CN113825351A - 穿戴显示装置 - Google Patents

Abstract

一种穿戴显示装置，包括：一装置本体，包含一前盖、一侧盖、一填充气囊、一电路板及一微处理器；一散热处理模块，包含有一第一致动器，该第一致动器对应定位于该微处理器位置处，供以致动导送气体而对该微处理器进行热交换；一充气致动模块，包含一基座、一通气通道、一第二致动器及阀组件，该第二致动器及该阀组件受驱动时，该阀组件开启而控制第二致动器的进气，同时该第二致动器被致动传输一气体给该通气通道集气，并传输该气体给该填充气囊充气，让穿戴者能稳固穿戴贴合定位。

Description

穿戴显示装置

技术领域

本案关于一种穿戴显示装置，尤指具有极薄型流体泵，用于电子装置散热或充气装置或眼压检测所结合的头戴装置。

背景技术

近年来科技生活的快速发展，其虚拟实境相关周边的规格、配备、功能都急速的升级，为了因应其需求，穿戴显示装置内部的处理芯片能力同样也必须已大幅提升，但处理芯片在高速运转时所产生的热能若无法快速排除，将大幅影响其效能；另外，此穿戴装置在长时间使用时，需要考虑其穿戴时的舒适度，以及此穿戴装置在长时间使用时，避免眼睛过度使用造成晕眩或眼压过度造成伤害影响健康。有鉴于此，要如何提供一种改善上述问题的穿戴显示装置，实乃本发明目前所欲解决的主要课题。

发明内容

本案的主要目的是提供一种穿戴显示装置，利用微型泵结构的第一致动器所建构的散热处理模块对穿戴显示装置内部的微处理芯片作有效散热，以提升其运作效能，不仅使整个装置更趋于微型化且达到静音的散热效果，且利用微型泵结构的第二致动器去充气填充气囊，让穿戴装置在长时间使用时具备穿戴舒适度，以及利用微型泵结构的第三致动器搭配眼压传感器可对穿戴者作眼压的检测，并提出警示，避免穿戴使用者眼睛过度使用造成晕眩或眼压过度造成伤害影响健康。

本案的一广义实施态样为一种穿戴显示装置，包括：一装置本体，包含一前盖、一侧盖、一填充气囊、一电路板及一微处理器，其中该侧盖连接于该前盖一侧，该填充气囊贴附定位于该侧盖一侧，而该电路板设置定位于该侧盖内部，以及该微处理器封装在该电路板上；一散热处理模块，包含一第一致动器，该第一致动器对应定位于该微处理器位置处，供以致动导送气体而对该微处理器进行热交换；一充气致动模块，设置于该电路板上，包含一基座、一通气通道、一第二致动器及一阀组件，其中该基座定位于该电路板，并与该通气通道连通，且该第二致动器设置定位于该基座内，以及该通气通道连通该填充气囊，该阀组件设置于该基座上，供以受驱动时开启或关闭而控制该第二致动器的进气；其中，该第二致动器及该阀组件受驱动时，该阀组件开启而控制第二致动器的进气，同时该第二致动器被致动传输一气体给该通气通道集气，并传输该气体给该填充气囊充气，让穿戴者能稳固穿戴贴合定位。

