CN113720856A - 一种检测设备及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种检测设备及其检测方法，其包包括机体，所述机体内设置有相互连通的前腔室和后腔室，所述前腔室设置有若干条纵向滑轨，若干条所述纵向滑轨横向分布，且所述纵向滑轨均纵向延伸至后腔室内；所述纵向滑轨滑动连接有用于放置工件的移动台，所述纵向滑轨设置有纵向驱动件，所述纵向驱动件驱使移动台沿纵向滑轨长度方向往复移动；所述后腔室内设置有机架以及用于检测工件的相机组件，所述机架横跨于若干纵向滑轨上方，所述相机组件在机架上横向滑移，所述机架设置有驱使相机组件升降的竖向驱动件。本发明具有提高操作员工作效率的效果。

Description

一种检测设备及其检测方法

技术领域

本发明涉及半导体的技术领域，尤其是涉及一种检测设备及其检测方法。

背景技术

随着科技的不断进步，半导体元件的精密化程度越来越高，同时，半导体元件的质量良率要求也随之不断提高，目前的检测设备应用范围不广，为了便于工人取放工件，检测设备的进料口即为出料口，在检测过程中，操作员将工件送入机体，经过检测后，机体再将工件送出，前一个工件检测完毕后，才能放入下一件工件进行检测。

综上所述，由于工人装料、卸料以及工件检测均需要花时间，工人空等的时间长，从而影响到操作员的工作效率，因此仍有提升空间。

发明内容

为了提高操作员的工作效率，本发明提供一种检测设备及其检测方法。

本发明提供的一种检测设备及其检测方法采用如下的技术方案：

一种检测设备，包括机体，所述机体内设置有相互连通的前腔室和后腔室，所述前腔室设置有三条纵向滑轨，三条所述纵向滑轨横向分布，且所述纵向滑轨均纵向延伸至后腔室内；所述纵向滑轨滑动连接有用于放置工件的移动台，所述纵向滑轨设置有纵向驱动件，所述纵向驱动件驱使移动台沿纵向滑轨长度方向往复移动；所述后腔室内设置有机架以及用于检测工件的相机组件，所述机架横跨于若干纵向滑轨上方，所述相机组件在机架上横向滑移，所述机架设置有驱使相机组件升降的竖向驱动件。

通过增设纵向滑轨数量，使得相机组件在对其中一条纵向滑轨上的工件进行检查时，其他纵向滑轨可以进行送料步骤，无需等待工件返回，从而缩短了操作员空等时间，相机组件在横向驱动件的驱动下在机架上稳定移动，以便拍照检测不同纵向滑轨上的工件，有利于降低人工成本，提高操作人员的工作效率。

优选的，所述相机组件外侧设置有标记机构，标记机构用于标记不良的工件，所述标记机构下端凸出于相机组件下端。

通过增加标记机构，以及时对不良的工件进行标记，便于操作员分拣出不良的工件，有利于提高操作员的工作效率；同时，将标记机构安装在相机组件外侧，使得标记机构和相机组件共用一个竖向驱动件，有利于减少制造成本。

优选的，所述机架滑动连接有滑动座，所述横向组件驱使所述滑动座横向滑移；所述相机组件设置有连接板，所述连接板竖向滑动卡接于滑动座。

通过采用上述技术方案，有利于相机组件的竖向稳定移动。

优选的，所述纵向滑轨远离后腔室的一端设置有撑起机构，所述撑起机构倾斜设置，所述撑起机构的倾斜下端与纵向滑轨衔接，所述撑起机构的倾斜上端往远离后腔室方向向上延伸；所述移动台朝向撑起机构的一端设有缺口，当所述移动台朝撑起机构方向移动，且撑起机构嵌入缺口内时，所述撑起机构在撑起机构的导向作用下向上摆动。

由于前腔室具有一定深度，通过在纵向滑轨用于取放工件的端部设置撑起机构，并使撑起机构倾斜衔接于纵向滑轨，从而便于操作员取放工件，同时在撑起机构的支撑以及导向作用下，工件可在进料时稳定下摆至水平状态，同时也可在退料时稳定上摆，从而便于工件的运输和检测。

