CN113471115B - 键合机加热冷却装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及键合机技术领域，具体是一种键合机加热冷却装置，包括上下设置的顶座和底座，所述底座的侧端固定连接有与第一加热冷却座相适配的第二加热冷却座，所述第一加热冷却座与第二加热冷却座之间设置有输送机构，所述第一加热冷却座连接有传动机构，所述传动机构包括第一齿条和齿轮组，所述输送机构包括推块和第二齿条，所述第一齿条通过齿轮组驱动第二齿条带着推块往复于底座与第二加热冷却座之间，本发明通过第一齿条、齿轮组、第二齿条和推块的配合作用，晶圆键合完成后，随着第一加热冷却座向上移动，推块将键合完成的晶圆从第二加热冷却座上推出，实现晶圆的自动取出，大大降低了晶圆取出过程中的烫伤危险系数，安全性更高。

Description

键合机加热冷却装置

技术领域

本发明涉及键合机技术领域，具体是一种键合机加热冷却装置。

背景技术

键合机是一种用于物理学领域的仪器，晶圆键合技术可以将不同材料的晶圆结合在一起，晶圆键合是半导体器件三维加工的一个重要的工艺。晶圆键合的主要工艺步骤包括晶圆表面的处理，晶圆的对准以及最终的晶圆键合。通过这些工艺步骤，独立的单张晶圆被对准，然后键合在一起，实现其三维结构。键合机需要在两个可以加热的平板之间放入待键合材料，然后施加压力、温度、电压等外部条件，通过范德华力、分子力甚至原子力将材料键合在一起。因此，压力和温度是键合机的两个重要指标。

经检索，公开号为CN106925867A的中国发明专利公开了一种键合机加热冷却装置及其制作方法，将加热丝和冷却管集成为一个组件，并通过焊接层均匀焊接在一起，减小了整体的厚度，减小了传热路径长度，冷却效率得到提高。但是在上述方案中，存在问题如下：

（1）晶圆键合完成后，需要取出晶圆，但是加热冷却装置难以快速冷却下来，导致取出晶圆时存在一定的烫伤危险。

（2）加热冷却装置在自冷却时，一般都是利用其内部冷却结构进行冷却，实现由内而外逐渐冷却，冷却时间较长。

发明内容

本发明的目的在于提供一种键合机加热冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本发明的技术方案是：一种键合机加热冷却装置，包括上下设置的顶座和底座，所述顶座与底座之间固定连接有支撑板，所述顶座的下端固定连接有液压缸，所述液压缸输出端固定连接有第一加热冷却座，所述底座的侧端固定连接有与第一加热冷却座相适配的第二加热冷却座，所述第一加热冷却座与第二加热冷却座之间设置有输送机构，所述第一加热冷却座靠近底座的侧端与输送机构之间连接有传动机构，所述底座的上端固定连接有支撑座，所述传动机构包括固定连接于第一加热冷却座侧端的第一齿条和转动连接于支撑座上的齿轮组，所述输送机构包括推块和固定连接于推块侧端的第二齿条，所述齿轮组啮合于第一齿条与第二齿条之间，所述第一齿条通过齿轮组驱动第二齿条带着推块在底座与第二加热冷却座之间往复运动。

优选的，所述齿轮组包括与第一齿条相啮合的齿轮一以及与第二齿条相啮合的齿轮二，所述齿轮一和齿轮二之间同轴固定连接有转轴，所述转轴与支撑座转动连接，所述齿轮二的直径大于齿轮一的直径。

优选的，所述顶座的下端固定连接有支撑套，所述支撑套套设于第一齿条的外侧，所述支撑座的侧端固定连接有罩设于齿轮一和齿轮二外侧的齿轮箱，所述转轴转动连接于齿轮箱与支撑座之间。

优选的，所述输送机构还包括连接于推块与底座之间的滑动结构一，所述推块上连接有辅助冷却机构，所述滑动结构一包括设置于推块下端的滑槽一以及固定连接于底座上端的滑块一，所述滑块一与滑槽一滑动连接。

优选的，所述辅助冷却机构包括固定连接于推块一侧端部的鼓风机，所述推块的内侧设置有空腔，所述推块的上下两端面均密布有与空腔相连通的出风孔，所述鼓风机的输出端与空腔相连通。

优选的，所述推块远离底座一侧的下端固定连接有擦拭块，所述底座的上端固定连接有罩设于推块外侧的防尘罩。

优选的，所述推块远离底座的端部连接有夹放构件，所述夹放构件包括反向螺杆和一对夹板，所述推块的侧端固定连接有供反向螺杆转动连接的连接套，所述反向螺杆上设有螺旋方向相反的两段螺纹，两个所述夹板上分别设置有与两段螺纹相配合的螺孔，所述夹板与推块之间连接有滑动结构二，所述滑动结构二包括设置于推块侧端的滑槽二和固定连接于夹板端部的滑块二，所述滑块二与滑槽二滑动连接，所述第二加热冷却座远离底座的端部固定连接有放置盒，一对所述夹板相互靠近的端面均固定连接有缓冲垫。

优选的，所述反向螺杆的一端固定连接有齿轮三，所述第二加热冷却座的上端一侧中部固定连接有与齿轮三相啮合的第三齿条。

优选的，所述推块的上侧设置有散热板一，所述推块的下端固定连接有散热板二，所述散热板一与推块之间固定连接有压缩弹簧和伸缩管，且伸缩管套设于压缩弹簧的外侧，所述散热板一和散热板二的内侧均设置有蛇形冷却腔，所述蛇形冷却腔中填充有冷却液，所述蛇形冷却腔的两端部与空腔之间均固定连通有折叠管，所述压缩弹簧套设于折叠管的外侧，所述空腔内部连接有制冷器，所述制冷器的两端与折叠管之间分别连接有回水管和出水管。

优选的，所述出水管的中部固定连通有过渡盒，所述鼓风机的输出端固定连接有风管，所述风管贯穿过渡盒并与空腔相连通，且风管位于过渡盒内侧部分设置为螺旋段。

本发明通过改进在此提供一种键合机加热冷却装置，与现有技术相比，具有如下改进及优点：

其一：本发明通过第一齿条、齿轮组、第二齿条和推块的配合作用，晶圆键合完成后，随着第一加热冷却座向上移动，推块在第一齿条、齿轮组和第二齿条的传动作用下将键合完成的晶圆从第二加热冷却座上推出，实现晶圆的自动取出，大大降低了晶圆取出过程中的烫伤危险系数，安全性更高，且通过压缩弹簧和内设蛇形冷却腔的散热板配合作用，在自动取出晶圆的过程中，压缩弹簧使得散热板一在第一加热冷却座向下移动的过程中始终贴合第一加热冷却座，结合蛇形冷却腔中循环的冷却液对第一加热冷却座进行持续、均匀且稳定的散热作用，与第一加热冷却座和第二加热冷却座内设的冷却结构实现内外同步冷却，提高冷却效果，加快冷却速度。

其二：本发明通过将鼓风机的风管贯穿装有冷却液的过渡盒，鼓风机鼓出的风经过风管的过程中，经过制冷器降温的冷却液可有效降低风管内部温度，从而降低鼓出风的温度，其中，螺旋段可延长风管浸泡在冷却液中的长度，从而增大风管与冷却液的接触面积，风管内部温度得以进一步降低，进而使得风冷效果更佳，结合散热板、第一加热冷却座和第二加热冷却座内设的冷却结构实现内外同步冷却，进一步增强冷却效果。

其三：本发明通过第一齿条、齿轮组、第二齿条、推块、反向螺杆、夹板、齿轮三和第三齿条的配合作用，齿轮三在第三齿条的作用下带着反向螺杆反向转动，从而驱动一对夹板相互远离，此时晶圆落至第一加热冷却座与第二加热冷却座之间，等待键合，实现晶圆的自动输送，且通过在推块上连接辅助冷却机构和擦拭块，键合完成后，推块向外推出晶圆的同时，擦拭块随着推块平移并擦除第二加热冷却座上表面的杂物，实现第二加热冷却座的自清洁作用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释：