附图说明

图1为本案穿戴显示装置示意图。

图2A为本案穿戴显示装置的电路板上微处理器的一较佳散热实施例示意图。

图2B为本案穿戴显示装置的电路板上微处理器的另一较佳散热实施例示意图。

图3为本案穿戴显示装置的另一角度示意图。

图4为本案穿戴显示装置的剖面示意图。

图5A为本案穿戴显示装置的电路板上微处理器的一较佳散热实施例的散热处理模块示意图。

图5B为本案穿戴显示装置的电路板上微处理器的另一较佳散热实施例的散热处理模块示意图。

图6为本案穿戴显示装置的液体泵立体示意图。

图7为本案穿戴显示装置的液体泵俯视示意图。

图8A为本案穿戴显示装置的液体泵分解示意图。

图8B为本案穿戴显示装置的液体泵另一角度分解示意图。

图9为图7中AA’剖面线的剖面示意图。

图10为图7中BB’剖面线的剖面示意图。

图11A至图11B为液体泵作动示意图。

图12A为本案穿戴显示装置的微型泵分解示意图。

图12B为本案穿戴显示装置的微型泵另一角度分解示意图。

图13A为本案穿戴显示装置的微型泵剖面示意图。

图13B为本案穿戴显示装置的微型泵另一较佳实施例示意图。

图13C至图13E为本案穿戴显示装置的微型泵作动示意图。

图14为本案充气致动模块的第二致动器为鼓风型微型泵分解示意图。

图15A为本案充气致动模块的第二致动器为鼓风型微型泵剖面示意图。

图15B至图15C为图15A中第二致动器为鼓风型微型泵作动示意图。

图16A为本案阀组件剖面示意图。

图16B为本案阀组件实施关闭状态剖面示意图。

图17A为本案穿戴显示装置的微机电微型泵剖面示意图。

图17B为本案穿戴显示装置的微机电微型泵分解示意图

图18A至图18C为本案穿戴显示装置的微机电微型泵作动示意图。

附图标记说明

1：装置本体

11：前盖

12：侧盖

13：填充气囊

14：头带

15：电路板

16：微处理器

17：通信器

18：显示器

19：眼压传感器

2：散热处理模块

21：第一致动器

22：导热管件

23：散热液

24：液体泵

241：阀盖体

2411：阀盖第一表面

2412：阀盖第二表面

2413：入口通道

2413A：入口突缘

2413B：第一凸出结构

2414：出口通道

2414A：出口突缘

2414B：出口腔室

2415：卡掣件

242：阀门片

242A：第一阀门片

242B：第二阀门片

2421A、2421B：中央阀片

2422A、2422B：延伸支架

2423A、2423B：透空通孔

243：阀底座

2431：阀底第一表面

2432：阀底第二表面

2433：入口阀门通道

2433A：入口凹缘

2433B：入口腔室

2434：出口阀门通道

2434A：出口凹缘

2434B：第二凸出结构

2435：对接卡孔

2436：集流腔室

244：致动器

2441：振动片

2441A：电性接脚

2442：压电元件

245：外筒

2451：内壁凹置空间

2452：中心凹槽

2453：穿透框口

246：密封胶

25：定位容置座

251：通气孔

3：充气致动模块

31：基座

32：通气通道

33：第二致动器

34：阀组件

341：阀导件

342：阀基座

343：密封件

341a、342a、343a：通孔

344：容置空间

4：第三致动器

5：微型泵

51：进流板

511：进流孔

512：汇流排槽

513：汇流腔室

52：共振片

521：中空孔

522：可动部

523：固定部

53：压电致动器

531：悬浮板

532：外框

533：支架

534：压电元件

535：间隙

536：凸部

54：第一绝缘片

55：导电片

56：第二绝缘片

57：腔室空间

6：鼓风型微型泵

61：喷气孔片

611：悬浮片

612：中空孔洞

613：空隙

62：腔体框架

63：致动体

631：压电载板

632：调整共振板

633：压电板

64：绝缘框架

65：导电框架

66：共振腔室

67：气流腔室

68：定位块

7：微机电微型泵

71：基材

711：进气孔

712：第一表面

713：第二表面

72：氧化层

721：汇流通道

722：汇流腔室

73：振动层

731：硅晶片层

7311：致动部

7312：外周部

7313：连接部

7314：流体通道

732：第二氧化层

7321：氧化层中空孔

733：金属层

7331：穿孔

7332：振动部

7333：固定部

7334：第三表面

7335：第四表面

74：压电组件

741：下电极层

742：压电层

743：绝缘层

744：上电极层

具体实施方式

体现本案特征与优点的实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。

如图1至图4所示，本案提供一种穿戴显示装置，包括：一装置本体1、一散热处理模块2及一充气致动模块3，其中装置本体1包含一前盖11、一侧盖12、一填充气囊13、一头带14、一电路板15、一微处理器16、一通信器17及一组显示器18，侧盖12连接于前盖11一侧，填充气囊13贴附定位于侧盖11一侧，以及一组显示器18设置定位于侧盖12一侧，头带14连接于侧盖11上，如此侧盖12设置于前盖11及填充气囊13之间，装置本体1利用头带14可供穿戴使用，填充气囊13能提供穿戴者的穿戴定位及舒适性，而电路板15设置定位于侧盖12之内部，以及微处理器16及通信器17封装在电路板15上，且通信器17通过蓝牙(Bluetooth)或无线网络(Wi-Fi)构成无线双向传输数据，此数据可以通过通信器17接收提给微处理器16作运算处理提供给一组显示器18产生影像数据显示，显示经微处理器16所处理的影像。值得注意的是，一组显示器18可以是两个分离的显示器18分别设置于侧盖12内部，但不以此为限，一组显示器18亦可以是一整组的显示器18设置于侧盖12内部。可以理解的是，显示器18亦有与电路板15及微处理器16电性连接，以显示经微处理器16所处理的影像。

如图2A及图5A所示，其为电路板15上微处理器16的散热处理模块2一较佳散热实施例示意图。上述的散热处理模块2包含有第一致动器21，第一致动器21对应定位于微处理器16位置处，供以致动导送气体而对微处理器16进行热交换作有效散热，以提升其运作效能。在本实施例中，散热处理模块2也包含一定位容置座25，定位容置座25设置于电路板15上，且定位容置座25设有一通气孔251，而第一致动器21设置定位于定位容置座25内，供以致动导送气体由通气孔251导流而对微处理器16进行热交换，以利微处理器16的降温，如图5A箭头指示是指微处理器16所产生的热，通过散热处理模块2被导流导出。

如图2B及图5B所示，其为电路板15上微处理器16的散热处理模块2另一较佳散热实施例示意图。在本实施例中，散热处理模块2包含有第一致动器21、一导热管件22及一定位容置座25，导热管件22接触微处理器16的一发热表面，可直接将微处理器16所产生的热进行热交换，而导热管件22内部含有散热液23，而第一致动器21设置定位于导热管件22的一表面，供以致动导送气体，即可对导热管件22内部散热液23进行热对流，以促使导热管件22对微处理器16所发出热源加速对流热交换；在本实施例中，如图5B所示，定位容置座25设置定位于导热管件22的一表面，且定位容置座25设有一通气孔251，而第一致动器21设置定位于定位容置座25内，供以致动导送气体由通气孔251导流而对导热管件22进行热交换，如图5B箭头指示是指微处理器16所产生的热，通过散热处理模块2被导流导出。在本实施例中，散热处理模块2也可进一步包含一液体泵24，供以连通于导热管件22内部，促使导热管件22内部的散热液23得以被抽送而循环流动，加速该导热管件22的热交换作用。

