CN113466670A - 延时测量电路、ac校准装置及ic测量装置 - Google Patents

延时测量电路、ac校准装置及ic测量装置 Download PDF

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CN113466670A CN202111030951.XA CN202111030951A CN113466670A CN 113466670 A CN113466670 A CN 113466670A CN 202111030951 A CN202111030951 A CN 202111030951A CN 113466670 A CN113466670 A CN 113466670A
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Abstract

本发明涉及集成电路测试技术领域，公开了一种延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置，延时测量电路包括同步信号源，用以分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号；被测通道，用以与同步信号源连接并分多次接收连续方波信号；参考电路，用以与同步信号源连接并分多次接收连续方波信号；鉴相器，用以与被测通道和参考电路连接并分多次接收被测信号和参考信号，且每次产生一个输出电压；数据处理模块，用以根据输出电压随连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数的周期值计算被测信号相对参考信号的延时，并根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时得到不同被测通道之间的延时。本发明延时测量电路可大幅提升延时测量的精度。

Description

延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置
技术领域
本发明涉及集成电路测量技术领域，特别涉及一种延时测量电路、AC校准装置及IC测量装置。
背景技术
在集成电路的自动测试设备领域，对于数字测试通道的时间精确性要求很高，但是各个数字测试通道之间由于硬件固有的不一致性造成了电信号传输延时的差异，因此需要通过交变信号校准（下文称为AC校准）来纠正。AC校准首先要精确标定各通道硬件固有的电信号传输延时的差异，为此可以在同步信号输入条件下测量各通道的输出信号相对于同一个参考信号的时间间隔。
通常测量两个数字信号的时间间隔是比对两个信号的变化沿，例如两个信号都是从0变到1，则测量两个信号的上升沿的时间间隔。传统的时间间隔测量单元技术受限于硅基半导体工艺的晶体管开关速度，测量分辨率大约可做到100ps量级。例如用于计数的逻辑电路测量分辨率受限于电路时钟的频率，抽头延迟线法的测量分辨率受限于相邻抽头之间的信号延迟时间。再考虑电路工作状态下的噪声干扰，时间测量精度往往劣于时间测量分辨率。因此传统手段无法进行更精细的时间测量。
使用鉴相器来测量时间间隔也是一种常见手段。鉴相器能够把两个被测的周期信号的相位差转换为电压信号。假设被测通道和参考信号在同步时钟工作条件下输出相同的周期信号，则两路信号经过固定的线路延时到达时间间隔测量模块的内部，这两个信号的相位差是固定的，则通过鉴相器可以得到稳定的电压输出。通过测量这个电压就能够计算出被测信号之间的相位差，进而计算出被测通道的时间延时。然而，现实情况是，单纯使用鉴相器不能达到足够好的测量时间的精准度，在目前的常规技术水平的电路的噪声干扰下，获得的精度和分辨率往往比其他更简单的技术手段还要差。因此，需要一种新的延时测量方案来提高测量精度。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种简单可行、测量精度高的延时测量电路。
为了解决上述问题，本发明提供了一种延时测量电路，其包括：
同步信号源，用以分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号；所述连续方波信号为连续的方波信号；
被测通道，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为被测信号；
参考电路，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为参考信号；
鉴相器，用以与被测通道和参考电路连接并分多次接收被测信号和参考信号，且每次产生一个输出电压；
数据处理模块，用以根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数
Figure 515713DEST_PATH_IMAGE001
的周期值计算出被测信号相对参考信号的延时，并根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时计算出不同被测通道之间的延时。
作为本发明的进一步改进，所述根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数
Figure 88646DEST_PATH_IMAGE002
的周期值计算出被测信号相对参考信号的延时，包括：根据所述三角波函数
