CN113495352A - 一种低温探针台的工件容载腔体 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种低温探针台的工件容载腔体,涉及低温探针台技术领域,支杆末端均嵌入设置于腔体内侧,且载物台外壁四侧均开有开口,对工件的四侧进行稳固,工件不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况,并且不妨碍正常的检测工作,撑板前端开有滑道,且撑板前端滑动连接有连接板,连接板后端固定有与其为一体的滑块,且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接,通过连接板支撑显微镜的上下移动,便于检测人员使用显微镜对工件进行观察,解决了工件在进行低温探针时不便于被固定好,以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况,造成工作的不便,并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察,显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。
Description
技术领域
本发明涉及低温探针台技术领域,尤其是涉及一种低温探针台的工件容载腔体。
背景技术
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本,而低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台,现有的低温探针台的工件容载腔体结构单一,工件在进行低温探针时不便于被固定好,以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况,造成工作的不便,并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察,显微镜不易垂直对工件进行成像。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:工件在进行低温探针时不便于被固定好,以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况,造成工作的不便,并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察,显微镜不易垂直对工件进行成像,针对现有技术存在的问题,提供了一种低温探针台的工件容载腔体。
本发明要解决的技术问题采用以下技术方案来实现:一种低温探针台的工件容载腔体,包括腔体和撑板,所述撑板焊接在腔体后端;
所述腔体内部设有载物台,且载物台底端四侧均固定连接有支杆,所述支杆末端均嵌入设置于腔体内侧,且载物台外壁四侧均开有开口,所述载物台顶面且位于开口正上方均开有活动槽,且开口内部均设置有螺杆,所述螺杆中心均穿插有转芯,且活动槽内部均滑动连接有卡板,所述卡板外侧均固定有与其为一体的齿条;
所述撑板前端开有滑道,且撑板前端滑动连接有连接板,所述连接板后端固定有与其为一体的滑块,且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接。
优选的,所述腔体外壁四侧均开有连接口,并开口和连接口交替分布,且载物台通过支杆与腔体连接。
优选的,所述开口与活动槽之间相互贯通,且卡板均呈“L”形状,所述螺杆通过转芯与开口转动连接,且螺杆后端凸出并延伸至活动槽内。
优选的,所述齿条与螺杆相互卡接,且卡板在活动槽内部上下移动。
优选的,所述卡板之间呈环形排布。
优选的,所述滑道内部和滑块后端均开有对应口,且滑道内的对应口数量为若干个并呈垂直排布。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
检测人员将工件拿起并放置到载物台上,工件放置好后,检测人员再分别划动螺杆,螺杆在转动的同时,卡板会随螺杆的转动而进行移动,可通过螺杆来调整卡板将载物台上的工件卡好,检测人员按照此方法将所有的卡板往下移动,四个卡板分别卡住工件的四侧,对工件进行稳固,工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况,并且不妨碍正常的检测工作。
检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板上,并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台,可使用显微镜对工件进行观察,将对应口内的螺栓拧下,滑块即可在滑道内进行滑动,让显微镜的镜头向下靠近工件,检测人员移动显微镜至合适的状态后,可再次将外部的螺栓拧入到相对应的两个对应口当中,固定好滑块当前的位置,通过连接板支撑显微镜的上下移动,便于检测人员使用显微镜对工件进行观察。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的载物台结构示意图;
图3为本发明的载物台结构局部放大示意图;
图4为本发明的卡板结构示意图;
图5为本发明的螺杆结构示意图;
图6为本发明的撑板结构示意图。