图1是本发明的整体立体结构示意图；

图2是本发明的第一齿条处的立体结构示意图；

图3是本发明去除顶座状态下的立体结构示意图；

图4是本发明的传动机构处的立体结构示意图；

图5是本发明的输送机构处的立体结构示意图；

图6是本发明的输送机构处的爆炸图；

图7是本发明的蛇形冷却腔处的立体结构示意图；

图8是本发明的散热板一处的立体结构示意图；

图9是本发明的过渡盒内部的立体结构示意图。

附图标记说明：1、顶座；2、第二加热冷却座；3、第一加热冷却座；4、液压缸；5、推块；6、放置盒；7、第二齿条；8、第一齿条；9、齿轮一；10、齿轮二；11、支撑套；12、齿轮箱；13、支撑座；14、转轴；15、鼓风机；16、出风孔；17、夹板；18、缓冲垫；19、滑块二；20、滑槽二；21、连接套；22、反向螺杆；23、齿轮三；24、第三齿条；25、防尘罩；26、滑块一；27、滑槽一；28、螺孔；29、擦拭块；30、底座；31、散热板一；32、制冷器；33、回水管；34、出水管；35、蛇形冷却腔；36、折叠管；37、压缩弹簧；38、伸缩管；39、过渡盒；40、风管；41、螺旋段；42、散热板二；43、支撑板。

具体实施方式

下面对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明通过改进在此提供一种键合机加热冷却装置，本发明的技术方案是：

如图1-图6所示，一种键合机加热冷却装置，包括上下设置的顶座1和底座30，顶座1与底座30之间固定连接有支撑板43，顶座1的下端固定连接有液压缸4，液压缸4输出端固定连接有第一加热冷却座3以驱动第一加热冷却座3上下移动；底座30的侧端固定连接有与第一加热冷却座3相适配的第二加热冷却座2，第一加热冷却座3和第二加热冷却座2均内设有加热结构和冷却结构，第一加热冷却座3与第二加热冷却座2配合对晶圆进行键合作业，键合时，利用第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的加热结构加热，键合完成后，利用第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的冷却结构对第一加热冷却座3和第二加热冷却座2自身进行冷却。

第一加热冷却座3与第二加热冷却座2之间设置有输送机构，第一加热冷却座3靠近底座30的侧端与输送机构之间连接有传动机构，底座30的上端固定连接有支撑座13，传动机构包括固定连接于第一加热冷却座3侧端的第一齿条8和转动连接于支撑座13上的齿轮组，输送机构包括推块5和固定连接于推块5侧端的第二齿条7，齿轮组啮合于第一齿条8与第二齿条7之间，第一齿条8通过齿轮组驱动第二齿条7带着推块5在底座30与第二加热冷却座2之间往复运动；晶圆键合完成后，液压缸4驱动第一加热冷却座3向上移动，第一齿条8随着第一加热冷却座3同步向上移动，向上移动的第一齿条8驱动齿轮组转动，转动的齿轮组驱动第二齿条7带着推块5朝向第二加热冷却座2滑动，随着第一加热冷却座3继续向上移动，推块5将键合完成的晶圆从第二加热冷却座2上推出，实现晶圆的自动取出，大大降低了晶圆取出过程中的烫伤危险系数，安全性更高。

进一步的，齿轮组包括与第一齿条8相啮合的齿轮一9以及与第二齿条7相啮合的齿轮二10，齿轮一9和齿轮二10之间同轴固定连接有转轴14，转轴14与支撑座13转动连接，齿轮二10的直径大于齿轮一9的直径；第一齿条8驱动齿轮一9转动时，齿轮一9带着齿轮二10同步转动，由于齿轮二10的直径大于齿轮一9的直径，齿轮二10可驱动第二齿条7带着推块5朝向第二加热冷却座2快速滑动。

进一步的，顶座1的下端固定连接有支撑套11，支撑套11套设于第一齿条8的外侧，支撑座13的侧端固定连接有罩设于齿轮一9和齿轮二10外侧的齿轮箱12，转轴14转动连接于齿轮箱12与支撑座13之间；支撑套11套设于第一齿条8的外侧可更好的保护第一齿条8、齿轮一9和齿轮二10。

进一步的，输送机构还包括连接于推块5与底座30之间的滑动结构一，滑动结构一包括设置于推块5下端的滑槽一27以及固定连接于底座30上端的滑块一26，滑块一26与滑槽一27滑动连接；滑块一26沿着滑槽一27滑动，提高推块5与底座30之间相对移动过程中的稳定性。