Figure 540487DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的最优解计算出被测信号相对参考信号的延时；所述周期值的最优解通过以下步骤得出：
A、根据以下公式，对三角波函数
Figure 466854DEST_PATH_IMAGE001
中每一个数据点
Figure 546806DEST_PATH_IMAGE003
算出
Figure 25061DEST_PATH_IMAGE004
，得到数据点组合
Figure 823252DEST_PATH_IMAGE005
；
Figure 163098DEST_PATH_IMAGE006
其中，
Figure 97556DEST_PATH_IMAGE007
为连续方波信号的频率，
Figure 622078DEST_PATH_IMAGE008
为输出电压；
Figure 766620DEST_PATH_IMAGE009
，函数
Figure 769212DEST_PATH_IMAGE010
为对x向下取整，
Figure 558176DEST_PATH_IMAGE011
为三角波函数
Figure 394545DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的预估值；
Figure 901750DEST_PATH_IMAGE012
和
Figure 708032DEST_PATH_IMAGE013
分别鉴相器输出电压的最大值和最小值；
B、对数据点组合
Figure 741716DEST_PATH_IMAGE014
进行线性拟合，得到三角波函数
Figure 608040DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的最优解。
作为本发明的进一步改进，步骤B具体包括：以所述周期值的预估值
Figure 743487DEST_PATH_IMAGE011
为初始值，根据斜截率公式通过最小二乘法进行线性拟合，得到最小二乘法的误差平方和；并在所述周期值的预估值
Figure 353460DEST_PATH_IMAGE011
的正负预定范围内取一个新的值作为周期值，代入步骤A的公式中，得到新的周期值对应的误差平方和；多次选择不同的周期值并计算其对应的误差平方和，最后在多次计算结果中选择最小误差平方和所对应的周期值为最优解；所述斜截率公式如下：
Figure 507229DEST_PATH_IMAGE015
其中，
Figure 544455DEST_PATH_IMAGE016
和
Figure 26252DEST_PATH_IMAGE017
为系数。
作为本发明的进一步改进，数据点组合
Figure 49703DEST_PATH_IMAGE018
中包括数据点
Figure 667766DEST_PATH_IMAGE019
。
作为本发明的进一步改进，参考电路的线路延时通过以下公式设置：
Figure 141473DEST_PATH_IMAGE020
其中，
Figure 235200DEST_PATH_IMAGE021
为参考电路中的线路延时，
Figure 186975DEST_PATH_IMAGE022
和
Figure 597228DEST_PATH_IMAGE023
分别为多个连续方波信号的频率最大值和最小值。
作为本发明的进一步改进，通过可编程延时器或调节线路长度来调节所述参考电路的线路延时。
作为本发明的进一步改进，周期值与被测信号相对参考信号的延时的关系公式如下：
Figure 366470DEST_PATH_IMAGE024
其中，
Figure 557280DEST_PATH_IMAGE025
为被测信号相对参考信号的延时，
Figure 188112DEST_PATH_IMAGE026
为周期值。
作为本发明的进一步改进，多个连续方波信号之间的频率间隔小于输出电压随信号频率变化的周期值的四分之一。
作为本发明的进一步改进，任意相邻两个连续方波信号之间的频率间隔相等。
作为本发明的进一步改进，还包括电压表，所述电压表用以与所述鉴相器连接并测量所述鉴相器的输出电压。
作为本发明的进一步改进，所述数据处理模块通过绘制输出电压随频率的变化曲线得到输出电压随信号频率变化的周期值。
本发明还提供了一种AC校准装置，用于对存在延时的不同被测通道进行校准，其集成有上述任一所述的延时测量电路，并通过所述延时测量电路测量不同被测通道之间的延时。
作为本发明的进一步改进，包括信号补偿器，所述信号补偿器用于对需补偿的被测通道进行延时补偿。
作为本发明的进一步改进，所述信号补偿器以延时最长的被测通道为基准通道，根据其他被测通道与基准通道之间的延时对其他通道进行补偿。
作为本发明的进一步改进，包括用于显示测量数据的显示面板。
本发明还提供了一种IC测量装置，用于对集成电路进行测量，其集成有上述任一所述的延时测量电路，并通过所述延时测量电路测量集成电路上多个被测通道之间的延时。
本发明的有益效果：
本发明的延时测量电路通过同步信号源分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号，使得鉴相器的输出电压随连续方波信号的频率呈现三角波函数，并根据被测信号相对参考信号的延时与该三角波函数的周期值呈倒数关系计算被测信号相对参考信号的延时，再根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时得到不同被测通道之间的延时。该延时测量电路可有效降低电路噪声的干扰，大幅提升延时测量的精度。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1是本发明实施例一中延时测量电路的结构示意图；
