CN113681378B - 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 - Google Patents

一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN113681378B
CN113681378B CN202111243881.6A CN202111243881A CN113681378B CN 113681378 B CN113681378 B CN 113681378B CN 202111243881 A CN202111243881 A CN 202111243881A CN 113681378 B CN113681378 B CN 113681378B
Authority
CN
China
Prior art keywords
grinding
polishing
wafer
liquid storage
nano
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202111243881.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113681378A (zh
Inventor
徐鹏飞
王文知
王岩
罗帅
季海铭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Huaxing Laser Technology Co ltd
Original Assignee
Jiangsu Huaxing Laser Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Huaxing Laser Technology Co ltd filed Critical Jiangsu Huaxing Laser Technology Co ltd
Priority to CN202111243881.6A priority Critical patent/CN113681378B/zh
Publication of CN113681378A publication Critical patent/CN113681378A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113681378B publication Critical patent/CN113681378B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06Work supports, e.g. adjustable steadies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/006Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/16Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
    • B24B49/165Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load for grinding tyres
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • B24B57/02Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K3/00Materials not provided for elsewhere
    • C09K3/14Anti-slip materials; Abrasives
    • C09K3/1454Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
    • C09K3/1472Non-aqueous liquid suspensions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内,蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并持续从顶部向打磨面添加研磨液,打磨包括粗磨和精磨,与粗磨对应的研磨液的粒度为微米级,与精磨对应的研磨液的粒度为纳米级;取出蓝宝石晶片,洗净即可。本发明在传统的打磨的基础上增加精磨工艺,以无机纳米粒子为研磨液的基体,以丙烯酸酯共聚物为研磨液的填料,利用纳米级的球形粒子填充、渗入粗磨后的表面微孔内,完全覆盖微纳米级的粗糙结构,有效提高晶片表面的光滑度、平整度和润滑性,提高晶片的表层硬度、耐磨性极高,可更长效的保持透镜效果。通过丙烯酸酯共聚物提高晶片表层的耐洁度和疏水性能。