优选的，所述撑起机构包括两块相互正对且横向分布的安装板、两根传动辊以及套设在两根传动辊之间的皮带，两根所述传动辊均水平转动连接于两块安装板之间，所述皮带倾斜设置，所述皮带的倾斜下端与纵向滑轨衔接，所述皮带的倾斜上端往远离后腔室方向向上延伸。

通过采用上述技术方案，当移动台朝撑起机构方向移动，且撑起机构嵌入缺口内时，工件朝向撑起机构的一端与皮带下端接触，并在皮带的导向作用下往上摆动，同时工件带动皮带转动，有利于减少工件的摩擦，同时实现将工件撑起的目的，且皮带的缓冲特性，有利于减少对工件的损坏。

优选的，所述抵紧辊抵紧于皮带内侧，所述皮带分成陡峭部和平缓部，所述陡峭部位于下方且陡峭部的下端与纵向滑轨衔接。

通过采用上述技术方案，在放料时，可将工件下表面贴合于皮带的平缓部，从而增大皮带与工件的接触面积，有利于提高工件的稳定性。

优选的，所述移动台上端面的边缘设有定位条，所述定位条用于与工件端部卡接。

通过采用上述技术方案，工件起到定位作用，有利于减少移动过程中工件移位的情况。

优选的，所述相机组件外侧设置有取料机构，取料机构用于抓取不良的工件，所述取料机构下端凸出于相机组件下端。

通过采用上述技术方案，从而对不良工件进行及时抓取，并集中释放在其中一组纵向滑轨上的移动台上，该移动台所在区域作为不良品区域，专门用于分拣不良品，有利于对工件进行高效归类。

一种检测设备的检测方法，包括以下步骤：

S1：第一区域进料以及第一区域的检测和标记：首先，将前腔室划分出三个区域，从左至右依次为第一区域、第二区域和第三区域，三个区域内分别设置一条纵向滑轨，然后将一块工件放置在第一区域内的移动台上，纵向驱动件驱使移动台纵向移动，移动台将工件运载至后腔室，横向驱动件驱动相机组件横向移动，直至将相机组件移动至待检测工件正上方，竖向驱动件驱使相机组件竖向移动，直至相机组件移动至适合的拍照检测位置，相机组件对工件进行拍照检测，当相机组件在第一区域检测出不良工件后，竖向驱动件驱使相机组件竖向移动，直至标记结构与不良工件接触并标记；

S2：第二区域进料、检测和标记以及第一区域退料：在第一区域的拍照检测以及不良品打标过程中，同时将待检测工件放置第二区域内的移动台上，第二区域的纵向驱动件驱使第二区域的移动台移动至后腔室，第二区域的工件等待检测；在第一区域的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件驱使相机组件从第一区域横移至第二区域内工件的正上方，然后相机组件和标记组件在第二区域内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件驱使第一区域的移动台退出后腔室；

S3：第三区域进料、检测和标记以及第二区域退料：在第二区域的拍照检测以及不良品打标过程中，同时将待检测工件放置第三区域内的移动台上，第三区域的纵向驱动件驱使第三区域的移动台移动至后腔室，第三区域的工件等待检测；在第二区域的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件驱使相机组件从第二区域横移至第三区域内工件的正上方，然后相机组件和标记组件在第三区域内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件驱使第二区域的移动台退出后腔室。

S4：第一区域进料、检测和标记以及第三区域退料：在第三区域的拍照检测以及不良品打标过程中，同时将检测完毕后的工件取出，并将待检测工件放置第一区域内的移动台上，第一区域的纵向驱动件驱使第一区域的移动台移动至后腔室，第一区域的工件等待检测；在第三区域的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件驱使相机组件从第三区域横移至第一区域内工件的正上方，然后相机组件和标记组件在第一区域内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件驱使第三区域的移动台退出后腔室；

S5：重复S2至S4直至所有待检测工件完成检测和标记工作。

附图说明

图1是本申请一种检测设备中实施例1的整体结构示意图。

图2是本申请一种检测设备中实施例1隐去保护板和防护门后的结构示意图。

图3是图2中A处的放大示意图。

图4是本申请一种检测设备中实施例2中的纵向滑轨与撑起机构的结构示意图。

图5是本申请一种检测设备中实施例2中撑起机构的结构示意图。

附图标记说明：1、机体；11、前腔室；111、第一区域；112、第二区域；113、第三区域；12、后腔室；13、防护门；14、保护板；2、纵向滑轨；21、移动台；211、定位条；212、缺口；22、纵向驱动件；3、工件；4、机架；41、立柱；42、横向滑轨；43、横向驱动件；44、滑动座；5、竖向驱动件；6、相机组件；61、机座；62、摄像头；63、连接板；7、标记机构；8、撑起机构；81、安装板；82、皮带；83、抵紧辊；84、传动辊；9、平缓部；10、陡峭部。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本发明作进一步详细说明。

本发明的实施例1公开一种检测设备及其检测方法。参照图1和图2，一种检测设备包括机体1，机体1内设有相互连通的前腔室11和后腔室12，前腔室11用于工件3取放，后腔室12用于工件3检测。

参照图2和图3，前腔室11的内底壁安装固定有三条纵向滑轨2，三条纵向滑轨2均纵向延伸至后腔室12内。三条纵向滑轨2横向分布，纵向滑轨2可根据实际需要进行增加。各纵向滑轨2的上端面均放置有移动台21，移动台21上端面用于放置工件3，移动台21上端面边缘固定有定位条211，定位条211用于防止工件3在移动工程中与移动台21出现相对滑移的情况。移动台21下端滑动卡接于对应的纵向滑轨2。各纵向滑轨2均安装有纵向驱动件22，纵向驱动件22具体为丝杠传动机构，丝杠传动机构为工件3运输中常用的螺旋传动机构，在装料时，通过丝杠传动机构的驱动电机驱使丝杠转动，丝杠转动驱使移动台21沿纵向滑轨2延伸方向直线滑动，从而实现移动台21运载工件3的目的。

后腔室12的底壁安装有机架4，机架4包括两个竖直设置的立柱41以及架设在两个立柱41上端的横向滑轨42，横向滑轨42横跨在三条纵向滑轨2的上方。横向滑轨42滑动连接有滑动座44，滑动座44在横向滑轨42上表面横向滑动。后腔室12内设有相机组件6，相机组件6安装于滑动座44下端，当工件3移动至后腔室12内时，相机组件6可对工件3进行拍照检测。将前腔室11划分出三个区域，从左至右依次为第一区域111、第二区域112和第三区域113，三个横向滑轨42一一设置在三个区域内。

横向滑轨42安装有横向驱动件43，横向驱动件43同为丝杠传动机构，以驱使相机组件6沿横向滑轨42长度方向横移，通过相机组件6的横移来切换到相邻纵向滑轨2上方，以便依次对各移动台21上的工件3上进行逐一拍照检测。

相机组件6包括机座61以及安装在机座61下端的摄像头62，机座61上端固定有两块连接板63，两块连接板63滑动卡接于滑动座44的两侧，相机组件6竖向滑动。滑动座44安装有竖向驱动件5，竖向驱动件5同为丝杠传动机构，丝杠传动机构通过电机驱使丝杠转动，丝杠转动并驱使机座61沿竖直方向上下移动。机座61外侧安装固定有标记机构7，标记机构7的下端凸出于摄像头62下表面，标记机构7可以是竖直设置的标记笔，也可以是激光打标设备。当工件3移动至机座61正下方时，相机组件6对工件3进行俯拍检测，当检测出不良品时，竖向驱动件5驱使机座61向下移动，同时带动标记机构7对不良的工件3进行标记，标记方式可以是笔墨标记或是激光标记。

参照图1和图2，前腔室11上端开口设置，以便工件3取放。前腔室11开口边缘铰接有三块保护板14，保护板14为亚克力材质。三块保护板14与三条纵向滑轨2一一对应，保护板14位于对应的纵向滑轨2正上方，保护板14起到防止外物进入前腔室11，避免外物影响工件3检测。

参照图1和图2，后腔室12的前端开口设置，以便操作员对后腔室12的零部件进行调试维修。机体1正面设置有两块防护门13，两块防护门13均可横向滑移。两块防护门13用于开闭后腔室12的前端开口。

实施例2与实施例1不同之处在于：

参照图4和图5，纵向滑轨2远离后腔室12的一端为纵向滑轨2的前端，各纵向滑轨2的前端均安装有撑起机构8。撑起机构8包括两块相互正对的安装板81、两根传动辊84、一根抵紧辊83以及套设在两根传动辊84之间的皮带82。两块安装板81横向分布，抵紧辊83与两根传动辊84均水平转动连接于两块安装板81之间。皮带82倾斜设置，皮带82的倾斜下端与纵向滑轨2衔接，皮带82的倾斜上端往远离后腔室12方向向上延伸。抵紧辊83抵紧于皮带82内侧，且抵紧辊83与传动辊84不在同一平面上，迫使皮带82分成陡峭部10和平缓部9。

定位条211为具有弹性的橡胶条，定位条211用于夹紧稳固工件3。

移动台21朝向撑起机构8的一端设有缺口212，当移动台21朝撑起机构8方向移动，且撑起机构8嵌入缺口212内时，工件3朝向撑起机构8的一端与皮带82的陡峭部10接触，并在皮带82的导向作用下往上摆动，同时工件3带动皮带82转动，有利于减少工件3的摩擦，当工件3摆动至与皮带82平缓部9处后，移动台21停止移动，从而实现将工件3撑起的目的，便于操作员取放工件3。皮带82的缓冲特性，有利于减少对工件3的损坏。

一种检测设备的检测方法，包括以下步骤：

S1：第一区域111进料以及第一区域111的检测和标记：

操作员关闭防护门13，接着打开第一区域111的保护板14，将一块工件3放置在第一区域111内的移动台21上，并随手关闭保护板14，按下机体1外侧的开关，纵向驱动件22驱使移动台21纵向移动，移动台21将工件3运载至后腔室12，横向驱动件43驱动滑动座44横向移动，直至将相机组件6移动至工件3正上方，竖向驱动件5驱使相机组件6竖向移动，直至相机组件6移动至适合的拍照检测位置，相机组件6对工件3进行拍照检测，当相机组件6在第一区域111检测出不良工件3后，竖向驱动件5驱使机座61竖向移动，直至标记机构7与不良工件3接触并标记，标记完成后，竖向驱动件5驱使相机组件6移动至适合的拍照检测位置。

S2：第二区域112进料、检测和标记以及第一区域111退料：

在第一区域111的拍照检测以及不良品打标过程中，操作人员打开第二区域112的保护板14，将待检测工件3放置第二区域112内的移动台21上，并随手关闭保护板14，第二区域112的纵向驱动件22驱使第二区域112的移动台21移动至后腔室12，第二区域112的工件3等待检测；在第一区域111的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件43驱使相机组件6从第一区域111横移至第二区域112内工件3的正上方，然后相机组件6和标记机构7在第二区域112内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件22驱使第一区域111的移动台21退出后腔室12。

S3：第三区域113进料、检测和标记以及第二区域112退料：

在第二区域112的拍照检测以及不良品打标过程中，操作人员打开第三区域113的保护板14，将待检测工件3放置第三区域113内的移动台21上，并随手关闭保护板14，第三区域113的纵向驱动件22驱使第三区域113的移动台21移动至后腔室12，第三区域113的工件3等待检测；在第二区域112的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件43驱使相机组件6从第二区域112横移至第三区域113内工件3的正上方，然后相机组件6和标记组件在第三区域113内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件22驱使第二区域112的移动台21退出后腔室12。

S4：第一区域111进料、检测和标记以及第三区域113退料：

在第三区域113的拍照检测以及不良品打标过程中，操作人员打开第一区域111的保护板14，将检测完毕后的工件3取出，将待检测工件3放置第一区域111内的移动台21上，并随手关闭保护板14，第一区域111的纵向驱动件22驱使第一区域111的移动台21移动至后腔室12，第一区域111的工件3等待检测；在第三区域113的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件43驱使相机组件6从第三区域113横移至第一区域111内工件3的正上方，然后相机组件6和标记组件在第一区域111内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件22驱使第三区域113的移动台21退出后腔室12。

S5：重复S2至S4直至所有待检测工件3完成检测和标记工作。

需要强调的是，在送料时需要及时将退出的检测完毕的工件3取出，并更换新的待检测的工件3。

另外，在检测过程中，若相机组件6检测的工件3为合格品，则竖向驱动件5以及标记机构7不工作，相机组件6在等待一定时间后再往进行横移，等待时长与标记机构7打标时长相等。