图2是本发明实施例一中鉴相器的输入端相位差随信号频率的变化示意图；
图3是本发明实施例一中输出电压随信号频率的变化曲线图。
标记说明：1、被测信号；2、参考信号；10、同步信号源；20、被测通道；31、参考通道；32、线路延时模块；40、鉴相器；50、数据处理模块。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
实施例一
如图1所示，为本发明实施例一中的延时测量电路，该延时测量电路包括：
同步信号源10，用以分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号；其中，连续方波信号的占空比可为50%或其他，具体不作限制。
被测通道20，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为被测信号1；
参考电路，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为参考信号2；在本实施例中，参考电路包括参考通道31和线路延时模块32；
鉴相器40，用以与被测通道和参考电路连接并分多次接收被测信号1和参考信号2，且每次产生一个输出电压；
数据处理模块50，用以根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数
Figure 515188DEST_PATH_IMAGE001
的周期值计算出被测信号1相对参考信号2的延时，并根据不同被测通道中被测信号1相对参考信号2的延时计算出不同被测通道之间的延时。
本发明的延时测量电路通过同步信号源分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号，使得鉴相器的输出电压随连续方波信号的频率呈现三角波函数，并根据被测信号相对参考信号的延时与该三角波函数
Figure 330698DEST_PATH_IMAGE027
的周期值呈倒数关系计算被测信号相对参考信号的延时，再根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时得到不同被测通道之间的延时。该延时测量电路可有效降低电路噪声的干扰，大幅提升延时测量的精度。
假设在鉴相器40的输入端，被测信号1比参考信号2快了
Figure 399017DEST_PATH_IMAGE028
的时间，则被测信号1比参考信号2的相位提前量
Figure 99119DEST_PATH_IMAGE029
可通过以下公式计算：
Figure 811861DEST_PATH_IMAGE030
（1）
鉴相器40只能识别两个输入信号在
Figure 267113DEST_PATH_IMAGE031
之内的相位差，相位差的绝对值越大输出电压越高，
Figure 822728DEST_PATH_IMAGE029
大于
Figure 654418DEST_PATH_IMAGE032
时，鉴相器40会等同于相位回滚到
Figure 221665DEST_PATH_IMAGE033
的状态。因此随着
Figure 988764DEST_PATH_IMAGE029
递增，鉴相器40的输出电压呈现周期性的特征。理论上，输出电压
Figure 641462DEST_PATH_IMAGE034
公式如下：
Figure 276843DEST_PATH_IMAGE035
（2）
其中，
Figure 823231DEST_PATH_IMAGE036
是对x除以
Figure 885865DEST_PATH_IMAGE037
取余数；
Figure 901225DEST_PATH_IMAGE038
是鉴相器40输出电压的最大值。
Figure 340297DEST_PATH_IMAGE039
是鉴相器40输出电压的最小值，鉴相器40的输出电压
Figure 882137DEST_PATH_IMAGE040
介于
Figure 505885DEST_PATH_IMAGE039
到
Figure 274121DEST_PATH_IMAGE038
之间。
假设：
Figure 782462DEST_PATH_IMAGE041
Figure 303442DEST_PATH_IMAGE042
。
当频率
Figure 707879DEST_PATH_IMAGE043
分别等于
Figure 697832DEST_PATH_IMAGE044
时，鉴相器40输入端相位差如图2所示，其中1为被测信号，2为参考信号。
在同步信号源10给出不同频率
Figure 213127DEST_PATH_IMAGE045
的激励下，鉴相器40的输出电压
Figure 729559DEST_PATH_IMAGE040
不同。假设
Figure 429530DEST_PATH_IMAGE046
=0V，
Figure 765834DEST_PATH_IMAGE038
=1V。根据
Figure 350399DEST_PATH_IMAGE045
和
Figure 331124DEST_PATH_IMAGE034
的关系可以整理出表1。
Figure 342943DEST_PATH_IMAGE047
表1
进一步的，数据处理模块50通过绘制输出电压随信号频率的变化曲线得到输出电压随频率变化的周期值。根据表1绘制输出电压随信号频率的变化曲线如图3。从上述输出电压公式或者图3可以得出规律：随着