Description

一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺
技术领域
本发明涉及一种打磨工艺,具体涉及一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺。
背景技术
蓝宝石的组成为氧化铝,是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成,其晶体结构为六方晶格。它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane,由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、高熔点等特性,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。
目前,超高亮度/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板(晶片)表面加工品质息息相关。
发明内容
为解决现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺。
为了实现上述目标,本发明采用如下的技术方案:
一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,包括以下步骤:
S1、将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内,
S2、蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并于打磨时持续从顶部向打磨面添加研磨液,所述打磨包括第一阶段的粗磨和第二阶段的精磨,与粗磨对应的研磨液的粒度为微米级,与精磨对应的研磨液的粒度为纳米级;
S3、取出蓝宝石晶片,洗净即可。
上述微米级的研磨液的粒度为1.5um。
上述纳米级的研磨液的粒度为20-40nm。
上述纳米级的研磨液的组份包括基体和填料:填料包括粒子为球形的纳米氧化钛、纳米氧化锌、纳米氧化铝、纳米氧化硅中的至少二种;基体包括丙烯酸酯共聚物。
进一步的,上述基体和填料的质量比为1:(1-3)。
上述第一阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至30转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至30转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为150-200g/cm2
上述第二阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至50转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至50转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为100-150g/cm2
进一步的,上述第二阶段的打磨还包括降速打磨,即阶梯性的降速至0转/min,降速的阶梯为10转/min,每阶打磨5min, 磨盘与打磨面的压力恒定为50-100g/cm2
上述紧固圈包括均呈半圆形的固定圈和活动圈,其端部的衔接点置于所述紧固圈的倾斜的直径上;所述固定圈固定于基座的顶端,与待磨晶片的接触弧面设有若干导液孔;
所述导液孔通过固定圈的中空内腔接导液泵的导液管,所述导液泵通过换向阀从不同的蓄液池汲取研磨液。
上述磨盘的盘面温度为25-35度。
本发明的有益之处在于:
本发明的LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,在传统的打磨的基础上增加精磨工艺,以无机纳米粒子为研磨液的基体,以丙烯酸酯共聚物为研磨液的填料,利用纳米级的球形粒子填充、渗入粗磨后的表面微孔内,可完全覆盖微纳米级的粗糙结构,有效提高晶片表面的光滑度、平整度和润滑性,且氧化铝、氧化硅等物质的结构稳定,进一步提高了晶片的表层硬度、耐磨性极高,永不氧化,可更长效的保持透镜效果。通过T-225丙烯酸酯共聚物对碳酸钙、硫酸钙特别是磷酸钙垢的形成和沉积有良好的抑制作用,对三氧化二铁、污泥、粘土和油垢也有良好的分散性能;同时对抑制锌盐沉积和磷酸钙垢的析出有特效,在较高温度和碱性条件下有良好阻垢分散作用,进而提高了晶片的表层的耐洁度,与纳米无机粒子结合具备良好的疏水性能,可有效降低LED高散热后的冷凝水汽凝结。
附图说明
图1为磨盘的结构示意图。
图2为紧固圈的结构示意图。
附图中标记的含义如下:1、固定圈,2、活动圈,3、导液孔,4、基座,5、磨盘,6、第一蓄液池,7、第二蓄液池,8、拦液板,9、第一电机,10、导液泵,11、换向阀。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明作具体的介绍。
一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,步骤为:
S1、将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内。
S2、蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并于打磨时持续从顶部向打磨面添加研磨液,研磨垫可选用3M磨皮;
打磨:
A、第一阶段粗磨:磨盘的转速从0转/min阶梯性的提速至30转/min,提速的阶梯为5转/min,提速后的每阶打磨10min再提速升阶,至30转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为150-200g/cm2
对应的(第一蓄液池内)研磨液的粒度为1.5um。
B、第二阶段精磨:磨盘的转速从30转/min阶梯性的提速至50转/min,提速的阶梯为5转/min,提速后的每阶打磨10min再提速升阶,至50转/min后,打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为100-150g/cm2
对应的(第二蓄液池内)研磨液的粒度为20-40nm。且研磨液由质量比为1:(1-3)基体和填料组成,优选为1:2;填料可选用纳米氧化钛、纳米氧化锌、纳米氧化铝、纳米氧化硅中的至少二种,粒子为球形;基体为丙烯酸酯共聚物,可选用T-225为丙烯酸和丙烯酸羟丙酯共聚物。
C、降速打磨,即磨盘的转速从50转/min阶梯性的降速至0转/min,降速的阶梯为10转/min,降速后的每阶打磨5min再降速降阶,磨盘与打磨面的压力恒定为50-100g/cm2
S3、取出蓝宝石晶片,洗净即可。
本发明的紧固圈由半圆形的固定圈1和活动圈2组成,固定圈倾斜的固定在基座4的顶部,且固定圈内设中空腔,一端连通固定圈与待磨晶片的接触弧面上的若干导液孔3,另一端连通设于基座内的导液泵10,导液泵的导液管经换向阀11分别接第一蓄液池6和第二蓄液池7,第一蓄液池内蓄有对应粗磨的研磨液,第二蓄液池内蓄有对应精磨的研磨液。
优选的,基座设置在蓄液池内,蓄液池以基座为中心,对称的分隔为第一蓄液池和第二蓄液池;可在基座内设第一电机9,第一电机轴转动环绕基座设置的转盘,经转盘联动拦液板6,使得拦液板可切换的遮挡第一蓄液池和第二蓄液池。
优选的,磨盘5分别由第二电机轴转动,第二电机固定在带压力传感器的液压杆的端部,液压杆由支撑柱支撑的设置在蓄液池的两侧。磨盘的盘面温度为25-35度。
进一步的,第一电机、第二电机、液压轴、压力传感器、(电子)换向阀均与控制装置连接,由控制装置驱动,以实现自动化操作。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,上述实施例不以任何形式限制本发明,凡采用等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案,均落在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种LED灯用蓝宝石晶片的打磨工艺,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将待磨晶片纵向的固定在紧固圈内;
S2、蒙有研磨垫的磨盘从待磨晶片的两侧以同速异向的方式打磨,并于打磨时持续从顶部向打磨面添加研磨液,所述打磨包括第一阶段的粗磨和第二阶段的精磨,与粗磨对应的研磨液的粒度为微米级,与精磨对应的研磨液的粒度为纳米级;
S3、取出蓝宝石晶片,洗净即可;
所述紧固圈由半圆形的固定圈和活动圈组成,固定圈倾斜的固定在基座的顶部,且固定圈内设中空腔,一端连通固定圈与待磨晶片的接触弧面上的若干导液孔,另一端连通设于基座内的导液泵,导液泵的导液管经换向阀分别接第一蓄液池和第二蓄液池,第一蓄液池内蓄有对应粗磨的研磨液,第二蓄液池内蓄有对应精磨的研磨液;
所述基座设置在蓄液池内,蓄液池以基座为中心,对称的分隔为第一蓄液池和第二蓄液池;基座内设第一电机,第一电机轴转动环绕基座设置的转盘,经转盘联动拦液板,使得拦液板可切换的遮挡第一蓄液池和第二蓄液池;
磨盘分别由第二电机轴转动,第二电机固定在带压力传感器的液压杆的端部,液压杆由支撑柱支撑的设置在蓄液池的两侧;
所述纳米级的研磨液的组份包括基体和填料:填料包括粒子为球形的纳米氧化钛、纳米氧化锌、纳米氧化铝、纳米氧化硅中的至少二种;基体包括丙烯酸酯共聚物。
2.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述微米级的研磨液的粒度为1.5um。
3.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述纳米级的研磨液的粒度为20-40nm。
4.根据权利要求3所述的打磨工艺,其特征在于,所述基体和填料的质量比为1:(1-3)。
5.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述第一阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至30转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至30转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为150-200g/cm2
6.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述第二阶段的打磨,磨盘的转速阶梯性的提速至50转/min,提速的阶梯为5转/min,每阶打磨10min,至50转/min后打磨30min;磨盘与打磨面的压力恒定为100-150g/cm2
7.根据权利要求6所述的打磨工艺,其特征在于,所述第二阶段的打磨还包括降速打磨,即阶梯性的降速至0转/min,降速的阶梯为10转/min,每阶打磨5min, 磨盘与打磨面的压力恒定为50-100g/cm2
8.根据权利要求1所述的打磨工艺,其特征在于,所述磨盘的盘面温度为25-35度。
CN202111243881.6A 2021-10-26 2021-10-26 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺 Active CN113681378B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111243881.6A CN113681378B (zh) 2021-10-26 2021-10-26 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111243881.6A CN113681378B (zh) 2021-10-26 2021-10-26 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113681378A CN113681378A (zh) 2021-11-23
CN113681378B true CN113681378B (zh) 2022-07-29

