱动X轴滑块16在X轴滑座上滑动，X轴调节块10安装到X轴移动平台的X轴滑块16上，从而带动X轴调节块10沿X轴滑槽11滑动。
优选地，X轴滑块10上设置有燕尾槽，燕尾槽的顶部中间向上形成有矩形槽；X轴滑座上对应设置有燕尾形凸起，燕尾形凸起顶部中间上向形成有矩形凸起；X轴滑座上的燕尾形凸起和矩形凸起分别与X轴滑块10上的燕尾槽和矩形槽相配合，使X轴滑块10可在X轴滑座上滑动。
同样，Y轴移动平台包括Y轴滑座15、可在Y轴滑座15上滑动的Y轴滑块14和Y轴调节旋钮13，Y轴调节旋钮13转动时驱动Y轴滑块14在Y轴滑座15上滑动，Y轴调节块9安装到Y轴移动平台的Y轴滑块14上，从而带动Y轴调节块9沿Y轴滑槽8滑动。
优选地，Y轴滑块14上设置有燕尾槽，燕尾槽的顶部中间向上形成有矩形槽；Y轴滑座15上对应设置有燕尾形凸起，燕尾形凸起顶部中间上向形成有矩形凸起；Y轴滑座15上的燕尾形凸起和矩形凸起分别与Y轴滑块14上的燕尾槽和矩形槽相配合，使Y轴滑块14可在Y轴滑座15上滑动。
作为Z轴升降台的一个实施例，如图5和图6所示，Z轴升降台包括基座24以及可沿基座24上下滑动的升降平台20，真空吸盘4安装到升降平台20上；基座24一侧铰接有转动件17，转动件17上形成有第一接触部和第二接触部，第一接触部与升降平台20接触，第二接触部与一Z轴调节旋钮23接触。
本发明的硅基板测试夹具在非工作状态下，真空吸盘4的上表面、X轴调节块10的上表面以及Y轴调节块9的上表面与夹具上板2的上表面平齐。工作时，根据被测产品的长宽尺寸及厚度，分别调整X轴调节块10、Y轴调节块9及真空吸盘4的位置，使其形成恰好可以容纳被测产品6的空间。
具体地，转动X轴调节旋钮12，驱动X轴滑块16带动X轴调节块10在X轴滑槽11内滑动，参考X轴千分表3上的读数，使X轴调节块10与夹具上板2上的矩形孔内壁之间的距离基本等于（需要考虑产品的公差）被测产品6的宽度；转动Y轴调节旋钮13，驱动Y轴滑块14带动Y轴调节块9在Y轴滑槽8内滑动，参考Y轴千分表7上的读数，使Y轴调节块9与夹具上板2上的矩形孔内壁之间的距离基本等于（需要考虑产品的公差）被测产品6的长度；转动Z轴调节旋钮23，使转动件17旋转，进一步使升降平台20带动真空吸盘4下降，下降的距离基本等于（需要考虑产品的公差）被测产品6的厚度。这样，就形成了恰好容纳被测产品6的空间。当然，根据需要，也可以在Z轴升降台上设置Z轴千分表，为调节真空吸盘4的高度时提供准确的参考依据。
调整完成后，将被测产品6放入调整好的空间中，开启真空源，利用吸孔5将被测产品6吸附在真空吸盘4上，保证被测产品6被牢固地固定。并且，由于本发明采用了吸附方式固定被测产品6，其实际原理是利用大气压力将被测产品6压在真空吸盘上，而大气施加到被测产品6上各处的压力是均匀的，从而保护被测产品6不会损坏。
优选地，转动件17包括第一旋转臂18和第二旋转臂19，第一旋转臂18的第一端和第二旋转臂19的第一端相连并铰接到基座24上，第一旋转臂18和第二旋转臂19之间形成60-120度的夹角；第一旋转臂18上形成第一接触部，第二旋转臂19上形成第二接触部。其中，第一旋转臂18和第二旋转臂19之间的夹角优选为90度。通过该结构，使得本发明在调节时更为准确。
进一步优选地，第一接触部和第二接触部的位置分别设置有球形突起22。球形突起22的设置使得在转动件17转动时，第一接触部和第二接触部与升降平台20和Z轴调节旋钮23的接触点不会改变，从而保证调节精度。
优选地，升降平台20的底部向下延伸形成有接触柱21，接触柱21的底端与第一接触部接触。转动件17通过接触柱21来使升降平台20升降，其精度和稳定性都更好。
优选地，吸孔5分为多组，每组吸孔5分别通过独立的通道连接到真空源。通过将吸孔5分组，在针对不同尺寸的被测产品6进行测试时，只开启完全被被测产品6覆盖的一组或几组吸孔5的真空源，一方面可以防止漏气以节约能源，另一方面可以保证吸附的有效性和牢固性。