至于液体泵24的结构及操作说明如下，如图6到图11B所示，液体泵24包含：一阀盖体241，具有一阀盖第一表面2411、一阀盖第二表面2412、一出口通道2414、一入口通道2413及多个卡掣件2415，其中入口通道2413及出口通道2414贯穿设置于阀盖第一表面2411及阀盖第二表面2412之间，以及入口通道2413于阀盖第二表面2412上之外缘凸设有一入口突缘2413A，且在入口突缘2413A上凸设一第一凸出结构2413B，而出口通道2414于阀盖第二表面2412上之外缘凸设有一出口突缘2414A，且在出口突缘2414A的中心凹设一出口腔室2414B，又多个卡掣件2415由阀盖第二表面2412向外凸出；两组阀门片242，包含一第一阀门片242A及一第二阀门片242B，且第一阀门片242A及第二阀门片242B分别设有一中央阀片2421A、2421B，而中央阀片2421A、2421B周边各设置多个延伸支架2422A、2422B以作弹性支撑，并使每一延伸支架2422A、2422B相邻之间各形成一透空通孔2423A、2423B；一阀底座243，与阀盖体241对接，且第一阀门片242A及第二阀门片242B定位设置在两者之间，阀底座243具有一阀底第一表面2431、一阀底第二表面2432、一入口阀门通道2433及一出口阀门通道2434，其中入口阀门通道2433及出口阀门通道2434贯穿设置于阀底第一表面2431及阀底第二表面2432之间，以及入口阀门通道2433于阀底第一表面2431上之内缘凹设有一入口凹缘2433A，供与阀盖体241的入口突缘2413A相对接，且第一阀门片242A置设在其间，使中央阀片2421A受阀盖体241的第一凸出结构2413B顶触，供以封闭阀盖体241的入口通道2413，又入口凹缘2433A的中心凹设一入口腔室2433B，而出口阀门通道2434于阀底第一表面2431上之内缘凹设有一出口凹缘2434A，且在出口凹缘2434A的中心凸设一第二凸出结构2434B，出口凹缘2434A与阀盖体241的出口突缘2414A相对接，且第二阀门片242B置设在其间，使中央阀片2421B受第二凸出结构2434B顶触，供以封闭阀底座243的出口阀门通道2434，又阀底第一表面2431对应到阀盖体241的多个卡掣件2415位置凹置有多个对接卡孔2435，供使阀底座243与阀盖体241得以对接封盖第一阀门片242A及第二阀门片242B并实现定位组装，以及阀底第二表面2432凹陷形成一集流腔室2436，连通入口阀门通道2433及出口阀门通道2434；一致动器244，包含有一振动片2441及一压电元件2442，压电元件2442贴附于振动片2441一侧，而振动片2441具有一电性接脚2441A，以及振动片2441封盖于阀底座243的阀底第二表面2432，以封闭集流腔室2436；一外筒245，为一侧凹设有一内壁凹置空间2451，且在内壁凹置空间2451底部具有挖空的一中心凹槽2452及贯穿一侧并连通外部的一穿透框口2453，其中内壁凹置空间2451内依序由致动器244、阀底座243、两组阀门片242以及阀盖体241置入其中，且致动器244的电性接脚2441A穿置定位于穿透框口2453中，并以填封一密封胶246于内壁凹置空间2451中予以定位，而致动器244的压电元件2442对应设置于中心凹槽2452内，且受驱动时得以振动位移；其中，阀盖体241的入口通道2413对应到阀底座243的入口腔室2433B，并以第一阀门片242A控制连通，以及阀盖体241的出口腔室2414B对应到阀底座243的出口阀门通道2434，并以第二阀门片242B控制连通。阀盖体241的第一凸出结构2413B顶触第一阀门片242A的中央阀片2421A，封闭阀盖体241的入口通道2413，以产生一预力作用以防止逆流。阀底座243的第二凸出结构2434B顶触第二阀门片242B的中央阀片2421B，封闭阀底座243的出口阀门通道2434，以产生一预力作用以防止逆流。致动器244的压电元件2442向下振动位移时，阀底座243的入口腔室2433B形成吸力，以拉引第一阀门片242A的中央阀片2421A位移，不封闭阀盖体241的入口通道2413，使液体由阀盖体241的入口通道2413导入经由第一阀门片242A的透空通孔2423A流入阀底座243的入口腔室2433B，并流入集流腔室2436中缓冲集中液体，而致动器244的压电元件2442向上振动位移时，集流腔室2436中缓冲集中的液体往阀底座243的出口阀门通道2434推挤，使第二阀门片242B的中央阀片2421B脱离第二凸出结构2434B的顶触，使流体顺利由第二阀门片242B的透空通孔2423B流入阀盖体241的出口腔室2414B，再由出口通道2414流出，完成液体传输。

如图6至图8B，液体泵24包含一阀盖体241、两组阀门片242、一阀底座243、一致动器244及一外筒245。其中一致动器244、一阀底座243、两组阀门片242、一阀盖体241分别依序置设于外筒245内，再以密封胶246密封外筒245之内部所定位组装而成。

如图6、图8A、图8B以及图10，阀盖体241具有一阀盖第一表面2411、阀盖第二表面2412、一入口通道2413、一出口通道2414及多个卡掣件2415，其中入口通道2413及出口通道2414分别贯穿阀盖第一表面2411及阀盖第二表面2412之间，以及入口通道2413于阀盖第二表面2412上之外缘凸设有一入口突缘2413A，且在入口突缘2413A上凸设一第一凸出结构2413B，而出口通道2414于阀盖第二表面2412上之外缘凸设有一出口突缘2414A，且在出口突缘2414A的中心凹设一出口腔室2414B，又多个卡掣件2415由阀盖第二表面2412向外凸出。于本实施例中，卡掣件2415数量为2，但不以此为限，可依实际定位需求的数量而设置。

上述两组阀门片242，主要材质为聚亚酰胺(Polyimide,PI)高分子材料，其制造方法主要利用反应离子气体干蚀刻(reactive ion etching,RIE)的方法，以感光性光阻涂布于阀门片242结构之上，并曝光显影出阀门片242结构图案后，再以进行蚀刻，由于有光阻覆盖处会保护聚亚酰胺(Polyimide,PI)片不被蚀刻，因而可蚀刻出阀门片242，两组阀门片242包含一第一阀门片242A及一第二阀门片242B，且第一阀门片242A及第二阀门片242B分别设有一中央阀片2421A/2421B，而中央阀片2421A/2421B周边各设置多个延伸支架2422A/2422B以作弹性支撑，并使每一延伸支架2422A/2422B相邻之间各形成一透空通孔2423A/2423B。

上述的阀底座243与阀盖体241对接，且第一阀门片242A及第二阀门片242B定置在两者之间，阀底座243具有一阀底第一表面2431、一阀底第二表面2432、一入口阀门通道2433及一出口阀门通道2434，其中入口阀门通道2433及出口阀门通道2434贯穿设置于阀底第一表面2431及阀底第二表面2432之间，以及入口阀门通道2433于阀底第一表面2431上之内缘凹设有一入口凹缘2433A，供与阀盖体241的入口突缘2413A相对接，且第一阀门片242A置设在其间，使中央阀片2421A受阀盖体241的第一凸出结构2413B顶触，供以封闭阀盖体241的入口通道2413，第一阀门片242A的中央阀片2421A常态顶触第一凸出结构2413B，以产生一预力作用并有助于预盖紧以防止逆流(如图10所示)，又入口凹缘2433A的中心凹设一入口腔室2433B，而出口阀门通道2434于阀底第一表面2431上之内缘凹设有一出口凹缘2434A，且在出口凹缘2434A的中心凸设一第二凸出结构2434B，又出口凹缘2434A与阀盖体241的出口突缘2414A相对接，且第二阀门片242B置设在其间，使中央阀片2421B受第二凸出结构2434B顶触，供以封闭阀底座243的出口阀门通道2434，第二阀门片242B的中央阀片2421B常态顶触第二凸出结构2434B，以产生一预力作用并有助于预盖紧以防止逆流(如图10所示)，又阀底第一表面2431对应到阀盖体241的多个卡掣件2415的位置也设有相同数量的对接卡孔2435，如此如图9所示，阀盖体241的多个卡掣件2415对应卡入阀盖体241的多个对接卡孔2435中，供使阀底座243与阀盖体241得以对接封盖第一阀门片242A及第二阀门片242B并实现定位组装，于本实施例中，卡掣件2415数量为2，所以对接卡孔2435的数量为2，但不以此为限，可依实际定位需求的数量而设置。又，阀底第二表面2432上凹陷形成一集流腔室2436，集流腔室2436连通入口阀门通道2433及出口阀门通道2434。

