CN113660959A - 雾供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种雾供给装置，通过将除污剂形成为微细的雾，能够向除污对象室供给适当量的除污剂，能够实现除污效果的完善，并且能够缩短曝气等的作业时间而实现除污作业的高效化。雾供给装置具有雾产生单元、雾微细化单元及供给口。雾产生单元将除污剂转换为一次雾而向雾微细化单元供给。雾微细化单元具备1个或2个以上的振动盘，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流。通过使基于声流的超声波振动作用于从雾产生单元供给的所述一次雾，使该一次雾成为进一步微细化的二次雾。产生的二次雾经由供给口向除污对象室的内部供给。

Description

雾供给装置

技术领域

本发明涉及将除污剂雾化而进行供给的雾供给装置，尤其涉及使一次雾成为进一步微细化的二次雾而进行供给的雾供给装置。

背景技术

在制造医药品或食品等的制造现场或者手术室等医疗现场，维持室内的无菌状态是重要的。特别是在作为医药品制造的作业室的无菌室的除污中，需要完成符合GMP(GoodManufacturing Practice：药品生产质量管理规范)的高度的除污验证。

近年来，在无菌室等作业室(以下，称为除污对象室)的除污中，广泛采用过氧化氢(气体或雾)。该过氧化氢具有强力的灭菌效果，廉价且容易获得，并且作为最终分解为氧和水的有益于环境的除污气体是有效的。因此，下述专利文献1等提出了诸多将过氧化氢水气化而高效地向除污对象室的内部供给的方案。

另一方面，在下述专利文献1中记载了过氧化氢的除污效果是由除污对象部位的表面上冷凝的过氧化氢水的冷凝膜产生的。即，通过使气化而供给的过氧化氢气体在除污对象室的壁面等除污对象部位的表面冷凝来进行除污。因此，为了实现除污对象室的除污效果的完善并且实现除污操作的高效化，考虑增多过氧化氢气体的供给量而使过氧化氢水的冷凝膜迅速地产生、或者将过氧化氢水以液状的状态(例如，以液滴)供给。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-320392号公报

专利文献2：日本特公昭61-4543号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，若向除污对象室供给过剩量的过氧化氢气体、或者直接供给过氧化氢水的液滴，则产生过度的冷凝、不均较多的冷凝，发生配置于除污对象室的内部的各种制造设备、精密测定设备或除污对象室的壁面等被产生的高浓度的过氧化氢水的冷凝膜腐蚀这样的不良情况。另外，在利用过氧化氢的除污之后，进行利用清洁空气除去残留在除污对象室的内部的过氧化氢、冷凝膜的曝气。但是，在供给过剩量的过氧化氢气体、过氧化氢水的液滴的情况下，存在除去在除污对象室的壁面等产生的高浓度的过氧化氢水的冷凝膜的曝气需要很多时间这样的问题。

因此，本发明的目的在于，为了应对上述的各问题，提供如下雾供给装置：通过将除污剂形成为微细的雾，能够向除污对象室供给适当量的除污剂，并能够实现除污效果的完善，并且缩短曝气等的作业时间而实现除污作业的高效化。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明人进行了深入研究，结果发现，通过将除污剂雾化并且使超声波振动作用于该除污剂，成为进一步微细化的雾，从而完成了本发明。

即，根据技术方案1的记载，本发明所涉及的雾供给装置将除污剂雾化而向除污对象室的内部供给，其特征在于，雾供给装置(10、110、210)具有雾产生单元(30、130、230)、雾微细化单元(40、140、240)、供给口(50、150、250)，所述雾产生单元将所述除污剂转换为一次雾(32、132、232)而向所述雾微细化单元供给，所述雾微细化单元具备1个或2个以上的振动盘(41、42、141、142)，使该振动盘进行超声波振动而从盘面(41a、42a、141a、142a)沿垂直方向产生基于超声波的声流，通过使基于所述声流的超声波振动作用于从所述雾产生单元供给的所述一次雾，使该一次雾成为进一步微细化的二次雾(33、133、233)，产生的所述二次雾经由所述供给口向所述除污对象室的内部供给。

另外，根据技术方案2的记载，本发明在技术方案1记载的雾供给装置的基础上，其特征在于，所述雾产生单元是单流体喷嘴、双流体喷嘴(31)等喷雾嘴或超声波加湿器、雾化器(131、231)等基于超声波的雾产生器。