如图7所示，作为一种优选的方案，将靠近真空吸盘4一角的矩形区域内的吸孔5作为第一组，然后以此为基础，向外侧依次分为若干个L形区域，每个L形区域内的吸孔5作为一组。在其他实施例中，也可以以阵列方式将吸孔分为多个矩形区域，每个矩形区域内的吸孔作为一组。图7所示实施例的优点在于在保证上述效果的情况下，可以尽量减少独立通道的数量。
以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。
Claims (10)
1.硅基板测试夹具，其特征在于，包括底座和设置在底座上方的夹具上板，所述夹具上板中部设置有矩形孔，所述矩形孔中设置有真空吸盘，所述真空吸盘上设置有多个吸孔，所述吸孔连接真空源；所述真空吸盘通过Z轴升降台安装到所述底座上；所述真空吸盘两个相邻的连缘处分别设置有滑槽，两个所述滑槽中分别设置有X轴调节块和Y轴调节块；所述X轴调节块和Y轴调节块分别由X轴移动平台和Y轴移动平台驱动在所述滑槽内滑动。
2.如权利要求1所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述X轴调节块上连接有X轴千分表，所述Y轴调节块上连接有Y轴千分表。
3.如权利要求1所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述X轴移动平台和Y轴移动平台分别包括滑座、可在滑座上滑动的滑块和调节旋钮，所述调节旋钮转动时驱动所述滑块在滑座上滑动，所述X轴调节块和Y轴调节块分别安装到所述X轴移动平台和Y轴移动平台的滑块上。
4.如权利要求3所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述滑块上设置有燕尾槽，所述燕尾槽的顶部中间向上形成有矩形槽；所述滑座上对应设置有燕尾形凸起，所述燕尾形凸起顶部中间上向形成有矩形凸起；所述滑座上的燕尾形凸起和矩形凸起分别与所述滑块上的燕尾槽和矩形槽相配合，使滑块可在滑座上滑动。
5.如权利要求1所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述Z轴升降台包括基座以及可沿基座上下滑动的升降平台，所述真空吸盘安装到所述升降平台上；所述基座一侧铰接有转动件，所述转动件上形成有第一接触部和第二接触部，所述第一接触部与所述升降平台接触，所述第二接触部与一Z轴调节旋钮接触。
6.如权利要求5所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述转动件包括第一旋转臂和第二旋转臂，所述第一旋转臂的第一端和第二旋转臂的第一端相连并铰接到所述基座上，所述第一旋转臂和第二旋转臂之间形成60-120度的夹角；所述第一旋转臂上形成第一接触部，第二旋转臂上形成第二接触部。
7.如权利要求6所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述第一旋转臂和第二旋转臂之间的夹角为90度。
8.如权利要求5-7任意一项所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述第一接触部和第二接触部的位置分别设置有球形突起。
9.如权利要求5-7任意一项所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述升降平台的底部向下延伸形成有接触柱，所述接触柱的底端与所述第一接触部接触。
10.如权利要求1所述的硅基板测试夹具，其特征在于，所述吸孔分为多组，每组吸孔分别通过独立的通道连接到所述真空源。
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