图中标记:腔体1、连接口101、载物台2、支杆201、开口202、活动槽203、卡板3、齿条301、螺杆4、转芯401、撑板5、滑道501、对应口502、连接板6、滑块601。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参阅图1-图6,本发明提供一种低温探针台的工件容载腔体,包括腔体1和撑板5,所述撑板5焊接在腔体1后端,下面对一种低温探针台的工件容载腔体的各个部件进行详细描述:
所述腔体1内部设有载物台2,且载物台2底端四侧均固定连接有支杆201,所述支杆201末端均嵌入设置于腔体1内侧,且载物台2外壁四侧均开有开口202,所述载物台2顶面且位于开口202正上方均开有活动槽203,且开口202内部均设置有螺杆4,所述螺杆4中心均穿插有转芯401,且活动槽203内部均滑动连接有卡板3,所述卡板3外侧均固定有与其为一体的齿条301,首先检测人员应当将低温探针的各个结构安装好,所述腔体1外壁四侧均开有连接口101,并开口202和连接口101交替分布,且载物台2通过支杆201与腔体1连接,把探针结构安装于连接口101当中,并且探针会位于腔体1内部,所述卡板3之间呈环形排布,探针分别位于卡板3之间的空间即可,探针结构安装好后,进入到检测工序,工件削切成圆盘形较便于检测人员的检测工作,检测人员将工件拿起并放置到载物台2上,工件放置好后,检测人员再分别划动螺杆4,所述开口202与活动槽203之间相互贯通,且卡板3均呈“L”形状,所述螺杆4通过转芯401与开口202转动连接,且螺杆4后端凸出并延伸至活动槽203内,螺杆4通过转芯401在开口202当中进行旋转,所述齿条301与螺杆4相互卡接,且卡板3在活动槽203内部上下移动,并且因为螺杆4与卡板3之间卡接,而螺杆4外壁又开有若干圈倾斜状的螺纹,所以螺杆4在转动的同时,卡板会随螺杆4的转动而进行移动,工件被放置到载物台2之前,卡板3为最高位置,以确保工件被顺利放入,工件放置好分别后,检测人员可通过螺杆4来调整卡板3将载物台2上的工件卡好,呈“L”形状的卡板3恰好把工件卡在内侧,检测人员按照此方法将所有的卡板3往下移动,四个卡板3分别卡住工件的四侧,对工件进行稳固,工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台2的情况,连接口101与卡板3之间位置交替排布,探针朝向于工件为被卡板3卡住的位置,不妨碍正常的检测工作;
所述撑板5前端开有滑道501,且撑板5前端滑动连接有连接板6,所述连接板6后端固定有与其为一体的滑块601,且滑块601位于滑道501内部并与滑道501滑动连接,连接板6表面均匀开有若干个对应口502,检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板6上,并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台2,检测人员可将滑块601滑动至滑道501的顶部,所述滑道501内部和滑块601后端均开有对应口502,且滑道501内的对应口502数量为若干个并呈垂直排布,滑块601上的对应口502会与滑道501上位置最高的对应口502相互对应,检测人员使用外界的对应口502将滑块601与滑道501进行固定,通过外部的低温探针对工件进行低温处理,最后可使用显微镜对工件进行观察,将对应口502内的螺栓拧下,滑块601即可在滑道501内进行滑动,连接板6通过滑块601以及滑道501保持垂直的上下移动,连接板6垂直向下移动,让显微镜的镜头向下靠近工件,检测人员移动显微镜至合适的状态后,可再次将外部的螺栓拧入到相对应的两个对应口502当中,固定好滑块601当前的位置,通过连接板6支撑显微镜的上下移动,便于检测人员使用显微镜对工件进行观察。
以上仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,应当指出的是,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种低温探针台的工件容载腔体,包括腔体(1)和撑板(5),所述撑板(5)焊接在腔体(1)后端,其特征在于:
所述腔体(1)内部设有载物台(2),且载物台(2)底端四侧均固定连接有支杆(201),所述支杆(201)末端均嵌入设置于腔体(1)内侧,且载物台(2)外壁四侧均开有开口(202),所述载物台(2)顶面且位于开口(202)正上方均开有活动槽(203),且开口(202)内部均设置有螺杆(4),所述螺杆(4)中心均穿插有转芯(401),且活动槽(203)内部均滑动连接有卡板(3),所述卡板(3)外侧均固定有与其为一体的齿条(301);
所述撑板(5)前端开有滑道(501),且撑板(5)前端滑动连接有连接板(6),所述连接板(6)后端固定有与其为一体的滑块(601),且滑块(601)位于滑道(501)内部并与滑道(501)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体,其特征在于:所述腔体(1)外壁四侧均开有连接口(101),并开口(202)和连接口(101)交替分布,且载物台(2)通过支杆(201)与腔体(1)连接。
3.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体,其特征在于:所述开口(202)与活动槽(203)之间相互贯通,且卡板(3)均呈“L”形状,所述螺杆(4)通过转芯(401)与开口(202)转动连接,且螺杆(4)后端凸出并延伸至活动槽(203)内。