Figure 835716DEST_PATH_IMAGE048
值的变化，
Figure 630497DEST_PATH_IMAGE049
表现为三角波的周期变化图像。由于
Figure 980576DEST_PATH_IMAGE049
随着
Figure 304241DEST_PATH_IMAGE048
值的周期变化规律，只要测量和绘制出
Figure 880716DEST_PATH_IMAGE050
曲线，然后计算
Figure 541504DEST_PATH_IMAGE049
的周期值
Figure 746089DEST_PATH_IMAGE051
，就可以利用周期值与被测信号相对参考信号的延时的关系公式计算得出
Figure 99710DEST_PATH_IMAGE052
。
周期值与被测信号1相对参考信号2的延时的关系公式如下：
Figure 773268DEST_PATH_IMAGE053
（3）
其中，
Figure 237748DEST_PATH_IMAGE025
为被测信号相对参考信号的延时，
Figure 172206DEST_PATH_IMAGE026
为周期值。
进一步的，该延时测量电路还包括电压表，所述电压表用以与鉴相器40连接并测量鉴相器40的输出电压，并通过同步信号源10设置信号频率
Figure 821362DEST_PATH_IMAGE048
。
Figure 106849DEST_PATH_IMAGE048
的变化范围至少要超过一个
Figure 250386DEST_PATH_IMAGE026
，假设
Figure 39350DEST_PATH_IMAGE048
的变化范围，即整个测量电路可以工作的频率动态范围从
Figure 734774DEST_PATH_IMAGE054
到
Figure 366612DEST_PATH_IMAGE055
，则测试环境应该满足如下条件：
Figure 172894DEST_PATH_IMAGE056
（4）
其中，
Figure 81945DEST_PATH_IMAGE057
为参考电路中的线路延时，
Figure 823636DEST_PATH_IMAGE055
和
Figure 818137DEST_PATH_IMAGE054
分别为多个连续方波信号的频率最大值和最小值。
通过公式（4）设置参考电路的线路延时模块32。可选的，线路延时模块32通过可编程延时器或额外增加线路长度来实现，通过可编程延时器或调节线路长度来调节所述参考电路的线路延时。确保被测信号1先到达鉴相器40，参考信号2后到达鉴相器40。
假设：
Figure 428109DEST_PATH_IMAGE058
，则
Figure 316300DEST_PATH_IMAGE057
大于6.7ns即可。如果采用增加线路长度来延时，相当于约1.4米的普通线路长度。本发明对线路延时模块32的精确值不敏感，只要求线路延时模块32工作稳定，不会因为本身的温漂或变化而引入
Figure 87947DEST_PATH_IMAGE025
测量误差，因此技术上实现难度低。
为了较好地测量
Figure 835323DEST_PATH_IMAGE026
，优选的，多个连续方波信号之间的频率间隔小于输出电压随信号频率变化的周期值的四分之一。更优选的，多个连续方波信号之间的频率间隔小于输出电压随信号频率变化的周期值的十分之一。
优选的，任意相邻两个连续方波信号之间的频率间隔相等。
在实际测量过程中，会有很多因素导致实测的
Figure 858774DEST_PATH_IMAGE059
数据存在误差，例如电路的非线性和噪声干扰带来误差，为了获得更高的测量精度，本发明提供了一种数学处理方法，来得到更精确的三角波的周期值，该数学处理方法通过数据处理模块50来执行。
该数学处理方法的核心逻辑是：找到最佳的参数
Figure 476837DEST_PATH_IMAGE025
使得公式（2）所描述的三角波和实测数据吻合度最高。
首先初步测得
Figure 684964DEST_PATH_IMAGE025
即
Figure 67708DEST_PATH_IMAGE026
的大致数值。如果所有被测通道的差异不大，则所有被测通道的
Figure 753904DEST_PATH_IMAGE026
值应该比较接近。因此容易根据经验数据取一个预估值
Figure 632998DEST_PATH_IMAGE060
作为初始值。然后对实测的数据点
Figure 746448DEST_PATH_IMAGE061
做如下处理，以得到三角波的周期值的最优解。具体步骤如下：
A、根据以下公式，对三角波函数
Figure 937258DEST_PATH_IMAGE001
中每一个数据点
Figure 817358DEST_PATH_IMAGE061
算出
Figure 410013DEST_PATH_IMAGE062
，得到数据点组合
Figure 959943DEST_PATH_IMAGE063
；
Figure 778995DEST_PATH_IMAGE064
其中，
Figure 806994DEST_PATH_IMAGE007
为连续方波信号的频率，
Figure 519735DEST_PATH_IMAGE008
为输出电压；
Figure 365200DEST_PATH_IMAGE009
，函数
Figure 530602DEST_PATH_IMAGE010
