CN113500451A - 一种减振冷却的切割装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种减振冷却的切割装置及方法，属于切割设备技术领域。所述切割装置包括机架、切割机构以及夹持机构。其中，切割机构包括移动组件和切割组件。通过移动组件带动切割组件移动至预设位置对工件进行切割。夹持机构包括底座以及夹持组件，并且，夹持组件内形成有冷却回路，通过引入冷却液体，一方面可以对夹持组件进行降温，减轻夹持组件的热胀，避免夹持过紧造成工件损伤；另一方面，冷却液体流动产生的冲击力作用于夹持组件以抵消夹持组件的振动，从而确保夹持稳定性，以提升切割质量和切割精度。

Description

一种减振冷却的切割装置及方法

技术领域

本发明属于切割设备技术领域，尤其是一种减振冷却的切割装置及方法。

背景技术

随着我国机械加工行业的高速发展，对切割设备的切割质量以及精度要求不断提高。现有的切割机主要包括火焰切割机、激光切割机、水切割机、等离子切割机以及锯齿切割机等。其中，应用较多的还是锯齿切割机。

在锯齿切割机对工件进行切割时，刀盘上的锯齿在切割过程中，一方面，锯齿持续对工件进行冲击使工件产生振动，并将该振动传导至夹持工件的夹持机构，这会导致夹持机构的夹持力松动，进而降低切割质量和切割精度；另一方面，锯齿与工件持续摩擦会产生大量的热量，这些热量会传导至夹持机构，夹持机构热胀会损伤工件表面，并且，为了防止烫伤，待工件加工完毕后需要对夹持机构进行充分冷却。

发明内容

本发明提供了一种减振冷却的切割装置，以解决现有技术中存在的问题。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，提供一种减振冷却的切割装置，包括：

机架，

切割机构，包括设于机架上的移动组件以及设于移动组件上的切割组件；

夹持机构，包括固定于机架上的底座以及设于底座上的夹持组件，所述夹持组件内形成有冷却回路，冷却回路被设置为通过引入冷却液体冲击夹持组件以抵消夹持组件的振动，并对夹持组件进行降温。

在进一步的实施例中，所述夹持组件包括：

卡盘，包括固定于底座一侧的环形主体部，所述环形主体部沿其轴线方向螺旋环绕形成有冷却回路；

至少两个卡爪，可沿主体底部的径向移动地设于所述卡盘的一侧，所述卡爪被设置为对需要切割的工件进行夹紧。

通过采用上述技术方案：冷却液体沿冷却回路螺旋流动，并对主体部产生与切割机构施加的冲击力相反方向的冲击，以抵消夹持组件的振动；同时冷却液体流动将热量带出，实现降温的目的。

在进一步的实施例中，所述主体部沿径向设有与卡爪数量相等的滑槽，所述卡爪可移动地设于所述滑槽内；

所述卡爪的两侧沿卡爪的长度方向开有冷却槽；

所述主体部形成有数量与卡爪数量相等的冷却通路，所述冷却通路的一端与冷却槽连通，所述冷却通路的另一端与所述冷却回路连通。

通过采用上述技术方案：冷却通路将冷却回路中的冷却液体引导至冷却槽对卡爪进行降温，当卡爪沿主体部的径向移动时，冷却槽始终与冷却通路连通，确保冷却槽始终有冷却液体供应，以对卡爪进行降温。

在进一步的实施例中，所述切割组件包括：

刀架，固定于所述移动组件；

切割刀盘，与所述刀架转动连接；

驱动部件，设于所述刀架上，并与所述切割刀盘传动连接以带动所述切割刀盘转动进行切割。

通过采用上述技术方案：驱动部件驱动切割刀盘转动，使切割刀盘切割工件。

在进一步的实施例中，所述切割组件还包括：

冷却喷管，设于所述刀架，所述冷却喷管被设置为引导冷却液冲击切割刀盘的切割点；

护罩，其内壁形成为抛物面，所述护罩与所述刀架可转动连接以使所述抛物面的焦点与切割刀盘的切割点基本重合。

通过采用上述技术方案：冷却喷管喷射冷却液体对切割刀盘以及被切割的工件进行降温，降低切割刀盘以及工件的变形，提升加工质量；同时，自焦点处飞溅的冷却液体的液体护罩内壁阻挡并定向反溅，便于收集。