另外，根据技术方案3的记载，本发明在技术方案1或2记载的雾供给装置的基础上，其特征在于，所述雾微细化单元具备一对或两对以上的振动盘，成对的所述振动盘使振动盘的盘面从由所述雾产生单元供给的所述一次雾的外周部侧相互对置地配置，由此，基于所述声流的超声波振动被控制成集中地作用于所述一次雾。

另外，根据技术方案4的记载，本发明在技术方案1或2记载的雾供给装置的基础上，其特征在于，所述雾微细化单元具备一对或两对以上的振动盘(241)和反射盘(242)的组合，成对的所述振动盘和反射盘的组合使彼此的振动面(241a)和反射面(242a)从由所述雾产生单元供给的所述一次雾的外周部侧对置地配置，由此，基于从所述振动盘产生的声流和由所述反射盘反射的声流的超声波振动被控制成集中地作用于所述一次雾。

另外，根据技术方案5的记载，本发明在技术方案4记载的雾供给装置的基础上，其特征在于，所述供给口具有所述振动盘的全部或一部分的盘面作为所述二次雾的供给单元，通过使基于从该盘面产生的声流的声辐射压的按压作用于所述二次雾，将该二次雾供给到所述除污对象室的内部。

另外，根据技术方案6的记载，本发明在技术方案1～5中任一项记载的雾供给装置的基础上，其特征在于，所述振动盘(41)具备基座(61)和多个发射器(63)，使所述多个发射器的发射方向统一地配置在所述基座的平面(62)上，并且使这些发射器以相同相位工作，由此，使所述多个发射器的正面方向的超声波相互增强，并且使该多个发射器的横向的超声波相互抵消，从而从所述振动盘的盘面沿垂直方向产生指向性强的基于超声波的声流。

发明效果

根据上述结构，本发明所涉及的雾供给装置具有雾产生单元、雾微细化单元及供给口。雾产生单元将除污剂转换为一次雾而向雾微细化单元供给。雾微细化单元具备1个或2个以上的振动盘，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流。通过使基于声流的超声波振动作用于从雾产生单元供给的一次雾，使该一次雾成为进一步微细化的二次雾。产生的二次雾经由供给口向除污对象室的内部供给。

这样，根据上述结构，能够提供如下的雾供给装置：通过使除污剂成为微细的雾，能够向除污对象室供给适当量的除污剂，能够实现除污效果的完善，并且缩短曝气等的作业时间而实现除污作业的高效化。

另外，根据上述结构，雾产生单元可以是单流体喷嘴、双流体喷嘴等喷雾嘴或超声波加湿器、雾化器等基于超声波的雾产生器。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。

另外，根据上述结构，雾微细化单元可以具备一对或两对以上的振动盘。该成对的振动盘使振动盘的盘面从由雾产生单元供给的一次雾的外周部侧相互对置地配置。由此，基于声流的超声波振动被控制成集中地作用于一次雾。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。

另外，根据上述结构，雾微细化单元也可以具备一对或两对以上的振动盘和反射盘的组合。该成对的振动盘和反射盘的组合使彼此的振动面和反射面从由雾产生单元供给的一次雾的外周部侧对置地配置。由此，基于从振动盘产生的声流和由反射盘反射的声流的超声波振动集中地作用于一次雾。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。

另外，根据上述结构，供给口也可以具有振动盘的全部或一部分的盘面作为二次雾的供给单元。使基于从振动盘的盘面产生的声流的声辐射压的按压作用于二次雾。由此，将二次雾供给到除污对象室的内部。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。

另外，根据上述结构，振动盘也可以具备基座和多个发射器，使多个发射器的发射方向统一地配置在基座的平面上，并且使这些发射器以相同相位工作。其结果是，使多个发射器的正面方向的超声波相互增强，并且使该多个发射器的横向的超声波相互抵消。由此，能够从振动盘的盘面沿垂直方向产生指向性强的基于超声波的声流。因此，能够更具体地发挥上述作用效果。

