CN113681378B - 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 - Google Patents
一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113681378B CN113681378B CN202111243881.6A CN202111243881A CN113681378B CN 113681378 B CN113681378 B CN 113681378B CN 202111243881 A CN202111243881 A CN 202111243881A CN 113681378 B CN113681378 B CN 113681378B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- grinding
- polishing
- wafer
- liquid storage
- nano
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/006—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
- B24B49/165—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load for grinding tyres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
- B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1472—Non-aqueous liquid suspensions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内,蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并持续从顶部向打磨面添加研磨液,打磨包括粗磨和精磨,与粗磨对应的研磨液的粒度为微米级,与精磨对应的研磨液的粒度为纳米级;取出蓝宝石晶片,洗净即可。本发明在传统的打磨的基础上增加精磨工艺,以无机纳米粒子为研磨液的基体,以丙烯酸酯共聚物为研磨液的填料,利用纳米级的球形粒子填充、渗入粗磨后的表面微孔内,完全覆盖微纳米级的粗糙结构,有效提高晶片表面的光滑度、平整度和润滑性,提高晶片的表层硬度、耐磨性极高,可更长效的保持透镜效果。通过丙烯酸酯共聚物提高晶片表层的耐洁度和疏水性能。
Description
技术领域
本发明涉及一种打磨工艺,具体涉及一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺。
背景技术
蓝宝石的组成为氧化铝,是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成,其晶体结构为六方晶格。它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane,由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、高熔点等特性,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。
目前,超高亮度/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板(晶片)表面加工品质息息相关。
发明内容
为解决现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺。
为了实现上述目标,本发明采用如下的技术方案:
一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,包括以下步骤:
S1、将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内,
S2、蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并于打磨时持续从顶部向打磨面添加研磨液,所述打磨包括第一阶段的粗磨和第二阶段的精磨,与粗磨对应的研磨液的粒度为微米级,与精磨对应的研磨液的粒度为纳米级;
S3、取出蓝宝石晶片,洗净即可。
上述微米级的研磨液的粒度为1.5um。
上述纳米级的研磨液的粒度为20-40nm。
上述纳米级的研磨液的组份包括基体和填料:填料包括粒子为球形的纳米氧化钛、纳米氧化锌、纳米氧化铝、纳米氧化硅中的至少二种;基体包括丙烯酸酯共聚物。
进一步的,上述基体和填料的质量比为1:(1-3)。
上述第一阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至30转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至30转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为150-200g/cm2。
上述第二阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至50转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至50转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为100-150g/cm2。
进一步的,上述第二阶段的打磨还包括降速打磨,即阶梯性的降速至0转/min,降速的阶梯为10转/min,每阶打磨5min, 磨盘与打磨面的压力恒定为50-100g/cm2。
上述紧固圈包括均呈半圆形的固定圈和活动圈,其端部的衔接点置于所述紧固圈的倾斜的直径上;所述固定圈固定于基座的顶端,与待磨晶片的接触弧面设有若干导液孔;
所述导液孔通过固定圈的中空内腔接导液泵的导液管,所述导液泵通过换向阀从不同的蓄液池汲取研磨液。
上述磨盘的盘面温度为25-35度。
本发明的有益之处在于:
本发明的LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,在传统的打磨的基础上增加精磨工艺,以无机纳米粒子为研磨液的基体,以丙烯酸酯共聚物为研磨液的填料,利用纳米级的球形粒子填充、渗入粗磨后的表面微孔内,可完全覆盖微纳米级的粗糙结构,有效提高晶片表面的光滑度、平整度和润滑性,且氧化铝、氧化硅等物质的结构稳定,进一步提高了晶片的表层硬度、耐磨性极高,永不氧化,可更长效的保持透镜效果。通过T-225丙烯酸酯共聚物对碳酸钙、硫酸钙特别是磷酸钙垢的形成和沉积有良好的抑制作用,对三氧化二铁、污泥、粘土和油垢也有良好的分散性能;同时对抑制锌盐沉积和磷酸钙垢的析出有特效,在较高温度和碱性条件下有良好阻垢分散作用,进而提高了晶片的表层的耐洁度,与纳米无机粒子结合具备良好的疏水性能,可有效降低LED高散热后的冷凝水汽凝结。
