CN113815300B - 一种半导体制备用弧面丝网印刷机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制备技术领域，且公开了一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座，所述升降座的下方设置有刮刀，所述刮刀的滑杆段贯穿升降座的下表面，所述升降座的内部活动安装有滑块，所述滑块的一侧与刮刀的滑杆段固定连接，所述升降座腔体的内部活动安装有升降活塞。本发明通过气孔与升降活塞的设置，当升降座带动刮刀上移时，升降活塞受到大弹性件的弹力，进而下移，并将升降座腔体中的气体通过气孔挤出，从气孔排出的气体吹向接触板，进而将接触板表面粘附的浆料吹落，避免浆料凝固在接触板上，使接触板表面产生不规则凸起，进而影响浆料所受挤压力的大小，使浆料在硅片上分布不均匀，降低电路板的质量。

Description

一种半导体制备用弧面丝网印刷机

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，具体为一种半导体制备用弧面丝网印刷机。

背景技术

集成电路板是一种利用半导体制作工艺，将若干元器件组装到单晶硅片上的集合载体，且通过布线的方式使若干元器件组成完整的电子电路，其中由于开关电路接触电流，所以就需要在开关电路上涂抹银浆导电油墨，以增加开关电路的导电性，在上述涂抹导电油墨的作业中通常使用弧面丝网印刷机来完成。

现有的弧面丝网印刷机在工作时，是在丝网一侧倒入浆料，之后丝网移动，刮刀与单晶硅片静止，使得刮刀接触丝网上的浆料，令浆料受到刮刀的挤压，进而穿过丝网上图形部分的网孔，落到单晶硅片上，以实现浆料的涂抹，之后，刮刀上移，回墨刀下移并接触丝网，使得回墨刀在丝网复位过程中，会将丝网上的浆料推回原来的位置，在上述过程中，由于刮刀接触浆料，使得部分浆料会粘附在刮刀表面，并在刮刀上移后，由于粘附的浆料量较少，进而发生凝固，使得刮刀表面产生不规则凸起，从而导致后续刮刀推动浆料时，浆料所受的挤压力不均匀，进而使浆料在硅片上的分布不均匀，最终影响电路板的质量。

发明内容

针对背景技术中提出的现有丝网印刷机在使用过程中存在的不足，本发明提供了一种半导体制备用弧面丝网印刷机，具备避免浆料粘附在刮刀表面、影响电路板的质量的优点，解决了上述背景技术中提出的技术问题。

本发明提供如下技术方案：一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座，所述升降座的下方设置有刮刀，所述刮刀的滑杆段贯穿升降座的下表面，所述升降座的内部活动安装有滑块，所述滑块的一侧与刮刀的滑杆段固定连接，所述升降座腔体的内部活动安装有升降活塞，所述升降座的腔体内活动安装有大弹性件，所述大弹性件的另一端与升降活塞的下表面固定连接，所述升降活塞的活塞杆伸入刮刀滑杆段的内部，所述升降活塞的活塞杆与刮刀滑杆段的内部形成活动连接，所述刮刀的内部开设有气孔，所述气孔的一端与升降座的腔体连通，所述气孔的另一端开设在刮刀内部位于其凸块的位置，所述刮刀的内部开设有容纳槽，所述容纳槽的内部活动安装有接触板，所述刮刀的内部开设有气室，所述气室内充入有气体，所述气室内活动安装有活塞，所述接触板右侧面的中部活动安装有连接杆，所述连接杆的右端穿过刮刀的内部，所述连接杆的右端与活塞的左侧面固定连接，所述刮刀的内部开设有三岔管，所述三岔管分为主管与支管，所述主管的一端与气室连通，所述主管的另一端与升降座的腔体连通，所述主管的另一端上安装有单向阀，所述支管的一端与主管上的文丘里段连通，所述支管的另一端与外界环境连通。

优选的，所述刮刀的内部活动安装有转扇，所述转扇的扇叶伸入气孔中。

优选的，所述转扇的扇叶中固定安装有磁性件，所述磁性件的磁极为交替排列设置，所述刮刀的内部开设有振动腔，所述振动腔的腔体中活动安装有摩擦磁块，所述摩擦磁块与磁性件为交替吸引、排斥。