在进一步的实施例中，所述切割刀盘的外周面形成有若干切刀，所述切刀之间形成有散热间隙。

通过采用上述技术方案：切刀对工件进行切割，形成的热量部分传导至散热间隙通过空气流动散发降温，避免热量在切刀上积聚，进而对切刀进行降温散热。

在进一步的实施例中，所述切刀包括

刀刃部，以切割刀盘的中心为原点，自切割刀盘的周面上的第一起点，沿切割刀盘转动的相反方向外侧螺旋延伸；

刀背部，自切割刀盘的周面上的第二起点以与切割刀盘径向形成预设角度的方式向切割刀盘的外侧延伸，并与所述刀刃部相交形成刀尖部；

所述第二起点沿切割刀盘转动方向至第一起点的周向距离小于第二起点沿切割刀盘转动相反方向至第一起点的周向距离。

通过采用上述技术方案：在切割时，刀刃部对工件进行挤压以达到切割的目的，在切刀与工件相对运动过程中，工件在前一个切刀的刀刃部切入后可以平顺地与下一个切刀的刀刃部接触，从而避免工件与切刀硬性撞击，进一步降低工件和切刀的振动，以提高工件切割的质量和精度。

在进一步的实施例中，所述移动组件包括：

第一直线运动组件，设于机架上，所述第一直线运动组件被设置为在第一方向移动切割组件；

第二直线运动组件，设于第一直线运动组件上，所述第二直线运动组件被设置为在第二方向移动切割组件；

所述第一方向和第二方向在水平面内形成预设夹角。

通过采用上述技术方案：第一直线运动组件能够在第一方向确定切割组件的位置，第二直线运动组件能够在第二方向确定切割组件的位置，通过第一直线运动组件和第二运动组件的协调配合使切割组件在预设位置对工件进行切割。

第二方面，提供一种切割方法，包括以下步骤：

将需要切割的工件夹持在夹持组件的卡爪之间；

启动第一直线运动组件和/或第二直线运动组件以移动切割组件，并使切割组件的切割刀盘在工件的预设位置对工件进行切割；

切刀与工件摩擦，一方面使工件产生与切割刀盘转动方向相反的转动趋势，进而使工件带动夹持组件振动；另一方面摩擦使工件产生热量，并将该热量传导至夹持组件；

自冷却回路的一端引入冷却液体，冷却液体在冷却回路螺旋流动并冲击卡盘，冷却回路的螺旋方向与切割刀盘的转动方向一致以抵消卡盘的振动；流动的冷却液体对卡盘的热量进行降温；

冷却通路将部分冷却液体从冷却回路中引导至冷却槽对卡爪进行降温。

有益效果：本发明提供的减振冷却的切割装置包括机架、切割机构以及夹持机构。其中，切割机构包括移动组件和切割组件。通过移动组件带动切割组件移动至预设位置对工件进行切割。夹持机构包括底座以及夹持组件，并且，夹持组件内形成有冷却回路，通过引入冷却液体，一方面可以对夹持组件进行降温，减轻夹持组件的热胀，避免夹持过紧造成工件损伤；另一方面，冷却液体流动产生的冲击力作用于夹持组件以抵消夹持组件的振动，从而确保夹持稳定性，以提升切割质量和切割精度。

附图说明

图1是减振冷却的切割装置结构示意图。

图2是第一直线运动组件和第二直线运动组件的结构示意图。

图3是切割组件的结构示意图。

图4是夹持组件的结构示意图。

图5是夹持组件的剖视图。

图6是冷却回路的构造图。

图7是冷却液滴在抛物面内溅射示意图。

图8是切割刀盘的改进示意图。

图1至图8中的各标注为：机架10、切割机构20、第一直线运动组件21、第一电机211、第一丝杠212、第一丝母213、第一横板214、第一导轨215、第二直线运动组件22、第二电机221、第二丝杠222、第二丝母223、第二横板224、第二导轨225、切割组件23、刀架231、切割刀盘232、切刀2321、刀刃部23211、刀背部23212、刀尖部23213、散热间隙2322、第一点2323、第二点2324、驱动部件233、冷却喷管234、护罩235、抛物面2351、焦点23511、夹持机构30、底座31、夹持组件32、卡盘321、主体部3211、冷却回路32111、滑槽32112、冷却通路32113、卡爪322、冷却槽3221。

具体实施方式

下面将结合附图和实施例，对本发明技术方案进行清楚、完整的描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在锯齿切割机对工件进行切割时，刀盘上的锯齿在切割过程中，会持续对工件进行冲击使工件产生振动，并将该振动传导至夹持工件的夹持机构，这会导致夹持机构的夹持力松动，进而导致切割质量和切割精度降低；同时，锯齿与工件持续摩擦会产生大量的热量，这些热量会传导至夹持机构，使夹持机构热胀进而损伤工件表面，并且，为了防止烫伤，待工件加工完毕后需要对夹持机构进行充分冷却，这大大降低了切割效率。

为了解决上述问题，本发明提供一种减振冷却的切割装置及方法。如图1至图8所示，本发明提供的切割装置包括：机架10、切割机构20、第一直线运动组件21、第一电机211、第一丝杠212、第一丝母213、第一横板214、第一导轨215、第二直线运动组件22、第二电机221、第二丝杠222、第二丝母223、第二横板224、第二导轨225、切割组件23、刀架231、切割刀盘232、切刀2321、刀刃部23211、刀背部23212、刀尖部23213、散热间隙2322、第一点2323、第二点2324、驱动部件233、冷却喷管234、护罩235、抛物面2351、焦点23511、夹持机构30、底座31、夹持组件32、卡盘321、主体部3211、冷却回路32111、滑槽32112、冷却通路32113、卡爪322、冷却槽3221。

实施例1

结合图1，本实施例提供的减振冷却的切割装置包括：机架10、切割机构20以及夹持机构30。

切割机构20包括移动组件和切割组件23。具体的，移动组件设于机架10上。通过移动组件能够带动切割组件23移动至指定的位置对工件进行切割。移动组件包括第一直线运动组件21和第二直线运动组件22。其中，第一直线运动组件21设于机架10上，设定第一直线运动组件21的移动方向为第一方向。则通过第一直线运动组件21能够在第一方向上移动切割组件23。第二直线运动组件22设于第一直线运动组件21上。设定第二直线运动组件22的移动方向为第二方向。则通过第二直线运动组件22能够在第二方向上移动切割组件23。为了更快和更方便的确定切割组件23的移动位置，第一方向和第二方向在水平面内形成90°的预设夹角。

结合图2，本实施例中的第一直线运动组件21包括第一电机211、与第一电机211的输出端固定连接的第一丝杠212、与第一丝杠212适配的第一丝母213、固定于第一丝母213上的第一横板214以及沿第一丝杠212长度方向设置的第一导轨215，所述第一横板214的下方形成有与第一导轨215适配的第一导槽。第一丝杠212的长度方向与机架10的长度方向一致。通过第一电机211驱动第一丝杠212转动，进而使第一丝母213带动第一横板214沿第一导轨215移动。

本实施例中的第二直线运动组件22包括第二电机221、与第二电机221的输出端固定连接的第二丝杠222、与第二丝杠222适配的第二丝母223、固定于第二丝母223上的第二横板224以及沿第二丝杠222长度方向设置的第二导轨225，所述第二横板224的下方形成有与第二导轨225适配的第二导槽。第二电机221和第二导轨225设于第一横板214上。并且，第二丝杠222的长度方向与机架10的长度方向垂直。通过电二电机驱动第二丝杠222转动，进而使第二丝母223带动第二横板224沿第二导轨225移动。

通过第一直线运动组件21能够在第一方向确定切割组件23的位置，第二直线运动组件22能够在第二方向确定切割组件23的位置，通过第一直线运动组件21和第二运动组件的协调配合使切割组件23在预设位置对工件进行切割。本实施例中的切割组件23设于移动组件上。具体的，结合图3，切割组件23包括刀架231、切割刀盘232以及驱动部件233。其中，刀架231固定于移动组件上。本实施例中，刀架231固定于第二横板224上。切割刀盘232与刀架231转动连接，切割刀盘232的外周面形成有若干切刀2321。驱动部件233设于刀架231上。具体的，驱动部件233采用驱动电机。驱动电机的输出轴与切割刀盘232传动连接。通过驱动电机带动切割刀盘232转动，切割刀盘232转动带动切刀2321转动对工件进行切割。

