CN113718214A - 一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及磁控溅射镀膜技术领域，且公开了一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，解决了现有平面阴极的磁靴位置无法进行调节而造成靶材浪费以及影响镀膜效果的问题，其包括安装板和阴极体本体，所述安装板的一侧开设有第一竖槽，第一竖槽的内部转动安装有螺纹轴，螺纹轴的表面螺纹连接有移动块，移动块滑动卡接在第一竖槽的内部，且移动块的一端延伸至安装板的一侧外并固定安装有安装条，安装条的顶部安装有移动板，阴极体本体安装在移动板的顶部，第一竖槽的一侧开设有第一内竖槽；本高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台能够有效的进行移动调节，从而使磁靴位置能够有效的进行改变，使靶材能够最大程度的被使用，以及能够提高镀膜的效果。
Description
技术领域
本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体为一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台。
背景技术
真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，涂层材料一直保持固态，不形成熔池。
目前采用的平面磁控溅射阴极(即“平面阴极”)，其(即“平面阴极”)均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场，但其磁靴位置无法进行调节，从而造成靶材的浪费，以及无法保证最佳的镀膜效果；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。
发明内容
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，有效的解决了现有平面阴极的磁靴位置无法进行调节而造成靶材浪费以及影响镀膜效果的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，包括安装板和阴极体本体，所述安装板的一侧开设有第一竖槽，第一竖槽的内部转动安装有螺纹轴，螺纹轴的表面螺纹连接有移动块，移动块滑动卡接在第一竖槽的内部，且移动块的一端延伸至安装板的一侧外并固定安装有安装条，安装条的顶部安装有移动板，阴极体本体安装在移动板的顶部，第一竖槽的一侧开设有第一内竖槽，第一内竖槽的一侧开设有L形竖槽，第一内竖槽的一端开设有第二内竖槽，第二内竖槽的内部且位于安装板的另一侧开设有第二竖槽，L形竖槽的内部安装有L形升降块，L形升降块的一端与第二内竖槽的内部之间安装有Z形连接块，Z形连接块的一端安装有手动调节组件，第一内竖槽的底部安装有传动组件，传动组件传动连接在手动调节组件与螺纹轴之间。
优选的，所述手动调节组件包括转动轴，转动轴转动安装在Z形连接块的一端，且转动轴的一端贯穿第二竖槽并延伸至安装板另一侧外，且转动轴的一端固定安装有第一转轮，转动轴的一侧和另一端分别固定安装有第一齿轮和第一锥齿轮。
优选的，所述传动组件包括转动销，转动销转动安装在第一内竖槽底部的中部，且转动销的底部固定安装有第二齿轮，转动销的顶部固定安装有第二锥齿轮，第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合传动连接，螺纹轴的底部固定安装有第三齿轮，第三齿轮与第二齿轮啮合连接。
优选的，所述第一齿轮的斜上方设有第四齿轮，移动块的一侧开设有安装槽，安装槽的内部转动安装有转动杆，第四齿轮固定安装在转动杆的表面且位于安装槽的内部。
优选的，所述转动杆的一端安装有第五齿轮，安装条的顶部安装有开设有移动卡槽，转动杆的一端延伸至移动卡槽的内部，且第五齿轮位于移动卡槽的内部，移动板底部的中部安装有齿条，第五齿轮与齿条啮合连接，移动卡槽两侧的上部均开设有轮槽，移动板底部的两侧均安装有竖板，两个竖板一侧的下部均等距离安装有滚轮，滚轮滚动安装在轮槽的内部。
优选的，所述移动卡槽的两端均设有限位挡板，两个限位挡板的顶部与移动板底部的两端固定连接。
优选的，所述L形竖槽的内部转动安装有螺纹杆，L形升降块螺纹连接在螺纹杆的表面，且螺纹杆的顶部延伸至安装板的上方并固定安装有第二转轮。