优选的，所述振动腔的一侧内壁固定安装有导热壁，用以将振动腔中的热量传递出去。

优选的，所述容纳槽内部的右侧面安装有小弹性件，所述容纳槽通过小弹性件与接触板的右侧面连接。

本发明具备以下有益效果：

1、本发明通过气孔与升降活塞的设置，当升降座带动刮刀上移时，升降活塞受到大弹性件的弹力，进而下移，并将升降座腔体中的气体通过气孔挤出，从气孔排出的气体吹向接触板，进而将接触板表面粘附的浆料吹落，避免浆料凝固在接触板上，使接触板表面产生不规则凸起，进而影响浆料所受挤压力的大小，使浆料在硅片上分布不均匀，降低电路板的质量。

2、本发明通过转扇与摩擦磁块的设置，在气体通过气孔时，会带动转扇旋转，进而使磁性件对摩擦磁块产生吸引、排斥，令摩擦磁块不断摩擦、撞击振动腔的内壁，使刮刀产生振动，通过振动，将接触板表面粘附的物料振落，从而进一步避免浆料粘附在接触板上，影响电路板的质量，同时，摩擦磁块不断与振动腔的内壁产生摩擦，进而产生热量，并通过导热壁将热量传递给升降座腔体内与通过气孔的气体，进而使得从气孔吹出的气体具有一定温度，避免常温气体加快接触板表面粘附物料的凝固。

3、本发明通过接触板与小弹性件的设置，在丝网带动浆料接触接触板时，该浆料对接触板的下部分位置施加阻力，使接触板发生偏转，进而将接触板对浆料施加的反向推力的一部分力转变为下压力，进而增大接触板对丝网施加力的接触面积，减小刮刀对丝网的挤压力，同时，在刮刀上移并发生振动时，通过接触板与小弹性件的配合设置，使得小弹性件带动接触板进一步振动，从而提高接触板表面浆料的脱离效果。

附图说明

图1为本发明结构接触板初始状态示意图；

图2为本发明结构接触板偏转状态示意图

图3为本发明结构转扇示意图；

图4为本发明图3中A处结构局部放大示意图；

图5为本发明结构三岔管示意图。

图中：1、升降座；2、刮刀；3、滑块；4、升降活塞；5、大弹性件；6、气孔；7、转扇；8、磁性件；9、振动腔；10、摩擦磁块；11、导热壁；12、容纳槽；13、小弹性件；14、接触板；15、气室；16、活塞；17、连接杆；18、三岔管；19、单向阀。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图3与图5，一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座1，升降座1的下方设置有刮刀2，刮刀2的滑杆段贯穿升降座1的下表面，升降座1内部位于刮刀2滑杆段的一侧活动安装有滑块3，滑块3的上下两侧面均通过弹簧与升降座1的内部连接，滑块3的一侧与刮刀2的滑杆段固定连接，升降座1腔体的内部活动安装有升降活塞4，升降座1的腔体内活动安装有大弹性件5，大弹性件5的另一端与升降活塞4的下表面固定连接，升降活塞4的活塞杆伸入刮刀2滑杆段的内部，升降活塞4的活塞杆与刮刀2滑杆段的内部形成活动连接，刮刀2内部位于其滑杆段的位置开设有气孔6，气孔6的一端与升降座1的腔体连通，气孔6的另一端开设在刮刀2内部位于其凸块的位置，刮刀2的内部开设有容纳槽12，容纳槽12的内部活动安装有接触板14，气孔6另一端的端口的倾斜方向与接触板14的左侧面平行，刮刀2的内部开设有气室15，气室15内充入有气体，气室15内活动安装有活塞16，接触板14右侧面的中部活动安装有连接杆17，连接杆17的右端穿过刮刀2的内部，连接杆17的右端与活塞16的左侧面固定连接，刮刀2的内部开设有三岔管18，三岔管18分为主管与支管，该主管的一端与气室15连通，主管的另一端与升降座1的腔体连通，主管的另一端上安装有单向阀19，该支管的一端与主管上的文丘里段连通，支管的另一端与外界环境连通，当升降座1带动刮刀2下移并接触丝网后，丝网移动，进而带动浆料对接触板14施加阻力，令接触板14通过连接杆17带动活塞16右移，右移的活塞16将气室15中的气体挤入三岔管18的主管中，该气体推动单向阀19打开，进而令气体通过主管进入升降座1的腔体中，同时，由于气体经过三岔管18主管的文丘里段，进而令支管利用文丘里原理抽取外界环境中的气体，并携带这些气体一同进入升降座1的腔体中，之后，进入升降座1腔体中的气体推动升降活塞4上移，并拉伸大弹性件5，利用进入升降座1腔体中的气体对升降活塞4与刮刀2的滑杆段起到固定的作用，避免两者产生晃动，影响刮刀2压料作业的平稳性，之后，当刮刀2完成一次压料作业后，升降座1带动刮刀2上移，令接触板14不受到浆料的阻力，进而停止挤压气室15中的气体，最终，令升降座1腔体内的气体不再增加，然后，大弹性件5释放弹力，进而带动升降活塞4下移，下移的升降活塞4挤压升降座1腔体内的气体，进而推动单向阀19关闭，使得气体从气孔6中排出，排出的气体吹向接触板14，进而将接触板14表面上所粘附的浆料吹落，避免浆料凝固在接触板14上，使其表面产生不规则凸起，进而影响浆料所受挤压力的大小，使浆料在硅片上分布不均匀，降低电路板的质量。