在放料过程中，待检测的工件3倾斜放置在撑起机构8处，由于前腔室11具有一定的深度，倾斜地放置工件3，便于操作员进行放料操作。工件3的下表面贴合于皮带82的平缓部9表面，且工件3的倾斜下端卡至移动台21处的定位条211，定位条211对工件3进行夹紧。

在进料过程中，待检测的工件3在移动台21以及定位条211的带动下往后腔室12移动，工件3逐渐与皮带82分离，在分离过程中，皮带82在工件3下表面所施加的摩擦力作用下进行顺时针转动，工件3在皮带82的支撑作用下平稳下摆，直至工件3与皮带82分离后，工件3平躺至移动台21上表面，便于相机组件6拍照检测。

在退料过程中，检测完毕的工件3在移动台21的驱动下与皮带82的陡峭部10接触，并施加摩擦力于皮带82，皮带82进行逆时针转动，工件3在皮带82的导向作用下平稳上摆，直至撑起机构8插入移动条的缺口212内。从而达到将工件3一端撑起的目的，便于操作人员取出工件3，有利于提高操作员的工作效率。

实施例3与实施1的区别之处在于：位于相机组件6一侧的标记机构7替换为取料机构，取料机构的下端凸出于摄像头62下表面，取料机构可以是真空吸盘、磁吸头或者静电吸头等具有吸附功能的装置，取料机构用于分拣不良品，对不良品进行分拣时，可将位于右侧的第三区域113作为不良品区域，当在第一区域111或第二区域112检测出不良品时，可通过竖向驱动件 5驱使相机组件6以及取料机构下移，取料机构对工件3进行吸附抓取，然后在横向驱动件43的驱动下移动至第三区域113，并将不良品释放到第三区域113的移动台21，然后不良品在纵向驱动件22的带动下从第三区域113处送出卸料，从而在不损环不良品的前提下，实现不良品分拣目的。

另外，可根据实际需求在第三区域113内设置多组纵向滑轨2和移动台21，用于分拣不同类型的不良品。

以上均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种检测设备，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)内设置有相互连通的前腔室(11)和后腔室(12)，所述前腔室(11)设置有若干条纵向滑轨(2)，若干条所述纵向滑轨(2)横向分布，且所述纵向滑轨(2)均纵向延伸至后腔室(12)内；所述纵向滑轨(2)滑动连接有用于放置工件(3)的移动台(21)，所述纵向滑轨(2)设置有纵向驱动件(22)，所述纵向驱动件(22)驱使移动台(21)沿纵向滑轨(2)长度方向往复移动；所述后腔室(12)内设置有机架(4)以及用于检测工件(3)的相机组件(6)，所述机架(4)横跨于若干纵向滑轨(2)上方，所述相机组件(6)在机架(4)上横向滑移，所述机架(4)设置有驱使相机组件(6)升降的竖向驱动件(5)。

2.根据权利要求1所述的一种检测设备，其特征在于：所述相机组件(6)外侧设置有标记机构(7)，标记机构(7)用于标记不良的工件(3)，所述标记机构(7)下端凸出于相机组件(6)下端。

3.根据权利要求2所述的一种检测设备，其特征在于：所述机架(4)滑动连接有滑动座(44)，所述横向组件驱使所述滑动座(44)横向滑移；所述相机组件(6)设置有连接板(63)，所述连接板(63)竖向滑动卡接于滑动座(44)。

4.根据权利要求1所述的一种检测设备，其特征在于：所述纵向滑轨(2)远离后腔室(12)的一端设置有撑起机构(8)，所述撑起机构(8)倾斜设置，所述撑起机构(8)的倾斜下端与纵向滑轨(2)衔接，所述撑起机构(8)的倾斜上端往远离后腔室(12)方向向上延伸；所述移动台(21)朝向撑起机构(8)的一端设有缺口(212)，当所述移动台(21)朝撑起机构(8)方向移动，且撑起机构(8)嵌入缺口(212)内时，所述撑起机构(8)在撑起机构(8)的导向作用下向上摆动。

