CN113731727A - 一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及太阳能技术领域,且公开了一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,包括限位机构,所述限位机构包括限位板,限位板的上方套接有第一套杆,通过限位板、第一套杆、第一连接杆、摆杆和滑块的配合使用,使得可以对不同尺寸的圆晶进行夹持限位,并且当尺寸进行变化时,会触动限位板的移动,最终改变出液口打开的范围,从而达到改变胶液出液量的目的,从而增加涂胶时的智能性,减少胶液的浪费,通过出液口、刮板、出液孔、第一齿轮和第二齿轮的配合使用,利用第二齿轮的旋转带动刮板同步旋转,从而使得胶液沿着出液孔均匀进行出液,并且利用刮板的旋转均匀进行胶液的涂抹,改变传统的滴胶方式,使得胶液涂抹的更加的均匀。

Description

一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置
技术领域
本发明涉及太阳能技术领域,具体为一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置。
背景技术
太阳能电池板是通过吸收太阳光,将太阳辐射能通过光电效应或者光化学效应直接或间接转换成电能的装置,其中在进行电池板的制作时,通常会在太阳能电池板半导体晶圆表面上制造集成电路,其中在进行集成电路芯片制作光刻操作时,通常需要将光刻胶涂覆在晶圆的表面。
现有的集成电路芯片制作光刻加工处理系统在将光刻胶涂覆到晶圆的过程中,多数都是采用滴胶的方式进行上胶,但是滴胶后胶液流淌不均,从而导致圆晶上胶不均匀,会对后续芯片制作质量造成负面影响,并且通过该方式进行上胶时,难以控制胶水的低落量,容易造成胶水的浪费,不符合节能环保的价值观。
针对现有技术的不足,本发明提供了一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,具备改变上胶量和上胶均匀的优点,解决了现有的圆晶上胶时胶液量无法改变和上胶不均匀的问题,保证了使用该装置进行上胶时,旋转均匀涂抹,上胶更加均匀,并且可根据圆晶尺寸调整上胶量,减少胶液的浪费,增加该装置使用时的智能性。
发明内容
为实现上述改变上胶量和上胶均匀的目的,本发明提供如下技术方案:一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,包括限位机构,所述限位机构包括限位板,限位板的上方套接有第一套杆,第一套杆的表面旋转连接有第一连接杆,第一连接杆远离第一套杆的一侧旋转连接有摆杆,摆杆远离第一连接杆的一端旋转连接有第二连接杆,第二连接杆远离摆杆的一端套接有第二套杆,第二套杆的上方卡接有滑块。
还包括控量机构,滑块的左端焊接有推板,推板远离滑块的一端卡接有挡板,挡板的上方固定连接有储液箱,储液箱的内部开设有出液口,出液口的外表面套接有刮板,刮板的内部开设有出液孔。
作为优选,所述刮板的外表面套接有第一齿轮,第一齿轮的左侧旋转连接有第二齿轮,限位机构的下方固定连接有支撑板,支撑板的上方焊接有固定座。
作为优选,所述限位板设置有两个,两个限位板的规格一致,且以支撑板的中心线为参照呈对称分布,同时限位板的表面开设有斜槽,且该限位板与固定座之间设置有弹簧。
作为优选,所述摆杆的背面设置有固定支点,同时滑块的外侧开设有滑槽,且该滑槽的尺寸与滑块的尺寸相互适配。
作为优选,所述刮板的下方设置有海绵,同时出液孔设置的个数不少于十个,每个出液孔的规格一致,均匀分布在刮板的内部。
作为优选,所述挡板的尺寸与出液口的尺寸相互适配,同时在刮板的内部开设有通道。
作为优选,所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合,同时刮板设置为倒L形,且该第一齿轮与刮板的旋转点同心设置。
与现有技术相比,本发明提供了一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,具备以下有益效果:
1、该太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,通过限位板、第一套杆、第一连接杆、摆杆和滑块的配合使用,使得可以对不同尺寸的圆晶进行夹持限位,并且当尺寸进行变化时,会触动限位板的移动,最终改变出液口打开的范围,从而达到改变胶液出液量的目的,从而增加涂胶时的智能性,减少胶液的浪费。
2、该太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,通过出液口、刮板、出液孔、第一齿轮和第二齿轮的配合使用,利用第二齿轮的旋转带动刮板同步旋转,从而使得胶液沿着出液孔均匀进行出液,并且利用刮板的旋转均匀进行胶液的涂抹,改变传统的滴胶方式,使得胶液涂抹的更加的均匀。
附图说明
图1为本发明连接结构剖视图;
图2为本发明限位机构连接结构剖视图;
图3为本发明限位板和支撑板连接结构示意图;
图4为本发明第一齿轮、第二齿轮和刮板连接结构俯视图。
图中:1、支撑板;2、固定座;3、限位机构;31、限位板;32、第一套杆;33、第一连接杆;34、摆杆;35、第二连接杆;36、第二套杆;37、滑块;4、控量机构;41、推板;42、挡板;43、储液箱;44、出液口;45、刮板;46、出液孔;5、第一齿轮;6、第二齿轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一
请参阅图1-2,一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,包括限位机构3,限位机构3包括限位板31,限位板31设置有两个,两个限位板31的规格一致,且以支撑板1的中心线为参照呈对称分布,同时限位板31的表面开设有斜槽,且该限位板31与固定座2之间设置有弹簧,利用两个限位板31对进行加工的圆晶自动进行夹持限位,保证圆晶加工时的稳定性,同时利用限位板31可以对不同半径的圆晶同步进行限位,提高该装置使用时的智能性,利用限位板31的运动带动第一套杆32同步进行运动,限位板31的上方套接有第一套杆32,第一套杆32的表面旋转连接有第一连接杆33,第一连接杆33远离第一套杆32的一侧旋转连接有摆杆34,摆杆34的背面设置有固定支点,同时滑块37的外侧开设有滑槽,且该滑槽的尺寸与滑块37的尺寸相互适配,使得摆杆34沿着固定支点进行摆动,最终联动滑块37沿着滑槽进行移动,保证滑块37移动时的稳定性,使得移动更加的顺畅,摆杆34远离第一连接杆33的一端旋转连接有第二连接杆35,第二连接杆35远离摆杆34的一端套接有第二套杆36,第二套杆36的上方卡接有滑块37。
刮板45的外表面套接有第一齿轮5,第一齿轮5与第二齿轮6相互啮合,同时刮板45设置为倒L形,且该第一齿轮5与刮板45的旋转点同心设置,两个第一齿轮5同步进行旋转,从而带动刮板45进行旋转,从而将圆晶表面自动进行涂刷胶水,改变传统的滴胶的方式进行上胶,使得涂胶更加的均匀,第一齿轮5的左侧旋转连接有第二齿轮6,限位机构3的下方固定连接有支撑板1,支撑板1的上方焊接有固定座2。
实施例二
请参阅图1,一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,还包括控量机构4,滑块37的左端焊接有推板41,推板41远离滑块37的一端卡接有挡板42,挡板42的尺寸与出液口44的尺寸相互适配,同时在刮板45的内部开设有通道,利用挡板42的移动改变出液口44的打开大小,从而改变涂胶时的出胶量,提高该装置涂胶时的智能性,减少胶液的浪费,挡板42的上方固定连接有储液箱43,储液箱43的内部开设有出液口44,出液口44的外表面套接有刮板45,刮板45的下方设置有海绵,同时出液孔46设置的个数不少于十个,每个出液孔46的规格一致,均匀分布在刮板45的内部,使得多余的胶液吸附在海绵内部,避免胶液滴露造成浪费,同时利用出液孔46使得出液更加的均匀,刮板45的内部开设有出液孔46,利用出液孔46均匀进行出胶。
刮板45的外表面套接有第一齿轮5,第一齿轮5与第二齿轮6相互啮合,同时刮板45设置为倒L形,且该第一齿轮5与刮板45的旋转点同心设置,两个第一齿轮5同步进行旋转,从而带动刮板45进行旋转,从而将圆晶表面自动进行涂刷胶水,改变传统的滴胶的方式进行上胶,使得涂胶更加的均匀,第一齿轮5的左侧旋转连接有第二齿轮6,限位机构3的下方固定连接有支撑板1,支撑板1的上方焊接有固定座2。
实施例三
请参阅图1-4,一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,包括限位机构3,限位机构3包括限位板31,限位板31设置有两个,两个限位板31的规格一致,且以支撑板1的中心线为参照呈对称分布,同时限位板31的表面开设有斜槽,且该限位板31与固定座2之间设置有弹簧,利用两个限位板31对进行加工的圆晶自动进行夹持限位,保证圆晶加工时的稳定性,同时利用限位板31可以对不同半径的圆晶同步进行限位,提高该装置使用时的智能性,利用限位板31的运动带动第一套杆32同步进行运动,限位板31的上方套接有第一套杆32,第一套杆32的表面旋转连接有第一连接杆33,第一连接杆33远离第一套杆32的一侧旋转连接有摆杆34,摆杆34的背面设置有固定支点,同时滑块37的外侧开设有滑槽,且该滑槽的尺寸与滑块37的尺寸相互适配,使得摆杆34沿着固定支点进行摆动,最终联动滑块37沿着滑槽进行移动,保证滑块37移动时的稳定性,使得移动更加的顺畅,摆杆34远离第一连接杆33的一端旋转连接有第二连接杆35,第二连接杆35远离摆杆34的一端套接有第二套杆36,第二套杆36的上方卡接有滑块37。
还包括控量机构4,滑块37的左端焊接有推板41,推板41远离滑块37的一端卡接有挡板42,挡板42的尺寸与出液口44的尺寸相互适配,同时在刮板45的内部开设有通道,利用挡板42的移动改变出液口44的打开大小,从而改变涂胶时的出胶量,提高该装置涂胶时的智能性,减少胶液的浪费,挡板42的上方固定连接有储液箱43,储液箱43的内部开设有出液口44,出液口44的外表面套接有刮板45,刮板45的下方设置有海绵,同时出液孔46设置的个数不少于十个,每个出液孔46的规格一致,均匀分布在刮板45的内部,使得多余的胶液吸附在海绵内部,避免胶液滴露造成浪费,同时利用出液孔46使得出液更加的均匀,刮板45的内部开设有出液孔46,利用出液孔46均匀进行出胶。
刮板45的外表面套接有第一齿轮5,第一齿轮5与第二齿轮6相互啮合,同时刮板45设置为倒L形,且该第一齿轮5与刮板45的旋转点同心设置,两个第一齿轮5同步进行旋转,从而带动刮板45进行旋转,从而将圆晶表面自动进行涂刷胶水,改变传统的滴胶的方式进行上胶,使得涂胶更加的均匀,第一齿轮5的左侧旋转连接有第二齿轮6,限位机构3的下方固定连接有支撑板1,支撑板1的上方焊接有固定座2。
该装置的工作过程及原理如下:当需要使用该装置时,将需要进行加工的圆晶沿着限位板31放入放置在支撑板1的上方,该圆晶与限位板31表面设置的斜面接触,从而推动限位板31同步往两侧进行移动,当右侧的限位板31往右侧移动时,带动限位板31上方设置的第一套杆32同步往右侧移动,从而利用第一连接杆33带动摆杆34进行摆动,最终利用摆杆34和第二连接杆35拉动第二套杆36往左侧进行移动,从而带动第二套杆36上方设置的滑块37往左侧同步进行移动,原始状态时,挡板42设置在出液口44的正上方,出液口44处于打开状态,当滑块37往左侧移动时,利用推板41推动挡板42同步往左侧进行移动,从而使得储液箱43内部的胶液沿着出液口44进行转移,并且当圆晶的尺寸越大时,限位板31移动的距离越长,同理,会导致挡板42推动的距离越长,从而使得出液口44打开的范围变大,达到根据尺寸自动改变出胶量的目的,更加的智能。
于此同时,当胶液沿着出液口44流动时,会流动到刮板45内部设置的通道,最终沿着出液孔46出液,通过将电机的输出轴与第二齿轮6活动连接,带动第二齿轮6进行旋转,第二齿轮6与第一齿轮5相互啮合,故利用第一齿轮5带动刮板45同步进行旋转,从而将胶液沿着出液孔46均匀涂抹在圆晶的表面,使得胶液涂抹更加的均匀。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:包括限位机构(3),所述限位机构(3)包括限位板(31),限位板(31)的上方套接有第一套杆(32),第一套杆(32)的表面旋转连接有第一连接杆(33),第一连接杆(33)远离第一套杆(32)的一侧旋转连接有摆杆(34),摆杆(34)远离第一连接杆(33)的一端旋转连接有第二连接杆(35),第二连接杆(35)远离摆杆(34)的一端套接有第二套杆(36),第二套杆(36)的上方卡接有滑块(37)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:还包括控量机构(4),滑块(37)的左端焊接有推板(41),推板(41)远离滑块(37)的一端卡接有挡板(42),挡板(42)的上方固定连接有储液箱(43),储液箱(43)的内部开设有出液口(44),出液口(44)的外表面套接有刮板(45),刮板(45)的内部开设有出液孔(46)。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:所述刮板(45)的外表面套接有第一齿轮(5),第一齿轮(5)的左侧旋转连接有第二齿轮(6),限位机构(3)的下方固定连接有支撑板(1),支撑板(1)的上方焊接有固定座(2)。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:所述限位板(31)设置有两个,两个限位板(31)的规格一致,且以支撑板(1)的中心线为参照呈对称分布,同时限位板(31)的表面开设有斜槽,且该限位板(31)与固定座(2)之间设置有弹簧。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:所述摆杆(34)的背面设置有固定支点,同时滑块(37)的外侧开设有滑槽,且该滑槽的尺寸与滑块(37)的尺寸相互适配。
6.根据权利要求2所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:所述刮板(45)的下方设置有海绵,同时出液孔(46)设置的个数不少于十个,每个出液孔(46)的规格一致,均匀分布在刮板(45)的内部。
7.根据权利要求2所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:所述挡板(42)的尺寸与出液口(44)的尺寸相互适配,同时在刮板(45)的内部开设有通道。
8.根据权利要求3所述的一种太阳能电池板内集成电路芯片用光刻胶均匀涂覆装置,其特征在于:所述第一齿轮(5)与第二齿轮(6)相互啮合,同时刮板(45)设置为倒L形,且该第一齿轮(5)与刮板(45)的旋转点同心设置。
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