附图说明

图1是从侧面观察第一实施方式所涉及的雾供给装置的内部的剖视图。

图2是表示在第一实施方式所涉及的雾微细化装置所具备的振动盘中在扬声器基座配置有多个超声波扬声器的状态的概要立体图。

图3是从侧面观察第二实施方式所涉及的雾供给装置的内部的剖视图。

图4是第三实施方式所涉及的雾供给装置的图，(A)是主视图，(B)是从侧面观察内部的剖视图。

图5是从侧面观察配置有第一实施方式所涉及的雾供给装置的隔离器的内部的概要剖视图。

具体实施方式

本发明所涉及的雾供给装置是指为了对作为除污对象室的洁净室、隔离器或与这些除污对象室连接的传送盒等的内部、或配置于除污对象室的内部的除污对象装置或除污对象物品等进行除污而用于向这些除污对象室的内部供给除污剂的供给装置。另外，本发明所涉及的雾供给装置与将除污剂气化而进行供给的以往的供给装置不同，是指将除污剂转换为微细的雾而进行供给的供给装置。

另外，本发明所涉及的雾供给装置不仅在将除污剂转换为微细的雾而进行供给时使用，而且在将水等其他液体转换为微细的雾而进行供给时使用。例如，在除污之前进行隔离器内部的调湿时，也可以使用本发明所涉及的雾供给装置将微细的水的雾(也称为浓雾)供给到室内，在调湿到最适于除污的湿度时使用。

另外，在本发明中，“雾”是广义地解释的，包括微细化而在空气中浮游的除污剂的液滴的状态、除污剂的气体和液滴混合存在的状态、除污剂在气体与液滴之间反复进行冷凝和蒸发的相变的状态等。另外，关于粒径，也包括根据情况而被细分的雾、浓雾、液滴等而广义地解释。

因此，在本发明中，一次雾包括被称为雾(也有时被定义为10μm以下)或浓雾(也有时被定义为5μm以下)以及具有其以上的粒径的雾。另外，在本发明中，二次雾是指一次雾受到超声波振动的作用而微细化的雾。特别是，本发明的二次雾被认为是，通过超声波振动的作用，雾、浓雾、液滴等一次雾(3μm～10μm或其以上的液滴)被均匀化为3μm以下的超微细粒子，即使在短时间内也发挥高度的除污效果(后述)。

以下，通过各实施方式对本发明所涉及的雾供给装置进行详细说明。此外，本发明不仅限于下述的各实施方式。在以下所示的各实施方式所涉及的雾供给装置中，作为除污剂，使用过氧化氢水。此外，由本发明所涉及的雾供给装置供给的除污剂不限于过氧化氢水，只要是过乙酸的水溶液等液状的除污剂即可。

＜第一实施方式＞

本第一实施方式涉及与隔离器等的底壁面连通而将作为除污剂的过氧化氢水雾供给到隔离器等的内部的雾供给装置。图1是从侧面观察本第一实施方式所涉及的雾供给装置的内部的剖视图。在图1中，雾供给装置10具有由不锈钢制金属板构成的壳体20、产生一次雾的雾产生装置30、将产生的一次雾进一步微细化而形成二次雾的雾微细化装置40、排出所产生的二次雾的供给口50。

雾产生装置30将除污剂转换为一次雾而向雾微细化装置40供给。此外，在本第一实施方式中，作为雾产生装置30而使用双流体喷嘴31，配置于壳体20的底壁面21。另外，在本第一实施方式中，作为除污剂，使用过氧化氢水(35W/V％)。

双流体喷嘴31通过来自压缩机(未图示)的压缩空气对过氧化氢水进行一次雾化而形成过氧化氢水雾32，并向雾微细化装置40供给。此外，在第一实施方式中，关于雾产生装置，不限于双流体喷嘴，关于雾产生单元及输出等，并不特别限定。

雾微细化装置40具备2台振动盘41、42。2台振动盘41、42以壳体20的对置的2面的侧壁面22、23的内部为背面，使振动面41a、42a沿水平方向对置而朝向双流体喷嘴31的雾排出口31a的上部配置。另外，雾微细化装置40将双流体喷嘴31作为一次雾产生的过氧化氢水雾32形成为微细化的二次雾的微细雾33。此外，关于微细化的详细内容，将在后面叙述。

供给口50在壳体20的上壁面24开口，将雾微细化装置40作为二次雾而微细化了的微细雾33供给到与壳体20的上部连通的隔离器(未图示)的内部。

在此，对振动盘41(42也相同)进行说明。图2是表示在本第一实施方式所涉及的雾微细化装置40所具备的振动盘中在扬声器基座配置有多个超声波扬声器的状态的概要立体图。在图2中，振动盘41具备基座和多个发射器。在本第一实施方式中，作为基座，使用扬声器基座61，作为发射器，使用超声波扬声器63。在本第一实施方式中，将25个超声波扬声器63以使它们的振动面64的发射方向(图示正面左方向)统一地方式配置在扬声器基座61的平面62上。此外，超声波扬声器的个数没有特别限定。