结合图4至图6，夹持机构30包括固定于机架10上的底座31以及设于底座31上的夹持组件32。其中，夹持组件32内形成有冷却回路32111。通过向冷却回路32111内引入高速冷却液体以抵消夹持组件32的振动，并夹持组件32进行降温。本实施例中的夹持组件32包括卡盘321和至少两个卡爪322。其中，卡盘321包括固定于底座31一侧的环形主体部3211。环形主体部3211沿其轴线方向螺旋环绕形成有冷却回路32111。卡爪322可沿主体底部的径向移动地设于所述卡盘321的一侧。通过卡爪322可以对需要切割的工件进行夹紧。在进行工件切割时，切割刀盘232周向转动对工件进行切割。同时，转动的切割刀盘232会对工件施加作用力。而由于夹持工件的夹持会导致工件难以转动，进而导致工件振动。此时，引入冷却液体，流动的冷却液体对能够将部分热量带出，以对夹持组件32进行降温，从而减轻夹持组件32的热胀，避免夹持过紧造成工件损伤。另一方面，冷却液体在螺旋环绕的冷却回路32111中流动，并对夹持组件32产生反向的冲击力以抵消夹持组件32的振动，从而可以确保夹持稳定性，以提升切割质量和切割精度。举例说明：当切割刀盘232顺时针转动时，会对工件施加逆时针转动的作用力，此时只需要调整冷却液体在冷却回路32111中的流量，使冷却液体的流向也为顺时针方向即可。

主体部3211沿自身径向方向设有多个滑槽32112，滑槽32112的数量与卡爪322的数量相等。并且，卡爪322可移动地设于滑槽32112内。通过卡爪322的相互靠近可以对工件进行夹紧。卡爪322的两侧沿卡爪322的长度方向开有冷却槽3221；同时，主体部3211形成有数量与卡爪322数量相等的冷却通路32113。并且，冷却通路32113的一端与冷却槽3221连通，冷却通路32113的另一端与所述冷却回路32111连通。通过将冷却通路32113将冷却回路32111中的冷却液体引导至冷却槽3221可以对卡爪322进行降温。并且，由于冷却槽3221沿卡爪322的长度方向开设。即使卡爪322沿主体部3211的径向移动时，冷却槽3221能够始终与冷却通路32113连通，从而确保冷却槽3221始终有冷却液体供应，以有效对卡爪322进行降温。通过上述技术方案能够有效地对整个夹持机构30进行降温冷却，可以避免因夹持机构30热胀造成工件表面损伤的情况；同时，在工件加工完毕后，也能快速将工件从夹持机构30上取下，以提升加工效率。

实施例1的技术方案不仅能够降低夹持机构30的振动，以提升切割质量和切割精度；同时，还能够对夹持机构30进行有效的降温。但是，在实际切割过程中，还需要对工件进行有效的降温。因此，为了进一步提升工件的切割质量，还需要对切割过程中的工件进行有效的降温

实施例2

如图1所示，本实施例提供的减振冷却的切割装置包括：机架10、切割机构20以及夹持机构30。

具体的，机架10以及夹持机构30与实施例1的技术方案相同。机架10以及夹持机构30的具体结构在实施例1的技术方案中已经进行详细的说明，此处不再赘述。

结合图3，切割机构20包括设于机架10上的移动组件以及设于移动组件上的切割组件23。其中，移动组件也与实施例1的技术方案相同，此处也不再赘述。切割组件23包括刀架231、切割刀盘232、驱动部件233、冷却喷管234以及护罩235。其中，刀架231、切割刀盘232、驱动部件233的具体结构参照实施例1的技术方案。冷却喷管234设于刀架231上。通过冷却喷管234引导冷却液体冲击切割刀盘232的切割点，从而对切割刀盘232以及工件进行降温，进而降低切割刀盘232以及工件的变形，以提升切割加工的质量。