推块5上连接有辅助冷却机构；滑动结构一可提高推块5与底座30之间相对移动过程中的稳定性，辅助冷却机构可结合第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的冷却结构实现内外同步冷却，提高冷却效果，加快冷却速度。

进一步的，辅助冷却机构包括固定连接于推块5一侧端部的鼓风机15，推块5的内侧设置有空腔，推块5的上下两端面均密布有与空腔相连通的出风孔16，鼓风机15的输出端与空腔相连通；键合完成后，推块5向外推出晶圆的同时，鼓风机15结合第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的冷却结构实现内外同步冷却，提高冷却效果，加快冷却速度。

进一步的，推块5远离底座30一侧的下端固定连接有擦拭块29，底座30的上端固定连接有罩设于推块5外侧的防尘罩25；键合完成后，推块5向外推出晶圆的同时，擦拭块29随着推块5贴合第二加热冷却座2的上表面平移，擦除第二加热冷却座2上表面的杂物，实现第二加热冷却座2的自清洁作用，防尘罩25可在闲置状态下对推块5进行遮挡，减少积尘。

进一步的，推块5远离底座30的端部连接有夹放构件，夹放构件包括反向螺杆22和一对夹板17，推块5的侧端固定连接有供反向螺杆22转动连接的连接套21，反向螺杆22上设有螺旋方向相反的两段螺纹，两个夹板17上分别设置有与两段螺纹相配合的螺孔28，夹板17与推块5之间连接有滑动结构二；反向螺杆22为两头对称设置有相反螺纹的螺杆，例如正向转动反向螺杆22，一对夹板17相互靠近，反向转动反向螺杆22，一对夹板17相互远离，转动反向螺杆22，转动的反向螺杆22驱动一对夹板17相互靠近或者远离，夹持或者松开晶圆，便于将晶圆自动送入第一加热冷却座3与第二加热冷却座2之间进行键合。

滑动结构二包括设置于推块5侧端的滑槽二20和固定连接于夹板17端部的滑块二19，滑块二19与滑槽二20滑动连接，第二加热冷却座2远离底座30的端部固定连接有放置盒6，一对夹板17相互靠近的端面均固定连接有缓冲垫18；缓冲垫18可采用表面设置有防滑的橡胶垫或者硅胶垫，其自身柔软且与晶圆之间的摩擦力大，夹持更加稳定，且不易夹坏晶圆。

进一步的，反向螺杆22的一端固定连接有齿轮三23，第二加热冷却座2的上端一侧中部固定连接有与齿轮三23相啮合的第三齿条24；操作人员手动将待键合的两片晶圆初步固定，然后将初步固定好的一对晶圆夹持在一对夹板17之间，利用液压缸4驱动第一加热冷却座3向下移动，第一齿条8随着第一加热冷却座3同步向下移动，向下移动的第一齿条8驱动齿轮组转动，转动的齿轮组驱动第二齿条7带着推块5朝向底座30滑动，随着第一加热冷却座3继续向下移动，齿轮三23随着推块5接近第三齿条24，齿轮三23在第三齿条24的作用下带着反向螺杆22反向转动，从而驱动一对夹板17相互远离，此时晶圆落至第一加热冷却座3与第二加热冷却座2之间，等待键合，实现晶圆的输送。

工作原理：利用外部控制器控制液压缸4驱动第一加热冷却座3向上移动，第一齿条8随着第一加热冷却座3同步向上移动，向上移动的第一齿条8驱动齿轮组转动，转动的齿轮组驱动第二齿条7带着推块5朝向第二加热冷却座2滑动，操作人员手动将待键合的两片晶圆初步固定，然后将初步固定好的一对晶圆夹持在一对夹板17之间，利用液压缸4驱动第一加热冷却座3向下移动，第一齿条8随着第一加热冷却座3同步向下移动，向下移动的第一齿条8驱动齿轮组转动，转动的齿轮组驱动第二齿条7带着推块5朝向底座30滑动，随着第一加热冷却座3继续向下移动，齿轮三23随着推块5接近第三齿条24，齿轮三23在第三齿条24的作用下带着反向螺杆22反向转动，从而驱动一对夹板17相互远离，此时晶圆落至第一加热冷却座3与第二加热冷却座2之间，等待键合，实现晶圆的输送。