在本第一实施方式中，作为超声波扬声器63，使用超指向性的超声波扬声器。具体而言，使用发射频率40KHz附近的超声波的频率调制方式的超声波扬声器(DC12V、50mA)。此外，关于超声波扬声器的种类、大小和构造、输出等，没有特别限定。另外，在第一实施方式中，关于雾微细化装置40所具备的振动盘，不限于超声波扬声器，关于超声波的产生单元、频率区域及输出等，没有特别限定。

在本第一实施方式中，使多个(25个)超声波扬声器63的振动面64的发射方向统一，并且使这些发射器以相同相位工作，由此使各超声波扬声器63的正面方向的超声波相互增强，并且使各超声波扬声器63的横向的超声波相互抵消。其结果是，当配置于扬声器基座61的超声波扬声器63进行超声波振动时，从各振动面64沿垂直方向产生在空气中行进的指向性强的声流。此外，通过由超声波控制装置(未图示)对超声波扬声器63的频率和输出进行控制，能够得到高效的微细化效果。

接着，使用图1对上述结构所涉及的雾供给装置10的内部的过氧化氢水雾32和微细雾33的动作进行说明。

在该状态下，当各振动盘41、42的超声波扬声器63进行超声波振动时，产生从2个振动面41a、42a分别沿垂直方向行进的指向性强的声流(从盘面用箭头表示)。从这些振动盘41、42的振动面41a、42a产生的声流作用于从双流体喷嘴31排出的过氧化氢水雾32。该过氧化氢水雾32通过来自双流体喷嘴31的排出压力向图示上方(供给口50的方向)行进。此时，过氧化氢水雾32成为通过基于从振动面41a、42a产生的声流的超声波振动的作用而高度微细化的微细雾33，向图示上方行进，从供给口50供给到与上部连通的隔离器(未图示)的内部。

此时，微细雾33在超声波振动的作用下被微细化，粒径变小，表面积变大，因此认为雾的蒸发效率变高，反复进行蒸发和冷凝。另外，微细雾33是高度微细化的雾，在配置于隔离器的内壁面及内部的设备类的外表面形成均匀且薄层的冷凝膜。因此，不会在隔离器的内壁面、内部的设备类的外表面产生无用的冷凝。

这样，过氧化氢的微细雾33一边受到超声波振动的作用一边供给到隔离器的内部，因此一边反复蒸发、冷凝及微细化一边发挥除污效果。由此，认为在隔离器的内部，过氧化氢的3μm以下的超微细粒子和过氧化氢气体一边发生相变一边共存而表现出高度的除污环境。

另外，通过使在隔离器的内壁面、内部的设备类的外表面均匀且薄层地形成的冷凝膜反复再蒸发和冷凝，能够提高微细雾33中的除污剂浓度，能够用少量的除污剂进行高效的除污。另外，由于能够用少量的除污剂高效地进行除污，因此残留在隔离器的内部的微细雾33的冷凝膜的曝气的效率也提高，能够实现除污操作的短时间化。

＜第二实施方式＞

在本第二实施方式中，与上述第一实施方式同样地，涉及与隔离器等的底壁面连通而将作为除污剂的过氧化氢水雾供给到隔离器等的内部的雾供给装置。此外，在本第二实施方式中，雾产生装置的构造不同。图3是从侧面观察本第二实施方式所涉及的雾供给装置的内部的剖视图。在图3中，雾供给装置110具有由不锈钢制金属板构成的壳体120、产生一次雾的雾产生装置130、将产生的一次雾进一步微细化而形成二次雾的雾微细化装置140、排出所产生的二次雾的供给口150。

雾产生装置130将除污剂转换为一次雾而向雾微细化装置140供给。此外，在本第二实施方式中，作为雾产生装置130，使用雾化器131，配置于壳体120的底壁面121。另外，在本第二实施方式中，与上述第一实施方式同样地，作为除污剂，使用过氧化氢水(35W/V％)。