为对x向下取整，
Figure 627871DEST_PATH_IMAGE011
为三角波函数
Figure 804906DEST_PATH_IMAGE027
的周期值的预估值；
Figure 962217DEST_PATH_IMAGE012
和
Figure 614916DEST_PATH_IMAGE013
分别鉴相器输出电压的最大值和最小值；
理论上，如果TF1是准确的结果，则所有构成的数据点
Figure 374930DEST_PATH_IMAGE065
应该在一条直线上，并且
Figure 796684DEST_PATH_IMAGE066
也应该在这个直线上。因此，优选的，数据点组合
Figure 859318DEST_PATH_IMAGE067
中包括数据点
Figure 140258DEST_PATH_IMAGE066
。
B、对数据点组合
Figure 579329DEST_PATH_IMAGE065
进行线性拟合，得到三角波函数
Figure 980224DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的最优解。具体包括：
以所述周期值的预估值
Figure 479338DEST_PATH_IMAGE068
为初始值，根据斜截率公式通过最小二乘法进行线性拟合，得到最小二乘法的误差平方和δ；在所述周期值的预估值TF1的正负预定范围内取一个新的值作为周期值TF，代入所述步骤A的公式中，并得到新的周期值TF对应的误差平方和δ；多次选择不同的周期值，并计算得到不同的周期值TF对应的误差平方和δ；通过计算机程序的数学处理，在TF1正负预定范围内检索{TF，δ}，通过逼近算法求解误差平方和δ的最小值，并选择最小误差平方和δ对应的三角波函数
Figure 841049DEST_PATH_IMAGE001
的周期值TF为最优解。可选的，所述周期值的预估值TF1的正负预定范围为
Figure 693599DEST_PATH_IMAGE069
。
其中，所述斜截率公式如下：
Figure 89945DEST_PATH_IMAGE070
其中，
Figure 884595DEST_PATH_IMAGE071
和
Figure 733602DEST_PATH_IMAGE072
为系数。
由于TF1是预估值，其偏差越大，最小误差平方和δ值越大，因此寻找最佳的周期值使δ最小，并选择最小误差平方和δ对应的三角波函数
Figure 514476DEST_PATH_IMAGE001
的周期值TF为最优解，然后将周期值的最优解代入公式（3）计算得到被测信号1相对参考信号2的延时
Figure 906274DEST_PATH_IMAGE073
。
因为
Figure 137405DEST_PATH_IMAGE073
通过多组测试数据的拟合结果得出，抵消了单次测量的误差，并且克服了测量电路的分辨率限制，所以其精准度和分辨率都很高。对每个被测通道实施上述步骤，就可以精准的标定每个被测通道的传输延时的差异，从而实现高精准的AC校准。
实施例二
本实施例公开了一种AC校准装置，用于对存在延时的不同被测通道进行校准，其集成有实施例一所述的延时测量电路，并通过所述延时测量电路测量不同被测通道之间的延时。
进一步的，该AC校准装置包括信号补偿器，所述信号补偿器用于对需补偿的被测通道进行延时补偿。可选的，所述信号补偿器以延时最长的被测通道为基准通道，根据其他被测通道与基准通道之间的延时对其他通道进行补偿。
可选的，该AC校准装置还包括用于显示测量数据的显示面板。
实施例三
本实施例公开了一种IC测量装置，用于对集成电路进行测量，其集成有实施例一中的延时测量电路，并通过所述延时测量电路测量集成电路上多个被测通道之间的延时。
以上实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

Claims (16)

1.一种延时测量电路，其特征在于，包括：
同步信号源，用以分多次且每次产生一个不同频率的连续方波信号；
被测通道，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为被测信号；
参考电路，用以与所述同步信号源连接并分多次接收所述连续方波信号，且将其作为参考信号；
鉴相器，用以与被测通道和参考电路连接并分多次接收被测信号和参考信号，且每次产生一个输出电压；
数据处理模块，用以根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数
Figure 730162DEST_PATH_IMAGE001
的周期值计算出被测信号相对参考信号的延时，并根据不同被测通道中被测信号相对参考信号的延时计算出不同被测通道之间的延时。
2.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，所述根据输出电压随所述连续方波信号的频率变化所呈现的三角波函数
Figure 580307DEST_PATH_IMAGE001
的周期值计算出被测信号相对参考信号的延时，具体包括：根据所述三角波函数
Figure 75879DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的最优解计算出被测信号相对参考信号的延时；所述周期值的最优解通过以下步骤得出：
A、根据以下公式，对三角波函数
Figure 290960DEST_PATH_IMAGE001
中每一个数据点