利用第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的加热结构加热，进行键合操作，晶圆键合完成后，液压缸4驱动第一加热冷却座3向上移动，第一齿条8随着第一加热冷却座3同步向上移动，向上移动的第一齿条8驱动齿轮组转动，转动的齿轮组驱动第二齿条7带着推块5朝向第二加热冷却座2滑动，随着第一加热冷却座3继续向上移动，推块5将键合完成的晶圆从第二加热冷却座2上推出，实现晶圆的自动取出，大大降低了晶圆取出过程中的烫伤危险系数，安全性更高；推块5向外推出晶圆的同时，鼓风机15结合第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的冷却结构实现内外同步冷却，提高冷却效果，加快冷却速度。

实施例二：

基于本申请的第一实施例提供的一种键合机加热冷却装置，本申请的第二实施例提出另一种键合机加热冷却装置。第二实施例仅仅是第一实施例的优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图7-图9和实施方式对本发明的第二实施例作进一步说明。

推块5的上侧设置有散热板一31，推块5的下端固定连接有散热板二42，散热板二42可采用点接触的形式固定在推块5的下端，以保证接受风冷，散热板一31与推块5之间固定连接有压缩弹簧37和伸缩管38，且伸缩管38套设于压缩弹簧37的外侧，压缩弹簧37的设置可使得散热板一31在第一加热冷却座3向下移动的过程中始终贴合第一加热冷却座3，从而保持对第一加热冷却座3的持续散热作用。

散热板一31和散热板二42的内侧均设置有蛇形冷却腔35，蛇形冷却腔35中填充有冷却液，蛇形冷却腔35的两端部与空腔之间均固定连通有折叠管36，压缩弹簧37套设于折叠管36的外侧，空腔内部连接有制冷器32，制冷器32的两端与折叠管36之间分别连接有回水管33和出水管34；利用内置水泵将蛇形冷却腔35中的冷却液经回水管33抽至制冷器32中冷却后再经出水管34送回至蛇形冷却腔35中，对散热板一31进行冷却，保证散热板一31对第一加热冷却座3和第二加热冷却座2持续且稳定的冷却作用。

进一步的，出水管34的中部固定连通有过渡盒39，鼓风机15的输出端固定连接有风管40，风管40贯穿过渡盒39并与空腔相连通，且风管40位于过渡盒39内侧部分设置为螺旋段41；鼓风机15鼓出的风经风管40送入空腔中，由于风管40经过装满冷却液的过渡盒39，冷却液可有效降低风管40内部温度，从而降低鼓出风的温度，其中，螺旋段41可延长风管40浸泡在冷却液中的长度，从而进一步增大风管40与冷却液的接触面积，使得风冷效果更佳。

推块5向外推出晶圆的同时，内置水泵将蛇形冷却腔35中的冷却液经回水管33抽至制冷器32中冷却后再经出水管34送回至蛇形冷却腔35中，对散热板一31进行冷却，保证散热板一31对第一加热冷却座3和第二加热冷却座2持续且稳定的冷却作用，鼓风机15鼓出的风经风管40送入空腔中，由于风管40经过装满冷却液的过渡盒39，冷却液可有效降低风管40内部温度，从而降低鼓出风的温度，其中，螺旋段41可延长风管40浸泡在冷却液中的长度，从而进一步增大风管40与冷却液的接触面积，使得风冷效果更佳，结合第一加热冷却座3和第二加热冷却座2内设的冷却结构实现内外同步冷却，提高冷却效果，加快冷却速度。

上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种键合机加热冷却装置，其特征在于：包括上下设置的顶座（1）和底座（30），所述顶座（1）与底座（30）之间固定连接有支撑板（43），所述顶座（1）的下端固定连接有液压缸（4），所述液压缸（4）输出端固定连接有第一加热冷却座（3），所述底座（30）的侧端固定连接有与第一加热冷却座（3）相适配的第二加热冷却座（2），所述第一加热冷却座（3）与第二加热冷却座（2）之间设置有输送机构，所述第一加热冷却座（3）靠近底座（30）的侧端与输送机构之间连接有传动机构，所述底座（30）的上端固定连接有支撑座（13），所述传动机构包括固定连接于第一加热冷却座（3）侧端的第一齿条（8）和转动连接于支撑座（13）上的齿轮组，所述输送机构包括推块（5）和固定连接于推块（5）侧端的第二齿条（7），所述齿轮组啮合于第一齿条（8）与第二齿条（7）之间，所述第一齿条（8）通过齿轮组驱动第二齿条（7）带着推块（5）在底座（30）与第二加热冷却座（2）之间往复运动。

