CN113534620B - 一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构、压板机构以及真空吸附板夹，真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，吸附鼓包括外鼓、内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，外鼓与旋转电机相连接，轴向调节机构包括螺杆式活塞和轴向调节电机；径向调节机构包括定位步进电机和定位顶杆。采用上述结构的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，完全真空吸附更牢固可靠，不伤板材，同时通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。
Description
技术领域
本发明涉及光刻机配件技术领域，尤其是涉及一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置。
背景技术
光刻机用于激光制板，现有技术中光刻机的板材夹紧装置采用活动板夹夹紧，容易伤到板材直接影响后期制板质量。同时现有的夹紧装置结构固定，对于不同尺寸的板材需要不同型号的夹紧装置，不能满足生产厂家对不同尺寸板材的加工。
发明内容
本发明的目的是提供一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，完全真空吸附更牢固可靠，不伤板材，同时通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。
为实现上述目的，本发明提供了一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构、压板机构以及真空吸附板夹，所述真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，
所述吸附鼓包括外鼓、设置于所述外鼓内的内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，两个所述密封端盖固定于所述外鼓的两端，所述外鼓与旋转电机相连接，所述真空驱动机构与其中一个所述密封端盖相连接，所述轴向调节机构固定于另一个所述密封端盖上；
所述轴向调节机构包括螺杆式活塞和轴向调节电机，所述轴向调节电机与所述螺杆式活塞的螺杆相连接，所述螺杆穿过所述密封端盖与活塞板固定连接，所述活塞板设置于所述内鼓内；
所述径向调节机构包括定位步进电机和定位顶杆，所述定位顶杆一端穿过端盖的通孔与所述内鼓一端相对设置，所述定位顶杆另一端与所述定位步进电机固定连接。
优选的，所述离合夹板机构包括离合板和离合步进电机，所述离合步进电机固定于机架上，所述离合步进电机的输出端与离合板固定连接，所述离合板与所述上下板机构一端相对设置，所述离合板底部设置有离合辊。
优选的，所述上下板机构包括输送平台、若干输送带、固定辊以及输送电机，两个固定辊设置于输送平台的两端，所述输送带设置于所述固定辊上，其中一个固定辊与所述输送电机固定连接，所述输送电机固定于所述输送平台上，所述输送平台固定于机架上。
优选的，所述压板机构包括压板步进电机、压臂以及弹性压板，所述弹性压板设置于所述压臂下方，所述压臂两端与所述压板步进电机固定连接。
优选的，所述旋转电机通过皮带与所述外鼓相连接，所述外鼓和所述内鼓上均设置有通风面，所述通风面上开设有若干等间距的通风孔。
因此，本发明采用上述结构的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，具有以下有益效果：
(1)、采用完全真空吸附的方式固定板材，使得板材固定更牢固可靠，不伤板材。
(2)、设置有轴向调节机构和径向调节机构，轴向调节机构用于调整吸附轴向距离，径向调节机构用于调整内鼓和外鼓的通风面的相对面积，从而调整吸附径向距离，从而实现通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本发明一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置结构示意图；
图2为本发明吸附鼓包括外鼓爆炸图；
图3为本发明弹性压板局部结构示意图；
图4为本发明旋转电机结构示意图。
附图标记
1、机架；2、上下板机构；21、输送平台；22、输送带；23、固定辊；24、输送电机；3、离合夹板机构；31、离合步进电机；32、离合板；33、离合辊；4、压板机构；41、弹性压板；42、压臂；43、压板步进电机；5、吸附鼓；51、外鼓；52、内鼓；53、密封端盖；54、旋转电机；6、轴向调节机构；61、螺杆式活塞；62、轴向调节电机；7、定位步进电机；8、真空驱动机构接口。
具体实施方式
实施例
图1为本发明一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置结构示意图，图2为本发明吸附鼓包括外鼓爆炸图，图3为本发明弹性压板局部结构示意图，图4为本发明旋转电机结构示意图，如图所示，一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架1、真空驱动机构、上下板机构2、离合夹板机构3、压板机构4以及真空吸附板夹。