优选的，所述L形升降块的一端开设有凹口，凹口的中部固定安装有滑动销，Z形连接块的另一端滑动套接在滑动销的表面且位于凹口的内部，滑动销的上部和下部均套接压缩弹簧。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)、在工作中，通过设置有安装板、第一竖槽、螺纹轴、移动块、安装条、移动卡槽、移动板、阴极体本体、第一内竖槽、L形竖槽、第二内竖槽、第二竖槽、L形升降块和Z形连接块，使本高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台能够有效的进行移动调节，从而使磁靴位置能够有效的进行改变，使靶材能够最大程度的被使用，以及能够提高镀膜的效果，同时移动调节过程简单便捷，稳定可靠，能够方便人们进行使用，因此，本磁控溅射镀膜用阴极平台能够满足使用需求；
(2)、在工作中，通过设置有转动轴、第一转轮、第一锥齿轮、第一齿轮、转动销、第二齿轮、第二锥齿轮和第三齿轮，从而能够有效的进行传动调节；
当需要对阴极体本体进行高度调节时，首先第二锥齿轮与第一锥齿轮处于啮合状态，接着转动第一转轮，使转动轴带动第一齿轮和第一锥齿轮进行转动第一齿轮处于空转动状态，第一锥齿轮的转动会带动第二锥齿轮进行转动，第二锥齿轮的转动会带动转动销和第二齿轮进行转动，第二齿轮的转动会带动第三齿轮进行转动，第三齿轮的转动会带动螺纹轴进行转动，螺纹轴的转动会使移动块在第一竖槽的内部向上进行移动，从而使移动块带动安装条、移动板和阴极体本体进行高度调节；
(3)、在工作中，通过设置有安装槽、转动杆、第四齿轮、第五齿轮、轮槽、竖板、滚轮、齿条、螺纹杆和第二转轮，从而能够有效的对阴极体本体进行水平位置的调节；
当阴极体本体高度调节完毕之后，第四齿轮位于第一齿轮的上方，此时通过转动第二转轮，使螺纹杆进行转动，螺纹杆的转动会使L形升降块在其表面向上进行移动，L形升降块的上移会带动Z形连接块进行上移，从而使Z形连接块同步带动手动调节组件进行上移，当手动调节组件上的第一齿轮与第四齿轮啮合连接后停止调节；
接着转动第一转轮，使转动轴带动第一齿轮和第一锥齿轮进行转动第一锥齿轮处于空转动转台，第一齿轮的转动会带动第四齿轮进行转动，第四齿轮的转动会带动转动杆和第五齿轮进行转动，第五齿轮的转动会对齿条进行传动，从而使齿条带动移动板和阴极体本体进行水平移动调节，同时移动板的移动会使竖板带动滚轮在轮槽的内部进下移动，使移动板的移动更加的稳定与便捷；
(4)、在工作中，通过设置有凹口、滑动销和压缩弹簧，从而使调节会后的第一齿轮和第一锥齿轮能够有效的与第四齿轮和第二锥齿轮啮合连接；
当手动调节组件上下移动时，第一齿轮和第一锥齿轮的表面在移动后可能会与第四齿轮和第二锥齿轮的表面抵触而不啮合，当转动第二转轮，使螺纹杆进行转动，螺纹杆的转动会使L形升降块带动Z形连接块和手动调节组件进行上下移动，从而使第一齿轮和第一锥齿轮的表面会与第四齿轮和第二锥齿轮的表面抵触而不啮合，第一齿轮和第一锥齿轮与第四齿轮和第二锥齿轮的表面抵触后会使手动调节组件带动Z形连接块停止移动，从而使Z形连接块在滑动销的表面滑动而对压缩弹簧进行挤压，当调节完毕之后，转动第一转轮，会使转动轴带动第一齿轮和第一锥齿轮，同时通过压缩弹簧弹性恢复能力，会使转动第一齿轮和第一锥齿轮进行位移而与第四齿轮和第二锥齿轮啮合连接，从而使第一齿轮和第一锥齿轮与第四齿轮和第二锥齿轮的啮合连接更加的稳定可靠。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
在附图中：
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明俯剖结构示意图；
图3为本发明图2的局部结构示意图；
图4为本发明图3的局部结构示意图；
图5为本发明安装条的局部正剖结构示意图；