上述的致动器244包含有一振动片2441及一压电元件2442，振动片2441为金属材质，压电元件2442采用高压电数的锆钛酸铅(PZT)系列的压电粉末制造而成，且压电元件2442贴附于振动片2441一侧面，以及振动片2441封盖于阀底座243的阀底第二表面2432，以封闭集流腔室2436，又该振动片2441具有一电性接脚2441A，供以对外与电源电性连接，以使压电元件2442得以驱动变形而振动位移。

上述外筒245为一侧凹设有一内壁凹置空间2451，且在内壁凹置空间2451底部具有一挖空的中心凹槽2452及贯穿外筒245的一侧并连通外部的穿透框口2453，其中内壁凹置空间2451内依序由致动器244、阀底座243、两组阀门片242以及阀盖体241置入其中，且致动器244的电性接脚2441A穿置定位于穿透框口2453中。并以填封密封胶246于内壁凹置空间2451中予以定位，而致动器244的压电元件2442对应设置于中心凹槽2452中，且受驱动时得于中心凹槽2452内振动位移。

本案液体泵24在具体实施液体传输的操作是如图11A所示，当压电元件2442受电压驱动而向下振动位移时，阀底座243的入口腔室2433B形成吸力，以拉引第一阀门片242A的中央阀片2421A位移，此时第一阀门片242A的中央阀片2421A不封闭阀盖体241的入口通道2413，使液体由阀盖体241的入口通道2413导入经由第一阀门片242A的透空通孔2423A流入阀底座243的入口腔室2433B，并流入集流腔室2436中缓冲集中液体，其后，图11B所示，致动器244的压电元件2442向上振动位移时，集流腔室2436中缓冲集中的液体往阀底座243的出口阀门通道2434推挤，使第二阀门片242B的中央阀片2421B脱离第二凸出结构2434B的顶触，使流体顺利由第二阀门片242B的透空通孔2423B流入阀盖体241的出口腔室2414B，再由出口通道2414流出，来达到液体的传输。

再请参阅图2A至图4所示，上述的电路板15上设置有一充气致动模块3，充气致动模块3包含一基座31、一通气通道32、一第二致动器33及一阀组件34。基座31定位于电路板15上，并与通气通道32连通。第二致动器33设置定位于基座31内。通气通道32连通填充气囊13。阀组件34设置于基座31上，供以受驱动时开启或关闭而控制第二致动器33的进气。值得注意的是，第二致动器33及阀组件34受驱动时，阀组件34开启而控制第二致动器33的进气，同时第二致动器33被致动传输一气体给通气通道32集气，并传输气体给填充气囊13充气，让穿戴者能稳固穿戴贴合定位，以提升配戴时的舒适度。

至于阀组件34的启闭状态如下说明，又如图16A及图16B所示，阀组件34包含一阀导件341、一阀基座342以及一密封件343，其中阀导件341为通电荷的压电材料，供与电路板15作电性连接且接收一驱动信号产生形变，又该阀导件341与阀基座342保持一段容置空间344，而密封件343为一可挠性材料所制成，贴附于阀导件341的一侧面而置于容置空间344内，以及阀导件341、该阀基座342及密封件343上分别形成多个通孔341a、342a、343a，而阀导件341的通孔341a与密封件343的该通孔343a相互对准，阀基座342的通孔342a与阀导件341的通孔341a相互错位不对准。因此如图5A所示，当阀导件341未接收该微处理器16的驱动信号时，阀导件341保持在容置空间344内与阀基座342形成间距，且阀基座342的通孔342a与阀导件341的通孔341a相互错位不对准，构成阀组件34的开启。如图5B所示，当阀导件341接收微处理器16的驱动信号时，阀导件341产生形变而朝阀基座342靠近贴合，且密封件343的通孔343a与阀基座342的通孔342a不对位，让密封件343封闭阀基座342的通孔342a，以构成阀组件34的关闭。

再请参阅图3及图4所示，本案装置本体1更包含一组眼压传感器19以及一组第三致动器4构成眼压检测装置。一组眼压传感器19分别设置于对显示器18的中心点位置，并与电路板15电性连接，供以发射一红外线以及检测该红外线经反射后的一光能量；而一组第三致动器4分别设置于显示器18的下方，并与电路板15电性连接，供以致动产生一脉冲气体。值得注意的是，一组眼压传感器19可以是两个分离的眼压传感器19分别设置于侧盖12内，但不以此为限，一组眼压传感器19亦可以是一对的眼压传感器19设置于侧盖12内。同样地，一组第三致动器4可以是两个分离的第三致动气器4分别设置于显示器18的下方，但不以此为限，一组第三致动器4亦可以是一对的第三致动器4设置于显示器18的下方。当第三致动器4受驱动产生脉冲气体后，复以眼压传感器19发射红外线，并计算红外线经照射后所反射后的光能量，供以检测到穿戴者的一眼压数据，让穿戴显示装置能显示眼压数据，并提出提醒讯息。值得注意的是，眼压的量测，其原理是利用空气脉冲撞击眼角膜表面，脉冲空气的力道随时间呈现增加，让眼角膜产生平压甚至微微凹陷，在脉冲空气撞击眼角膜过程中，眼角膜表面受力从凸起变形到平坦，再到凹陷；眼角膜又随着脉冲空气撞击的力量减弱，渐渐地由凹陷至平坦，再回复至原本的形状；借由脉冲空气撞击眼角膜的20毫秒内，通过发射红外线以检测眼角膜受红外线照射所反射后的光能量，推测角膜的凹陷程度，利用不同曲率使得红外线的反射角度不同，其反射的光能量也不同，经计算后得到穿戴者的眼压。此外，值得注意的是，在微处理器16得到穿戴者的眼压数据后，可以于显示器18上显示数值，更进一步，如穿戴者的眼压数据未介于正常值范围内，可以于显示器18上警示穿戴者。警示的方式可以是数秒后暂时关闭显示器18，强制穿戴者休息；也可以是闪烁显示器18的画面或是以声音或语音的方式提醒穿戴者，借以达到提醒穿戴者眼睛的保健，避免眼睛过度使用造成晕眩或眼压过度造成伤害影响健康。