雾化器131具备：收容从外部供给的过氧化氢水并具备雾排出口131a的主体容器131b及配置于其内部的超声波振子131c。在该状态下，通过浸渍于过氧化氢水的超声波振子131c进行超声波振动，将过氧化氢水进行一次雾化而形成过氧化氢水雾132，并向雾微细化装置140供给。此外，在本第二实施方式中，关于雾产生装置，不限于雾化器，关于雾产生单元及输出等，没有特别限定。

雾微细化装置140具有与上述第一实施方式相同的结构，具备2台振动盘141、142。2台振动盘141、142以壳体120的对置的2面的侧壁面122、123的内部为背面，使振动面141a、142a沿水平方向对置而朝向雾化器131的主体容器131b的雾排出口131a的上部配置。另外，雾微细化装置140使雾化器131作为一次雾所产生的过氧化氢水雾132成为微细化了的二次雾的微细雾133。此外，关于微细化的详细内容，将在后面叙述。此外，关于2台振动盘141、142的构造，与上述第一实施方式相同(参照图2)。

供给口150在壳体120的上壁面124开口，将雾微细化装置140作为二次雾而微细化了的微细雾133供给到与壳体120的上部连通的隔离器(未图示)的内部。

接着，使用图3对上述结构所涉及的雾供给装置110的内部的过氧化氢水雾132和微细雾133的动作进行说明。

在该状态下，当各振动盘141、142的超声波扬声器63(参照图2)进行超声波振动时，产生从2个振动面141a、142a分别沿垂直方向行进的指向性强的声流(从盘面用箭头表示)。从这些振动盘141、142的振动面141a、142a产生的声流作用于从雾化器131排出的过氧化氢水雾132。该过氧化氢水雾132通过来自雾化器131的排出压力朝向图示上方(供给口150的方向)行进。此时，过氧化氢水雾132成为通过基于从振动面141a、142a产生的声流的超声波振动的作用而高度微细化的微细雾133，向图示上方行进，从供给口150供给到与上部连通的隔离器(未图示)的内部。

此时，微细雾133在超声波振动的作用下被微细化，粒径变小，表面积变大，因此认为雾的蒸发效率变高，反复进行蒸发和冷凝。另外，微细雾133是高度微细化的雾，在配置于隔离器的内壁面及内部的设备类的外表面形成均匀且薄层的冷凝膜。因此，不会在隔离器的内壁面、内部的设备类的外表面产生无用的冷凝。

这样，过氧化氢的微细雾133一边受到超声波振动的作用一边向隔离器的内部供给，因此一边反复蒸发、冷凝及微细化一边发挥除污效果。由此，认为在隔离器的内部，过氧化氢的3μm以下的超微细粒子和过氧化氢气体一边发生相变一边共存而表现出高度的除污环境。

另外，通过使在隔离器的内壁面、内部的设备类的外表面均匀且薄层地形成的冷凝膜反复进行再蒸发和冷凝，能够提高微细雾133中的除污剂浓度，能够用少量的除污剂进行高效的除污。另外，由于能够用少量的除污剂高效地进行除污，因此残留在隔离器的内部的微细雾133的冷凝膜的曝气的效率也提高，能够实现除污操作的短时间化。

＜第三实施方式＞

在本第三实施方式中，与上述第一及第二实施方式不同，涉及配置于隔离器的内部而将作为除污剂的过氧化氢水雾供给到隔离器的内部的雾供给装置。图4是本第三实施方式所涉及的雾供给装置，(A)是主视图，(B)是从侧面观察内部的剖视图。在图4中，雾供给装置210具有由不锈钢制金属板构成的壳体220、产生一次雾的雾产生装置230、将产生的一次雾进一步微细化而形成二次雾的雾微细化装置240、排出所产生的二次雾的供给口250。

此外，在本第三实施方式中，雾供给装置210配置为，使其底壁面221与隔离器主体(未图示)的底壁面301的内壁面接触，另外，使其侧壁面222与隔离器主体的侧壁面302的内壁面接触，使供给口250在隔离器主体的内部开口。

雾产生装置230将除污剂转换为一次雾而向雾微细化装置240供给。此外，在本第三实施方式中，作为雾产生装置230，使用雾化器231。另外，在本第三实施方式中，与上述第一实施方式同样地，作为除污剂，使用过氧化氢水(35W/V％)。