图中：1、安装板；2、第一竖槽；3、螺纹轴；4、移动块；5、安装条；501、移动卡槽；6、移动板；7、阴极体本体；8、第一内竖槽；9、L形竖槽；10、第二内竖槽；11、第二竖槽；12、L形升降块；13、Z形连接块；14、转动轴；15、第一转轮；16、第一锥齿轮；17、第一齿轮；18、转动销；19、第二齿轮；20、第二锥齿轮；21、第三齿轮；22、安装槽；23、转动杆；24、第四齿轮；25、第五齿轮；26、轮槽；27、竖板；28、滚轮；29、齿条；30、螺纹杆；31、第二转轮；32、凹口；33、滑动销；34、压缩弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一，由图1至图5给出，本发明包括安装板1和阴极体本体7，安装板1的一侧开设有第一竖槽2，第一竖槽2的内部转动安装有螺纹轴3，螺纹轴3的表面螺纹连接有移动块4，移动块4滑动卡接在第一竖槽2的内部，且移动块4的一端延伸至安装板1的一侧外并固定安装有安装条5，安装条5的顶部安装有移动板6，阴极体本体7安装在移动板6的顶部，第一竖槽2的一侧开设有第一内竖槽8，第一内竖槽8的一侧开设有L形竖槽9，第一内竖槽8的一端开设有第二内竖槽10，第二内竖槽10的内部且位于安装板1的另一侧开设有第二竖槽11，L形竖槽9的内部安装有L形升降块12，L形升降块12的一端与第二内竖槽10的内部之间安装有Z形连接块13，Z形连接块13的一端安装有手动调节组件，第一内竖槽8的底部安装有传动组件，传动组件传动连接在手动调节组件与螺纹轴3之间。
实施例二，在实施例一的基础上，由图1至图5给出，手动调节组件包括转动轴14，转动轴14转动安装在Z形连接块13的一端，且转动轴14的一端贯穿第二竖槽11并延伸至安装板1另一侧外，且转动轴14的一端固定安装有第一转轮15，转动轴14的一侧和另一端分别固定安装有第一齿轮17和第一锥齿轮16，从而能够有效的进行手动调节；
传动组件包括转动销18，转动销18转动安装在第一内竖槽8底部的中部，且转动销18的底部固定安装有第二齿轮19，转动销18的顶部固定安装有第二锥齿轮20，第二锥齿轮20与第一锥齿轮16啮合传动连接，螺纹轴3的底部固定安装有第三齿轮21，第三齿轮21与第二齿轮19啮合连接，从而能够有效的进行传动调节；
当需要对阴极体本体7进行高度调节时，首先第二锥齿轮20与第一锥齿轮16处于啮合状态，接着转动第一转轮15，使转动轴14带动第一齿轮17和第一锥齿轮16进行转动第一齿轮17处于空转动状态，第一锥齿轮16的转动会带动第二锥齿轮20进行转动，第二锥齿轮20的转动会带动转动销18和第二齿轮19进行转动，第二齿轮19的转动会带动第三齿轮21进行转动，第三齿轮21的转动会带动螺纹轴3进行转动，螺纹轴3的转动会使移动块4在第一竖槽2的内部向上进行移动，从而使移动块4带动安装条5、移动板6和阴极体本体7进行高度调节；
第一齿轮17的斜上方设有第四齿轮24，移动块4的一侧开设有安装槽22，安装槽22的内部转动安装有转动杆23，第四齿轮24固定安装在转动杆23的表面且位于安装槽22的内部；
转动杆23的一端安装有第五齿轮25，安装条5的顶部安装有开设有移动卡槽501，转动杆23的一端延伸至移动卡槽501的内部，且第五齿轮25位于移动卡槽501的内部，移动板6底部的中部安装有齿条29，第五齿轮25与齿条29啮合连接，移动卡槽501两侧的上部均开设有轮槽26，移动板6底部的两侧均安装有竖板27，两个竖板27一侧的下部均等距离安装有滚轮28，滚轮28滚动安装在轮槽26的内部，从而能够有效的对阴极体本体7进行水平位置的调节；
当需要对阴极体本体7进行水平进行位置调节时，首先使第二锥齿轮20与第一锥齿轮16分离，并使第一齿轮17与第四齿轮24啮合连接，接着转动第一转轮15，使转动轴14带动第一齿轮17和第一锥齿轮16进行转动第一锥齿轮16处于空转动转台，第一齿轮17的转动会带动第四齿轮24进行转动，第四齿轮24的转动会带动转动杆23和第五齿轮25进行转动，第五齿轮25的转动会对齿条29进行传动，从而使齿条29带动移动板6和阴极体本体7进行水平移动调节，同时移动板6的移动会使竖板27带动滚轮28在轮槽26的内部进下移动，使移动板6的移动更加的稳定与便捷；
移动卡槽501的两端均设有限位挡板，两个限位挡板的顶部与移动板6底部的两端固定连接，从而能够对移动的移动板6进行限位，避免移动板6过度移动而使第五齿轮25与齿条29分离。
实施例三，在实施例一的基础上，由图1至图4给出，L形竖槽9的内部转动安装有螺纹杆30，L形升降块12螺纹连接在螺纹杆30的表面，且螺纹杆30的顶部延伸至安装板1的上方并固定安装有第二转轮31，从而能够有效的对手动调节组件进行升降调节，使其上的第一齿轮17和第一锥齿轮16能够有效的与第四齿轮24和第二锥齿轮20进行传动连接；
