CN113584455A - 一种连续真空镀膜装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及连续真空镀膜装置,包括真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件，真空镀膜腔室和真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开，密封组件包括密封板和密封框，密封框将真空镀膜腔室和真空上下料腔室分隔开，密封板封闭密封框的内孔；密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；真空镀膜腔室内设置有驱动密封板进行纵向翻转的翻转组件和带动翻转组件升降的升降组件；真空上下料腔室的真空门设置在其底面，自动上下料组件用于对处于开启状态下的真空上下料腔室内的工件治具上工件进行上下料；能够在保障实现连续真空镀膜加工的前提下，减少一套抽真空腔室设备，使得成本能够大幅降低，同时还具有较高的自动化加工性能。

Description

一种连续真空镀膜装置及方法
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，更具体地说，涉及一种连续真空镀膜装置及方法。
背景技术
目前采用的真空镀膜装置，大都是单一腔室或者是三腔室的形式，单一腔室时无法实现连续性的真空镀膜加工，三腔室时虽然可以进行连续性加工，但是成本较高，需要一种能够连续真空镀膜加工的同时降低成本的连续真空镀膜装置及方法。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种连续真空镀膜装置及方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
构造一种连续真空镀膜装置，其中，包括由上至下依次分布的真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件，所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开，所述密封组件包括密封板和密封框，所述密封框将所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室分隔开，所述密封板封闭所述密封框的内孔；所述密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；所述真空镀膜腔室内设置有驱动所述密封板进行纵向翻转的翻转组件和带动所述翻转组件升降的升降组件；所述真空上下料腔室的真空门设置在其底面，所述自动上下料组件用于对处于开启状态下的所述真空上下料腔室内的所述工件治具上工件进行上下料。
本发明所述的连续真空镀膜装置，其中，所述密封板的上表面以及下表面均设置有圆台，所述工件治具设置在圆台的表面；所述密封框的内孔上端边缘设置有与所述圆台匹配的倒圆台型切口，所述倒圆台型切口的表面设置有密封胶层。
本发明所述的连续真空镀膜装置，其中，所述翻转组件包括固定设置在所述密封板的两端的固定齿轮和两个一一对应所述固定齿轮的横向板，两个所述固定齿轮型号相同且同轴设置，所述横向板表面设置有配合所述固定齿轮的横向齿槽，所述翻转组件还包括带动两个所述横向板横移的横移单元。
本发明所述的连续真空镀膜装置，其中，所述固定齿轮的外侧同轴设置有旋转轴，所述旋转轴上同轴纵向转动连接设置有旋转套；所述升降组件包括两个一一对应连接所述旋转套的连接臂和带动两个所述连接臂进行升降运动的直线升降驱动单元；所述横移单元安装在所述连接臂上。
本发明所述的连续真空镀膜装置，其中，所述密封板呈长条形。
本发明所述的连续真空镀膜装置，其中，所述工件治具包括对工件定位的定位槽体和将工件压持在所述定位槽体内的弹性压板。
本发明所述的连续真空镀膜装置，其中，所述定位槽体由多个定位凸块围合构成。
一种连续真空镀膜方法，应用如上述的连续真空镀膜装置，其加工方法如下：
第一步：真空上下料腔室的底端的真空门打开，通过自动上下料组件对密封板的下表面的多个工件治具下料镀膜后工件并上料待加工工件，自动上下料组件退出真空上下料腔室；
第二步：真空上下料腔室的底端的真空门关闭并抽真空，待真空镀膜腔室对密封板的上表面的工件治具上工件进行镀膜完成后，升降组件带动翻转组件以及密封板上移，翻转组件带动密封板翻转180度；
第三步：升降组件带动翻转组件以及密封板下移，密封板重新封住密封框，对待加工工件进行真空镀膜操作，重复第一步操作。
本发明的有益效果在于：应用本发明的方式以及方法，能够在保障实现连续真空镀膜加工的前提下，减少一套抽真空腔室设备，使得成本能够大幅降低，同时还具有较高的自动化加工性能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，下面描述中的附图仅仅是本发明的部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图：
图1是本发明较佳实施例的连续真空镀膜装置结构剖视图；
图2是本发明较佳实施例的连续真空镀膜方法流程图。
具体实施方式
为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。
本发明较佳实施例的连续真空镀膜装置，如图1所示，包括由上至下依次分布的真空镀膜腔室1、真空上下料腔室2和自动上下料组件3，真空镀膜腔室1和真空上下料腔室2通过横向的密封组件4隔开，密封组件4包括密封板40和密封框41，密封框41将真空镀膜腔室1和真空上下料腔室2分隔开，密封板40封闭密封框41的内孔；密封板40的上表面以及下表面均设置有多个工件治具5；真空镀膜腔室1内设置有驱动密封板40进行纵向翻转的翻转组件6和带动翻转组件6升降的升降组件7；真空上下料腔室2的真空门20设置在其底面，自动上下料组件3用于对处于开启状态下的真空上下料腔室内的工件治具5上工件进行上下料；
真空上下料腔室2的底端的真空门20打开，通过自动上下料组件3对密封板40的下表面的多个工件治具5下料镀膜后工件并上料待加工工件，自动上下料组件3退出真空上下料腔室2；真空上下料腔室2的底端的真空门20关闭并抽真空，待真空镀膜腔室1对密封板40的上表面的工件治具5上工件进行镀膜完成后，升降组件7带动翻转组件6以及密封板40上移，翻转组件6带动密封板40翻转180度；升降组件7带动翻转组件6以及密封板40下移，密封板40重新封住密封框41，对待加工工件进行真空镀膜操作，重复上述操作进行连续真空镀膜；
应用本发明的方式以及方法，能够在保障实现连续真空镀膜加工的前提下，减少一套抽真空腔室设备，使得成本能够大幅降低，同时还具有较高的自动化加工性能。
优选的，密封板40的上表面以及下表面均设置有圆台400，工件治具5设置在圆台400的表面；密封框41的内孔上端边缘设置有与圆台400匹配的倒圆台型切口410，倒圆台型切口410的表面设置有密封胶层411；便于配合进行翻转后的密封操作。
优选的，翻转组件6包括固定设置在密封板40的两端的固定齿轮60和两个一一对应固定齿轮的横向板61，两个固定齿轮60型号相同且同轴设置，横向板61表面设置有配合固定齿轮60的横向齿槽，翻转组件6还包括带动两个横向板横移的横移单元62；通过横移单元带动横向板横移，依靠横向齿槽与固定齿轮的啮合来带动固定齿轮60旋转，进而带动密封板40进行旋转运动；横移单元可采用现有的镀膜横向驱动设备实现。
优选的，固定齿轮60的外侧同轴设置有旋转轴63，旋转轴63上同轴纵向转动连接设置有旋转套64，升降组件7包括两个一一对应连接旋转套64的连接臂70和带动两个连接臂70进行升降运动的直线升降驱动单元71，横移单元62安装在连接臂70上；便于进行纵向升降移动，其中直线升降驱动单元可采用现有的镀膜纵向驱动设备实现。
优选的，密封板40呈长条形；工件治具5包括对工件定位的定位槽体和将工件压持在定位槽体内的弹性压板；定位槽体由多个定位凸块围合构成；
可以理解的是，工件治具也可以采用其他现有的结构形式或者根据工件的不同进行适应性的更换，基于上述原理的简单替换均属于本申请保护范畴。
一种连续真空镀膜方法，应用如上述的连续真空镀膜装置，如图2所示，其加工方法如下：
S01：真空上下料腔室的底端的真空门打开，通过自动上下料组件对密封板的下表面的多个工件治具下料镀膜后工件并上料待加工工件，自动上下料组件退出真空上下料腔室；
S02：真空上下料腔室的底端的真空门关闭并抽真空，待真空镀膜腔室对密封板的上表面的工件治具上工件进行镀膜完成后，升降组件带动翻转组件以及密封板上移，翻转组件带动密封板翻转180度；
S03：升降组件带动翻转组件以及密封板下移，密封板重新封住密封框，对待加工工件进行真空镀膜操作，重复第一步操作；
应用本发明的方式以及方法，能够在保障实现连续真空镀膜加工的前提下，减少一套抽真空腔室设备，使得成本能够大幅降低，同时还具有较高的自动化加工性能。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于，包括由上至下依次分布的真空镀膜腔室、真空上下料腔室和自动上下料组件，所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室通过横向的密封组件隔开，所述密封组件包括密封板和密封框，所述密封框将所述真空镀膜腔室和所述真空上下料腔室分隔开，所述密封板封闭所述密封框的内孔；所述密封板的上表面以及下表面均设置有多个工件治具；
所述真空镀膜腔室内设置有驱动所述密封板进行纵向翻转的翻转组件和带动所述翻转组件升降的升降组件；
所述真空上下料腔室的真空门设置在其底面，所述自动上下料组件用于对处于开启状态下的所述真空上下料腔室内的所述工件治具上工件进行上下料。
2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述密封板的上表面以及下表面均设置有圆台，所述工件治具设置在圆台的表面；所述密封框的内孔上端边缘设置有与所述圆台匹配的倒圆台型切口。
3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述倒圆台型切口的表面设置有密封胶层。
4.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述翻转组件包括固定设置在所述密封板的两端的固定齿轮和两个一一对应所述固定齿轮的横向板，两个所述固定齿轮型号相同且同轴设置，所述横向板表面设置有配合所述固定齿轮的横向齿槽，所述翻转组件还包括带动两个所述横向板横移的横移单元。
5.根据权利要求4所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述固定齿轮的外侧同轴设置有旋转轴，所述旋转轴上同轴纵向转动连接设置有旋转套。
6.根据权利要求5所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述升降组件包括两个一一对应连接所述旋转套的连接臂和带动两个所述连接臂进行升降运动的直线升降驱动单元；所述横移单元安装在所述连接臂上。
7.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述密封板呈长条形。
8.根据权利要求1-7任一所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述工件治具包括对工件定位的定位槽体和将工件压持在所述定位槽体内的弹性压板。
9.根据权利要求8所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述定位槽体由多个定位凸块围合构成。
10.一种连续真空镀膜方法，应用如权利要求1-9任一所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，加工方法如下：
第一步：真空上下料腔室的底端的真空门打开，通过自动上下料组件对密封板的下表面的多个工件治具下料镀膜后工件并上料待加工工件，自动上下料组件退出真空上下料腔室；
第二步：真空上下料腔室的底端的真空门关闭并抽真空，待真空镀膜腔室对密封板的上表面的工件治具上工件进行镀膜完成后，升降组件带动翻转组件以及密封板上移，翻转组件带动密封板翻转180度；
第三步：升降组件带动翻转组件以及密封板下移，密封板重新封住密封框，对待加工工件进行真空镀膜操作，重复第一步操作。
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