冷却喷管234喷射的冷却液在冲击切割刀盘232和工件时，会产生很多飞溅的液滴。这些飞溅的液体四处溅射，导致难以处理。一个很好的方法是设置护罩235，通过护罩235对飞溅的液体进行阻挡，从而将飞溅的液体集聚在一定的范围内。但是，这种方法无法对飞溅的冷却液体进行定向收集。

为了解决上述问题，结合图7，在进一步的实施例中，护罩235与刀架231可转动连接。具体的，护罩235可绕切割刀盘232的轴线转动一定的角度，进而调整护罩235的倾斜角度。另外，护罩235的内壁形成有抛物面2351。具体的，该抛物面2351为椭圆抛物面2351。通过转动护罩235，可以确保该抛物面2351的焦点23511与切割刀盘232切割工件时的切割点基本重合。根据抛物面2351的特性可知，任何从该抛物面2351的焦点23511飞溅的液滴在撞击抛物面2351后反向飞溅的方向平行，进而便于对飞溅液体的定向收集。

实施例1的技术方案能够有效地对夹持机构30进行降温。实施例2的技术方案在实施例1的基础上能够对切割中的工件进行降温，以有效地降低工件和夹持机构30的热胀变形。在实施例1和实施例2的基础上，有必要对切割机构20进行降温，以降低切割机构20受损风险以及提高工件切割质量。

实施例3

本实施例提供的减振冷却的切割装置包括：机架10、切割机构20以及夹持机构30。

机架10、夹持机构30与实施例1或实施例2的技术方案相同，其具体结构参照实施例1和实施例二的技术方案，此处不再赘述。

切割机构20包括设于机架10上的移动组件以及设于移动组件上的切割组件23。切割组件23包括刀架231、切割刀盘232、驱动部件233、冷却喷管234以及护罩235。其中，移动组件、刀架231、驱动部件233、冷却喷管234以及护罩235也与实施例1或实施例2的技术方案相同，具体机构参照实施例1或实施例2的技术方案。

切割刀盘232与所述刀架231转动连接，并且与驱动部件233传动连接。通过驱动部件233能够带动切割刀盘232转动进行切割。结合图8，切割刀盘232的外周面形成有若干切刀2321，并且切刀2321之间形成有散热间隙2322。在切刀2321对工件进行切割时，摩擦产生的热量会传导至散热间隙2322，并通过空气流动散发降温，避免热量在切刀2321上积聚，进而对切刀2321进行降温散热。

现有技术中，刀盘上也会设置切刀2321，通常切刀2321都是三角形的，在对工件进行切割时，工件与三角形的切刀2321撞击时，切刀2321的刀刃面与工件接触的角度β较小，因此撞击的力度较大。为了解决这一问题，本实施例中的切刀2321包括刀刃部23211和刀背部23212。同时定义位于切割刀盘232周面上若干成对设置的第一点2323和第二点2324。第二起点沿切割刀盘232转动方向至第一起点的周向距离小于第二起点沿切割刀盘232转动相反方向至第一起点的周向距离。切刀2321的刀刃部23211是以切割刀盘232的中心为原点，自切割刀盘232的周面上的第一起点，沿切割刀盘232转动的相反方向外侧螺旋延伸。而切刀2321的刀背部23212自切割刀盘232的周面上的第二起点以与切割刀盘232径向形成预设角度α的方式向切割刀盘232的外侧延伸，并与所述刀刃部23211相交形成刀尖部23213。具体的，预设角度α设定为大于110°，具体的，设定范围最好是115-130°之间。在切刀2321切割工件的过程中，前一个切刀2321的刀刃部23211切入工件内部后，工件继续与后一个切刀2321靠近，并与后一个切刀2321的刀刃部23211平顺的接触，由于切刀2321的刀刃部23211与工件接触的角度β`较大，因此撞击的力度较小，从而可以降低切刀2321与工件的撞击力度和振动强度，既能保护切刀2321，又能避免因撞击力度过大导致切割精度和切割质量降低的情况。