上述对阴极体本体7进行高度调节时，第二锥齿轮20与第一锥齿轮16是处于啮合状态的，当阴极体本体7高度调节完毕之后，第四齿轮24位于第一齿轮17的上方，此时通过转动第二转轮31，使螺纹杆30进行转动，螺纹杆30的转动会使L形升降块12在其表面向上进行移动，L形升降块12的上移会带动Z形连接块13进行上移，从而使Z形连接块13同步带动手动调节组件进行上移，当手动调节组件上的第一齿轮17与第四齿轮24啮合连接后停止调节，之后通过转动手动调节组件即可对阴极体本体7的水平调节；
L形升降块12的一端开设有凹口32，凹口32的中部固定安装有滑动销33，Z形连接块13的另一端滑动套接在滑动销33的表面且位于凹口32的内部，滑动销33的上部和下部均套接压缩弹簧34，从而使调节会后的第一齿轮17和第一锥齿轮16能够有效的与第四齿轮24和第二锥齿轮20啮合连接；
当手动调节组件上下移动时，第一齿轮17和第一锥齿轮16的表面在移动后可能会与第四齿轮24和第二锥齿轮20的表面抵触而不啮合，当转动第二转轮31，使螺纹杆30进行转动，螺纹杆30的转动会使L形升降块12带动Z形连接块13和手动调节组件进行上下移动，从而使第一齿轮17和第一锥齿轮16的表面会与第四齿轮24和第二锥齿轮20的表面抵触而不啮合，第一齿轮17和第一锥齿轮16与第四齿轮24和第二锥齿轮20的表面抵触后会使手动调节组件带动Z形连接块13停止移动，从而使Z形连接块13在滑动销33的表面滑动而对压缩弹簧34进行挤压，当调节完毕之后，转动第一转轮15，会使转动轴14带动第一齿轮17和第一锥齿轮16，同时通过压缩弹簧34弹性恢复能力，会使转动第一齿轮17和第一锥齿轮16进行位移而与第四齿轮24和第二锥齿轮20啮合连接，从而使第一齿轮17和第一锥齿轮16与第四齿轮24和第二锥齿轮20的啮合连接更加的稳定可靠。
工作原理：工作时，当需要对阴极体本体7进行高度调节时，首先第二锥齿轮20与第一锥齿轮16处于啮合状态，接着转动第一转轮15，使转动轴14带动第一齿轮17和第一锥齿轮16进行转动第一齿轮17处于空转动状态，第一锥齿轮16的转动会带动第二锥齿轮20进行转动，第二锥齿轮20的转动会带动转动销18和第二齿轮19进行转动，第二齿轮19的转动会带动第三齿轮21进行转动，第三齿轮21的转动会带动螺纹轴3进行转动，螺纹轴3的转动会使移动块4在第一竖槽2的内部向上进行移动，从而使移动块4带动安装条5、移动板6和阴极体本体7进行高度调节；
当阴极体本体7高度调节完毕之后，第四齿轮24位于第一齿轮17的上方，此时通过转动第二转轮31，使螺纹杆30进行转动，螺纹杆30的转动会使L形升降块12在其表面向上进行移动，L形升降块12的上移会带动Z形连接块13进行上移，从而使Z形连接块13同步带动手动调节组件进行上移，当手动调节组件上的第一齿轮17与第四齿轮24啮合连接后停止调节；
接着转动第一转轮15，使转动轴14带动第一齿轮17和第一锥齿轮16进行转动第一锥齿轮16处于空转动转台，第一齿轮17的转动会带动第四齿轮24进行转动，第四齿轮24的转动会带动转动杆23和第五齿轮25进行转动，第五齿轮25的转动会对齿条29进行传动，从而使齿条29带动移动板6和阴极体本体7进行水平移动调节，同时移动板6的移动会使竖板27带动滚轮28在轮槽26的内部进下移动，使移动板6的移动更加的稳定与便捷。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，包括安装板(1)和阴极体本体(7)，其特征在于：所述安装板(1)的一侧开设有第一竖槽(2)，第一竖槽(2)的内部转动安装有螺纹轴(3)，螺纹轴(3)的表面螺纹连接有移动块(4)，移动块(4)滑动卡接在第一竖槽(2)的内部，且移动块(4)的一端延伸至安装板(1)的一侧外并固定安装有安装条(5)，安装条(5)的顶部安装有移动板(6)，阴极体本体(7)安装在移动板(6)的顶部，第一竖槽(2)的一侧开设有第一内竖槽(8)，第一内竖槽(8)的一侧开设有L形竖槽(9)，第一内竖槽(8)的一端开设有第二内竖槽(10)，第二内竖槽(10)的内部且位于安装板(1)的另一侧开设有第二竖槽(11)，L形竖槽(9)的内部安装有L形升降块(12)，L形升降块(12)的一端与第二内竖槽(10)的内部之间安装有Z形连接块(13)，Z形连接块(13)的一端安装有手动调节组件，第一内竖槽(8)的底部安装有传动组件，传动组件传动连接在手动调节组件与螺纹轴(3)之间。