请参阅图4，刮刀2内部位于其滑杆段的位置活动安装有转扇7，转扇7的扇叶伸入气孔6中，当气体经过气孔6时，会推动转扇7的扇叶转动，进而令后续磁性件8对摩擦磁块10可以顺利施加磁力影响，方便后续功能的实现。

请参阅图4，转扇7的扇叶中固定安装有磁性件8，磁性件8的磁极为交替排列设置在转扇7的扇叶上，刮刀2内部位于转扇7左侧的位置开设有振动腔9，振动腔9的腔体中活动安装有摩擦磁块10，摩擦磁块10与磁性件8为交替吸引、排斥，当转扇7的扇叶旋转时，其内部的磁性件8交替吸引、排斥摩擦磁块10，令摩擦磁块10不断摩擦、撞击振动腔9的内壁，进而引起刮刀2产生振动，通过振动，将接触板14上所粘附的物料振落，从而进一步避免浆料粘附在接触板14上，影响电路板的质量。

请参阅图4，振动腔9的一侧内壁固定安装有导热壁11，用以将振动腔9中的热量传递出去，当摩擦磁块10不断摩擦、撞击振动腔9的内壁时，会产生热量，这些热量通过导热壁11传递到升降座1的腔体与气孔6中，进而传递给升降座1腔体内的气体与经过气孔6的气体，令最终从气孔6吹出的气体具有一定的温度，避免气孔6吹出常温气体，从而加快接触板14表面所粘附物料的凝固。

请参阅图1，容纳槽12内部的右侧面安装有小弹性件13，接触板14的右侧面与小弹性件13固定连接，当接触板14受到浆料的阻力时，该阻力推动接触板14的下部分位置，进而使接触板14发生偏转，令接触板14上端位置的小弹性件13伸展，而接触板14下端位置的小弹性件13压缩，进而将接触板14对浆料施加的反向推力的一部分力转变为下压力，进而增大接触板14对丝网施加力的接触面积，减小刮刀2对丝网的挤压力，同时，在刮刀2上移并发生振动时，通过接触板14与小弹性件13的配合设置，使得小弹性件13带动接触板14进一步振动，从而提高接触板14表面浆料的脱离效果。

本发明的使用方法（工作原理）如下：

工作时，首先在丝网的一侧导入油墨浆料，然后，令升降机构带动升降座1下移，令刮刀2接触丝网，令接触板14接触浆料，之后，硅片上移到丝网下方，丝网移动，进而使浆料对接触板14下部分的位置施加阻力，令接触板14偏转，并向右移动，接触板14偏转，使得接触板14上端位置的小弹性件13伸展，而接触板14下端位置的小弹性件13压缩，同时，接触板14右移，进而通过连接杆17带动活塞16挤压气室15中的气体，该气体进入三岔管18的主管，并推动单向阀19打开，令上述气体进入气孔6，并最终进入升降座1的腔体中，同时，由于气体经过三岔管18主管的文丘里段，进而通过支管抽取外界环境中的气体，并携带这些气体一同进入升降座1的腔体中，之后，进入升降座1腔体中的气体推动升降活塞4上移，使得升降活塞4拉伸大弹性件5，之后，由于丝网的继续移动，令浆料受到接触板14施加的反向压力，进而穿过丝网，落到硅片上，完成涂抹作业，当接触板14完成一次压料作业后，升降机构带动升降座1上移，随着升降座1的向上移动，令接触板14不受到浆料的阻力，进而令小弹性件13释放弹力，使得接触板14复位，从而令活塞16复位，在活塞16复位的过程中，气室15产生负压，进而通过该负压吸引单向阀19关闭，之后，通过支管将外界环境中的气体吸入气室15中，同时，大弹性件5释放弹力，使得升降活塞4下移，下移的升降活塞4将升降座1腔体内的气体通过气孔6挤出，令气体推动转扇7转动，使得摩擦磁块10往复摩擦、撞击振动腔9的内壁，进而产生振动，使接触板14表面粘附的物料被振落，另外，摩擦磁块10往复摩擦、撞击振动腔9内壁所产生的热量通过导热壁11传递给经过气孔6的气体，进而提高气体温度，之后，气体从气孔6的另一端排出，排出的气体吹向接触板14，进而将接触板14表面上所粘附的浆料吹落，此为一个工作循环。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座（1），其特征在于：所述升降座（1）的下方设置有刮刀（2），所述刮刀（2）的滑杆段贯穿升降座（1）的下表面，所述升降座（1）的内部活动安装有滑块（3），所述滑块（3）的一侧与刮刀（2）的滑杆段固定连接，所述升降座（1）腔体的内部活动安装有升降活塞（4），所述升降座（1）的腔体内活动安装有大弹性件（5），所述大弹性件（5）的另一端与升降活塞（4）的下表面固定连接，进入升降座（1）腔体中的气体推动升降活塞（4）上移，并拉伸大弹性件（5），所述升降活塞（4）的活塞杆伸入刮刀（2）滑杆段的内部，所述升降活塞（4）的活塞杆与刮刀（2）滑杆段的内部形成活动连接，所述刮刀（2）的内部开设有气孔（6），所述气孔（6）的一端与升降座（1）的腔体连通，所述气孔（6）的另一端开设在刮刀（2）内部位于其凸块的位置，所述刮刀（2）的内部开设有容纳槽（12），所述容纳槽（12）的内部活动安装有接触板（14），气体从气孔（6）中排出，排出的气体吹向接触板（14），进而将接触板（14）表面上所粘附的浆料吹落，所述刮刀（2）的内部开设有气室（15），所述气室（15）内充入有气体，所述气室（15）内活动安装有活塞（16），所述接触板（14）右侧面的中部活动安装有连接杆（17），所述连接杆（17）的右端穿过刮刀（2）的内部，所述连接杆（17）的右端与活塞（16）的左侧面固定连接，所述刮刀（2）的内部开设有三岔管（18），所述三岔管（18）分为主管与支管，所述主管的一端与气室（15）连通，所述主管的另一端与升降座（1）的腔体连通，所述主管的另一端上安装有单向阀（19），所述支管的一端与主管上的文丘里段连通，所述支管的另一端与外界环境连通。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制备用弧面丝网印刷机，其特征在于：所述刮刀（2）的内部活动安装有转扇（7），所述转扇（7）的扇叶伸入气孔（6）中。

3.根据权利要求2所述的一种半导体制备用弧面丝网印刷机，其特征在于：所述转扇（7）的扇叶中固定安装有磁性件（8），所述磁性件（8）的磁极为交替排列设置，所述刮刀（2）的内部开设有振动腔（9），所述振动腔（9）的腔体中活动安装有摩擦磁块（10），所述摩擦磁块（10）与磁性件（8）为交替吸引、排斥。

4.根据权利要求3所述的一种半导体制备用弧面丝网印刷机，其特征在于：所述振动腔（9）的一侧内壁固定安装有导热壁（11），用以将振动腔（9）中的热量传递出去。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制备用弧面丝网印刷机，其特征在于：所述容纳槽（12）内部的右侧面安装有小弹性件（13），所述容纳槽（12）通过小弹性件（13）与接触板（14）的右侧面连接。

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