真空吸附板夹包括吸附鼓5、轴向调节机构6以及径向调节机构。
吸附鼓5包括外鼓51、设置于外鼓51内的内鼓52、旋转电机54以及两个密封端盖53，两个密封端盖53固定于外鼓51的两端，外鼓51与旋转电机54相连接，旋转电机54通过皮带与外鼓51相连接，用于驱动整个吸附鼓5旋转，外鼓51和内鼓52上均设置有通风面，通风面上开设有若干等间距的通风孔。真空驱动机构通过密封端盖上的真空驱动机构接口8与内鼓52相连通。
轴向调节机构6固定于另一个密封端盖53上，轴向调节机构6包括螺杆式活塞61和轴向调节电机62，轴向调节电机62与螺杆式活塞61的螺杆相连接，螺杆穿过密封端盖53与活塞板固定连接，活塞板设置于内鼓52内，通过轴向调节电机62驱动活塞板往复移动，从而调整吸附的轴向距离。
径向调节机构包括定位步进电机7和定位顶杆，定位顶杆一端穿过端盖的通孔与内鼓52一端相对设置，定位顶杆另一端与定位步进电机7固定连接，当需要调整外鼓51与内鼓52通风面的相对面积时，定位步进电机7驱动定位顶杆与内鼓52相抵，使得内鼓52保持不动，启动旋转电机54，旋转电机54驱动外鼓51旋转，使得外鼓51与内鼓52发生相对转动，从而实现对外鼓51与内鼓52通风面的相对面积的调整。
上下板机构2包括输送平台21、若干输送带22、固定辊23以及输送电机24，两个固定辊23设置于输送平台21的两端，输送带22设置于固定辊23上，其中一个固定辊23与输送电机24固定连接，输送电机24固定于输送平台21上，输送平台21固定于机架1上，实现板材的输送。离合夹板机构3包括离合板32和离合步进电机31，离合步进电机31固定于机架1上，离合步进电机31的输出端与离合板32固定连接，离合板32与上下板机构2一端相对设置，离合板32底部设置有离合辊33，实现板材的上下料。压板机构4包括压板步进电机43、压臂42以及弹性压板41，弹性压板41设置于压臂42下方，压臂42两端与压板步进电机43固定连接。
使用过程如下：
根据板材实际尺寸通过轴向调节机构和径向调节机构调整合适的吸附面积，调整完毕后，通过上下板机构2将板材输送纸吸附鼓5上，压板机构4的压板步进电机43驱动压臂42下降，使得弹性压板41夹紧板材，然后通过离合步进电机31驱动离合板32下降，离合辊33贴合板材，启动真空驱动机构将内鼓52空气抽出，即通孔向内吸气，使得板材吸附到吸附鼓5上，启动旋转电机54驱动吸附鼓5慢慢旋转使得板材整个吸附到吸附鼓5上，离合板32和压臂42恢复到初始位置，弹性压板41在自身弹簧的作用下回到初始位置。然后进行激光制板，制板完成后，通过离合夹板机构3和上下板机构2退板，完成操作。
因此，本发明采用上述结构的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，完全真空吸附更牢固可靠，不伤板材，同时通过轴向调节机构和径向调节机构调整吸附面积，适应于不同材质和尺寸的板材。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。
Claims (4)
1.一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，包括机架、真空驱动机构、上下板机构、离合夹板机构以及压板机构，其特征在于：还包括真空吸附板夹，所述真空吸附板夹包括吸附鼓、轴向调节机构以及径向调节机构，
所述吸附鼓包括外鼓、设置于所述外鼓内的内鼓、旋转电机以及两个密封端盖，两个所述密封端盖固定于所述外鼓的两端，所述外鼓与旋转电机相连接，所述真空驱动机构与其中一个所述密封端盖相连接，所述轴向调节机构固定于另一个所述密封端盖上；所述旋转电机通过皮带与所述外鼓相连接，所述外鼓和所述内鼓上均设置有通风面，所述通风面上开设有若干等间距的通风孔；
所述轴向调节机构包括螺杆式活塞和轴向调节电机，所述轴向调节电机与所述螺杆式活塞的螺杆相连接，所述螺杆穿过所述密封端盖与活塞板固定连接，所述活塞板设置于所述内鼓内；
所述径向调节机构包括定位步进电机和定位顶杆，所述定位顶杆一端穿过端盖的通孔与所述内鼓一端相对设置，所述定位顶杆另一端与所述定位步进电机固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，其特征在于：所述离合夹板机构包括离合板和离合步进电机，所述离合步进电机固定于机架上，所述离合步进电机的输出端与离合板固定连接，所述离合板与所述上下板机构一端相对设置，所述离合板底部设置有离合辊。
3.根据权利要求2所述的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，其特征在于：所述上下板机构包括输送平台、若干输送带、固定辊以及输送电机，两个固定辊设置于输送平台的两端，所述输送带设置于所述固定辊上，其中一个固定辊与所述输送电机固定连接，所述输送电机固定于所述输送平台上，所述输送平台固定于机架上。
4.根据权利要求3所述的一种外鼓式光刻机的板材夹紧装置，其特征在于：所述压板机构包括压板步进电机、压臂以及弹性压板，所述弹性压板设置于所述压臂下方，所述压臂两端与所述压板步进电机固定连接。
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