雾化器231构成壳体220的基底部，在其内部具备超声波振子231c。在该状态下，通过浸渍于过氧化氢水的超声波振子231c进行超声波振动，将过氧化氢水进行一次雾化而形成过氧化氢水雾232，并向雾微细化装置240供给。此外，在本第三实施方式中，关于雾产生装置，不限于雾化器，关于雾产生单元及输出等，没有特别限定。

雾微细化装置240具备一对振动盘241和反射盘242。一对振动盘241和反射盘242以与壳体220的上下方向中央部对置的方式使振动面241a和反射面242a沿水平方向对置而朝向雾化器231的上部配置。另外，振动盘241在高度及横向宽度上配置得比反射盘242宽，振动面241a中不与反射盘242对置的部分朝向隔离器的内部开放(参照图4的(A))。这样构成的雾微细化装置240使雾化器231作为一次雾所产生的过氧化氢水雾232成为微细化了的二次雾的微细雾233。此外，关于微细化的详细内容，将在后面叙述。此外，关于振动盘241的构造，与上述第一实施方式相同(参照图2)。

供给口250在壳体220的上部的反射盘242的上部及左右侧部开口，将雾微细化装置240作为二次雾而微细化了的微细雾233供给到隔离器(未图示)的内部(参照图4的(A))。

接着，使用图4对上述结构所涉及的雾供给装置210的内部的过氧化氢水雾232和微细雾233的动作进行说明。

在该状态下，当各振动盘241的超声波扬声器63(参照图2)进行超声波振动时，产生从振动面241a沿垂直方向行进的指向性强的声流(从图4的(B)的盘面用箭头表示)。从该振动盘241的振动面241a产生的声流与在反射盘242反射的声流一起作用于从雾化器231排出的过氧化氢水雾232。该过氧化氢水雾232通过来自雾化器231的排出压力向图示上方(供给口250的方向)行进。此时，过氧化氢水雾232成为通过基于从振动面241a产生的声流和在反射盘242反射的声流的超声波振动的作用而高度微细化的微细雾233，向图4的(A)的图示上方及左右扩散，从供给口250向隔离器(未图示)的内部供给。

另外，从供给口250朝向上方及左右扩散的微细雾233受到从振动盘241的振动面241a中不与反射盘242对置的部分产生的声流的声辐射压的按压，从而在隔离器的内部循环分散。用图4的(A)及(B)中的空心箭头表示该情况。

此时，微细雾233在超声波振动的作用下，被微细化，粒径变小，表面积变大，因此认为雾的蒸发效率变高，反复进行蒸发和冷凝。另外，微细雾233是高度微细化的雾，在配置于隔离器的内壁面及内部的设备类的外表面形成均匀且薄层的冷凝膜。因此，不会在隔离器的内壁面、内部的设备类的外表面引起无用的冷凝。

这样，过氧化氢的微细雾233一边受到超声波振动的作用一边向隔离器的内部供给，因此一边反复蒸发、冷凝及微细化一边发挥除污效果。由此，认为在隔离器的内部，过氧化氢的3μm以下的超微细粒子和过氧化氢气体一边发生相变一边共存而表现出高度的除污环境。

另外，通过在隔离器的内壁面、内部的设备类的外表面均匀且薄层地形成的冷凝膜反复进行再蒸发和冷凝，能够提高微细雾233中的除污剂浓度，能够用少量的除污剂进行高效的除污。另外，由于能够用少量的除污剂高效地进行除污，因此残留在隔离器的内部的微细雾233的冷凝膜的曝气的效率也提高，能够实现除污操作的短时间化。

如上所述，根据上述各实施方式，能够提供如下雾供给装置：通过使除污剂成为微细的雾，能够向除污对象室供给适当量的除污剂，能够实现除污效果的完善，并且能够缩短曝气等的作业时间而实现除污作业的高效化。

实施例

在此，通过实施例对上述结构所涉及的雾供给装置的使用状态进行说明。图5是从侧面观察配置有上述第一实施方式所涉及的雾供给装置的隔离器的内部的概要剖视图。

在图5中，隔离器400在其底壁面401的外部配置有上述第一实施方式所涉及的雾供给装置10。雾供给装置10的结构如上所述。另外，在本实施例中，作为除污剂，使用过氧化氢水(35W/V％)。

在本实施例中，从雾供给装置10向隔离器400的内部供给的微细雾33的循环分散中采用2台超声波振动盘411、412。此外，微细雾33的循环分散不限于超声波振动盘，也可以采用通常的循环风扇等。