上述的第一致动器21、第二致动器33及第三致动器4可以分别为一种微型泵或一鼓风型微型或者微机电微型泵的结构。以下就分别依序说明微型泵、鼓风型微型及微机电微型泵的结构及气体传输的操作。

如图12A到图13E，为一种微型泵5结构。上述的微型泵5由一进流板51、一共振片52、一压电致动器53、一第一绝缘片54、一导电片55及一第二绝缘片56依序堆叠组成。其中进流板51具有至少一进流孔511、至少一汇流排槽512及一汇流腔室513，进流孔511供导入气体，进流孔511对应贯通汇流排槽512，且汇流排槽512汇流到汇流腔室513，使进流孔511所导入气体得以汇流至汇流腔室513中。于本实施例中，进流孔511与汇流排槽512的数量相同，进流孔511与汇流排槽512的数量分别为4个，并不以此为限，4个进流孔511分别贯通4个汇流排槽512，且4个汇流排槽512汇流到汇流腔室513。

请参阅图12A、图12B及图13A所示，上述的共振片52通过贴合方式组接于进流板51上，且共振片52上具有一中空孔521、一可动部522及一固定部523，中空孔521位于共振片52的中心处，并与进流板51的汇流腔室513对应，而可动部522设置于中空孔521的周围且与汇流腔室513相对的区域，而固定部523设置于共振片52的外周缘部分而贴固于进流板51上。

请继续参阅图12A、图12B及图13A所示，上述的压电致动器53包含有一悬浮板531、一外框532、至少一支架533、一压电元件534、至少一间隙535及一凸部536。其中，悬浮板531为一正方形型态，悬浮板531的所以采用正方形，乃相较于圆形悬浮板的设计，正方形悬浮板531的结构明显具有省电的优势，因在共振频率下操作的电容性负载，其消耗功率会随频率的上升而增加，又因边长正方形悬浮板531的共振频率明显较圆形悬浮板低，故其相对的消耗功率亦明显较低，亦即本案所采用正方形设计的悬浮板531，具有省电优势的效益；外框532环绕设置于悬浮板531之外侧；至少一支架533连接于悬浮板531与外框532之间，以提供弹性支撑悬浮板531的支撑力；以及一压电元件534具有一边长，边长小于或等于悬浮板531的一悬浮板边长，且压电元件534贴附于悬浮板531的一表面上，用以施加电压以驱动悬浮板531弯曲振动；而悬浮板531、外框532与支架533之间构成至少一间隙535，用以供气体通过；凸部536为设置于悬浮板531贴附压电元件534的表面的相对的另一表面。于本实施例中，凸部536可为通过于悬浮板531利用一蚀刻制程制出一体成型突出于贴附压电元件534的表面的相对的另一表面上形成的一凸状结构。

请继续参阅图12A、图12B及图13A所示，上述的进流板51、共振片52、压电致动器53、第一绝缘片54、导电片55及第二绝缘片56依序堆叠组合，其中压电致动器53的悬浮板531与共振片52之间需形成一腔室空间57，腔室空间57可利用于共振片52及压电致动器53之外框532之间填充一材质形成，例如：导电胶，但不以此为限，以使共振片52与悬浮板531之间可维持一定深度形成腔室空间57，进而可导引气体更迅速地流动，且因悬浮板531与共振片52保持适当距离使彼此接触干涉减少，促使噪音产生可被降低，当然于另一实施例中，亦可借由压电致动器53之外框532高度加高来减少共振片52及压电致动器53之外框532之间的间隙535所填充导电胶的厚度，如此微型泵整体结构组装不因导电胶的填充材质会因热压温度及冷却温度而间接影响到，避免导电胶的填充材质因热胀冷缩因素影响到成型后腔室空间57的实际间距，但不以此为限。另外，腔室空间57将会影响微型泵5的传输效果，故维持一固定的腔室空间57对于微型泵5提供稳定的传输效率是十分重要。

因此于图13B所示，另一些压电致动器53实施例中，悬浮板531可以采以冲压成形使其向外延伸一距离，其向外延伸距离可由至少一支架533成形于悬浮板531与外框532之间所调整，使在悬浮板531上的凸部536的表面与外框532的表面两者形成非共平面结构，利用于外框532的组配表面上涂布少量填充材质，例如：导电胶，以热压方式使压电致动器53贴合于共振片52的固定部523，进而使得压电致动器53得以与共振片52组配结合，如此直接通过将上述压电致动器53的悬浮板531采以冲压成形，且使悬浮板531的表面与共振片52保持一腔室空间57的结构改良，所需的腔室空间57得以通过调整压电致动器53的悬浮板531冲压成形距离来完成，有效地简化了调整腔室空间57的结构设计，同时也达成简化制程，缩短制程时间等优点。此外，第一绝缘片54、导电片55及第二绝缘片56皆为框型的薄型片体，依序堆叠于压电致动器53上即组构成微型泵5整体结构。

为了了解上述微型泵5提供气体传输的输出作动方式，请继续参阅图13C至图13E所示，请先参阅图13C，压电致动器53的压电元件534被施加驱动电压后产生形变带动悬浮板531向上位移，此时腔室空间57的容积提升，于腔室空间57内形成了负压，便汲取汇流腔室513内的气体进入腔室空间57内，同时共振片52受到共振原理的影响被同步向上位移，连带增加了汇流腔室513的容积，且因汇流腔室513内的气体进入腔室空间57的关系，造成汇流腔室513内同样为负压状态，进而通过进流孔511及汇流排槽512来吸取气体进入汇流腔室513内，气体通过共振片52的中空孔521；请再参阅图13D，压电元件534带动悬浮板531向下位移，压缩腔室空间57，同样的，共振片52的可动部522被悬浮板531因共振而向下位移，迫使同步推挤腔室空间57内的气体往上通过间隙535向上传输，以达到传输气体的效果；最后请参阅图13E，当悬浮板531回复原位时，共振片52仍因惯性而向上位移，此时的共振片52将使压缩腔室空间57内的气体向间隙535移动，并且提升汇流腔室513内的容积，让气体能够持续地通过进流孔511及汇流排槽512来汇聚于汇流腔室513内，通过不断地重复上述图13C至图13E所示的微型泵5提供气体传输作动步骤，使微型泵5能够使气体连续自进流孔511进入进流板51及共振片52所构成流道产生压力梯度，再由间隙535向上传输，使气体高速流动，达到微型泵5传输气体输出的作动操作。

上如图14、图15A到图15C所示，为一种鼓风型微型泵6结构，上述的鼓风型微型泵6包含：一喷气孔片61、一腔体框架62、一致动体63、一绝缘框架64及一导电框架65。其中，喷气孔片61为具有可挠性的材料制作，具有一悬浮片611、一中空孔洞612。悬浮片611为可弯曲振动的片状结构，但不以此为限，悬浮片611的形状亦可为方形、圆形、椭圆形、三角形及多角形其中之一；中空孔洞612是贯穿于悬浮片611的中心处，以供气体流通。

上述的腔体框架62叠设于喷气孔片61，且其外型与喷气孔片61对应。致动体63叠设于腔体框架62上，并与腔体框架62、悬浮片611及致动体63之间定义一共振腔室66。绝缘框架64叠设于致动体63，其外观与腔体框架62近似。导电框架65叠设于绝缘框架64，其外观与绝缘框架64近似。此外，致动体63更包含一压电载板631、一调整共振板632及一压电板633。压电载板631承载叠置于腔体框架62上。调整共振板632承载叠置于压电载板631上。压电板633承载叠置于调整共振板632上。而调整共振板632及压电板633容设于绝缘框架64内，并由导电框架65电连接压电板633。其中，压电载板631、调整共振板632皆为可导电的材料所制成，压电载板631连接电路板15上的驱动电路(未图示)，以接收驱动信号(驱动频率及驱动电压)，驱动信号得以由压电载板631、调整共振板632、压电板633、导电框架65形成一回路，并由绝缘框架64将导电框架65与致动体63之间阻隔，避免短路发生，使驱动信号得以传递至压电板633。压电板633接受驱动信号(驱动频率及驱动电压)后，因压电效应产生形变，来进一步驱动压电载板631及调整共振板632产生往复式地弯曲振动。

承上所述，调整共振板632位于压电板633与压电载板631之间，作为两者之间的缓冲物，可调整压电载板631的振动频率。基本上，调整共振板632的厚度大于压电载板631的厚度，且调整共振板632的厚度可变动，借此调整致动体63的振动频率。

请同时参阅图15A、图15B及图15C所示，喷气孔片61、腔体框架62、致动体63、绝缘框架64及导电框架65依序对应堆叠，而喷气孔片61并以底部固设于一定位块68上支撑定位后，因此鼓风型微型泵6在悬浮片611外部及底部定义出一空隙613，可供气体流通。

请先参阅图15A所示，上述的喷气孔片61与定位块68的底面间形成一气流腔室67。气流腔室67通过喷气孔片61的中空孔洞612，连通致动体63、腔体框架62及悬浮片611之间的共振腔室66，通过控制共振腔室66中气体的振动频率，使其与悬浮片611的振动频率趋近于相同，可使共振腔室66与悬浮片611产生亥姆霍兹共振效应(Helmholtz resonance)，以使气体传输效率提高。

请参阅图15B所示，当压电板633向远离定位块68的底面移动时，压电板633带动喷气孔片61的悬浮片611以远离定位块68的底面方向移动，使气流腔室67的容积急遽扩张，其内部压力下降形成负压，吸引鼓风型微型泵6外部的气体由空隙613流入，并经由中空孔洞612进入共振腔室66，使共振腔室66内的气压增加而产生一压力梯度；再如图15C所示，当压电板633带动喷气孔片61的悬浮片611朝向定位块68的底面移动时，共振腔室66中的气体经中空孔洞612快速流出，挤压气流腔室67内的气体，并使汇聚后的气体以接近伯努利定律的理想气体状态快速且大量地喷出定位块68底面。是以，通过重复图15B及图15C的动作后，得以压电板633往复式地振动，依据惯性原理，排气后的共振腔室66内部气压低于平衡气压会导引气体再次进入共振腔室66中，如此控制共振腔室66中气体的振动频率与压电板633的振动频率趋近于相同，以产生亥姆霍兹共振效应，以实现气体高速且大量的传输。

又如图17A、图17B、图18A到图18C，为一微机电微型泵7结构，通过微机电的面型微加工技术制程，使微机电微型泵7的体积缩小。微机电微型泵7包含一基材71、一氧化层72、一振动层73以及一压电组件74。上述的基材71为一硅基材，并以蚀刻制程制出至少一进气孔711。

上述的氧化层72以沉积制程生成叠加于基材71上，并以蚀刻制程制出多个汇流通道721以及一汇流腔室722，汇流通道721连通于汇流腔室722及基材71的进气孔711之间。沉积制程可为一物理气相沉积制程(PVD)、一化学气相沉积制程(CVD)或两者的组合，但不以此为限。以下沉积制程说明就不再予以赘述。

上述的振动层73以沉积制程生成叠加于氧化层72上，包含一硅晶片层731、一第二氧化层732以及一金属层733。其中金属层733沉积制程生成叠加于氧化层72上，并以蚀刻制程制出一穿孔7331、一振动部7332以及一固定部7333，蚀刻制程可为一湿式蚀刻制程、一干式蚀刻制程或两者的组合，但不以此为限。以下蚀刻制程说明就不再予以赘述。

上述的穿孔7331以蚀刻制程制出形成于金属层733的中心，振动部7332形成位于穿孔7331的周边区域，固定部7333形成位于金属层733的周缘区域。

上述的第二氧化层732以沉积制程生成叠加于金属层733上，并以蚀刻制程制出形成一氧化层中空孔7321。

上述的硅晶片层731以沉积制程生成叠加于该第二氧化层732上，并以蚀刻制程制出形成一致动部7311、一外周部7312、多个连接部7313以及多个流体通道7314。其中致动部7311形成位于中心部分，外周部7312形成环绕于致动部7311之外围，而多个连接部7313分别形成连接于致动部7311与外周部7312之间，而多个流体通道7314分别形成连接于致动部7311与外周部7312之间，以及分别形成位于多个连接部7313之间，且促使硅晶片层731与第二氧化层732的氧化层中空孔7321定义出一压缩腔室。

上述的压电组件74以沉积制程生成叠加于硅晶片层731的致动部7311上，包含一下电极层741、一压电层742、一绝缘层743及一上电极层744。其中下电极层741以沉积制程生成叠加于硅晶片层731的致动部7311上，压电层742以沉积制程生成叠加于下电极层741上，绝缘层743以沉积制程生成叠加于压电层742的部分表面及下电极层741的部分表面，而上电极层744生成叠加于绝缘层743及压电层742未设有绝缘层743的其余表面，用以与压电层742电性连接。

至于微机电微型泵7如何实施致动传输气体操作，请参考图18A所示，当压电组件74的下电极层741及上电极层744接收驱动信号(未图示)时，如此驱使压电层742因逆压电效应的影响开始产生形变，进而带动硅晶片层731的致动部7311开始位移，当压电组件74带动致动部7311远离位移拉开与第二氧化层732之间距离，促使压缩腔室的容积将提升变大形成一负压，让基材71外部气体可被吸入通过进气孔711进入，再进入氧化层72的多个汇流通道721以及汇流腔室722内。请继续参阅图18B，当致动部7311受到压电组件74的牵引位移时，金属层733的振动部7332会因共振原理的影响位移，当振动部7332位移时，压缩压缩腔室的空间并且推动压缩腔室内的气体往硅晶片层731的多个流体通道7314移动。再请参阅图18C所示，压电组件74带动硅晶片层731的致动部7311反向位移时，硅晶片层731的振动部7332亦受致动部7311的带动位移，让气体能够通过多个流体通道7314传输，并同步压缩汇流腔室722的气体通过穿孔7331向压缩腔室移动，后续再将压电组件74带动致动部7311位移时，压缩腔室的容积会大幅提升，进而有较高的汲取力将气体再吸入压缩腔室。再重复图18A至图18C的动作，通过压电组件74持续带动致动部7311往复位移，同时连动振动部7332位移，通过改变微机电微型泵7的压缩腔室内部压力，使其不断地汲取外部气体，如此完成微机电微型泵7实施致动传输气体的操作。

由上述说明可知，本案第一致动器21、第二致动器33及第三致动器4可以分别为一种微型泵或一鼓风型微型泵或者微机电微型泵的结构。以下特别加强说明鼓风型微型泵6应用于充气致动模块3的实施例。如图2A及图2B中第二致动器33为一鼓风型微型泵结构。又请同时参阅图15A、图15B及图15C所示，鼓风型微型泵6的喷气孔片61、腔体框架62、致动体63、绝缘框架64及导电框架65依序对应堆叠并设置定位于基座31内，促使喷气孔片61以底部固设于定位块68上支撑定位，因此鼓风型微型泵6在悬浮片611及基座31的内缘之间定义出一空隙613，以供气体流通，而阀组件34对应设置于空隙613为封闭整个基座31，以控制鼓风型微型泵6的进气。

又如图15A，上述的喷气孔片61与基座31的底面间形成一气流腔室67。气流腔室67通过喷气孔片61的中空孔洞612，连通致动体63、腔体框架62及悬浮片611之间的共振腔室66，通过控制共振腔室66中气体的振动频率，使其与悬浮片611的振动频率趋近于相同，可使共振腔室66与悬浮片611产生亥姆霍兹共振效应(Helmholtz resonance)，以使气体传输效率提高。

如图15B，当压电板633向远离基座31的底面移动时，压电板633带动喷气孔片61的悬浮片611以远离基座31的底面方向移动，使气流腔室67的容积急遽扩张，其内部压力下降形成负压，吸引鼓风型微型泵6外部的气体由空隙613流入，并经由中空孔洞612进入共振腔室66，使共振腔室66内的气压增加而产生一压力梯度；再如图15C所示，当压电板633带动喷气孔片61的悬浮片611朝向基座31的底面移动时，共振腔室66中的气体经中空孔洞612快速流出，挤压气流腔室67内的气体，并使汇聚后的气体以接近伯努利定律的理想气体状态快速且大量地喷出基座31底面，并导入通气通道32中。是以，通过重复图15B及图15C的动作后，得以压电板633往复式地振动，依据惯性原理，排气后的共振腔室66内部气压低于平衡气压会导引气体再次进入共振腔室66中，如此控制共振腔室66中气体的振动频率与压电板633的振动频率趋近于相同，以产生亥姆霍兹共振效应，以实现气体高速且大量的传输。

由此可知，如图4所示，阀组件34封盖于第二致动器33上，且参照第15A至图15C所示，阀组件34对应于鼓风型微型泵6的空隙613处，当鼓风型微型泵6及阀组件34受驱动时，阀组件34开启而控制鼓风型微型泵6的进气，同时鼓风型微型泵6被致动传输气体给通气通道32集气，并将气体传输给填充气囊13充气于装置本体1的穿戴面，让穿戴者能稳固舒适穿戴贴合定位于穿戴部位。

综上所述，本案所提供的穿戴显示装置，利用微型泵结构的第一致动器所建构的散热处理模块对穿戴显示装置内部的微处理芯片作有效散热，以提升其运作效能，不仅使整个装置更趋于微型化且达到静音的散热效果，且利用微型泵结构的第二致动器去充气填充气囊，让穿戴装置在长时间使用时具备穿戴舒适度，以及利用微型泵结构的第三致动器搭配眼压传感器可对穿戴者作眼压的检测，并提出警示，避免穿戴使用者眼睛过度使用造成晕眩或眼压过度造成伤害影响健康，极具产业利用性及进步性。

Claims (16)

1.一种穿戴显示装置，包括：

一装置本体，包含一前盖、一侧盖、一填充气囊、一电路板及一微处理器，其中该侧盖连接于该前盖一侧，该填充气囊贴附定位于该侧盖一侧，而该电路板设置定位于该侧盖内部，以及该微处理器封装在该电路板上；

一散热处理模块，包含一第一致动器，该第一致动器对应定位于该微处理器位置处，供以致动导送气体而对该微处理器进行热交换；

一充气致动模块，设置于该电路板上，包含一基座、一通气通道、一第二致动器及一阀组件，其中该基座定位于该电路板，并与该通气通道连通，且该第二致动器设置定位于该基座内，以及该通气通道连通该填充气囊，该阀组件设置于该基座上，供以受驱动时开启或关闭而控制该第二致动器的进气；

其中，该第二致动器及该阀组件受驱动时，该阀组件开启而控制该第二致动器的进气，同时该第二致动器被致动传输一气体给该通气通道集气，并传输该气体给该填充气囊充气，让穿戴者能稳固穿戴贴合定位。

2.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该散热处理模块包含一导热管件，该导热管件接触该微处理器的一发热表面，以及该导热管件内部包含有一散热液，而该第一致动器设置定位于该导热管件的一表面，供以致动导送气体而对该导热管件的该散热液进行热对流，促使该导热管件对该微处理器所发出热源加速对流热交换。

3.如权利要求2所述的穿戴显示装置，其特征在于，该散热处理模块包含一液体泵，供以连通于该导热管件内部，促使该导热管件内部的该散热液得以被抽送而循环流动，加速该导热管件的热交换作用。

4.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该散热处理模块包含一定位容置座，该定位容置座设置于该电路板上，且该定位容置座设有一通气孔，而该第一致动器设置定位于该定位容置座内，供以致动导送气体由该通气孔导流而对该微处理器进行热交换。

5.如权利要求2所述的穿戴显示装置，其特征在于，该散热处理模块包含一定位容置座，该定位容置座设置于该导热管件上，且该定位容置座设有一通气孔，而该第一致动器设置定位于该定位容置座内，供以致动导送气体由该通气孔导流而对该导热管件进行热交换。

6.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该装置本体更包含有一通信器，该通信器封装于该电路板上，且该通信器通过蓝牙或无线网络构成无线双向传输数据。

7.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该装置本体更包含：

一组显示器，设置于该侧盖内，显示经该微处理器所处理的影像；

一组眼压传感器，分别设置于该组显示器的中心点位置，并与该电路板电性连接，供以发射一红外线以及检测该红外线经反射后的一光能量；

一组第三致动器，分别设置于该组显示器的下方，并与该电路板电性连接，供以致动产生一脉冲气体；其中，当该组第三致动器受驱动产生该脉冲气体后，该组眼压传感器发射该红外线，并计算该红外线经照射后所反射后的该光能量，供以检测到穿戴者的一眼压数据，让该穿戴显示装置能显示该眼压数据，并提出提醒讯息。

8.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该第一致动器及该第二致动器分别为一微型泵。

9.如权利要求7所述的穿戴显示装置，其特征在于，该组第三致动器为一微型泵。

10.如权利要求8或9所述的穿戴显示装置，其特征在于，该微型泵包含：

一进流板，具有至少一进流孔、至少一汇流排槽及一汇流腔室，其中该进流孔供导入气体，该进流孔对应贯通该汇流排槽，且该汇流排槽汇连通该汇流腔室，使该进流孔所导入气体得以汇流至该汇流腔室中；

一共振片，结合于该进流板上，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进流板的该汇流腔室对应，而该可动部设置于该中空孔周围，且与该汇流腔室相对的区域，而该固定部设置于该共振片的外周缘部分，以贴固于该进流板上；以及

一压电致动器，结合于该共振片上相对应设置；

其中，该共振片与该压电致动器之间具有一腔室空间，该压电致动器受驱动时，导入气体由该进流板的该进流孔进入，经该汇流排槽汇集至该汇流腔室中，通过该共振片的该中空孔，再由该压电致动器与该共振片的该可动部产生共振，以传导气体输出。

11.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该第一致动器及该第二致动器分别为一鼓风型微型泵。

12.如权利要求7所述的穿戴显示装置，其特征在于，该组第三致动器为一鼓风型微型泵。

13.如权利要求11或12所述的穿戴显示装置，其特征在于，该鼓风型微型泵包含：

一喷气孔片，包含一悬浮片及一中空孔洞，该悬浮片可弯曲振动，而该中空孔洞形成于该悬浮片的中心位置；

一腔体框架，承载叠置于该悬浮片上；

一致动体，包含一压电载板、一调整共振板及一压电板，该压电载板承载叠置于该腔体框架上，该调整共振板承载叠置于该压电载板上，以及该压电板承载叠置于该调整共振板上，供以接受电压而驱动该压电载板及该调整共振板产生往复式地弯曲振动；

一绝缘框架，承载叠置于该致动体上；以及

一导电框架，承载叠设置于该绝缘框架上；

其中，该喷气孔片固设支撑定位，促使该喷气孔片外部定义出一空隙及底部定义出一气流腔室，供该气体流通，而该致动体、该腔体框架及该悬浮片之间形成一共振腔室，通过驱动该致动体带动该喷气孔片产生共振，促使该喷气孔片的该悬浮片产生往复式地振动位移，以吸引该气体通过该空隙进入该气流腔室再排出，实现该气体的传输流动。

14.如权利要求1所述的穿戴显示装置，其特征在于，该第一致动器及该第二致动器分别为一微机电微型泵。

15.如权利要求7所述的穿戴显示装置，其特征在于，该组第三致动器为一微机电微型泵。

16.如权利要求14或15所述的穿戴显示装置，其特征在于，该微机电微型泵包含：

一基材，以蚀刻制程制出至少一进气孔；

一氧化层，以沉积制程生成叠加于该基材上，并以蚀刻制程制出多个汇流通道以及一汇流腔室，多个该汇流通道连通该汇流腔室及该基材的该进气孔之间；

一振动层，以沉积制程生成叠加于该氧化层，包含：

一金属层，以沉积制程生成叠加于该氧化层上，并以蚀刻制程制出一穿孔、一振动部及一固定部，其中该穿孔形成位于该金属层的中心，该振动部形成位于该穿孔的周边区域，该固定部形成位于该金属层的周缘区域；

一第二氧化层，以沉积制程生成叠加于该金属层上，并以蚀刻制程制出一氧化层中空孔；

一硅晶片层，以沉积制程生成叠加于该第二氧化层上，并以蚀刻制程制出一致动部、一外周部、多个连接部以及多个流体通道，其中该致动部形成位于中心部分，该外周部形成环绕于该致动部之外围，多个该连接部分别形成连接于该致动部与该外周部之间，而多个该流体通道分别形成连接于该致动部与该外周部之间，以及分别形成位于多个该连接部之间，又该硅晶片层与该第二氧化层的该氧化层中空孔定义一压缩腔室；以及

一压电组件，以沉积制程生成叠加于该硅晶片层的该致动部上，包含有一下电极层、一压电层、一绝缘层及一上电极层，其中该压电层以沉积制程生成叠加于该下电极层上，该绝缘层以沉积制程生成叠加于该压电层的部分表面及该下电极层的部分表面上，而该上电极层以沉积制程生成叠加于该绝缘层及该压电层未设有该绝缘层的其余表面，用以与该压电层电性连接；其中，该压电组件受驱动时，导入该气体由该进气孔进入，经该汇流通道汇集至该汇流腔室中，通过该振动层的该穿孔，再由该压电组件与该振动层的该致动部产生共振，以传导气体输出。

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