5.根据权利要求4所述的一种检测设备，其特征在于：所述撑起机构(8)包括两块相互正对且横向分布的安装板(81)、两根传动辊(84)以及套设在两根传动辊(84)之间的皮带(82)，两根所述传动辊(84)均水平转动连接于两块安装板(81)之间，所述皮带(82)倾斜设置，所述皮带(82)的倾斜下端与纵向滑轨(2)衔接，所述皮带(82)的倾斜上端往远离后腔室(12)方向向上延伸。

6.根据权利要求5所述的一种检测设备，其特征在于：所述撑起机构(8)还包括抵紧辊(83)，所述抵紧辊(83)抵紧于皮带(82)内侧，所述皮带(82)分成陡峭部(10)和平缓部(9)，所述陡峭部(10)位于下方且陡峭部(10)的下端与纵向滑轨(2)衔接。

7.根据权利要求1所述的一种检测设备，其特征在于：所述移动台(21)上端面的边缘设有定位条(211)，所述定位条(211)用于与工件(3)端部卡接。

8.根据权利要求1所述的一种检测设备，其特征在于：所述相机组件(6)外侧设置有取料机构，取料机构用于抓取不良的工件(3)，所述取料机构下端凸出于相机组件(6)下端。

9.一种如权利要求2至7任一所述的检测设备的检测方法，其特征在于：所述包括以下步骤：

S1：第一区域(111)进料以及第一区域(111)的检测和标记：首先，将前腔室(11)划分出三个区域，从左至右依次为第一区域(111)、第二区域(112)和第三区域(113)，三个区域内各设置一条纵向滑轨(2)，然后将一块工件(3)放置在第一区域(111)内的移动台(21)上，纵向驱动件(22)驱使移动台(21)纵向移动，移动台(21)将工件(3)运载至后腔室(12)，横向驱动件(43)驱动相机组件(6)横向移动，直至将相机组件(6)移动至待检测工件(3)正上方，相机组件(6)对工件(3)进行拍照检测，当相机组件(6)在第一区域(111)检测出不良工件(3)后，竖向驱动件(5)驱使相机组件(6)竖向移动，直至标记结构与不良工件(3)接触并标记；

S2：第二区域(112)进料、检测和标记以及第一区域(111)退料：在第一区域(111)的拍照检测以及不良品打标过程中，同时将待检测工件(3)放置第二区域(112)内的移动台(21)上，第二区域(112)的纵向驱动件(22)驱使第二区域(112)的移动台(21)移动至后腔室(12)，第二区域(112)的工件(3)等待检测；在第一区域(111)的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件(43)驱使相机组件(6)从第一区域(111)横移至第二区域(112)内工件(3)的正上方，然后相机组件(6)和标记组件在第二区域(112)内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件(22)驱使第一区域(111)的移动台(21)退出后腔室(12)；

S3：第三区域(113)进料、检测和标记以及第二区域(112)退料：在第二区域(112)的拍照检测以及不良品打标过程中，同时将待检测工件(3)放置第三区域(113)内的移动台(21)上，第三区域(113)的纵向驱动件(22)驱使第三区域(113)的移动台(21)移动至后腔室(12)，第三区域(113)的工件(3)等待检测；在第二区域(112)的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件(43)驱使相机组件(6)从第二区域(112)横移至第三区域(113)内工件(3)的正上方，然后相机组件(6)和标记组件在第三区域(113)内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件(22)驱使第二区域(112)的移动台(21)退出后腔室(12)；

S4：第一区域(111)进料、检测和标记以及第三区域(113)退料：在第三区域(113)的拍照检测以及不良品打标过程中，同时将检测完毕后的工件(3)取出，并将待检测工件(3)放置第一区域(111)内的移动台(21)上，第一区域(111)的纵向驱动件(22)驱使第一区域(111)的移动台(21)移动至后腔室(12)，第一区域(111)的工件(3)等待检测；在第三区域(113)的拍照检测以及不良品打标工作结束后，横向驱动件(43)驱使相机组件(6)从第三区域(113)横移至第一区域(111)内工件(3)的正上方，然后相机组件(6)和标记组件在第一区域(111)内先后进行拍照检测工作和标记工作，同时纵向驱动件(22)驱使第三区域(113)的移动台(21)退出后腔室(12)；

S5：重复S2至S4直至所有待检测工件(3)完成检测和标记工作。

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