附图说明
图1为磨盘的结构示意图。
图2为紧固圈的结构示意图。
附图中标记的含义如下:1、固定圈,2、活动圈,3、导液孔,4、基座,5、磨盘,6、第一蓄液池,7、第二蓄液池,8、拦液板,9、第一电机,10、导液泵,11、换向阀。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明作具体的介绍。
一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,步骤为:
S1、将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内。
S2、蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并于打磨时持续从顶部向打磨面添加研磨液,研磨垫可选用3M磨皮;
打磨:
A、第一阶段粗磨:磨盘的转速从0转/min阶梯性的提速至30转/min,提速的阶梯为5转/min,提速后的每阶打磨10min再提速升阶,至30转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为150-200g/cm2。
对应的(第一蓄液池内)研磨液的粒度为1.5um。
B、第二阶段精磨:磨盘的转速从30转/min阶梯性的提速至50转/min,提速的阶梯为5转/min,提速后的每阶打磨10min再提速升阶,至50转/min后,打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为100-150g/cm2。
对应的(第二蓄液池内)研磨液的粒度为20-40nm。且研磨液由质量比为1:(1-3)基体和填料组成,优选为1:2;填料可选用纳米氧化钛、纳米氧化锌、纳米氧化铝、纳米氧化硅中的至少二种,粒子为球形;基体为丙烯酸酯共聚物,可选用T-225为丙烯酸和丙烯酸羟丙酯共聚物。
C、降速打磨,即磨盘的转速从50转/min阶梯性的降速至0转/min,降速的阶梯为10转/min,降速后的每阶打磨5min再降速降阶,磨盘与打磨面的压力恒定为50-100g/cm2。
S3、取出蓝宝石晶片,洗净即可。
本发明的紧固圈由半圆形的固定圈1和活动圈2组成,固定圈倾斜的固定在基座4的顶部,且固定圈内设中空腔,一端连通固定圈与待磨晶片的接触弧面上的若干导液孔3,另一端连通设于基座内的导液泵10,导液泵的导液管经换向阀11分别接第一蓄液池6和第二蓄液池7,第一蓄液池内蓄有对应粗磨的研磨液,第二蓄液池内蓄有对应精磨的研磨液。
优选的,基座设置在蓄液池内,蓄液池以基座为中心,对称的分隔为第一蓄液池和第二蓄液池;可在基座内设第一电机9,第一电机轴转动环绕基座设置的转盘,经转盘联动拦液板6,使得拦液板可切换的遮挡第一蓄液池和第二蓄液池。
优选的,磨盘5分别由第二电机轴转动,第二电机固定在带压力传感器的液压杆的端部,液压杆由支撑柱支撑的设置在蓄液池的两侧。磨盘的盘面温度为25-35度。
进一步的,第一电机、第二电机、液压轴、压力传感器、(电子)换向阀均与控制装置连接,由控制装置驱动,以实现自动化操作。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,上述实施例不以任何形式限制本发明,凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案,均落在本发明的保护范围内。
Claims (8)
1.一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内;
S2、蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并于打磨时持续从顶部向打磨面添加研磨液,所述打磨包括第一阶段的粗磨和第二阶段的精磨,与粗磨对应的研磨液的粒度为微米级,与精磨对应的研磨液的粒度为纳米级;
S3、取出蓝宝石晶片,洗净即可;
所述紧固圈由半圆形的固定圈和活动圈组成,固定圈倾斜的固定在基座的顶部,且固定圈内设中空腔,一端连通固定圈与待磨晶片的接触弧面上的若干导液孔,另一端连通设于基座内的导液泵,导液泵的导液管经换向阀分别接第一蓄液池和第二蓄液池,第一蓄液池内蓄有对应粗磨的研磨液,第二蓄液池内蓄有对应精磨的研磨液;
所述基座设置在蓄液池内,蓄液池以基座为中心,对称的分隔为第一蓄液池和第二蓄液池;基座内设第一电机,第一电机轴转动环绕基座设置的转盘,经转盘联动拦液板,使得拦液板可切换的遮挡第一蓄液池和第二蓄液池;
磨盘分别由第二电机轴转动,第二电机固定在带压力传感器的液压杆的端部,液压杆由支撑柱支撑的设置在蓄液池的两侧;
所述纳米级的研磨液的组份包括基体和填料:填料包括粒子为球形的纳米氧化钛、纳米氧化锌、纳米氧化铝、纳米氧化硅中的至少二种;基体包括丙烯酸酯共聚物。
2.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述微米级的研磨液的粒度为1.5um。
3.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述纳米级的研磨液的粒度为20-40nm。
4.根据权利要求3所述的打磨工艺,其特征在于,所述基体和填料的质量比为1:(1-3)。
5.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述第一阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至30转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至30转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为150-200g/cm2。
6.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述第二阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至50转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至50转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为100-150g/cm2。
7.根据权利要求6所述的打磨工艺,其特征在于,所述第二阶段的打磨还包括降速打磨,即阶梯性的降速至0转/min,降速的阶梯为10转/min,每阶打磨5min, 磨盘与打磨面的压力恒定为50-100g/cm2。
8.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述磨盘的盘面温度为25-35度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111243881.6A CN113681378B (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111243881.6A CN113681378B (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113681378A CN113681378A (zh) | 2021-11-23 |
CN113681378B true CN113681378B (zh) | 2022-07-29 |
Family
ID=78588143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111243881.6A Active CN113681378B (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113681378B (zh) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001007064A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-12 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 半導体ウエーハの研削方法 |
WO2005095054A1 (en) * | 2004-03-19 | 2005-10-13 | Memc Electronic Materials, Inc. | Wafer clamping device for a double side grinder |
CN1833816A (zh) * | 2005-11-23 | 2006-09-20 | 周海 | 蓝宝石晶片纳米级超光滑加工工艺 |
CN104669106B (zh) * | 2015-02-10 | 2017-01-25 | 盐城工学院 | 大尺寸a向蓝宝石手机屏双面研磨双面抛光高效超精密加工方法 |
CN107309784B (zh) * | 2017-09-03 | 2019-08-02 | 湖北天宝光电科技有限公司 | 一种蓝宝石盖板的双面精磨工艺 |
CN112809458B (zh) * | 2021-01-15 | 2022-05-06 | 浙江富芯微电子科技有限公司 | 碳化硅晶片及其加工方法 |
-
2021
- 2021-10-26 CN CN202111243881.6A patent/CN113681378B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113681378A (zh) | 2021-11-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100265147B1 (ko) | 웨이퍼를폴리싱하기위한방법 | |
Xu et al. | Study on high efficient sapphire wafer processing by coupling SG-mechanical polishing and GLA-CMP | |
CN1833816A (zh) | 蓝宝石晶片纳米级超光滑加工工艺 | |
Hu et al. | Planarization machining of sapphire wafers with boron carbide and colloidal silica as abrasives | |
CN112592663B (zh) | 一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法 | |
RU2006104117A (ru) | Абразивные частицы для механической полировки | |
CN102337082A (zh) | 水基6H-SiC单晶衬底化学机械抛光液及其制备方法 | |
JP7298915B2 (ja) | 単結晶炭化ケイ素基板の製造方法 | |
CN105922125B (zh) | 一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法 | |
CN100425405C (zh) | 冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法 | |
CN205674012U (zh) | 一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构 | |
CN104513628A (zh) | 一种用于蓝宝石化学机械平坦化的抛光液 | |
TWI459457B (zh) | 拋光墊之表面處理方法及利用該拋光墊的晶圓之拋光方法 | |
TW200625413A (en) | Epitaxial wafer and method for manufacturing epitaxial wafer | |
CN113681378B (zh) | 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 | |
Chen et al. | Relationship between mechanical properties and processing performance of agglomerated diamond abrasive compared with single diamond abrasive | |
JP2015203081A (ja) | 研磨用組成物 | |
CN105647393A (zh) | 一种碳化硅晶片的抛光液 | |
JP6223786B2 (ja) | 硬脆材料用研磨液組成物 | |
CN105922124B (zh) | 一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法 | |
CN112175524B (zh) | 一种蓝宝石抛光组合物及其应用 | |
CN1955239A (zh) | 铜的化学机械抛光浆料 | |
TWI332980B (en) | A slurry composition and a polishing method using the same | |
CN106002663B (zh) | 一种分层冷冻固结磨料抛光垫及制备方法 | |
US5895509A (en) | Abrasive composition |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |