CN113567742B - 一种射频开关的谐波测试方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种射频开关的谐波测试方法及装置，所述方法至少包括：基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号。与现有技术直接通过高质量信号源来测试被测件产生的谐波信号相比，本发明能够适用于不同质量的信号源，并且通过谐波信号的变化的数据处理来得到准确的谐波信号，数据处理步骤少，误差小。本发明降低了产生高质量信号源的设备的成本，并且取消了滤波装置，使得谐波测试装置更加简化，操作简单，体积更小。

Description

一种射频开关的谐波测试方法及装置

技术领域

本发明涉及射频集成电路技术领域，尤其涉及一种射频开关的谐波测试方法及装置。

背景技术

在进行射频芯片测试的时候有时候会需要测试仅由被测件接入影响产生的谐波信号。一般而言，信号发生器发出信号之后，由于本身的非线性的影响会产生若干个不同频率的谐波，接入被测件之后由于被测件的影响又会产生若干个不同频率的谐波，那么就很有必要分清楚哪些是我们所需要的谐波。最理想的现有方案是使用高质量的信号源，这种信号源发出之后是没有谐波干扰的，接入被测件之后产生的谐波就是我们所需要的谐波了。然而发生高质量的信号源是需要极高的成本的，放在平时的测量当中也不太现实。还有一种现有方案是载入带通滤波器，但是滤波器的体积是与其通过的功率成正比的，所以在实际测量过程中可能会需要多个大体积的滤波器，成本较高，而且结构复杂。

例如，中国专利CN110632544A公开了一种谐波测试系统，包括检定仪、第一三相变压器、第一录波仪、CVT设备、第二录波仪、分压电路、第三录波仪和第一微处理芯片，检定仪的输出级与第一录波仪的输入级和第一三相变压器的二次侧电连接；第一录波仪的输出级与微处理芯片的第一输入级电连接；第一三相变压器的三次侧与CVT设备的输入级电连接；CVT设备的输出级与第二录波仪的输入级电连接；第二录波仪的输出级与微处理芯片的第二输入级电连接；第一三相变压器的三次侧与分压电路的输入级电连接；分压电路的输出级与第三录波仪的输入级电连接；第三录波仪的输出级与微处理芯片的第三输入级电连接。该发明通过对三种信号进行比对，从而得到CVT设备内部的谐波产出情况。该系统依然需要高质量的信号源。

中国专利CN102565672B一种基于PXI测试设备的射频功率放大器谐波测试电路，包括PXI测试设备和被测射频功率放大器，PXI测试设备和被测射频功率放大器之间连接有谐波信号获取电路，谐波信号获取电路和PXI测试设备之间还连接有基波和载波抑制电路，谐波信号获取电路采用耦合器实现，耦合器从被测射频功率放大器输出信号上耦合获取完整的信号，谐波信号获取电路获取的信号经基波和载波抑制电路进入PXI测试设备。采用该电路的测试板卡，可降低谐波测试部分的电路复杂性，进而降低了测试板卡的成本，同时经过该电路处理过的谐波信号对PXI测试设备的要求更低，进一步的降低了测试成本。该系统依然需要高质量的信号源来完成测试。

因此，现有技术中测试谐波信号的成本太高，如何提供一种成本较低且测试质量较好的谐波信号测试方法及装置是当前没有解决的技术问题。

此外，一方面由于本领域技术人员的理解存在差异；另一方面由于发明人做出本发明时研究了大量文献和专利，但篇幅所限并未详细罗列所有的细节与内容，然而这绝非本发明不具备这些现有技术的特征，相反本发明已经具备现有技术的所有特征，而且申请人保留在背景技术中增加相关现有技术之权利。

发明内容

现有技术中，一般采用高质量的信号源来进行被测件的谐波测试。由于高质量信号源不存在谐波，那么检测到的谐波就是被测件产生的。但是高质量信号源成本较高，在日常测量中不能够频繁进行。现有技术还通过载入带通滤波器来进行谐波测试，但是滤波器的体积是与其通过的功率成正比的，所以在实际测量过程中可能会需要多个大体积的滤波器，成本较高，而且结构复杂。现有技术中，本领域技术人员一般集中于提高仪器的过滤精度来过滤掉有干扰的谐波，总是希望在仪器测量后能够直接获得所需要的谐波，而忽略了对测得谐波数据进行数据处理的技术手段。

基于现有技术的缺陷，本发明希望能够提供一种不需要高质量信号源的谐波测试方法，降低信号源的产生成本，同时又能够排除干扰谐波的干扰，获得所需要的准确的谐波信息。本发明不采用高质量信号源，也不采用滤波的技术手段来排除有干扰的谐波，而是通过数据处理的方式来消减有干扰谐波的数据来得到准确的被测件的谐波数据。

针对现有技术之不足，本发明提供一种射频开关的谐波测试方法，所述方法至少包括：基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号。

优选地，在接入被测件前，记录指定频段内的若干第一谐波信号数据，在接入被测件后，记录指定频段内的与若干第一谐波信号对应的若干第二谐波信号数据，基于所述第一谐波信号数据与所述第二谐波信号数据的矢量差来确定在所述被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。

本发明中，在接入被测件之前，通过记录所有的第一谐波信号，能够确定被测件接入之前的信号环境，从而不遗漏第一谐波信号，也减少后续数据处理的误差。在接入被测件之后，谐波信号的频段不会变化，功率会发生变化，因此相同频段的第二谐波信号的数据能够被再次采集。本发明通过将第一谐波信号与第二谐波信号进行矢量计算，能够准确地得到由被测件产生的第三谐波信号数据。

优选地，所述方法还包括：计算所述第一谐波在偏移后形成的第四谐波的数据，基于所述第二谐波信号数据与所述第四谐波信号数据的矢量差来确定在所述被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。

优选地，所述方法还包括：若干所述第一谐波信号数据来源于由信号发生器发出的一个信号。采用一个信号为主信号，不仅能够减少数据处理的计算量，而且减少信号的复杂程度，更方便谐波信号的测试。

优选地，在接入被测件前和在接入被测件后，信号发生器发出的信号是相同的。发出相同的信号，则受仪器影响产生的谐波就是相同的，就排除了额外信号的干扰，使得数据处理得到的谐波数据更准确。

优选地，第一谐波信号、第二谐波信号和第三谐波信号为包括大小和方向的矢量信号。

本发明还提供一种射频开关的谐波测试装置，在信号发生器发出信号后，所述谐波测试装置基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号。

优选地，谐波测试装置设置有数据处理单元，在接入被测件前，所述谐波测试装置记录指定频段内的若干第一谐波信号数据，在接入被测件后，所述谐波测试装置记录指定频段内的与若干第一谐波信号对应的若干第二谐波信号数据，所述数据处理单元基于所述第一谐波信号数据与所述第二谐波信号数据的矢量差来确定在所述被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。本发明的谐波测试装置，不设置有滤波器，仅包括谐波测试单元和数据处理单元，简化了装置的结构，并且数据处理单元的体积较小。本发明的谐波测试装置的测试方法简单，数据处理简单，从而得到的被测件的谐波数据也准确，数据处理效率较高。

优选地，数据处理单元计算所述第一谐波在偏移后形成的第四谐波的数据，基于所述第二谐波信号数据与所述第四谐波信号数据的矢量差来确定在所述被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。优选地，若干第一谐波信号数据来源于由信号发生器发出的一个信号。对于由一个信号产生的谐波信号，谐波信号的数量有限，并且谐波信号之间具有明显的频率区别和方向区别，有利于谐波测试单元区别不同的谐波。

优选地，在接入被测件前和在接入被测件后，信号发生器发出的信号是相同的。如此设置，能够避免由于主信号不同带来的谐波信号不同且不稳定，数据复杂的干扰情况。

优选地，第一谐波信号、第二谐波信号和第三谐波信号为包括大小和方向的矢量信号。通过计算两个谐波信号的矢量差值来确定由被测件产生的谐波信号，获得的谐波信号也是具有大小和方向的矢量。

附图说明

图1是本发明的接入被测件前的第一谐波信号的频谱示意图；

图2是本发明的接入被测件后的第二谐波信号的频谱示意图；

图3是计算被测件产生的第三谐波信号的矢量示意图；

图4是具有偏移量的被测件产生的二次谐波信号的矢量计算示意图；

图5是具有偏移量的被测件产生的三次谐波信号的矢量计算示意图；

图6是具有偏移量的被测件产生的四次谐波信号的矢量计算示意图；

图7是存在三阶交调的谐波信号示意图。

具体实施方式

下面结合附图进行详细说明。

基于现有技术的不足，本发明提供一种射频开关的谐波测试方法及装置。

一种射频开关的谐波测试方法，所述方法至少包括：基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号。

本发明采用普通信号源。普通信号源在发出时，受到仪器本身的非线性的影响，在主信号周围存在若干个谐波信号。因此在测量时，可以提前记录这些谐波信号。本发明中的频段是指频率范围。

本发明中的谐波信号为矢量信号，包含大小和方向。

本发明的射频开关的谐波测试方法，具体的方法为：

S1：在接入被测件前，记录指定频段内的若干第一谐波信号数据。

在接入被测件前，本发明中的信号发生器只发出一个主信号d。信号发生器发出信号时，包括一个主信号和若干个谐波信号。本发明以0~9GHz范围内的三个谐波信号为例进行说明。

若干第一谐波信号数据来源于由信号发生器发出的一个信号。如图1所示，横轴表示频率，纵轴表示功率。在主信号d右侧的信号为谐波信号。按照从左向右的顺序数，第二个信号a是主信号的二次谐波信号。第三个信号b是主信号的三次谐波信号。后面依次是四次谐波信号，五次谐波信号，六次谐波信号等，图中未示出。n次谐波信号的频率是主信号频率的n倍。只要主信号的频率是一定的，谐波信号的频率也肯定是一定的。在谐波测试时，记录下指定的频段内的所有谐波信号数据。例如，在测试时测试到除了主信号d，还存在两个第一谐波信号，包括第一二次谐波信号d1和第一三次谐波信号d2。记录第一二次谐波信号d1和第一三次谐波信号d2的数据。

S2：在接入被测件后，记录指定频段内的与若干第一谐波信号对应的若干第二谐波信号数据。

在接入被测件后，信号发生器发出相同的主信号d。在接入被测件前和在接入被测件后，信号发生器发出的信号是相同的，有利于减少被测件的谐波信号的测试干扰数据。同一个主信号d，受仪器的非线性影响产生的第一谐波必然也是相同的，这是保证本发明后续能够进行数据处理的必要步骤。

在接入被测件后，第一谐波信号发生了变化，其功率变大，形成了第二谐波信号。此时测试得到的除了主信号d，还包括若干第二谐波信号。例如，第二谐波信号包括第二二次谐波信号d3和第二三次谐波信号d4。

第二二次谐波信号d3明显比第一二次谐波信号d1的功率大，说明含有由被测件产生的谐波信号。

第二三次谐波信号d4明显比第一三次谐波信号d2的功率大，说明也含有由被测件产生的谐波信号。

S3：基于第二谐波信号数据与第一谐波信号数据的矢量差来确定在被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。

本发明采用数据处理的手段来将接入被测件前和被测件后的谐波数据进行计算处理，得到由被测件产生的谐波信号数据。

具体地，将第二二次谐波信号d3与第一二次谐波信号d1进行矢量相减，得到第三二次谐波d5。

将第二三次谐波信号d4与第二三次谐波信号d2进行矢量相减，得到第三三次谐波d6。

由被测件产生的第三二次谐波d5和第三三次谐波d6均为具有大小和方向的矢量数据。

本发明中，不需要高质量的信号源，也不需要设置专业的滤波装置来进行滤波，通过数据处理就能够获得准确的、由被测件产生的谐波数据。本发明打破了直接获取和测试所需要的谐波数据的传统思维，通过后期数据的处理来得到所需要的谐波数据。特别地，在数据处理单元小型化的技术支持的基础上，数据处理完全能够由集成芯片来执行，从而提高了数据处理的效率吧。

实施例1

本实施例中采用VNA（vector network analyzer，矢量网络分析仪）作为信号发生器。该矢量网络分析仪一次只能发一个信号，但是由于矢量网络分析仪本身的非线性的影响，在实际的测量当中，主信号周围往往还带有若干个谐波信号。

如图1所示，VNA（vector network analyzer，矢量网络分析仪）发出一个主信号d。在接入被测件之前，在与被测件有关的频段内，测试到三个第一谐波信号，分别为第一二次谐波信号a，第一三次谐波信号b，第一四次谐波信号c。主信号d的频率为2Hz。第一二次谐波信号a的频率为4Hz，第一三次谐波信号b的频率为6Hz，第一四次谐波信号c的频率为8Hz。记录三个第一谐波信号的矢量数据。

在接入被测件后，使用VNA（vector network analyzer，矢量网络分析仪）发出一个主信号d。如图2所示，接入被测件后，谐波的大小和相位都发生了改变。测试得到的与第一谐波的频段对应的第二谐波包括第二二次谐波信号a1，第二三次谐波信号b1，第二四次谐波信号c1。

若要得到仅由被测件的影响产生的第三谐波，则需要对两次的谐波信号数据进行矢量计算的处理。图3中，横轴轴表示Re，纵轴表示Im。如图3所示，以第一二次谐波信号a为例，第二二次谐波信号a1减去第一二次谐波信号a得到第三二次谐波信号a2。那么第三二次谐波信号a2就是所需要的二次谐波信号。同样的计算能够得到第三三次谐波信号和第三四次谐波信号。

本实施例仅作为示例，次谐波数量不限于三个，可以少于三个，也可以多于三个。在频段范围不做限定的情况下，谐波数量是无限个。

实施例2

本实施例是对实施例1的进一步阐述，重复的内容不再赘述。

一种射频开关的谐波测试装置，用于对信号发生器发出的信号进行测试。信号发生器为能够发出信号的仪器，不局限于高质量信号仪器，普通的信号发生器都可以使用。

本发明的谐波测试装置至少包括信号测试单元和数据处理单元。信号测试单元和数据处理单元建立数据连接，用于传输数据信息。信号测试单元用于对谐波信号以及主信号进行采集和测试，并且输出谐波数据。信号测试单元例如是VNA，VST，频谱分析仪等。

数据处理单元用于对谐波数据进行计算处理。数据处理单元可以是专用集成芯片、集成电路、计算机、处理器、服务器等等。数据处理单元具有矢量计算功能，能够基于预设的算法对谐波的矢量数据进行计算。

数据处理单元能够与信号测试单元共同组合安装为测试谐波信号的装置，由信号测试单元将采集的谐波数据发送至数据处理单元进行计算。数据处理单元也能够与信号测试单元以线路连接的方式设置。例如，在信号测试单元为完整的测试仪器的情况下，数据处理单元可以是能够进行数据处理的计算机、智能终端、服务器等等。

在信号发生器发出信号后，谐波测试装置基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号。

具体地，射频开关的谐波测试装置被配置为：

在接入被测件前，所述谐波测试装置记录指定频段内的若干第一谐波信号数据。

在接入被测件前，本发明中的信号发生器只发出一个主信号d。若干第一谐波信号数据来源于由信号发生器发出的一个信号。如图1所示，在接入被测件之前，在与被测件有关的频段内，测试到三个第一谐波信号，分别为第一二次谐波信号a，第一三次谐波信号b，第一四次谐波信号c。记录三个第一谐波信号的矢量数据。在谐波测试时，记录下指定的频段内的所有谐波信号数据。

在接入被测件后，使用VNA（vector network analyzer，矢量网络分析仪）发出一个相同的主信号d。如图2所示，接入被测件后，谐波的大小和相位都发生了改变。测试得到的与第一谐波的频段对应的第二谐波包括第二二次谐波信号a1，第二三次谐波信号b1，第二四次谐波信号c1。

数据处理单元基于第二谐波信号数据与第一谐波信号数据的矢量差来确定在被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。

本发明采用数据处理的手段来将接入被测件前和被测件后的谐波数据进行计算处理，得到由被测件产生的谐波信号数据。

图3中，横轴轴表示Re，纵轴表示Im。如图3所示，以第一二次a为例，第二二次谐波信号a1减去第一二次谐波信号a得到第三二次谐波信号a2。那么第三二次谐波信号a2就是所需要的二次谐波信号。

同理，第二三次谐波信号b1减去第一三次谐波信号b得到第三三次谐波信号b2。那么第三三次谐波信号b2就是所需要的三次谐波信号。

同理，第二四次谐波信号c1减去第一四次谐波信号c得到第三四次谐波信号c2。那么第三四次谐波信号c2就是所需要的四次谐波信号。

由第一谐波数据与第二谐波数据计算处理得到的谐波信号差，与由被测件实际产生的谐波信号的误差较小。因此，本发明的测试方法在实际操作过程中的准确度较高，能够重复进行操作，对信号发生器的信号质量没有限定，简单方便，成本较低。本发明不需要滤波器进行再次滤波，缩小了测试装置的体积。

本发明中，若干第一谐波信号数据来源于由信号发生器发出的一个信号。如此设置，使得被测件接入后的谐波信号变化只由被测件影响和产生，排出了其他信号因素的干扰。

优选地，在接入被测件前和在接入被测件后，信号发生器发出的信号是相同的。相同的主信号设置，进一步减少了最终谐波信号的影响因素，使得谐波信号的测试简单、准确。

优选地，谐波测试装置测试得到的第一谐波信号、第二谐波信号和第三谐波信号为包括大小和方向的矢量信号。

实施例3

本实施例是对实施例1和实施例2的进一步阐述，重复的内容不再赘述。

为可进一步提高测试的精度，本发明将被测件接入点的电长度的变化考虑在内。

假设接入点本身的电长度是1ns，接入被测件后电长度是稍大于1ns的。由于电长度差的存在，信号会发生一定的偏移。在不考虑电长度差的情况下，用第二谐波信号减去第一谐波信号得到第三谐波信号。在考虑电长度差的情况下，用第二谐波信号减去偏移后的第一谐波信号才能得到第三谐波信号。在进行谐波信号相减的操作之前，本实施例需要先计算出第一谐波信号的偏移量，得到偏移后的第一谐波信号，然后再计算矢量差。

如图1所示，VNA（vector network analyzer，矢量网络分析仪）发出一个主信号d。在接入被测件之前，在与被测件有关的频段内，测试到三个第一谐波信号，分别为第一二次谐波信号a，第一三次谐波信号b，第一四次谐波信号c。记录三个第一谐波信号的矢量数据。

在接入被测件后，使用VNA（vector network analyzer，矢量网络分析仪）发出一个主信号d。如图2所示，接入被测件后，谐波的大小和相位都发生了改变。测试得到的与第一谐波的频段对应的第二谐波包括第二二次谐波信号a1，第二三次谐波信号b1，第二四次谐波信号c1。

以第一二次谐波信号a为例进行详细说明。

例如，在接入被测件之前，接入点接入的是一个体积较小的直通适配器。在被测件 接入之后，由于被测件要比适配器长一些，被测件的电长度变大。假设适配器的电长度是 300ps，被测件的电长度是550ps，在接入被测件前和在接入被测件后的电长度差为250ps。 电信号在导线中的传输速率根据导线的材质不同而略有不同，一般为m/s，250ps 的电长度差的偏移量为50mm。

假设主信号d的频率为1GHz，那么第一二次谐波信号a的频率为2GHz。对于二次谐波信号a：

由公式V=λf，m/s，f=2GHz，可得：二次谐波信号a的波长λ=100mm。即 第一二次谐波信号a偏移50mm，相当于相位顺时针偏移180度。

本发明中的电信号在导线中的传输速率的数值不是确定的，是根据导线的材质而 变化的。在本实施例中，电信号在导线中的传输速率设定为m/s。

如图4所示，第一二次谐波信号a是未接入被测件时测得的第一谐波信号，第二二次谐波信号a1是接入被测件后测得的第二谐波信号，第四二次谐波信号a3是第一二次谐波信号a顺时针偏移了180度后的二次谐波信号。

用第二二次谐波信号a1减去第四二次谐波信号a3得到第三二次谐波信号a2。第三二次谐波信号a2为由被测件产生的二次谐波信号。

同理，对于三次谐波b：第一三次谐波信号b是未接入被测件时测得的第一谐波信号，第二三次谐波信号b1是接入被测件后测得的第二谐波信号，第四三次谐波信号b3是第一三次谐波信号b偏移后的三次谐波信号。在主信号d的频率为1GHz的情况下，三次谐波的频率为3GHz。

对于三次谐波信号b：

由公式V=λf，m/s，f=3GHz，可得λ=67mm，即第一三次谐波信号b的波 长为67mm。第一三次谐波信号b偏移50mm，相当于其相位顺时针偏移269度，成为第四三次谐 波b3。

如图5所示，用第二三次谐波信号b1减去第四三次谐波信号b3得到第三三次谐波信号b2。第三三次谐波信号b2为由被测件产生的三次谐波信号。

同理，如图6所示，第一四次谐波信号c是未接入被测件时测得的第一谐波信号，第二四次谐波信号c1是接入被测件后测得的第二谐波信号，第四四次谐波信号c3是第一四次谐波信号c偏移后的四次谐波信号。在主信号d的频率为1GHz的情况下，四次谐波的频率为4GHz。

对于四次谐波信号c：

由公式V=λf，m/s，f=4GHz，可得λ=50mm，即四次谐波信号c的波长为 50mm。第一四次谐波信号c偏移50mm，相当于其相位顺时针偏移360度，也就是顺时针偏移0 度，形成第四四次谐波信号c3。

用第二四次谐波信号c1减去第四四次谐波信号c3得到第三四次谐波信号c2。第三四次谐波信号c2为由被测件产生的四次谐波信号。

本实施例中，将被测件的电长度差作为参考数据进行谐波信号的计算，使得计算得到的谐波信号的精度更高。

被测件为无源器件，无增益无衰减。值得注意的是，谐波也有可能产生谐波，但是由于量级太小的关系，可以忽略不考虑，下面对此做一下说明。

未接被测件时，VNA发出一个主信号d，由于仪器的非线性影响，会产生二次谐波，三次谐波，四次谐波等，以二次谐波为例，接入被测件后，二次谐波信号a1由于影响势必会发生变化，不管是大小还是相位， 这个影响一方面是来自仪器非线性，还有一方面来自另外谐波对它的影响。这个另外谐波的影响就是指谐波b1和谐波c1由于三阶交调的存在而对谐波a1的影响。

如图7所示,发出信号2和信号3，由于存在三阶交调，往往会附带产生信号1和信号4，对比图7中的谐波a1，b1，c1，以二次谐波a1为例，三次谐波b1和四次谐波c1也会对二次谐波a1产生影响，此时, 被测件产生的二次谐波=接入被测件后的二次谐波-未接入被测件的二次谐波-其他谐波的影响量。 正常而言，主信号1的大小为0dBm时，二次谐波a1大小为-40dBm左右，那么接入一个谐波为-60dBc的被测件之后，原来的二次谐波a1为40dBm，其他谐波对二次谐波的影响量（即三阶交调的影响量）为-100dBm以下，即其他谐波的影响量是可以小到忽略不计的。 所以被测件产生的二次谐波=接入被测件后的二次谐波-未接入被测件的二次谐波是可以接受的。本发明中的减法均为矢量相减。

需要注意的是，上述具体实施例是示例性的，本领域技术人员可以在本发明公开内容的启发下想出各种解决方案，而这些解决方案也都属于本发明的公开范围并落入本发明的保护范围之内。本领域技术人员应该明白，本发明说明书及其附图均为说明性而并非构成对权利要求的限制。本发明的保护范围由权利要求及其等同物限定。

本发明说明书包含多项发明构思，申请人保留根据每项发明构思提出分案申请的权利。本发明说明书包含多项发明构思，诸如“优选地”、“根据一个优选实施方式”或“可选地”均表示相应段落公开了一个独立的构思，申请人保留根据每项发明构思提出分案申请的权利。

Claims (6)

1.一种射频开关的谐波测试方法，其特征在于，所述方法至少包括：

基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号，

在接入被测件前，记录指定频段内的若干第一谐波信号数据，

在接入被测件后，记录指定频段内的与若干第一谐波信号对应的若干第二谐波信号数据，

计算所述第一谐波在偏移后形成的第四谐波的数据，在计算第四谐波的数据时，考虑被测件接入点的电长度的变化，根据接入被测件前和在接入被测件后的电长度差和电信号在相应导线中的传输速率计算相应电长度差的偏移量，由公式V＝λf计算所述第一谐波的偏移量和偏移角度，以得到第四谐波的数据，V为电信号在导线中的传输速率，λ为所述第一谐波的波长，f为所述第一谐波的频率，

基于所述第二谐波信号数据与所述第四谐波信号数据的矢量差来确定在所述被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。

2.根据权利要求1所述的射频开关的谐波测试方法，其特征在于，在接入被测件前和在接入被测件后，信号发生器发出的信号是相同的。

3.根据权利要求1所述的射频开关的谐波测试方法，其特征在于，第一谐波信号、第二谐波信号和第三谐波信号为包括大小和方向的矢量信号。

4.一种射频开关的谐波测试装置，其特征在于，

在信号发生器发出信号后，所述谐波测试装置基于接入被测件前与接入被测件后的谐波信号数据变化的矢量差来确定受所述被测件接入的影响产生的谐波信号，

谐波测试装置设置有数据处理单元，

在接入被测件前，所述谐波测试装置记录指定频段内的若干第一谐波信号数据，

在接入被测件后，所述谐波测试装置记录指定频段内的与若干第一谐波信号对应的若干第二谐波信号数据，

所述数据处理单元计算所述第一谐波在偏移后形成的第四谐波的数据，在计算第四谐波的数据时，考虑被测件接入点的电长度的变化，根据接入被测件前和在接入被测件后的电长度差和电信号在相应导线中的传输速率计算相应电长度差的偏移量，由公式V＝λf计算所述第一谐波的偏移量和偏移角度，以得到第四谐波的数据，V为电信号在导线中的传输速率，λ为所述第一谐波的波长，f为所述第一谐波的频率，

基于所述第二谐波信号数据与所述第四谐波信号数据的矢量差来确定在所述被测件接入的情况下产生的若干第三谐波信号。

5.根据权利要求4所述的射频开关的谐波测试装置，其特征在于，

在接入被测件前和在接入被测件后，信号发生器发出的信号是相同的。

6.根据权利要求4所述的射频开关的谐波测试装置，其特征在于，

第一谐波信号、第二谐波信号和第三谐波信号为包括大小和方向的矢量信号。