2.根据权利要求1所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述手动调节组件包括转动轴(14)，转动轴(14)转动安装在Z形连接块(13)的一端，且转动轴(14)的一端贯穿第二竖槽(11)并延伸至安装板(1)另一侧外，且转动轴(14)的一端固定安装有第一转轮(15)，转动轴(14)的一侧和另一端分别固定安装有第一齿轮(17)和第一锥齿轮(16)。
3.根据权利要求1所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述传动组件包括转动销(18)，转动销(18)转动安装在第一内竖槽(8)底部的中部，且转动销(18)的底部固定安装有第二齿轮(19)，转动销(18)的顶部固定安装有第二锥齿轮(20)，第二锥齿轮(20)与第一锥齿轮(16)啮合传动连接，螺纹轴(3)的底部固定安装有第三齿轮(21)，第三齿轮(21)与第二齿轮(19)啮合连接。
4.根据权利要求3所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述第一齿轮(17)的斜上方设有第四齿轮(24)，移动块(4)的一侧开设有安装槽(22)，安装槽(22)的内部转动安装有转动杆(23)，第四齿轮(24)固定安装在转动杆(23)的表面且位于安装槽(22)的内部。
5.根据权利要求4所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述转动杆(23)的一端安装有第五齿轮(25)，安装条(5)的顶部安装有开设有移动卡槽(501)，转动杆(23)的一端延伸至移动卡槽(501)的内部，且第五齿轮(25)位于移动卡槽(501)的内部，移动板(6)底部的中部安装有齿条(29)，第五齿轮(25)与齿条(29)啮合连接，移动卡槽(501)两侧的上部均开设有轮槽(26)，移动板(6)底部的两侧均安装有竖板(27)，两个竖板(27)一侧的下部均等距离安装有滚轮(28)，滚轮(28)滚动安装在轮槽(26)的内部。
6.根据权利要求5所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述移动卡槽(501)的两端均设有限位挡板，两个限位挡板的顶部与移动板(6)底部的两端固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述L形竖槽(9)的内部转动安装有螺纹杆(30)，L形升降块(12)螺纹连接在螺纹杆(30)的表面，且螺纹杆(30)的顶部延伸至安装板(1)的上方并固定安装有第二转轮(31)。
8.根据权利要求1所述的一种高均匀性的磁控溅射镀膜用阴极平台，其特征在于：所述L形升降块(12)的一端开设有凹口(32)，凹口(32)的中部固定安装有滑动销(33)，Z形连接块(13)的另一端滑动套接在滑动销(33)的表面且位于凹口(32)的内部，滑动销(33)的上部和下部均套接压缩弹簧(34)。
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| CN115287615A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-11-04 | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 | 一种用于微小零件的专用型阴极平台 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102352486A (zh) * | 2011-11-16 | 2012-02-15 | 东莞市润华光电有限公司 | 一种可调节磁靴的磁控溅射靶 |
| CN103114272A (zh) * | 2011-11-17 | 2013-05-22 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 圆柱磁控溅射阴极 |
| DE102012110334B3 (de) * | 2012-10-29 | 2013-11-28 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Planarmagnetron |
-
2021
- 2021-07-23 CN CN202110837294.3A patent/CN113718214B/zh active Active
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