2.根据权利要求1所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述齿轮组包括与第一齿条（8）相啮合的齿轮一（9）以及与第二齿条（7）相啮合的齿轮二（10），所述齿轮一（9）和齿轮二（10）之间同轴固定连接有转轴（14），所述转轴（14）与支撑座（13）转动连接，所述齿轮二（10）的直径大于齿轮一（9）的直径。

3.根据权利要求2所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述顶座（1）的下端固定连接有支撑套（11），所述支撑套（11）套设于第一齿条（8）的外侧，所述支撑座（13）的侧端固定连接有罩设于齿轮一（9）和齿轮二（10）外侧的齿轮箱（12），所述转轴（14）转动连接于齿轮箱（12）与支撑座（13）之间。

4.根据权利要求1所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述输送机构还包括连接于推块（5）与底座（30）之间的滑动结构一，所述滑动结构一包括设置于推块（5）下端的滑槽一（27）以及固定连接于底座（30）上端的滑块一（26），所述滑块一（26）与滑槽一（27）滑动连接，所述推块（5）上连接有辅助冷却机构。

5.根据权利要求4所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述辅助冷却机构包括固定连接于推块（5）一侧端部的鼓风机（15），所述推块（5）的内侧设置有空腔，所述推块（5）的上下两端面均密布有与空腔相连通的出风孔（16），所述鼓风机（15）的输出端与空腔相连通。

6.根据权利要求4所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述推块（5）远离底座（30）一侧的下端固定连接有擦拭块（29），所述底座（30）的上端固定连接有罩设于推块（5）外侧的防尘罩（25）。

7.根据权利要求6所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述推块（5）远离底座（30）的端部连接有夹放构件，所述夹放构件包括反向螺杆（22）和一对夹板（17），所述推块（5）的侧端固定连接有供反向螺杆（22）转动连接的连接套（21），所述反向螺杆（22）上设有螺旋方向相反的两段螺纹，两个所述夹板（17）上分别设置有与两段螺纹相配合的螺孔（28），所述夹板（17）与推块（5）之间连接有滑动结构二，所述滑动结构二包括设置于推块（5）侧端的滑槽二（20）和固定连接于夹板（17）端部的滑块二（19），所述滑块二（19）与滑槽二（20）滑动连接，所述第二加热冷却座（2）远离底座（30）的端部固定连接有放置盒（6），一对所述夹板（17）相互靠近的端面均固定连接有缓冲垫（18）。

8.根据权利要求7所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述反向螺杆（22）的一端固定连接有齿轮三（23），所述第二加热冷却座（2）的上端一侧中部固定连接有与齿轮三（23）相啮合的第三齿条（24）。

9.根据权利要求5所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述推块（5）的上侧设置有散热板一（31），所述推块（5）的下端固定连接有散热板二（42），所述散热板一（31）与推块（5）之间固定连接有压缩弹簧（37）和伸缩管（38），且伸缩管（38）套设于压缩弹簧（37）的外侧，所述散热板一（31）和散热板二（42）的内侧均设置有蛇形冷却腔（35），所述蛇形冷却腔（35）中填充有冷却液，所述蛇形冷却腔（35）的两端部与空腔之间均固定连通有折叠管（36），所述压缩弹簧（37）套设于折叠管（36）的外侧，所述空腔内部连接有制冷器（32），所述制冷器（32）的两端与折叠管（36）之间分别连接有回水管（33）和出水管（34）。

10.根据权利要求9所述的键合机加热冷却装置，其特征在于：所述出水管（34）的中部固定连通有过渡盒（39），所述鼓风机（15）的输出端固定连接有风管（40），所述风管（40）贯穿过渡盒（39）并与空腔相连通，且风管（40）位于过渡盒（39）内侧部分设置为螺旋段（41）。

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