Family

ID=78588143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111243881.6A Active CN113681378B (zh) 2021-10-26 2021-10-26 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113681378B (zh)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001007064A (ja) * 1999-06-17 2001-01-12 Sumitomo Metal Ind Ltd 半導体ウエーハの研削方法
WO2005095054A1 (en) * 2004-03-19 2005-10-13 Memc Electronic Materials, Inc. Wafer clamping device for a double side grinder
CN1833816A (zh) * 2005-11-23 2006-09-20 周海 蓝宝石晶片纳米级超光滑加工工艺
CN104669106B (zh) * 2015-02-10 2017-01-25 盐城工学院 大尺寸a向蓝宝石手机屏双面研磨双面抛光高效超精密加工方法
CN107309784B (zh) * 2017-09-03 2019-08-02 湖北天宝光电科技有限公司 一种蓝宝石盖板的双面精磨工艺
CN112809458B (zh) * 2021-01-15 2022-05-06 浙江富芯微电子科技有限公司 碳化硅晶片及其加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN113681378A (zh) 2021-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100265147B1 (ko) 웨이퍼를폴리싱하기위한방법
Xu et al. Study on high efficient sapphire wafer processing by coupling SG-mechanical polishing and GLA-CMP
CN1833816A (zh) 蓝宝石晶片纳米级超光滑加工工艺
Hu et al. Planarization machining of sapphire wafers with boron carbide and colloidal silica as abrasives
CN112592663B (zh) 一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法
RU2006104117A (ru) Абразивные частицы для механической полировки
CN102337082A (zh) 水基6H-SiC单晶衬底化学机械抛光液及其制备方法
JP7298915B2 (ja) 単結晶炭化ケイ素基板の製造方法
CN105922125B (zh) 一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法
CN100425405C (zh) 冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法
CN205674012U (zh) 一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构
CN104513628A (zh) 一种用于蓝宝石化学机械平坦化的抛光液
TWI459457B (zh) 拋光墊之表面處理方法及利用該拋光墊的晶圓之拋光方法
TW200625413A (en) Epitaxial wafer and method for manufacturing epitaxial wafer
CN113681378B (zh) 一种led灯用蓝宝石晶片的打磨工艺
Chen et al. Relationship between mechanical properties and processing performance of agglomerated diamond abrasive compared with single diamond abrasive
JP2015203081A (ja) 研磨用組成物
CN105647393A (zh) 一种碳化硅晶片的抛光液
JP6223786B2 (ja) 硬脆材料用研磨液組成物
CN105922124B (zh) 一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法
CN112175524B (zh) 一种蓝宝石抛光组合物及其应用
CN1955239A (zh) 铜的化学机械抛光浆料
TWI332980B (en) A slurry composition and a polishing method using the same
CN106002663B (zh) 一种分层冷冻固结磨料抛光垫及制备方法
US5895509A (en) Abrasive composition

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant