CN113725122A - 固晶机及固晶机摆臂 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种固晶机及固晶机摆臂，包括用于连接固晶机本体的安装座、通过弹性连接结构可活动地连接在安装座上的摆臂本体，固晶机摆臂还包括电控施力装置，电控施力装置用于对摆臂本体施力以使摆臂本体的第一端沿第一方向运动。相比于传统的固晶机摆臂，本申请的固晶机摆臂不需人工手动调节摆臂本体上的作用力，使调节摆臂本体对固晶晶片压力的操作更加简单，控制更加方便。在固晶机摆臂转运固晶晶片时，还可控制电控施力装置增大对摆臂本体的作用力，提高摆臂本体与安装座的连接刚性，减小固晶机摆臂的振动，避免固晶晶片掉落，从而提高固晶机摆臂的工作稳定性。由于该固晶机具有本申请的固晶机摆臂，因此，也具有本申请的固晶机摆臂的优点。

Description

固晶机及固晶机摆臂

技术领域

本申请属于固晶设备技术领域，更具体地说，是涉及固晶机及固晶机摆臂。

背景技术

固晶机是晶片生产的重要设备，传统固晶机是由顶针组件将蓝膜上的芯片顶出后，再由固晶机摆臂的吸嘴将晶片吸取并移送至固晶位进行固晶。然而，现有的固晶机摆臂是通过人工调节固晶机摆臂上的压力弹簧来调节固晶机摆臂吸取固晶时对晶片的压力。摆臂对晶片的压力不能自动切换，需要停机后进行人工调节，因此，十分影响固晶机的工作效率。

由于固晶机摆臂工作时，需做高频高加速的往复摆动，对固晶机及固晶机摆臂的刚性要求较高。现有的固晶机摆臂，由于压力弹簧对固晶机摆臂的压力有限，使固晶机摆臂在工作时容易产生振动或摆动，直接影响整机的晶片生产精度和质量。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种固晶机及固晶机摆臂，以解决现有技术中存在的固晶机摆臂压力调节困难、稳定性差的技术问题。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种固晶机摆臂，包括用于连接固晶机本体的安装座、通过弹性连接结构可活动地连接在所述安装座上的摆臂本体，还包括电控施力装置，所述电控施力装置用于对所述摆臂本体施力以使所述摆臂本体的第一端沿第一方向运动。

作为上述技术方案的进一步改进：

可选的，所述电控施力装置对应所述摆臂本体的第二端布置，所述弹性连接结构位于所述摆臂本体的第一端和第二端之间，所述电控施力装置用于对所述摆臂本体施力以使所述摆臂本体的第二端沿与第一方向相反的第二方向运动。

可选的，所述电控施力装置包括电磁铁。

可选的，所述电磁铁位于所述摆臂本体的上方。

可选的，所述摆臂本体上还设有与所述电磁铁对应的磁性件。

可选的，所述弹性连接结构包括弹性片，所述弹性片一端连接于所述安装座，另一端连接于所述摆臂本体。

可选的，所述摆臂本体的第一端用于安装固晶吸嘴，所述摆臂本体的第二端插装于所述安装座内。

可选的，所述固晶机摆臂还包括旋钮装置，所述旋钮装置包括连接在所述摆臂本体第二端的连杆、转动连接在所述连杆上的旋钮、设置在所述旋钮与所述安装座之间的弹性件。

可选的，所述安装座正对所述摆臂本体一侧的端面与所述摆臂本体对应的端面互呈夹角。

一种固晶机，包括固晶机本体和上述的固晶机摆臂。

本申请提供的固晶机及固晶机摆臂的有益效果在于：本申请提供的固晶机及固晶机摆臂，通过控制电控施力装置的电信号，控制电控施力装置施加于摆臂本体上的作用力，使摆臂本体增大或减小对固晶晶片的压力。第一方向即摆臂本体对固晶晶片压力的方向。相比于传统的固晶机摆臂，本申请的固晶机摆臂不需人工手动调节摆臂本体上的作用力，使调节摆臂本体对固晶晶片压力的操作更加简单，控制更加方便。在固晶机摆臂转运固晶晶片时，还可控制电控施力装置增大对摆臂本体的作用力，提高摆臂本体与安装座的连接刚性，减小固晶机摆臂的振动，避免固晶晶片掉落，从而提高固晶机摆臂的工作稳定性。由于该固晶机具有本申请的固晶机摆臂，因此，也具有本申请的固晶机摆臂的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请提供的固晶机摆臂的立体结构示意图；

图2为本申请提供的固晶机摆臂的剖视结构示意图；

图3为本申请提供的固晶机摆臂的拆分结构示意图一；

图4为本申请提供的固晶机摆臂的拆分结构示意图二。

其中，图中各附图标记：

1、安装座；2、弹性连接结构；21、弹性片；22、压板；3、摆臂本体；4、电控施力装置；5、磁性件；6、旋钮装置；61、连杆；62、旋钮；63、弹性件。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

如图1所示，本实施例的固晶机摆臂，包括用于连接固晶机本体的安装座1、通过弹性连接结构2可活动地连接在安装座1上的摆臂本体3，固晶机摆臂还包括电控施力装置4，电控施力装置4用于对摆臂本体3施力以使摆臂本体3的第一端沿第一方向运动。摆臂本体3的第一端可以用于安装固晶吸嘴，固晶吸嘴用于吸取固晶晶片。

摆臂本体3的第一端指的是接近固晶晶片的一端。通过控制电控施力装置4的电信号，控制电控施力装置4施加于摆臂本体3上的作用力，使摆臂本体3增大或减小对固晶晶片的压力。第一方向即摆臂本体3对固晶晶片压力的方向。相比于传统的固晶机摆臂，本申请的固晶机摆臂不需人工手动调节摆臂本体3上的作用力，使调节摆臂本体3对固晶晶片压力的操作更加简单，控制更加方便。在固晶机摆臂转运固晶晶片时，还可调节电控施力装置4增大对摆臂本体3的作用力，提高摆臂本体3与安装座1的连接刚性，减小固晶机摆臂的振动，避免固晶晶片掉落，从而提高固晶机摆臂的工作稳定性。

如图2所示，本实施例中，电控施力装置4对应摆臂本体3的第二端布置，弹性连接结构2位于摆臂本体3和安装座1之间，也即摆臂本体3的第一端和第二端之间，电控施力装置4用于对摆臂本体3施力以使摆臂本体3的第二端沿与第一方向相反的第二方向运动，具体的，如果第一方向向下，则第二方向向上，且通常需要(但不限于)第一方向向下，以使摆臂本体3向下压靠在固晶晶片上。摆臂本体3的第二端即远离固晶晶片的一端。弹性连接结构2位于摆臂本体3和安装座1之间，也即摆臂本体3的第一端和第二端之间，使摆臂本体3能够相对安装座1翘动，以使摆臂本体3拾取固晶晶片时产生缓冲。电控施力装置4作用于摆臂本体3的第二端沿第二方向(向上)的作用力时，摆臂本体3的第一端能够产生沿第一方向(向下)的压靠在固晶晶片上的压力。其他实施例中，电控施力装置4和摆臂本体3的第一端也可设于弹性连接结构2的同侧，电控施力装置4产生沿第二方向(向下)的作用力时，摆臂本体3的第一端也产生沿第一方向(向下)的压靠在固晶晶片上的压力。

如图3所示，本实施例中，电控施力装置4包括电磁铁。通过电磁铁通电产生磁力，从而磁吸摆臂本体3的第二端，使摆臂本体3的第二端向电磁铁运动。通过控制电磁铁电流的大小，调节电磁铁的磁力大小，以此调节电磁铁对摆臂本体3的第二端磁吸力的大小。即增大电流时，电磁铁磁力增加，作用于摆臂本体3的第二端的磁吸力增加，摆臂本体3的第一端压在固晶晶片上的压力增加；减小电流时，电磁铁磁力减小，作用于摆臂本体3的第二端的磁吸力减小，摆臂本体3的第一端压在固晶晶片上的压力减小。该电控施力装置4可由控制电流大小实现控制施加于固晶晶片上压力的大小，不需人工手动调节，操作简单方便。其他实施例中，电控施力装置4还可为微型液压/气压缸、伺服丝杆装置等。

如图2所示，本实施例中，电磁铁位于摆臂本体3的上方。启动电磁铁后，电磁铁对摆臂本体3的第二端产生向上的磁吸力，由于弹性连接结构2将摆臂本体3连接在安装座1上，从而使摆臂本体3的第一端产生向下抵压在固晶晶片上的压力。

如图3和图4所示，本实施例中，摆臂本体3上还设有与电磁铁对应的磁性件5。通过磁性件5与电磁铁的磁吸效应，将电磁铁产生的磁吸力传递到摆臂本体3的第二端。磁性件5可以为非永磁体(例如铁板)，不仅能与电磁铁互相磁吸，还能作为摆臂本体3第二端的配重，平衡摆臂本体3的第一端和第二端的重量。磁性件5还可以为永磁体(例如钕铁硼)，通过改变电磁铁的电流方向，改变电磁铁的磁极，从而产生对磁性件5的磁吸力或磁斥力，以此，改变作用在摆臂本体3上的力的方向。

如图3和图4所示，本实施例中，弹性连接结构2包括弹性片21，弹性片21一端连接于安装座1，另一端连接于摆臂本体3。通过弹性片21连接安装座1和摆臂本体3，使安装座1和摆臂本体3形成弹性连接，即摆臂本体3连接在安装座1上，还能相对于安装座1摆动或移动，对摆臂本体3的第一端接触固晶晶片时形成缓冲，避免与固晶晶片刚性接触而压坏晶片。弹性片21与安装座1和摆臂本体3的连接处还设有压板22，压板22压合在弹性片21上，使弹性片21贴合于安装座1和摆臂本体3上。

如图1和图2所示，本实施例中，摆臂本体3的第二端插装于安装座1内。安装座1设有插装摆臂本体3的插槽，并且摆臂本体3的第二端能在插槽内摆动。摆臂本体3上还设有多个通孔，以保持摆臂本体3结构强度不变的前提下，减轻摆臂本体3的重量，从而减低摆臂本体3工作时的惯性。

如图2所示，本实施例中，固晶机摆臂还包括旋钮装置6，旋钮装置6包括连接在摆臂本体3第二端的连杆61、转动连接在连杆61上的旋钮62、设置在旋钮62与安装座1之间的弹性件63。使用时，旋紧旋钮62，旋钮62压缩弹性件63；弹性件63作用于旋钮62上的反作用力增大，并迫使旋钮62沿压缩弹性件63相反的方向移动。旋钮62通过连杆61，将反作用力传递到摆臂本体3上，使摆臂本体3接触固晶晶片时的压力增加。旋松旋钮62时，弹性件63伸展；弹性件63作用于旋钮62上的反作用力减小，旋钮62通过连杆61，传递给摆臂本体3的反作用力减小，摆臂本体3接触固晶晶片时的压力减小。旋钮装置6可以辅助电控施力装置4，为摆臂本体3提供压力。其中，弹性件63为弹簧、弹片或弹性套管。

如图1和图2所示，本实施例中，安装座1正对摆臂本体3一侧的端面与摆臂本体3对应的端面互呈夹角。该夹角可以使安装座1与摆臂本体3相对的端面之间形成避让空间，便于摆臂本体3的摆动，防止摆臂本体3摆动时，安装座1的端面对摆臂本体3的端面产生干涉。而且还有利于减小安装座1与摆臂本体3相对的端面间的距离，使结构更加紧凑。

本申请还公开了一种固晶机，包括固晶机本体和上述实施例的固晶机摆臂。固晶机摆臂安装于固晶机本体的主轴上，由主轴带动固晶机摆臂动作。由于该固晶机具有上述实施例的固晶机摆臂，因此，也具有上述实施例的固晶机摆臂的优点。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种固晶机摆臂，包括用于连接固晶机本体的安装座(1)、通过弹性连接结构(2)可活动地连接在所述安装座(1)上的摆臂本体(3)，其特征在于，还包括电控施力装置(4)，所述电控施力装置(4)用于对所述摆臂本体(3)施力以使所述摆臂本体(3)的第一端沿第一方向运动。

2.如权利要求1所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述电控施力装置(4)对应所述摆臂本体(3)的第二端布置，所述弹性连接结构(2)位于所述摆臂本体(3)的第一端和第二端之间，所述电控施力装置(4)用于对所述摆臂本体(3)施力以使所述摆臂本体(3)的第二端沿与第一方向相反的第二方向运动。

3.如权利要求2所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述电控施力装置(4)包括电磁铁。

4.如权利要求3所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述电磁铁位于所述摆臂本体(3)的上方。

5.如权利要求4所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述摆臂本体(3)上还设有与所述电磁铁对应的磁性件(5)。

6.如权利要求1至5中任一项所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述弹性连接结构(2)包括弹性片(21)，所述弹性片(21)一端连接于所述安装座(1)，另一端连接于所述摆臂本体(3)。

7.如权利要求2至5中任一项所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述摆臂本体(3)的第二端插装于所述安装座(1)内。

8.如权利要求2至5中任一项所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述固晶机摆臂还包括旋钮装置(6)，所述旋钮装置(6)包括连接在所述摆臂本体(3)第二端的连杆(61)、转动连接在所述连杆(61)上的旋钮(62)、设置在所述旋钮(62)与所述安装座(1)之间的弹性件(63)。

9.如权利要求1至5中任一项所述的固晶机摆臂，其特征在于，所述安装座(1)正对所述摆臂本体(3)一侧的端面与所述摆臂本体(3)对应的端面互呈夹角。

10.一种固晶机，其特征在于，包括固晶机本体和如权利要求1至9中任一项所述的固晶机摆臂。

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