4.根据权利要求3所述的一种低温探针台的工件容载腔体,其特征在于:所述齿条(301)与螺杆(4)相互卡接,且卡板(3)在活动槽(203)内部上下移动。
5.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体,其特征在于:所述卡板(3)之间呈环形排布。
6.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体,其特征在于:所述滑道(501)内部和滑块(601)后端均开有对应口(502),且滑道(501)内的对应口(502)数量为若干个并呈垂直排布。
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103792443A (zh) * | 2012-11-01 | 2014-05-14 | 国家纳米科学中心 | 探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法 |
CN205151636U (zh) * | 2015-11-20 | 2016-04-13 | 山东杰锋机械制造有限公司 | 一种容器盖提升装置 |
CN106569116A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-04-19 | 河南大学 | 一种探针台及低温测试系统 |
CN206202029U (zh) * | 2016-12-02 | 2017-05-31 | 中铁建电气化局集团南方工程有限公司 | 一种可调式柱式绝缘子增高底座 |
CN108555637A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-09-21 | 黄山市麦佰机械自动化有限公司 | 一种机床用工件固定装置 |
CN109512397A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-26 | 西安泰豪红外科技有限公司 | 一种升降式医用红外热像仪 |
CN208773404U (zh) * | 2018-10-16 | 2019-04-23 | 南昌市奇政模具机械有限公司 | 一种汽车配件切削定位夹具 |
CN209615250U (zh) * | 2018-12-08 | 2019-11-12 | 上海邦山实业有限公司 | 一种机械铸件加工用夹紧装置 |
CN209844453U (zh) * | 2019-04-01 | 2019-12-24 | 山西华瑞机电设备有限公司 | 一种电缆支架 |
CN110687115A (zh) * | 2019-08-27 | 2020-01-14 | 上海探芯电子科技有限公司 | 一种半导体检测探针平台 |
CN210060886U (zh) * | 2019-05-29 | 2020-02-14 | 翔润机械部件生产(大连)有限公司 | 一种阶梯环形产品用夹具 |
-
2020
- 2020-04-08 CN CN202010271087.1A patent/CN113495352A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103792443A (zh) * | 2012-11-01 | 2014-05-14 | 国家纳米科学中心 | 探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法 |
CN205151636U (zh) * | 2015-11-20 | 2016-04-13 | 山东杰锋机械制造有限公司 | 一种容器盖提升装置 |
CN106569116A (zh) * | 2016-10-10 | 2017-04-19 | 河南大学 | 一种探针台及低温测试系统 |
CN206202029U (zh) * | 2016-12-02 | 2017-05-31 | 中铁建电气化局集团南方工程有限公司 | 一种可调式柱式绝缘子增高底座 |
CN108555637A (zh) * | 2018-07-09 | 2018-09-21 | 黄山市麦佰机械自动化有限公司 | 一种机床用工件固定装置 |
CN208773404U (zh) * | 2018-10-16 | 2019-04-23 | 南昌市奇政模具机械有限公司 | 一种汽车配件切削定位夹具 |
CN209615250U (zh) * | 2018-12-08 | 2019-11-12 | 上海邦山实业有限公司 | 一种机械铸件加工用夹紧装置 |
CN109512397A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-26 | 西安泰豪红外科技有限公司 | 一种升降式医用红外热像仪 |
CN209844453U (zh) * | 2019-04-01 | 2019-12-24 | 山西华瑞机电设备有限公司 | 一种电缆支架 |
CN210060886U (zh) * | 2019-05-29 | 2020-02-14 | 翔润机械部件生产(大连)有限公司 | 一种阶梯环形产品用夹具 |
CN110687115A (zh) * | 2019-08-27 | 2020-01-14 | 上海探芯电子科技有限公司 | 一种半导体检测探针平台 |
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