在此，对隔离器400的内部的微细雾33的循环分散进行说明。在本实施例中，在隔离器400的内部具备2台振动盘411、412。2台振动盘411、412在隔离器400的内部的图示右壁面下部及图示左壁面上部的2处以侧壁面402、403为背面，使振动面411a、412a朝向水平方向配置于隔离器400的内部。这2台振动盘411、412不使盘面(振动面)相互对置(盘面彼此相互面对正面)地配置。关于不使2台振动盘411、412对置地配置的理由及微细雾33的动作，将在后面叙述。此外，关于振动盘411(412也相同)的构造，与在上述第一实施方式中说明的在扬声器基座配置有多个超声波扬声器的构造相同(参照图2)。

接着，对从雾供给装置10供给到隔离器400的内部的微细雾33的动作进行说明。此外，在图5中，使配置于隔离器400的内部的图示右下的振动盘411的振动面411a朝向图示左方向。在该状态下，当超声波扬声器63(参照图2)进行超声波振动时，从振动面411a沿垂直方向(图示左方向)行进的指向性强的声流411b取入从雾供给装置10供给的微细雾33，使基于声辐射压的按压作用，使其向声流411b的行进方向(图示左方向)移动。此时，微细雾33成为通过基于声流411b的超声波振动的作用而进一步微细化的微细雾33a，在隔离器400的内部循环分散。

另一方面，使配置于隔离器400的内部的图示左上的振动盘412的振动面412a朝向图示右方向。在该状态下，当超声波扬声器63(参照图2)进行超声波振动时，从振动面412a沿垂直方向(图示右方向)行进的指向性强的声流412b使基于声辐射压的按压作用于通过声流411b的作用而被进一步微细化并被输送来的微细雾33a，使其向声流412b的行进方向(图示右方向)移动。此时，微细雾33a成为通过基于声流412b的超声波振动的作用而更稳定的微细雾33b，在隔离器400的内部循环分散。

这样，在隔离器400的内部，振动盘411和振动盘412不使彼此的振动面411a、412a从正面对置地配置。在振动盘411的振动面411a与振动盘412的振动面412a从正面对置的情况下，从各振动盘411、412产生的超声波相互作用而产生驻波声场。这是因为，在产生驻波声场的情况下，微细雾33a、33b不受到基于声辐射压的按压而不能移动。

这样，在隔离器400的内部，通过声流411b及声流412b而高度微细稳定化的微细雾33a、33b以向图示箭头方法(图示顺时针方向)回旋的方式循环。此外，声流411b及声流412b是在平面上传播的稳定的驻波的纵波，与来自雾喷嘴的直接方式、风扇方式相比，作为没有风速差的气流而传播。

此时，微细雾33a、33b在超声波振动的作用下被进一步微细化，粒径变小，表面积变大，因此认为雾的蒸发效率高，反复进行蒸发和冷凝。另外，微细雾33a、33b是高度微细化的雾，在隔离器400的内壁面形成均匀且薄层的冷凝膜。因此，与以往的除污操作相比，不会在隔离器400的内壁面部分地产生具有不均及厚度的冷凝膜。

这样，过氧化氢的微细雾33a、33b一边始终受到超声波振动的作用的同时在隔离器400的内部反复蒸发、冷凝和微细化，一边循环。另外，在隔离器400的内壁面，也总是受到超声波振动的作用，反复进行均匀且薄层的冷凝膜的再蒸发和冷凝。由此，认为在隔离器400的内部，过氧化氢的3μm以下的超微细粒子和过氧化氢气体一边发生相变一边共存而表现出高度的除污环境。

另外，通过在隔离器400的内壁面均匀且薄层地形成的冷凝膜反复进行再蒸发和冷凝，能够提高除污雾中的除污剂浓度，能够用少量的除污剂进行高效的除污。另外，由于能够用少量的除污剂高效地进行除污，因此除污后的曝气的效率也提高，也能够实现除污操作的短时间化。而且，作为次要的效果，通过基于声流411b及声流412b的超声波振动及声辐射压，还能够得到向隔离器400的内壁面的附着物的除去效果。

这样，在本实施例中，除了供给到隔离器400的内部的微细雾33已经被高度微细化之外，总是收到来自隔离器400的内部的2台振动盘411、412的声波的超声波振动的作用的同时，在隔离器10的内部反复蒸发、冷凝和微细化。另外，通过基于声波的声辐射压的按压，在隔离器400的内部循环。因此，在本实施例中，能够有效地利用本发明所涉及的雾供给装置而进行高效的除污。

此外，在实施本发明时，不限于上述各实施方式，可以举出如下的各种变形例。

(1)在上述实施方式中，作为雾供给装置的振动盘，使用在扬声器基座配置有多个超声波扬声器的振动盘。但是，不限于此，作为振动盘，只要是在具有一定面积的不锈钢板固定有朗之万振子的振动盘、具有其他的进行超声波振动的盘面的振动盘，就可以使用任意的振动盘。

(2)在上述实施方式中，作为雾供给装置的振动盘，使用在扬声器基座配置有多个超声波扬声器的振动盘，使超声波扬声器的发射方向统一而配置，并且使这些超声波扬声器以相同相位工作。但是，不限于此，也可以使多个超声波扬声器以不同的位相工作。

(3)在上述实施方式中，作为除污剂，使用过氧化氢水(H₂O₂水溶液)。但是，不限于此，只要是作为除污剂使用的液体状的除污剂，就可以使用任意的除污剂。

附图标记说明

10、110、210…雾供给装置20、120、230…壳体

21、22、23、24、121、122、123、124、221、222…壁面

30、130、230…雾产生装置

31…双流体喷嘴、131、231…雾化器

31a、131a…雾排出口、131b…主体容器

131c、231c…超声波振子

32、132、232…过氧化氢水雾、33、133、233…微细雾

40、140、240…雾微细化装置

41、42、141、142、241…振动盘、242…反射盘

41a、42a、141a、142a、241a…振动面、242a…反射面

50、150、250…供给口

61…扬声器基座、62…扬声器基座的平面

63…超声波扬声器、64…超声波扬声器的振动面

400…隔离器、301、302、401、402、403、404…壁面

411、412…振动盘、411a、412a…振动面、411b、412b…声流。

Claims (6)

1.一种雾供给装置，将除污剂雾化而向除污对象室的内部供给，所述雾供给装置的特征在于，

所述雾供给装置具有雾产生单元、雾微细化单元、供给口，

所述雾产生单元将所述除污剂转换为一次雾而向所述雾微细化单元供给，

所述雾微细化单元具备1个或2个以上的振动盘，使该振动盘进行超声波振动而从盘面沿垂直方向产生基于超声波的声流，

通过使基于所述声流的超声波振动作用于从所述雾产生单元供给的所述一次雾，使该一次雾成为进一步微细化的二次雾，

产生的所述二次雾经由所述供给口向所述除污对象室的内部供给。

2.根据权利要求1所述的雾供给装置，其特征在于，

所述雾产生单元是单流体喷嘴、双流体喷嘴等喷雾嘴或超声波加湿器、雾化器等基于超声波的雾产生器。

3.根据权利要求1或2所述的雾供给装置，其特征在于，

所述雾微细化单元具备一对或两对以上的振动盘，

成对的所述振动盘使振动盘的盘面从由所述雾产生单元供给的所述一次雾的外周部侧相互对置地配置，

由此，基于所述声流的超声波振动被控制成集中地作用于所述一次雾。

4.根据权利要求1或2所述的雾供给装置，其特征在于，

所述雾微细化单元具备一对或两对以上的振动盘和反射盘的组合，

成对的所述振动盘和反射盘的组合使彼此的振动面和反射面从由所述雾产生单元供给的所述一次雾的外周部侧对置地配置，

由此，基于从所述振动盘产生的声流和由所述反射盘反射的声流的超声波振动被控制成集中地作用于所述一次雾。

5.根据权利要求4所述的雾供给装置，其特征在于，

所述供给口具有所述振动盘的全部或一部分的盘面作为所述二次雾的供给单元，

通过使基于从该盘面产生的声流的声辐射压的按压作用于所述二次雾，将该二次雾供给到所述除污对象室的内部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的雾供给装置，其特征在于，

所述振动盘具备基座和多个发射器，

使所述多个发射器的发射方向统一地配置在所述基座的平面上，并且使这些发射器以相同相位工作，

由此，使所述多个发射器的正面方向的超声波相互增强，并且使该多个发射器的横向的超声波相互抵消，从而从所述振动盘的盘面沿垂直方向产生指向性强的基于超声波的声流。

Images