工作原理：将需要切割的工件夹持在夹持组件32的卡爪322之间。启动第一直线运动组件21和/或第二直线运动组件22以移动切割组件23，并使切割组件23的切割刀盘232在工件的预设位置对工件进行切割。切刀2321与工件摩擦，一方面使工件产生与切割刀盘232转动方向相反的转动趋势，进而使工件带动夹持组件32振动；另一方面摩擦使工件产生热量，并将该热量传导至夹持组件32。自冷却回路32111的一端引入冷却液体，冷却液体在冷却回路32111螺旋流动并冲击卡盘321，冷却回路32111的螺旋方向与切割刀盘232的转动方向一致以抵消卡盘321的振动；流动的冷却液体对卡盘321的热量进行降温。冷却通路32113将部分冷却液体从冷却回路32111中引导至冷却槽3221对卡爪322进行降温。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种减振冷却的切割装置，其特征在于，包括：

机架，

切割机构，包括设于机架上的移动组件以及设于移动组件上的切割组件，

夹持机构，包括固定于机架上的底座以及设于底座上的夹持组件，所述夹持组件内形成有冷却回路，所述冷却回路被设置为通过引入冷却液体冲击夹持组件以抵消夹持组件的振动，并对夹持组件进行降温。

2.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，

所述夹持组件包括：

卡盘，包括固定于底座一侧的环形主体部，所述环形主体部沿其轴线方向螺旋环绕形成有冷却回路；

至少两个卡爪，可沿主体底部的径向移动地设于所述卡盘的一侧，所述卡爪被设置为对需要切割的工件进行夹紧。

3.根据权利要求2所述的切割装置，其特征在于，

所述主体部沿径向设有与卡爪数量相等的滑槽，所述卡爪可移动地设于所述滑槽内；

所述卡爪的两侧沿卡爪的长度方向开有冷却槽；

所述主体部形成有数量与卡爪数量相等的冷却通路，所述冷却通路的一端与冷却槽连通，所述冷却通路的另一端与所述冷却回路连通。

4.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，

所述切割组件包括：

刀架，固定于所述移动组件；

切割刀盘，与所述刀架转动连接；

驱动部件，设于所述刀架上，并与所述切割刀盘传动连接以带动所述切割刀盘转动进行切割。

5.根据权利要求4所述的切割装置，其特征在于，

所述切割组件还包括：

冷却喷管，设于所述刀架，所述冷却喷管被设置为引导冷却液冲击切割刀盘的切割点；

护罩，其内壁形成为抛物面，所述护罩与所述刀架可转动连接以使所述抛物面的焦点与切割刀盘的切割点基本重合。

6.根据权利要求4所述的切割装置，其特征在于，

所述切割刀盘的外周面形成有若干切刀，所述切刀之间形成有散热间隙。

7.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于，

所述切刀包括：

刀刃部，以切割刀盘的中心为原点，自切割刀盘的周面上的第一起点，沿切割刀盘转动的相反方向外侧螺旋延伸；

刀背部，自切割刀盘的周面上的第二起点以与切割刀盘径向形成预设角度的方式向切割刀盘的外侧延伸，并与所述刀刃部相交形成刀尖部；

所述第二起点沿切割刀盘转动方向至第一起点的周向距离小于第二起点沿切割刀盘转动相反方向至第一起点的周向距离。

8.根据权利要求1所述的切割装置，其特征在于，

所述移动组件包括：

第一直线运动组件，设于机架上，所述第一直线运动组件被设置为在第一方向移动切割组件；

第二直线运动组件，设于第一直线运动组件上，所述第二直线运动组件被设置为在第二方向移动切割组件；

所述第一方向和第二方向在水平面内形成预设夹角。

9.一种切割方法，其特征在于，包括：

将需要切割的工件夹持在夹持组件的卡爪之间；

启动第一直线运动组件和/或第二直线运动组件以移动切割组件，并使切割组件的切割刀盘在工件的预设位置对工件进行切割；

切刀与工件摩擦，一方面使工件产生与切割刀盘转动方向相反的转动趋势，进而使工件带动夹持组件振动；另一方面摩擦使工件产生热量，并将该热量传导至夹持组件；

自冷却回路的一端引入冷却液体，冷却液体在冷却回路螺旋流动并冲击卡盘，冷却回路的螺旋方向与切割刀盘的转动方向一致以抵消卡盘的振动；流动的冷却液体对卡盘的热量进行降温；

冷却通路将部分冷却液体从冷却回路中引导至冷却槽对卡爪进行降温。

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