Figure 114559DEST_PATH_IMAGE002
算出
Figure 643761DEST_PATH_IMAGE003
，得到数据点组合
Figure 869206DEST_PATH_IMAGE004
；
Figure 176559DEST_PATH_IMAGE005
其中，
Figure 956296DEST_PATH_IMAGE006
为连续方波信号的频率，
Figure 882664DEST_PATH_IMAGE007
为输出电压；
Figure 103561DEST_PATH_IMAGE008
，函数
Figure 722761DEST_PATH_IMAGE009
为对x向下取整，
Figure 645587DEST_PATH_IMAGE010
为三角波函数
Figure 110066DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的预估值；
Figure 513365DEST_PATH_IMAGE011
和
Figure 444412DEST_PATH_IMAGE012
分别为鉴相器输出电压的最大值和最小值；
B、对数据点组合
Figure 464321DEST_PATH_IMAGE013
进行线性拟合，得到三角波函数
Figure 201333DEST_PATH_IMAGE001
的周期值的最优解。
3.如权利要求2所述的延时测量电路，其特征在于，步骤B具体包括：以所述周期值的预估值
Figure 646089DEST_PATH_IMAGE010
为初始值，根据斜截率公式通过最小二乘法进行线性拟合，得到最小二乘法的误差平方和；并在所述周期值的预估值
Figure 341513DEST_PATH_IMAGE010
的正负预定范围内取一个新的值作为周期值，代入步骤A的公式中，得到新的周期值对应的误差平方和；通过多次选择不同的周期值并计算其对应的误差平方和，最后在多次计算结果中选择最小误差平方和所对应的周期值为最优解；所述斜截率公式如下：
Figure 317559DEST_PATH_IMAGE014
其中，
Figure 264787DEST_PATH_IMAGE015
和
Figure 439416DEST_PATH_IMAGE016
为系数。
4.如权利要求2所述的延时测量电路，其特征在于，数据点组合
Figure 774583DEST_PATH_IMAGE004
中包括数据点
Figure 159296DEST_PATH_IMAGE017
。
5.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，参考电路的线路延时通过以下公式设置：
Figure 34848DEST_PATH_IMAGE018
其中，
Figure 267247DEST_PATH_IMAGE019
为参考电路中的线路延时，
Figure 179839DEST_PATH_IMAGE020
和
Figure 192794DEST_PATH_IMAGE021
分别为多个连续方波信号的频率最大值和最小值。
6.如权利要求5所述的延时测量电路，其特征在于，通过可编程延时器或调节线路长度来调节所述参考电路的线路延时。
7.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，所述周期值与被测信号相对参考信号的延时的关系公式如下：
Figure 809721DEST_PATH_IMAGE022
其中，
Figure 817997DEST_PATH_IMAGE023
为被测信号相对参考信号的延时，
Figure 291703DEST_PATH_IMAGE024
为三角波函数
Figure 136163DEST_PATH_IMAGE001
的周期值。
8.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，多个连续方波信号之间的频率间隔小于输出电压随信号频率变化的周期值的四分之一。
9.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，任意相邻两个连续方波信号之间的频率间隔相等。
10.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，还包括电压表，所述电压表用以与所述鉴相器连接并测量所述鉴相器的输出电压。
11.如权利要求1所述的延时测量电路，其特征在于，所述数据处理模块通过绘制输出电压随信号频率的变化曲线得到输出电压随频率变化的周期值。
12.一种AC校准装置，用于对存在延时的不同被测通道进行校准，其特征在于，集成有如权利要求1-11任一所述的延时测量电路，并通过所述延时测量电路测量不同被测通道之间的延时。
13.如权利要求12所述的AC校准装置，其特征在于，包括信号补偿器，所述信号补偿器用于对需补偿的被测通道进行延时补偿。
14.如权利要求13所述的AC校准装置，其特征在于，所述信号补偿器以延时最长的被测通道为基准通道，根据其他被测通道与基准通道之间的延时对其他通道进行补偿。
15.如权利要求12所述的AC校准装置，其特征在于，包括用于显示测量数据的显示面板。
16.一种IC测量装置，用于对集成电路进行测量，其特征在于，集成有如权利要求1-11任一所述的延时测量电路，并通过所述延时测量电路测量集成电路上多个被测通道之间的延时。
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